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圧電体の振動

Run 1 Run 2

A.4 圧電体の振動

で与えられ,

Sij = ( ∂G

∂Tij

)

E

, Dn = ( ∂G

∂En

)

T

(A.2.12) 2系が線形で結合している範囲では (0,0) 付近で次式で展開できる。(式A.2.1 に対応 する。)

G= 1 2

( Tij

∂Tij

+En

∂En

) ( Tkl

∂Tkl

+Em

∂Em

)

G (A.2.13)

式A.2.12にこの展開された関数を適用すると,歪みと電束密度について次の関係式を得

られる。

Sij =sEijklTkl+dmijEm (A.2.14) Dn =dnklTkl+εTnmEm (A.2.15) ここで係数 d は圧電定数で,次のように定義される。

dnij =

( 2G

∂Tij∂En

)

=

(∂Dn

∂Tij

)

E

(A.2.16) これは電束密度の変化から応力の変化を結ぶ定数であるが,逆に歪みの変化から電場 の変化を結ぶ定数 dnij を考える。

dnij =

(∂Sij

∂En )

T

(A.2.17) これは逆圧電効果である。効果,逆効果の間に相反則が成り立つのでdnij =dnijとなる。

A.4 圧電体の振動

A.1 圧電基本式の諸形式[28]

A.2 圧電体の板の縦効果厚み振動

A.4.1 板の縦効果厚み振動

振動の解析の一例として,図A.2 の形状の圧電体を考える。この圧電体は電場をx 軸 に加えるとx軸方向で厚みが変わる方向に変形する(縦効果)。本測定で用いた縦波の超 音波振動子の運動に対応するものである。

適当な圧電基本式と境界条件,運動方程式から振動と電気的特性を求める。

力学的,電気的条件は,側面は固定され歪みがゼロ,電束密度は縦方向に均一である。

S2 =S3 = 0, ∂D1

∂x1 = 0 (A.4.1)

また,厚み方向の電位差 V

V =

t

2

t2

E1dx1 (A.4.2)

この条件を考慮して,圧電基本式は (S, E) 型を選ぶ。歪み,電束密度について,1軸 方向のみ考える。

T1 =cE11S1−e11E1 (A.4.3) D1 =εS11E1+e11S1 (A.4.4)

■運動の解析 圧電基本式を変形して,1軸方向の変位について以下の運動方程式を考 える。

ρ∂2u1

∂t2 = ∂T1

∂x1

(A.4.5) 式A.4.3から電場 E1 を変形により消去し,S1 = ∂u∂x1

1 である事に注意すると,この運動 方程式は

ρ∂2u1

∂t2 =cD112u1

∂x21 (A.4.6)

と変形できる。ここで cD11

cD11 = cE11

1−kt2, kt2 = e211

cD11εS11 (A.4.7)

kt2 は電気機械結合定数である。

境界条件は,電極は自由端だとすると

x1 =±t

2の時, T1 = 0 (A.4.8)

u1(x1, t) =u10(x1)ejωt のように時間分離して考えると,運動方程式の解は u10(x1) = e11D10

cD11εS11 (ω 1

v

)cos(ω

v t 2

)sin (ω

vx1 )

(A.4.9)

但しv(音速)=

cD11

ρ (A.4.10)

A.4 圧電体の振動

■電気系の解析 電束密度の時間変化を D1 =D10ejωt と分離する。

回路を流れる電流は,電極の面積を S とし,電束密度を電極表面で積分して

I1 =

b 0

dx2

b 0

dx3D1 =jωSD1 (A.4.11) すると D1

D1 = I1

jωS,あるいは D10 = I10

jωS (A.4.12)

圧電基本式??を電場について変形する。

E1 = 1

εS11 e11

εS11

∂u1

∂x1 (A.4.13)

但しここでは,歪みを微分で表している。

この式A.4.13を式A.4.2に代入して実際に計算する。時間変化を分離すると,次のよ

うになる。

V0 =

2t

t2 E10dx1 = t

εS11D10 e11 εS11

[ u10

(t 2

)

−u10

(

−t 2

)]

(A.4.14)

これにA.4.12を代入して,適当に変数をまとめると,電極間電位差と電流の関係式を作

れる。

V0 = 1 jωC0

(

1−k2t tanβ β

)

I10 (A.4.15)

但しここでは

C0 = εS11S

t , β = ω v t

2, kt2 = e211

cD11εS11 (A.4.16) アドミッタンスは

Y = I10

V0 = jωC0

1−kt2tanββ (A.4.17) Y =Y0+Yp とすると,それぞれの成分は

Y0 =jωC0, Yp =jωC0

kt2 tanββ

1−kt2tanββ (A.4.18)

Y0 は圧電体が元から持つ静電容量によるアドミッタンス成分,Yp は振動する圧電体が持 つ機械的なアドミッタンスである。

共振する条件は, Yp が最大になることである。式A.4.18を変形して Yp が最大にな る条件を求める。

Yp =jωC0

1

1

kt2tanββ 1 (A.4.19) この式から, Yp が最大になる条件は

1

k2t tanββ 1 = 0 (A.4.20)

すなわち

cotβ− kt2

β = 0 (A.4.21)

この条件に合う β を求めたいが,簡単には解けないので以下のように近似する。結合定 数 k2t は一般に小さい。そこで kt2 を無視して β0 を出す。

β0 = π

2(2n+ 1) (A.4.22)

cot を π2(2n+ 1) のまわりで展開する。

cot (π

2 (2n+ 1) + ∆β )

=∆β (A.4.23)

式A.4.21を用いて式変形すると

∆β =2 π

kt2

(2n+ 1) (A.4.24)

β =β0+ ∆β なので,共振振動数を ωRM とすると β = ωRM

v t 2 = π

2 (2n+ 1) (

1 4 π2

kt2 (2n+ 1)2

)

(A.4.25) となる。

付録 B

試料内を伝播する音波

試料内に伝搬する超音波の伝播方程式を説明する。その後付録Cにおいて理想的な試 料の振幅周波数依存性,すなわち共鳴カーブを計算により求める。計算では図2.5のよう な,平行な端面に超音波振動子を取り付け,片方から超音波を入射しもう片方から音波を 検出するような状態を考える。