博 士 論 文 概 要

早稲田大学大学院理工学研究科

博 士 論 文 概 要

論   文   題   目

InP

プラットフォーム 光通信用 超高速

IC・OEIC

の研究

Study of Ultra-fast ICs and OEICs for Optical Communication Systems on InP Platform

申  請  者

佐野 公一

Kimikazu Sano

2004 年 5 月

氏  名

専攻・研究指導 (課程内のみ)

1

イ ン タ ー ネ ッ ト に 代 表 さ れ る 情 報 通 信 の 進 展 に 伴 い 、 急 増 す る 通 信 量 に 対 応 す る べ く 、 高 速 ・ 大 容 量 な 光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム の 構 築 が 望 ま れ て い る 。 電 気 集 積 回 路( I C )は 光 通 信 シ ス テ ム に お い て 信 号 の 多 重 ・ 分 離 ・ 再 生 ・ 識 別 等 の 処 理 を 司 る キ ー 部 品 で あ り 、 高 速 ・ 大 容 量 な 光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム の 実 現 に は 電 気 I C の 高 速 化 が 必 須 で あ る 。 本 研 究 は 、 高 速 性 お よ び 光 電 変 換 特 性 に 優 れ た I n P ベ ー ス の 電 子 デ バ イ ス 及 び 光 電 変 換 デ バ イ ス を 用 い 、 伝 送 速 度 4 0 G b i t / s 更 に は

1 0 0 G b i t / s 級 の 超 高 速 ・ 大 容 量 光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム に 適 用 可 能 な 、世 界 最 高 速

級 の 電 気 I C 及 び 光 電 融 合 I C ( O E I C )の 実 現 を 目 指 し 行 っ た も の で あ る 。

本 論 文 は 7 つ の 章 か ら 構 成 さ れ る 。 以 下 、 各 章 ご と の 概 要 に つ い て 述 べ る 。 第 1 章 は 「 序 論 」 で あ る 。 ま ず 本 研 究 の 背 景 を 鮮 明 に す る べ く 、1 )光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム の 歴 史 、2 )光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム の 構 成 、3 )光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム 用 電 気 I C に つ い て 概 観 す る 。次 い で 、本 研 究 の 位 置 付 け と 本 論 文 の 構 成 に つ い て 述 べ る 。

第 2 章 は「4 0 G b i t / s 級 多 ビ ッ ト 多 重 回 路 ・ 分 離 回 路 の タ イ ミ ン グ 設 計 手 法 と I n P

H E M T を 用 い た 実 証 」 に つ い て で あ る 。4 0 G b i t / s 級 の 単 一 論 理 ゲ ー ト の デ ジ タ ル

回 路 （ 単 体 の フ リ ッ プ フ ロ ッ プ 等 ） は 本 研 究 開 始 以 前 に 実 現 さ れ て い た が 、 実 際 の 光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム で 使 用 さ れ る 多 ビ ッ ト の 多 重 回 路( M u l t i p l e x e r : M U X ) 及 び 分 離 回 路( D e m u l t i p l e x e r : D E M U X )等 の デ ジ タ ル 回 路 で は 複 数 の 論 理 ゲ ー ト を 集 積 す る 必 要 が あ る 。 こ の と き 4 0 G b i t / s と い う 超 高 速 動 作 下 で あ る た め に 各 ゲ ー ト に お け る ク ロ ッ ク 信 号 と デ ー タ 信 号 間 の タ イ ミ ン グ は マ ー ジ ン が 少 な く 、 精 密 な タ イ ミ ン グ 設 計 手 法 が 必 要 と な る 。本 章 で は 、4 0 G b i t / s 級 の ビ ッ ト 数 4 の M U X・ D E M U X す な わ ち 4 : 1 M U X・1 : 4 D E M U X を 例 に 取 り 、 そ の タ イ ミ ン グ 設 計 手 法 に つ い て 述 べ る 。4 0 G b i t / s 級 に お い て 正 常 な 動 作 を 得 る に は 、 デ ー タ 信 号 と ク ロ ッ ク 信 号 間 の タ イ ミ ン グ を 最 小 で 数 p s の オ ー ダ で 制 御 す る 必 要 が あ る こ と が 明 ら か に な る 。次 い で こ の タ イ ミ ン グ 設 計 手 法 に 基 づ き 試 作 し た I n P H E M T に よ る 4 : 1 M U X I C と 1 : 4 D E M U X I C の 評 価 結 果 に つ い て 述 べ る 。試 作 し た 4 : 1 M U X I C 及 び 1 : 4 D E M U X I C は 共 に 設 計 仕 様 通 り 4 G b i t / s か ら 5 0 G b i t / s ま で 連 続 的 に 動 作 し た こ と か ら 、 本 タ イ ミ ン グ 設 計 手 法 の 妥 当 性 が 検 証 さ れ る 。

