トラブルの症状、原因、および対策

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第 7 章

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エミッションの異常 

（コールドスタート、

ウォームスタート）

センサのフィラメントの不具合

（開回路または短絡）

テスターでセンサをチェックする センサまたはフィラメントを 交換する

エレクトロニクスモジュールの 不具合

修理のためにインフィコンに 返品する

真空圧が不十分 圧力が 5E-4 Torr 未満であるか 確認する

センサの動作電圧が正しくない 設定が正しいか確認する。

サポートが必要な場合は インフィコンに連絡する Transpector MPS の

エレクトロニクスモジュールと センサとの接続不良

Transpector MPS の エレクトロニクスモジュールが センサの奥まで押し込まれて いるか確認する

アノードの異常 センサの不具合、アノードの短絡 テスターでセンサが短絡して いないかチェックする。

センサのピン図を参照する センサを修理または交換する エレクトロニクスモジュールの

不具合

修理のためにインフィコンに 返品する

RF の異常 センサの不具合、RF 回路の断線、

RF/DC カードの不具合

センサを修理または交換する

エレクトロニクスモジュールの 不具合

修理のためにインフィコンに 返品する

電子増倍管の異常 センサの不具合、EM の短絡 テスターでセンサを

チェックする。センサピンの 図を参照する

センサを修理または交換する EM を交換して間もない EM が HV ピンに正しく

差し込まれているか確認する エレクトロニクスモジュールの

不具合

修理のためにインフィコンに 返品する

表 7-1  トラブルの症状、原因、および対策 ( 続き )

症状 原因 対策

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温度の異常 Transpector MPS の内部周辺 温度が 70 ℃を超えている

装置が正しく設置され、

内部周辺温度が 50 ℃未満に なっているか確認する 近くに熱源がないか確認する 内蔵のファンが作動しているか 確認する

エレクトロニクスモジュールの 不具合

修理のためにインフィコンに 返品する

過圧 全圧プレートの電流が

インターロックの閾値を超えた

圧力を下げる

全圧プレートの汚染 イオンソースを交換する

電位計の異常 過電流

（2E-6 Amps を超えている）

圧力を下げる EM の電圧を下げる エレクトロニクスモジュールの

不具合

修理のためにインフィコンに 返品する

質量フィルタの異常 チューニングファイルに問題がある RGA をチューニングし直す

四重極の汚染 修理のためにインフィコンに

返品する

イオンソースの異常 イオンソースの設定が正しくない 元の設定ファイルを読み込ませる

イオンソースの汚染 イオンソースを交換する

検出器の異常 EM の電圧の設定値が高すぎる EM の電圧を下げる

検出器の動作不良 EM 検出器を交換する

表 7-1  トラブルの症状、原因、および対策 ( 続き )

症状 原因 対策

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ピークの検出異常 目標質量にピークが存在しない 元の設定ファイルを アップロードする

修理のためにエレクトロニクス モジュールをインフィコンに 返品する

フィラメントの電位 の異常

真空圧が不十分 圧力が 5E-4 Torr 未満であるか 確認する

フィラメントの損傷 フィラメントが損傷して

いないか確認する

フィラメントの短絡 フィラメントが短絡接地に

なっていないか確認する フィラメントの電流

の異常

真空圧が不十分 圧力が 5E-4 Torr 未満であるか 確認する

フィラメントの損傷 フィラメントが損傷して

いないか確認する

フィラメントの短絡 フィラメントが短絡接地に

なっていないか確認する 焦点の異常 焦点電圧を起動できない、または

維持できない

エレクトロニクスモジュールを リセットする

修理のためにエレクトロニクス モジュールをインフィコンに 返品する

表 7-1  トラブルの症状、原因、および対策 ( 続き )

症状 原因 対策

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スペクトルが 表示されない

エミッションがオフになっている エミッションをオンにする 動作時に EM がオンになっている EM をオフにする

センサの汚染 センサのデガス、または

メンテナンス作業を行う センサを交換する エレクトロニクスモジュールの

不具合

修理のためにインフィコンに 返品する

FC に対して圧力が低すぎる EM 検出器を使用する

EM の電圧が低すぎる 電圧を上げる

Transpector MPS の エレクトロニクスモジュールが センサに完全に接続されていない

Transpector MPS の エレクトロニクスモジュールを センサに奥まで押し込む

質量の校正 質量の校正を調整する

感度不良 センサの汚染 センサをデガスする

センサをベークアウトする センサのメンテナンス作業を行う システム圧力が低すぎる 可能であれば、試料の圧力を

上げる

質量の校正（分解能） 質量の校正を調整し、

ピーク幅を広げる センサの動作パラメータが正しく

設定されていない

電子エネルギー、イオン エネルギー、焦点エミッション 表 7-1  トラブルの症状、原因、および対策 ( 続き )

症状 原因 対策

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