博 士 論 文 概 要
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(2) 本研究は医用超音波プローブの超音波送受信素子として有望な鉛系圧電単結晶 材料に関する研究である。本研究では従来の圧電セラミックス材料と比較して優 れ た 誘 電 ･ 圧 電 特 性 を 有 す る Pb(Zn1/3Nb2/3)O3 -PbTiO3(PZNT) や Pb(Mg1/ 3Nb2/3)O3 P b Ti O 3 ( P M N T ) 圧 電 単 結 晶 を 超 音 波 プ ロ ー ブ に 適 応 し た 際 に 生 じ る 問 題 を 解 決 す べく新規の圧電単結晶材料を開発することを目的とした。本研究のオリジナリテ ィは次の３点である。 ま ず 、 は じ め に PZNT、 PMNT 単 結 晶 の 誘 電 ･圧 電 特 性 の 耐 熱 性 、 耐 電 圧 性 と 材 料 の 相 転 移 温 度 (Trt： 菱 面 晶 か ら 正 方 晶 へ の 相 転 移 )、 キ ュ リ ー 温 度 (Tc： 正 方 晶 か ら 立 方 晶 へ の 相 転 移 ) の 関 係 を 整 理 し 、特 性 劣 化 に 影 響 を 与 え る 要 因 を 明 ら か に し た。次に、ペロブスカイト構造を有する圧電材料の電気機械結合係数とペロブス カ イ ト 構 造 を 構 成 す る A - B サ イ ト 間 の 質 量 差 に 正 の 相 関 が あ る こ と を 見 出 し 、新 た な 材 料 開 発 指 針 を 策 定 し た 。 最 後 に 上 記 材 料 開 発 指 針 に 基 づ き P b ( I n 1 / 2 N b 1 / 2 ) O 3 - P b ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) O 3 - P b Ti O 3. (PIMNT). 、. Pb(Sc1/2Nb1/2)O3-. P b ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) O 3 - P b Ti O 3 ( P S M N T ) ３ 成 分 系 材 料 を 提 案 し 、 世 界 で 初 め て そ れ ら の 単 結 晶 を 育 成 し 、 特 に PIMNT 単 結 晶 に お い て 高 い キ ュ リ ー 温 度 と 優 れ た 誘 電 ･圧 電特性を実証した。 本論文は７章から構成されており、以下にその概要を述べる。 第１章では、圧電材料の基礎、超音波プローブの基礎、既報の関連研究例につ い て 述 べ た 後 、本 研 究 の 目 的 と 意 義 を 明 ら か に し た 。本 研 究 で は 誘 電 ･ 圧 電 特 性 の 耐熱性、耐電圧性に優れる新規の圧電単結晶材料を開発することを目的とした。 第 ２ 章 で は 、P Z N T 9 1 / 9 単 結 晶 を 超 音 波 プ ロ ー ブ に 用 い た 際 に 生 じ る 問 題 と 単 結 晶 材 料 の 物 性 と の 関 係 を 整 理 し 、 特 性 劣 化 の 要 因 に つ い て 検 討 し た 。 PZNT91/9 単 結 晶 の 誘 電 ･圧 電 特 性 は 菱 面 晶 か ら 正 方 晶 へ の 相 転 移 温 度 (Trt)で 大 き く 変 化 し 、 特 に Trt が 70℃ 以 下 の 場 合 、 超 音 波 プ ロ ー ブ 応 用 で は 必 ず し も 十 分 な 耐 熱 性 で は な い 。相 転 移 に 伴 う 特 性 劣 化 に 関 し て は 、菱 面 晶 (001)板 で は ４ 本 の 分 極 軸 が ３ 次 元 的 に 対 称 に 存 在 す る た め 安 定 で あ る の に 対 し 、正 方 晶 ( 0 0 1 ) 板 で は １ 本 の 分 極 軸 が １ 次 元 的 に 存 在 す る た め 不 安 定 と な る も の と 考 察 し た 。そ こ で Ti 量 を 減 少 さ せ Trt を 上 昇 さ せ た PZNT93/7 単 結 晶 を 提 案 し 、 PZNT91/9 単 結 晶 と 同 等 の 誘 電 ･圧 電 特 性 を 有 す る こ と と 、そ の 誘 電 ･ 圧 電 特 性 を 1 0 0 ℃ 程 度 ま で 安 定 化 で き る こ と を 実 証 し た 。 さ ら に PZNT93/7 単 結 晶 を 用 い て 循 環 器 用 プ ロ ー ブ を 作 製 ･ 評 価 し て PZNT91/9 単 結 晶 プ ロ ー ブ と 同 等 の 高 感 度 ･広 帯 域 特 性 を 有 す る こ と を 実 証 し た 。 し か し な が ら PZNT93/7 単 結 晶 プ ロ ー ブ は Trt の 上 昇 に よ っ て 耐 熱 性 が 向 上 し た も の の 、 Tc の 低 下 に よ っ て 抗 電 界 (Ec)が 低 下 し 耐 電 圧 性 に 新 た な 問 題 を 生 じ る こ と が 判 明 し た 。 菱 面 晶 系 の 圧 電 単 結 晶 材 料 に お い て 、 誘 電 ･圧 電 特 性 の 耐 熱 性 に は Trt が 、 耐 電 圧 性 に は Tc が 支 配 的 で あ っ た 。 1.