第 3 章 は 「4 0 G b i t / s 級 多 ビ ッ ト 多 重 回 路 ・ 分 離 回 路 の 低 消 費 電 力 構 成 法 と I n P H E M T、I n P H B T を 用 い た 実 証 」 に つ い て で あ る 。4 0 G b i t / s 級 の 多 ビ ッ ト 多 重 回 路

( M U X )・ 分 離 回 路( D E M U X )は 、複 数 の 2 : 1 の 多 重 部 分 ・1 : 2 の 分 離 部 分 を 反 復 的 に

配 置 す る 構 成(ツ リ ー 型 構 成)に よ り 実 現 さ れ る の が 一 般 的 で あ る 。 こ の ツ リ ー 型 構 成 は 、1 )ク ロ ッ ク 信 号 は 高 速 I C で 広 く 用 い ら れ て い る 差 動 形 式 で 動 作 可 、2 ) ト ラ ン ジ ス タ の 縦 積 み 段 数 が 最 大 2 段 で ド レ イ ン=ソ ー ス 間 （ も し く は コ レ ク タ= エ ミ ッ タ 間 ） の 電 圧 が 確 保 し や す い 、 等 の 利 点 が あ る 。 し か し な が ら ツ リ ー 構 成 は 、複 数 の 2 : 1 の 多 重 部 分 ・1 : 2 の 分 離 部 分 を 反 復 的 に 用 い る た め 、相 応 の 論 理 ゲ ー ト 数 が 必 要 と な り 消 費 電 力 は 増 大 す る 傾 向 に あ る 。 光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム 全

体 の 低 消 費 電 力 化 、 ま た 発 熱 に よ る 多 重 回 路 ・ 分 離 回 路 自 身 の 寿 命 ・ 信 頼 性 劣 化 抑 制 の 観 点 か ら 、多 ビ ッ ト 多 重 回 路 ・ 分 離 回 路 の 消 費 電 力 は 可 能 な 限 り 削 減 さ れ る こ と が 望 ま し い 。 そ こ で 本 章 で は 、 多 ビ ッ ト M U X・D E M U X の 低 消 費 電 力 回 路 構 成 を 提 案 す る 。そ の 回 路 構 成 と は 、ト グ ル ・ フ リ ッ プ フ ロ ッ プ( To g g l e F l i p - F l o p : T F F )で 発 生 す る 多 相 ク ロ ッ ク を 活 用 す る 多 相 ク ロ ッ ク 型 構 成( M u l t i - P h a s e C l o c k A r c h i t e c t u r e : M P C 型 )で あ る 。 こ の 多 相 ク ロ ッ ク 型 構 成 に よ る 4 : 1 M U X・ 1 : 4 D E M U X I C を I n P H E M T を 用 い て 試 作 、4 0 G b i t / s 級 の 使 用 に 対 し て 十 分 マ ー ジ ン の あ る 5 0 G b i t / s 動 作 を ツ リ ー 型 構 成 の 1 / 3 以 下 の 消 費 電 力 で 達 成 し た 。 ま た I n P H B T を 用 い て も 多 相 ク ロ ッ ク 型 構 成 4 : 1 M U X・1 : 4 D E M U X を 検 証 、4 : 1 M U X は 4 0 G b i t / s 動 作 、1 : 4 D E M U X は 5 0 G b i t / s 動 作 を ツ リ ー 型 構 成 の 1 / 2 以 下 の 消 費 電 力 で 実 現 し た 。

