警告 ― 感電に注意
6.6 校正
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6.6.1.2 チューニング質量の選択
質量スケールのチューニングにおいて最も重要なのは、チューニングする質量の選択で す。
3 通りのチューニング方法があります。
ユーザが用意した試験用ミックスガスを使用してチューニングする場合は、6-16ペー ジの 6-16 ページの 6.6.1.2.1 項 「ユーザが用意した試験用ミックスガスによる チューニングのための質量の選択」にお進みください。
プロセスガスを使用してチューニングする場合は、6-16 ページの 6.6.1.2.2 項 「プ ロセスガスによるチューニングのための質量の選択」にお進みください。
バックグラウンドガスでチューニングする場合は、6-17 ページの 6.6.1.2.3 項 「バッ クグラウンドガスによるチューニング」にお進みください。
6.6.1.2.1 ユーザが用意した試験用ミックスガスによるチューニングのための質量の選択
ある種のアプリケーションでは、ガス業者が製造した試験用ミックスガスを使用するのが 便利です。理想的なミックスガスには、工場でのチューニングに用いられる質量が含まれ ます。工場でのチューニング質量は、6-15 ページの 6.6.1.1 項に記載されています。
6.6.1.2.2 プロセスガスによるチューニングのための質量の選択
通常、Transpector MPS のチューニングには、小さい質量、中間の質量、および大き い質量を検出することが必要になります。
プロセスガスに水素が含まれていない場合は、質量 1 と 2 のチューニングは行わないで ください。ただし、その場合においてもこれらの質量をチューニング表から削除しないよ うにしてください。
特に Transpector MPS をリークチェックに使用する場合には、可能な限り質量 4 の チューニングを行うようにしてください。リークチェックの 1 つの方法として、リーク を発生させてヘリウムをスプレーする方法があります。小さい質量についてはこの方法で チューニングすることが可能です。
中間の質量に関しては、窒素またはその周辺に存在する別の質量（水、酸素等）を使用し てください。
大きい質量のチューニングは難易度がさらに高くなる場合があります。
プロセスガスに 40 AMU を超える質量が含まれていない場合は、アルゴンでチューニ ングします。
プロセスガスに 40 AMU を超える質量が含まれている場合は：
100 AMU のセンサについては、中間の質量と 100 AMU の間の質量をチューニ ングします。
200 AMU のセンサについては、100 AMU と 200 AMU の間の質量をチューニ ングします。
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6.6.1.2.3 バックグラウンドガスによるチューニング
正しいリーク検出を行うには、質量 4 を校正する必要があります。Transpector MPS をリーク検出器として使用する場合、ヘリウムがチューニングに使用できる状態にあるこ とをご確認ください。Transpector MPS をリークチェックのみに使用する場合、質量 4 がチューニングを行う唯一の質量です。質量 4 をチューニングするには、ヘリウムを 真空チャンバに導入する手段を探してください。
試験用ミックスガスやヘリウムを用意できない場合は、以下の手順を実施することも可能 です。
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全てのチューニングパラメータをデフォルトの設定に戻す。2
1、2、4 を除く全ての質量を削除する。3
質量 28（または 40）を追加してチューニングする。4
質量 4 を削除する。5
システムで使用可能な最大質量をチューニングする。場合によっては、この最大質量 が 40 あるいは 44 となることもあります。6 - 18
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