チューニングモード

5 - 16

PN 074-555-P1B

5.5.2.2.2  リークチェックモードの使用方法

Transpector Web UIを使用してTranspector MPSでリークチェックを実施するには、

1

LEAKCHECK ボタンをクリックして LEAKCHECK ウィンドウを表示します。

2

リークチェックに使用するガスを決定します。

3

リークチェック用のガスの質量を入力します。

ヒント :一般的には、リークチェック用のガスは質量が 4 AMU のヘリウムです。

4

希望の DWELL time を選択します。Dwell time を長くすると、信号のランダムノイ ズが低減します。

5

SET をクリックします。

注： 音声によるアラームを必要とする場合は、コンピュータの音声出力が適正レベル にあること、また Google Chrome がブラウザとして使用されていることを確 認してください。

6

リークチェック用のガスをスプレーしていないにも関わらずアラームレベルを超え た状態で信号がスタートした場合は、信号をその時点のアラームレベル未満に下げる ために、AUTO SET をクリックしてアラームレベルを自動リセットしてください。

AUTO SET は、Transpector MPS の発生する信号が正常であることを意味し、

アラームステータスの緑を表示します。

7

リークチェック用のガスをチェックしたい場所の周辺にスプレーし、質量のトレンド グラフで変化をモニタします。

8

信号レベル表示バーの色が変化しアラームステータスを報せるまで、リークチェック 用のガスをスプレーし続けます。

注： Google Chrome をブラウザとして使用しており、音声が有効になっている場 合は、アラーム音が聞こえます。

9

リークチェックが完了後、LEAKCHECK ウィンドウを閉じます。

PN 074-555-P1B

5.5.2.3.1  チューニングモードの構成要素

図 5-14は、TUNE ウィンドウの様々な構成要素を示したものです。本項では、様々な 構成要素の概要を示し、それらの機能について説明します。

図 5-14  チューニングモードの構成要素

1

CHANGE TUNE MASSES ― Transpector MPS のチューニングに使用する質 量を変更するには、CHANGE TUNE MASSES をクリックします。チューニング に使用する質量の編集が可能な Tune Table Editor が表示されます。図 5-15を ご参照ください。

図 5-15  Tune Table Editor

1 2

3

4 5

6 7

8

9

10 11

13 8

11

12

5 - 18

PN 074-555-P1B

3

SCAN WIDTH ― SCAN WIDTH のドロップダウンリストでは、質量ポジション からのスキャン幅を設定します。これは、予想される質量ポジションから遠く隔たっ た質量を探す際に有用です。

4

INTENSITY と 10% R ― チューニングするピークの強度（単位は Amps）を表示 します。10% Rのボックスは、ピークの10%の高さにおけるピーク幅を表示します。

5

EMISSION と EM の制御 ― エミッションと電子増倍管のオン／オフを切り替えま す。

6

MASS TARGET ― 検出対象のピークには赤いラインが表示されます。

例えば、質量 2 をスキャンする場合、質量 2 が質量目標として表示されます。

7

スペクトルデータ ― このラインは、SCAN WIDTH で選択したスキャン幅に対する Transpector MPS のデータを表示します。

8

POSITION ボタン ― POSITION ボタンはピークの位置を変更します。両側にそれ ぞれ異なる 2 つのボタンがあります。シングルボタン（＜または＞）はピークの位置 を小刻みに移動します。ダブルボタン（＜＜または＞＞）によるピークの移動量は、

シングルボタンを 10 回押した時の移動量に相当します。

注： POSITION ボタンはピークを矢印の方向に移動します（＜＜ボタンはピークを 左に移動）。

9

WIDTH ボタン ― WIDTH ボタンは、目標の 10% R が得られるよう、ピークの幅を 広げる、あるいは狭めることにより調整します。シングルボタン（＜または＞）は ピークの幅を小刻みに変更します。ダブルボタン（＜＜または＞＞）による変更量は、