第 4 章 は 「I n P H E M T を 用 い た 4 0 G b i t / s 級 リ ミ ッ テ ィ ン グ ア ン プ の 設 計 手 法 と 評 価 」 に つ い て で あ る 。 デ ジ タ ル 回 路 の み な ら ず 、 増 幅 器( A m p l i f i e r :ア ン プ)に 代 表 さ れ る ア ナ ロ グ 回 路 も 4 0 G b i t / s 級 光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム に は 不 可 欠 な 回 路 部 品 で あ る 。 ア ナ ロ グ 回 路 は 個 別 部 品 と し て 使 用 さ れ る こ と は も ち ろ ん 、 デ ジ タ ル 回 路 中 に バ ッ フ ァ ア ン プ 等 と し て 集 積 さ れ て い る こ と も 多 く 、 そ の 性 能 が シ ス テ ム に 及 ぼ す 影 響 は 大 き い 。 本 章 で は 、4 0 G b i t / s 級 光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム に 必 要 な ア ナ ロ グ 回 路 の 1 つ で あ る リ ミ ッ テ ィ ン グ ア ン プ に つ い て 、I n P H E M T を 用 い た 場 合 の 設 計 手 法 を 述 べ る 。 リ ミ ッ テ ィ ン グ ア ン プ は 複 数 段 の 増 幅 器 か ら 構 成 さ れ る が 、 一 般 的 に こ の よ う な 構 成 で は 利 得 が 増 加 す る 分 だ け 帯 域 が 減 少 す る 。 こ の 利 得 と 帯 域 の ト レ ー ド オ フ の 関 係 は 、I n P H E M T の よ う に 速 度 的 に 最 先 端 の デ バ イ ス を 用 い る 場 合 で も 不 可 避 で あ り 、 可 能 な 限 り 帯 域 が 確 保 さ れ る よ う な 回 路 構 成 の 検 討 を 行 っ た 。 検 討 に お い て 最 も 帯 域 が 確 保 さ れ る こ と が 見 込 ま れ た 回 路 構 成 は 容 量 帰 還 ・ イ ン ダ ク タ ピ ー キ ン グ 併 用 型 で あ り 、 こ の 回 路 構 成 を 用 い て リ ミ ッ テ ィ ン グ ア ン プ を 試 作 し た 。 試 作 回 路 の 利 得 は 2 5 . 4 d B , 3 d B 帯 域 3 2 . 1 G H z で あ り 、4 3 G b i t / s 入 力 に 対 し て は 2 7 m V を 最 小 と し て 2 0 d B 以 上 の 入 力 ダ イ ナ ミ ッ ク レ ン ジ 、5 0 G b i t / s 入 力 に 対 し て は 5 9 m V を 最 小 と し て 1 6 d B 以 上 の 入 力 ダ イ ナ ミ ッ ク レ ン ジ を 有 し て い る こ と が 確 認 さ れ た 。

第 5 章 は 「I n P RT D、I n P U T C - P D を 用 い た 光 電 気 融 合 型 フ リ ッ プ フ ロ ッ プ の 構 成 法 と 実 証 」に つ い て で あ る 。光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム に 用 い ら れ る 回 路 の 中 で 、 遅 延 フ リ ッ プ フ ロ ッ プ( D e l a y e d F l i p - F l o p : D - F F )は 高 速 化 が 最 も 困 難 な 品 種 の 1 つ で あ る 。 こ れ は 回 路 中 に フ ィ ー ド バ ッ ク ・ パ ス が あ る こ と が 一 因 で あ り 、 そ の 最 高 動 作 速 度 は 本 研 究 の 開 始 時 点 で は 4 0 G b i t / s に 留 ま っ て い た 。 ま た 4 0 G b i t / s 以 上 の 動 作 速 度 で は 、 ケ ー ブ ル ・ コ ネ ク タ 等 の 回 路 の 入 力 イ ン タ ー フ ェ ー ス 部 分 の 帯 域 不 足 も 高 速 化 を 阻 害 す る 要 因 と な り 得 る 。超 4 0 G b i t / s D - F F を 実 現 す る に は 、こ れ ら 速 度 律 速 要 因 を 克 服 す る 新 し い D - F F の 回 路 構 成 を 探 求 す る 必 要 が あ る 。 本 章 で は 、4 0 G b i t / s を 超 え 1 0 0 G b i t / s 級 で 動 作 可 能 な D - F F の 回 路 構 成 と し て 、I n P

