I LCLK
2.8 第 2 章のまとめと今後の課題
参考文献
[1] S. D. Senturia,MicroSystem Design, Kluwer Academic Publishers, Boston (2001).
[2] V. K. Varadan, K. J. Vinoy, K. A. Jose,RF MEMS and Their Applications, John Wiley & Sons (2003).
[3] G. M. Rebeiz,RF MEMS: Theory, Design and Technology, John Wiley & Sons, (2003).
[4] H. J. De Los Santos,RF MEMS Circuit Design for Wireless Communications, Artech House (2002).
[5] M. H. Rushid (editor-in-chief),Power Electronics Handbook, Academic Press (2001).
[6] Masashi Kono, Takanori Komuro, Haruo Kobayashi, Keigo Kimura, Hiroshi Sakayori, and Yuzo Yasuda, MEMS Design for LSI Tester Applications, 2004 IEEJ International Analog VLSI Workshop, pp.293- 296, Macao SAR, China (Oct. 2004).
[7] 青木 由隆,上 芳夫,本城 和彦「ウェハレベルCSP技術による銅配線,絶縁層を利用した低損失インダクタ の実現」,エレクトロニクス実装学会誌, 7[3],p247- 254(2004).
[8] H.G.Dill,Designing Inductors for Thin Film Applications, Electronic Design,pp.52- 59,(1964).
[9] 吉原義昭,菅原弘雄,伊藤浩之,岡田健一,益一哉,「可変インダクタを用いた広帯域CMOSVCOの設計」, 2004 年電子情報通信学会総合大会.
[10] 菅原弘雄,伊藤浩之,岡田健一,益一哉,「MEMSを用いたRF可変インダクタのモデル化手法」, 2004年電子情 報通信学会総合大会.
[11] Peter L. Gammel, Bradley P. Barber, Victor Lubecke, Nathan Belk, and M. R. Frei, ”Design, Test, and Simulation of Self-Assembled Micromachined RF Inductors, SPIE Symposium on Design, Test, and Micro-fabrication of MEMS and MOEMS Digest, vol.3680, p.582-591, 1999.
[12] Yoshisato Yokoyama, Takashi Fukushige, Seiichi Hata, Kazuya Masu and Akira Shimokohbe,On-Chip Vari-able Inductor Using MEMS Technology, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 42, No. 4B, pp. 2190-2192, 2003.
[13] Hirotaka Sugawara, Yoshiaki Yoshihara, Hiroyuki Ito, Kenichi Okada, and Kazuya Masu, Wide-Range RF Variable Inductor on Si CMOS Chip with MEMS Actuator, IEEE European Microwave Conference, pp.701-704, Oct. 2004.
[14] Charles-Marie Tassetti and Gaelle Lissorgues and Jean-Paul Gilles, Reconfigurable RF Systems Based on Tunable MEMS Inductors, IEEE European Microwave Conference, pp.1165-1168, Oct. 2004.
[15] P. Park, C. S. Kim, M. Y. Park, S. D. Kim, and H. K. Yu,Variable Inductance Multiplayer Inductor with MOSFET Switch Control, IEEE Electron Device Letters, vol. 25, no. 3, pp. 144-146, March 2004.
[16] 日経BP社,日経エレクトロニクス,2002年11月4日号,pp.107-130.
[17] Mocrowave Journal,2001年,March.
[19] EDN Japan,2002年10月号.
[20] CYBERNET NEWS,2002,Spring.
[21] 計測と制御,Vol.42,2003.1.
[22] Design Wave,2001年2月号.
[23] Design Wave,2001年11月号.
[24] Design Wave,2002年11月号.
[25] 週刊ナノテク,2003年11月10日号.
[26] Science & Techonology Trends ,2002,Seotember frature article01.
[27] 特許流通支援チャート,「MEMS技術の概要」.
[28] 財団法人マイクロマシンセンター,「マイクロマシン」,2003年1月号,No42.
[29] 財団法人マイクロマシンセンター,「マイクロマシン」,2003年4月号,No43.
[30] 財団法人マイクロマシンセンター,「マイクロマシン」,2003年7月号,No44.
[31] 建築大辞典編集委員会,「建築大辞典(第2版)」,彰国社,(1993).
[32] H.G.Dill,Designing Inductors for Thin Film Applications, Electronic Design,pp.52- 59,1964.
[33] 藤田 博之,「マイクロ・ナノマシン技術入門」, 工業調査会,2003.
[34] CQ出版,「MEMS開発＆活用スタートアップ」,2004年12月.
[35] 麻蒔立男,「超微細加工の本」,日刊工業新聞社,2004年.
[36] CQ出版,「Design Wave magazin」2004年11月号.
[37] 社団法人 日本金属学会 編著「改定5版 金属便覧」,丸善,平成5年10月10日.
[38] 社団法人 軽金属協会アルミニウム技術便覧編集委員会 編著「新版/アルミニウム技術便覧」カロス出版,1996年 11月18日.
[39] MEMSジャンプスタート・プログラム（その１）SOI基板とDRIEでつくる静電マイクロアクチュエータ入門,
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター年吉研究室.
[40] Daniel Saias,Philippe Robert,Samuel Boret,Christophe Billard, Didier Brlot,and Pascal Ancey,An Above IC MEMS RF Switch, IEEE JOURNAL STATE CIRCUITS, VOL.38,No.12,DECEMBER 2003.
[41] 積知範,「MEMSを活用した可変手段」,2004年電子情報通信学会総合大会.
[42] 福田敦史,高橋健吉,岡崎浩司,広田哲夫,山尾泰「MEMSスイッチを用いたマルチバンド電力増幅器」2004年電 子情報通信学会総合大会.
[43] 光野正志「スイッチング電源のEMI低減化とその測定技術の研究（学士論文）」,2003年3月.
[44] 木村 圭吾「MEMS技術を用いた可変インダクタの研究（学士論文）」,2005年3月.
[45] 張 挺「スイッチング電源の負荷変動に対する高速過渡応答法の研究（学士論文）」,2005年3月.
[46] 清水貴行,越地耕ニ,佐川幸一郎,押村雅彦,市川裕一「縦型コイルを用いたLC共振回路の検討」,2004年電子情 報通信学会総合大会.
[47] 内藤清志,蓮池広通,益田十織夫「複数コイルのインダクタンス計算」.
[48] 第5回高周波アナログ集積回路の解析・設計技術調査専門委員会「RFICスパイラルインダクタ電気的特性シ ミュレーション」.
[49] H.G.Dill,Designing Inductors for Thin Film Applications, Electronic Design,pp.52- 59,1964.
[50] 温品雅文,国広崇,南口達也,山内将行,田中衞,「相互インダクタンスによって結合されたPrinted Spiral Inductor を用いたコルピッツ発振器に見られる同期現象」,信学技報,NLP,非線形問題Vol.107, No.87(20070602) pp. 1-6, NLP2007-23,社団法人電子情報通信学会, 2007.