シングルボタンを 10 回押した時の変更量に相当します。

注： WIDTH ボタンには指向性はありません。例えば、＜＜ボタンや＞＞ボタンは 当該質量の両側に均等に幅を広げます。

10

Transpector MPS のスキャンパラメータ ― これらのスキャンパラメータは、

Transpector MPS のスキャンに作用します。パラメータを Transpector MPS に 送信するには SET をクリックしてください。

DWELL . . .  Transpector MPS が収集ポイント毎にデータ を平均化する時間長（dwell time）。Dwell time を延長すると、ノイズは低減しますがスキャン時 間が長くなります。Dwell time を短縮すると、

ノイズは増加しますがスキャン時間が短くなり ます。

ppAMU. . .  Transpector MPS が AMU 毎に収集するデー タポイントの数。1 ppAMU の場合、整数の AMU 値のデータポイント毎に棒グラフが作成されま す。1 ppAMU を超える場合、ピークの形状を 示すアナログスキャンによるグラフが作成され ます。

PN 074-555-P1B

EM VOLTAGE. . .  EM の電圧（EM を装備している場合）。EM の 最小電圧は 600 V です。EM の最大電圧は 2,000 V です。EM のデフォルト電圧は 800 V です。この値を変更することは、電子増倍管のゲ インに影響します。この値を変更することが有用 なのは、ピークをノイズ域から分離したい場合に 限られます。EM VOLTAGE は、必ず熟練のオ ペレータが変更を行って下さい。

ROD POLARITY . . .  四重極ロッドの極性を指定します。ロッドの極性 は、Transpector MPS 毎に最適なチューニン グ品質が得られるよう、出荷前に設定されていま す。この設定は、インフィコンからの指示がない 限り変更しないでください。

SENSOR TYPE  . . .  センサが装備している検出器のタイプ（EM と FC の併用、または FC 単用）を指定します。こ の設定は、インフィコンからの指示がない限り変 更しないでください。

EMISSION CURRENT . . .  エミッション電流は、イオンソースのフィラメン トの電流に影響を及ぼします。エミッション電流 は、Transpector MPS 毎に最適なチューニン グ品質が得られるよう、出荷前に設定されていま す。この設定は、インフィコンからの指示がない 限り変更しないでください。

FOCUS 電圧 . . .  イオンソースからイオンビームを発生させる フォーカスプレートの電圧を変更します。この電 圧は、Transpector MPS 毎に最適なチューニ ング品質が得られるよう、出荷前に設定されてい ます。この設定は、インフィコンからの指示がな い限り変更しないでください。

FILAMENT NUMBER  . . .  フィラメントの番号を指定します。

Transpector MPS はデュアルフィラメントを 採用しています。そのため、一方のフィラメント からもう一方のフィラメントへの切り替えが可 能です。

5 - 20

PN 074-555-P1B

5.5.2.3.2  チューニングモードのデフォルトパラメータ

TUNE ウィンドウに初めて移動した時に、Transpector Web UI は表 5-4に記載のデ フォルトのパラメータに設定されています。 

5.5.2.3.3  Transpector MPS のチューニング

通常動作時はチューニングが出荷時の初期チューニングから大きく逸脱することはあり ません。このチューニングガイドでは、センサの微調整についてのみ説明します。チュー ニングが著しく変化した場合は、インフィコンにご連絡ください。

Transpector MPS のチューニングには、質量の位置調整（ピークが正しい AMU の位 置に調整されていることを確認）と幅の調整があります。

残留ガス分析（RGA）装置のチューニングは、初心者がするべきことではありません。一 般的な手順については、6-15 ページの 6.6.1 項をご参照ください。インターフェイス に関わらず、何らかのチューニングを行う際には、事前にこれらのヒントや手順をよくお 読みください。Transpector Web UIインターフェイスを使用してのTranspector MPS のチューニングの手順は、以下の通りです。

1

CHANGE TUNE MASSES をクリックします。チューニング表が表示されます。

図 5-15をご参照ください。

 チューニング表から質量を削除するには、削除したい質量をクリックした後、

REMOVE ボタンをクリックします。

注意

質量 1、2、4 は削除しないでください。小さいチューニング質量

ドキュメント内 TSP-MPS-OM.book (ページ 92-96)