3

ベ ー ス の 共 鳴 ト ン ネ ル ダ イ オ ー ド( R e s o n a n t T u n n e l i n g D i o d e : RT D )と 単 一 走 行 キ ャ リ ア フ ォ ト ダ イ オ ー ド( U n i - T r a v e l i n g - C a r r i e r P h o t o d i o d e : U T C - P D )を 用 い た 光 電 気 融 合 型 D - F F を 提 案 す る 。RT D は フ ィ ー ド バ ッ ク ・ パ ス の 無 い フ リ ッ プ フ ロ ッ プ 機 能 を 提 供 、U T C - P D は 広 帯 域 な 光 入 力 イ ン タ ー フ ェ ー ス を 提 供 し 、 前 述 し た

D - F F の 速 度 律 速 要 因 を 克 服 す る 。最 初 に 回 路 シ ミ ュ レ ー シ ョ ン に よ り 、提 案 す る

光 電 気 融 合 型 D - F F を 検 証 し た 。 そ こ で は 4 0 G b i t / s 識 別 動 作 ・8 0 G b i t / s 分 離 動 作 が 示 さ れ る と 同 時 に 、U T C - P D の 接 続 位 置 の 違 い に よ る 論 理 振 幅 の 変 化 等 も 明 ら か に さ れ る 。 次 い で 、RT D と U T C - P D を モ ノ リ シ ッ ク 集 積 す る プ ロ セ ス に よ り 試 作 し た 提 案 D - F F の 実 証 結 果 に つ い て 述 べ る 。試 作 D - F F は わ ず か 1 0 m W 以 下 の 消 費 電 力 な が ら 4 0 G b i t / s 識 別 動 作 及 び 8 0 G b i t / s 分 離 動 作 が 確 認 さ れ た 。 ま た 回 路 シ ミ ュ レ ー シ ョ ン で 予 測 さ れ た U T C - P D の 接 続 位 置 の 違 い に よ る 論 理 振 幅 の 変 化 等 も 実 験 的 に 確 認 さ れ た 。

第 6 章 は 「I n P RT D、I n P U T C - P D を 用 い た 光 電 気 融 合 型 フ リ ッ プ フ ロ ッ プ の 高 速 化 設 計 手 法 と 実 証 」 に つ い て で あ る 。 前 章 に お い て 、RT D と U T C - P D を 用 い た D - F F を 提 案 し 、4 0 G b i t / s の 識 別 動 作(デ ー タ 入 力 4 0 G b i t / s ,ク ロ ッ ク 入 力 4 0 G H z )及 び 8 0 G b i t / s の 分 離 動 作(デ ー タ 入 力 8 0 G b i t / s ,ク ロ ッ ク 入 力 4 0 G H z )を 実 証 し た 。 し か し な が ら 、こ れ ら 実 証 し た 動 作 に お け る ク ロ ッ ク 周 波 数 は 4 0 G H z に 留 ま っ て い る 。 将 来 の 1 0 0 G b i t / s 級 光 フ ァ イ バ 通 信 シ ス テ ム で は 、D - F F は 最 大 で 1 0 0 G H z の ク ロ ッ ク 周 波 数 に 対 し て 動 作 す る こ と が 必 要 で あ る ( 1 0 0 G b i t / s 識 別 動 作 時)。 従 っ て 提 案 し た 光 電 融 合 型 D - F F を 1 0 0 G b i t / s シ ス テ ム に 供 す る に は 、1 0 0 G H z の ク ロ ッ ク 入 力 ま で 対 応 で き る よ う 高 速 化 す る 必 要 が あ る 。 本 章 で は 、 前 章 で 提 案 し

た RT D と U T C - P D に よ る 光 電 気 融 合 型 D - F F の 高 速 化 設 計 手 法 と そ の 実 証 結 果 に

つ い て 述 べ る 。提 案 D - F F の 高 速 化 に は 、RT D と U T C - P D の 容 量 成 分 を 流 れ る A C 電 流 を 考 慮 し た 設 計 が 必 須 で あ る こ と が 示 さ れ る 。 こ の 設 計 手 法 に 基 づ き 試 作 し た 光 電 気 融 合 型 D - F F は 、 測 定 系 の 上 限 の 8 0 G b i t / s に お い て 識 別 動 作(デ ー タ 入 力

