検討及び試作

図2.51: 円形型のスパイラルインダクタのレイアウ ト図：16巻き内径サイズ最小.

図 2.52: 円形型のスパイラルインダクタのレイアウ

ト図:16巻き,内径サイズ300μｍ.

図2.53: 円形型のスパイラルインダクタのレイアウ

ト図：8巻き,内径サイズ最小.

図 2.54: 円形型のスパイラルインダクタのレイアウ

ト図：8巻き,内径サイズ300μｍ.

図2.55: 円形型のスパイラルインダクタのレイアウ

ト図：8巻き,内径サイズ600μｍ.

図 2.56: 円形型のスパイラルインダクタのレイアウ

ト図：8巻き,内径サイズ900μｍ.

図2.57: 円形型のスパイラルインダクタのレイアウ ト図：3巻き,内径サイズ300μｍ.

図 2.58: 円形型のスパイラルインダクタのレイアウ

ト図：1巻き,内径サイズ300μｍ.

図2.59: 八角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：16巻き,内径サイズ最小.

図 2.60: 八角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：16巻き,内径サイズ300μｍ.

図2.61: 八角形型のスパイラルインダクタのレイア

図 2.62: 八角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：8巻き,内径サイズ300μｍ.

図2.63: 八角形型のスパイラルインダクタのレイア ウト図：8巻き,内径サイズ600μｍ.

図 2.64: 八角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：8巻き,内径サイズ900μｍ.

図2.65: 八角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：3巻き,内径サイズ300μｍ.

図 2.66: 八角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：1巻き,内径サイズ300μｍ.

図2.67: 四角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：16巻き,内径サイズ最小.

図 2.68: 四角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：16巻き,内径サイズ300μｍ.

図2.69: 四角形型のスパイラルインダクタのレイア ウト図：8巻き,内径サイズ最小.

図 2.70: 四角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：8巻き,内径サイズ300μｍ.

図2.71: 四角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：8巻き,内径サイズ600μｍ.

図 2.72: 四角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：8巻き,内径サイズ900μｍ.

図2.73: 四角形型のスパイラルインダクタのレイア

図 2.74: 四角形型のスパイラルインダクタのレイア

ウト図：1巻き,内径サイズ300μｍ.

スパイラルインダクタの目標値

試作するスパイラルインダクタの目標値を, S-NAPとCoventorWareによって,シミュレーションにより求めた.

その結果を以下の表に示す. S-NAPのシミュレーション結果を表2.5に示す. ここで,CADツールの性質上,円形型 と八角形型のシミュレーションは出来なかったので,ここでは,四角形型のスパイラルインダクタの結果のみを示す.

また,CoventorWare2004のシミュレーション結果を表2.6に示す.

表2.5: S-NAPでのシミュレーションによる目標値.

四角形型 共振周波数[MHz] L値[nH] 抵抗値[Ω] Q値 16巻き・内径最小 470 189 88.1 1.58 16巻き・内径300μｍ 300 348 134 1.22 8巻き・内径最小 2000 34.1 22 4.86 8巻き・内径300μｍ 1000 89.4 57.1 2.46 8巻き・内径600μｍ 600 171 101 1.6 8巻き・内径900μｍ 400 261 145 1.13 3巻き・内径300μｍ 4600 17.2 31.3 3.97 1巻き・内径300μｍ 31000 不可 25.8 不可

表 2.6: CoventorWare2004でのシミュレーションによる目標値.

円形型 八角形型 四角形型

巻き数・内径[µm] L値[nH] 抵抗[Ω] Q値 L値[nH] 抵抗[Ω] Q値 L値[nH] 抵抗[Ω] Q値 16巻き・内径最小 180.4 77.6 4.74 154.7 69.7 4.53 216.2 101.89 4.33 16巻き・内径300 330.4 115.2 3.78 315.2 114.6 3.63 396.28 148.59 3.52 8巻き・内径最小 24.1 19.1 11.1 19.6 18.4 9.37 28.67 26.10 9.66 8巻き・内径300 64.3 38.1 7.15 61.08 38.05 6.80 77.31 49.07 6.68 8巻き・内径600 128.2 60.26 5.48 120.3 59.9 5.17 153.62 77.78 5.09 8巻き・内径900 199.7 82.18 4.58 187.9 81.9 4.32 240.66 106.49 4.26 3巻き・内径300 7.88 8.97 17.7 7.3 9.2 15.9 9.26 11.52 16.2 1巻き・内径300 0.89 1.76 71.5 0.87 1.73 70.8 1.00 2.09 67.6

2種類のシミュレーションツールを用いて,スパイラルインダクタの目標値を算出した.試作品との実測値の比較は, 以上の目標値を用いて行う.