8 0 G b i t / s ,ク ロ ッ ク 入 力 8 0 G H z )す る こ と が 確 認 さ れ る 。更 に 、試 作 回 路 が 対 応 可 能

な ク ロ ッ ク 周 波 数 の 上 限 を 見 積 も る べ く 、 提 案 D - F F の 動 作 速 度 解 析 を 行 っ た 。 試 作 回 路 の 動 作 速 度 は 、搭 載 さ れ た U T C - P D の 帯 域 に よ り 8 0 G H z 程 度 が 上 限 速 度 と 予 測 さ れ る も の の 、既 報 告 の よ り 広 帯 域 な U T C - P D に 置 き 換 え る こ と で 1 0 0 G H z 以 上 の 動 作 が 十 分 可 能 で あ る こ と が 示 さ れ る 。

第 7 章 は 「 結 論 と 将 来 展 望 」 で あ る 。 本 研 究 で 得 ら れ た 結 果 と 成 果 を ま と め た

後 、I n P プ ラ ッ ト フ ォ ー ム 超 高 速 I C・O E I C の 今 後 に つ い て 述 べ る 。

研 究 業 績

                   

種 類 別 

  題名、  発表・発行掲載誌名、  発表・発行年月、  連名者（申請者含む）

 

○論文 

（本論文） 

     

○論文 

（本論文） 

     

○論文 

（本論文） 

       

○論文 

（本論文） 

       

○論文 

（レター） 

   

○論文 

（レター） 

     

○論文 

（レター） 

   

○論文 

（レター） 

       

○論文 

(国際会 議) 

     

○論文 

(国際会 議) 

   

 

“50-Gbit/s InP HEMT 4:1 Multiplexer / 1:4 Demultiplexer Chip Set with a Multiphase Clock Architecture”, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, Vol. 51, No.12, pp. 2548-2554 (2003), K. Sano, K. Murata, H. Kitabayashi, S. Sugitani, H.

Sugahara, and T. Enoki

“50-Gbit/s 4-b Multiplexer / Demultiplexer Chip Set using InP HEMTs”, IEEE Journal of Solid-State Circuits, Vol. 38, No. 9, pp. 1504-1511 (2003), K. Sano, K. Murata, S.

Sugitani, H. Sugahara, and T. Enoki

“An 80-Gb/s Optoelectronic Delayed Flip-Flop IC Using Resonant Tunneling Diodes and Uni-Traveling-Carrier Photodiode”, IEEE Journal of Solid-State Circuits, Vol. 36, No. 2, pp. 281-289 (2001), K. Sano, K. Murata, T. Otsuji, T. Akeyoshi, N. Shimizu, and E.

Sano

“Ultra-Fast Optoelectronic Decision Circuit Using Resonant Tunneling Diodes and Uni-Traveling-Carrier Photodiode”, IEICE Transactions on Electronics, Vol. E82-C, No.

9, pp. 1638-1646 (1999), K. Sano, K. Murata, T. Otsuji, T. Akeyoshi, N. Shimizu, M.

Yamamoto, T. Ishibashi, and E. Sano

“Low-power 50-Gbit/s InP HBT 1:4 Demultiplexer IC with Multiphase Clock Architecture”, IEE Electronics Letters, Vol. 39, No. 18, pp. 1332-1334 (2003), K. Sano, M. Hirata, K. Murata, S. Yamahata, M. Ida, K. Kurishima, T. Enoki, and H. Sugahara

“50-Gbit/s Demultiplexer IC Module using InAlAs/InGaAs/InP HEMTs”, IEICE Transactions on Electronics, Vol. E83-C, No. 11, pp. 1788-1790 (2000), K. Sano, K.

Murata, and Y. Yamane

“80 Gbit/s Optoelectronic Delayed Flip-Flop Circuit using Resonant Tunneling Diodes and Uni-Travelling-Carrier Photodiode”, IEE Electronics Letters, Vol. 35, No. 16, pp.

1376-1377 (1999), K. Sano, K. Murata, T. Otsuji, T. Akeyoshi, N. Shimizu, and E. Sano

“Ultra-fast Optoelectronic Circuit using Resonant Tunneling Diodes and Uni-Travelling-Carrier Photodiode”, IEE Electronics Letters, Vol. 34, No.2, pp. 215-216 (1998), K. Sano, K. Murata, T. Akeyoshi, N. Shimizu, T. Otsuji, M. Yamamoto, T.

Ishibashi, and E. Sano

“1.4-W 50-Gbit/s InP HEMT 1:4 Demultiplexer IC with a Multi-phase Clock Architecture”, 2003 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, WE5D-3, pp.1181-1184 (2003), K. Sano, K. Murata, H. Kitabayashi, S. Sugitani, H. Sugahara, and T. Enoki,

“ 1.7-W 50-Gbit/s InP HEMT 4:1 Multiplexer IC with a Multi-phase Clock Architecture”, 2002 IEEE GaAs IC Symposium, LN.4, pp. 159-162 (2002), K. Sano, K. Murata, S.

Sugitani, H. Sugahara, and T. Enoki

6

研 究 業 績        

種 類 別    題名、  発表・発行掲載誌名、  発表・発行年月、  連名者（申請者含む）

○論文 

(国際会 議) 

   

○論文 

(国際会 議) 

     

○論文 

(国際会 議)

      講演 

（招待,国 際会議） 

    講演 

（招待,国 際会議） 

   

講演

（招 待,国内学 会）

 

   

講演

（招 待,国内学 会）

 

 

講演

（国 内学会）

 

     

講演

（国 内学会）

 

   

 

講演

（国 内学会）

 

     

講演

（国 内学会）

 

 

 

“50-Gbit/s 4-bit Multiplexer/Demultiplexer Chip-set using InP HEMTs”, 2002 IEEE GaAs IC Symposium, I.2, pp. 207-210 (2002), K. Sano, K. Murata, S. Sugitani, H.

Sugahara, and T. Enoki

“Data Limiting-Amplifier, Data Distributor, and Clock Distributor ICs for 40-Gbit/s-class Optical Communication Systems using InP HEMTs”, 2002 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), E-4-2, pp.296-297 (2002), K. Sano, K.

Murata, S. Sugitani, H. Sugahara, and T. Enoki

“Ultrafast Optoelectronic Time-division Demultiplexer IC Using Resonant Tunneling Diodes and a Uni-traveling-Carrier Photodiode”, International Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO), CFB1, pp. 499-500 (1998), K. Sano, K. Murata, T. Otsuji, T.

Akeyoshi, N. Shimizu, M. Yamamoto, T. Ishibashi, and E. Sano

“InP-based Optical System ICs Operating at 40 Gbit/s and Beyond”, 2004 IEEE RFIC Symposium, TU3A-1 (2004), K. Sano, K. Murata, H. Fukuyama, S. Tsunashima, K. Ishii, K. Kurihsima, H. Matsuzaki, T. Enoki, H. Sugahara, and M. Muraguchi

“Monolithic Digital Optoelectronic ICs towards 100 Gbit/s”, International Conference on Ultra-fast Electronics and Optoelectronics (UEO), UWB1-1, pp. 22-24 (2001), K. Sano, K. Murata, T. Otsuji, T. Akeyoshi, N. Shimizu, M. Yamamoto, T. Ishibashi, and E. Sano

“多相クロックアーキテクチャ回路設計技術”,

電気学会 超高速デバイス・回路

調査専門委員会講演, 於: 法政大学小金井キャンパス, 2003 年

11

月

20

日、佐野公 一

“InP

プラットフォーム超高速

IC / OEIC”, 2002

年電子情報通信学会 全国大会,

SC-4-7,

論文集

1 pp. 455-456 (2002),

佐野公一, 村田浩一, 菅原裕彦, 榎木孝知

“多相クロック構成による50Gbit/s InP HEMT 4:1

マルチプレクサ / 1:4 デマルチ

プレクサ

IC”, 2003

年電子情報通信学会 ソサエティ大会, C-10-3, 論文集

2 pp. 54 (2003),

佐野公一

,

村田浩一

,

北林博人

,

杉谷末広

,

菅原裕彦

,

榎木孝知

“多相クロックアーキテクチャによる1.7 W 50 Gbit/s InP HEMT 4:1

マルチプレク

サ

IC”,

電子情報通信学会 電子デバイス研究会, ED2002-259, pp.25-30 (2003), 佐 野公一

,

村田浩一

,

杉谷末広

,

菅原裕彦

,

榎木孝知

“InAlAs/InGaAs/InP HEMT

による

50-Gbit/s 1:2

デマルチプレクサモジュール

”, 2000

年電子情報通信学会 ソサエティ大会, C-10-15, 論文集

2 pp. 67 (2000),

佐野 公一, 村田浩一, 山根康朗

“

共鳴トンネルダイオードと単一走行キャリアフォトダイオードを用いた

80Gbit/s

光電気融合

D

フリップフロップ回路”, 電子情報通信学会 電子デバイス研究会,

ED99-264, pp.35-40 (2000), 佐野公一,

村田浩一, 尾辻泰一, 明吉智幸, 清水直文,

佐野栄一

研 究 業 績        

種 類 別    題名、  発表・発行掲載誌名、  発表・発行年月、  連名者（申請者含む）

講演

（国 内学会）

 

       

講演

（国 内学会）

 

   

 

講演

（国 内学会）

 

     

 

講演

（国 内学会）

 

     

その他

（論文国 際会議） 

     

その他

（レター）

 

 

その他

（レター） 

 

  その他

（国内学 会） 

 

  その他

（特許） 

   

その他

（特許） 

   

“

共 鳴 ト ン ネ ル ダ イ オ ー ド と 単 一 走 行 キ ャ リ ア フ ォ ト ダ イ オ ー ド を 用 い た

80Gbit/s

光電気融合

D-FF IC”, 1999

年電子情報通信学会 ソサエティ大会,

C-10-25,

論文集

2 pp. 62 (1999),

佐野公一

,

村田浩一

,

尾辻泰一

,

明吉智幸

,

清水 直文

,

佐野栄一

“共鳴トンネルダイオードと単一走行キャリアフォトダイオードを用いた超高速

光電気融合識別回路構成の検討” 1999 年電子情報通信学会 全国大会, C-10-15, 論 文集

2 pp. 87 (1999),

佐野公一

,

村田浩一

,

明吉智幸

,

佐野栄一

“

共鳴トンネルダイオードと単一走行キャリアフォトダイオードを用いた

80Gbit/s

光電気融合 DEMUX IC”, 1998 年電子情報通信学会 ソサエティ大会, C-10-12, 論 文集

2 pp. 59 (1998),

佐野公一, 村田浩一, 明吉智幸, 清水直文, 尾辻泰一, 佐野栄 一

“共鳴トンネルダイオードと単一走行キャリアフォトダイオードを用いた光電気

融合回路”, 電子情報通信学会 第

3

回マイクロ波フォトニクス研究会, MWP98-2,

pp. 7- 12 (1998),

佐野公一

,

村田浩一

,

佐野栄一

,

清水直文

,

明吉智幸

,

山本眞史

,

石橋忠夫

“75-GHz Optical Clock Divide-by-Two OEIC using InP HEMTs and Uni-Traveling-Carrier Photodiode”, 2003 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM), G-7-4, pp.902-903 (2003), K. Sano, K. Murata, H.

Matsuzaki, H. Kitabayashi, T. Akeyoshi, H. Ito, T. Enoki, and H. Sugahara

“SCFL-Compatible 40-Gbit/s RTD/HEMT Selector Circuit”, IEICE Trans. Electron., Vol.

E83-C, No. 10, pp. 1690-1692 (2000), K. Sano, K. Murata, and H. Matsuzaki  

“44 Gbit/s GaAs MESFET selector IC”, IEE Electronics Letters, Vol. 33, No. 16, pp.

1377-1378 (1997), K. Sano, K. Murata, and K. Nishimura  

“GaAs MESFET

を用いた

44Gbit/s

セレクタ

IC”, 1997

年電子情報通信学会 ソサエ ティ大会

, C-10-31,

論文集

2 pp. 62 (1997),

佐野公一

,

村田浩一

,

徳光雅美

 

 

“識別回路”,

特願平

9-208308, (2003

年

8

月

15

日特許成立), 佐野公一, 村田浩一, 尾辻泰一

“識別回路”,

特願平

11-140938, (2003

年

10

月

2

日特許成立), 佐野公一, 村田浩一