(3) 第 ３ 章 で は 、T r t を 上 昇 さ せ る と T c が 低 下 す る と い っ た 圧 電 単 結 晶 の 性 質 を 上 手 く 利 用 す る こ と で 、誘 電 ･ 圧 電 特 性 の 耐 熱 性 お よ び 耐 電 圧 性 を 向 上 さ せ る こ と を 目 指した。使用温度範囲から相転移温度を外すことで耐熱性を向上できるのではな い か と 考 え た た め で あ る 。 そ こ で 第 ２ 章 と は 反 対 に Ti 量 を 増 加 さ せ る こ と で T c を 上 昇 さ せ 、T r t を 室 温 以 下 ( 実 使 用 温 度 以 下 ) と し た 正 方 晶 組 成 の P M N T 単 結 晶 に 注 目 し 、 各 方 位 面 ( 0 0 1 ) 、 ( 11 0 ) 、 ( 111 ) で の 誘 電 ･ 圧 電 特 性 を 明 ら か に し た 。 特 に 、 正 方 晶 組 成 単 結 晶 ( 11 0 ) 板 で は ア レ イ 型 プ ロ ー ブ に お い て 重 要 な 短 冊 状 試 料 で の 縦 振 動 モ ー ド の 結 合 係 数 (k33') が 高 く 、 プ ロ ー ブ の 高 感 度 ･ 広 帯 域 化 に 有 効 で あ る も の の 、 k33'が 温 度 上 昇 と も に 低 下 し て し ま う こ と が 判 明 し た 。 k33'の 温 度 に 対 す る 不 安 定 性 は 正 方 晶 組 成 単 結 晶 ( 11 0 ) 板 の 分 域 構 造 に 起 因 す る こ と を 示 し 、 k 3 3 ' の 温 度 安 定 性 に 対 し て は 菱 面 晶 組 成 単 結 晶 (001) 板 の 分 域 構 造 が 有 利 で あ る こ と を 明 ら か に し た 。 誘 電 ･圧 電 特 性 の 耐 熱 性 と 耐 電 圧 性 を 保 証 す る た め に は 、 高 い Trt と Tc を 同 時 に 満 た す 菱 面 晶 系 の 圧 電 単 結 晶 材 料 を 開 発 す る 必 要 が あ っ た 。 第 ２ 、 ３ 章 で 得 た 知 見 よ り 、 超 音 波 プ ロ ー ブ 応 用 で は 高 い Trt と Tc を 同 時 に 満 たす菱面晶系の圧電単結晶材料が有望である。そこで第４、５、６章では第３章 で 扱 っ た PMNT の Mg の 一 部 を In あ る い は Sc で 固 溶 置 換 す る こ と に よ っ て Trt と T c の 上 昇 を 目 指 し た 。ま ず 、第 ４ 章 で は 上 記 材 料 系 を 選 択 し た 理 由 に つ い て 述 べ た 。 ペ ロ ブ ス カ イ ト 型 強 誘 電 体 材 料 (ABO3 お よ び A(B. B. )O3)に お け る A､B. サイトイオンの質量差と圧電特性との関係について注目し、これまでに知られて いるペロブスカイト型強誘電体材料の結合係数とペロブスカイト構造を構成する A-B サ イ ト イ オ ン の 質 量 差 に 正 の 相 関 が あ る こ と を 見 出 し た 。 B サ イ ト に 軽 い 元 素 を 導 入 す る こ と で A､B サ イ ト イ オ ン 間 の 相 対 振 動 が 増 大 し 圧 電 特 性 が 向 上 す る も の と 考 え 、T c を 上 昇 さ せ る こ と の で き る 元 素 の 中 で 最 も 軽 い B サ イ ト 元 素 で あ る In と Sc に 注 目 し 、 PIMNT、 PSMNT３ 成 分 系 材 料 を 研 究 対 象 と す る こ と に し た 。 次 に PIMNT３ 成 分 系 セ ラ ミ ッ ク ス を 作 製 ･評 価 し て 、 本 系 の 有 効 性 を 証 明 す る と と も に 単 結 晶 の 育 成 組 成 を 決 定 し た 。 PIMNT セ ラ ミ ッ ク ス の Tc は 組 成 的 相 境 界 付 近 の 組 成 に お い て 160℃ 〜 320℃ の 範 囲 で 調 整 可 能 で あ る こ と が 判 明 し た 。 特 に 、P I M N T 1 6 / 5 1 / 3 3 の 組 成 に お い て 高 い T c ( = 1 9 7 ℃ ) と 優 れ た 圧 電 特 性 ( 円 板 状 試 料 で の 広 が り 振 動 モ ー ド の 結 合 係 数 kp=67.1%)を 併 せ 持 つ こ と を 実 証 し た 。 第 ５ 章 で は セ ラ ミ ッ ク ス に お い て 高 い Tc と 優 れ た 圧 電 特 性 を 示 す PIMNT 、 P S M N T ３ 成 分 系 材 料 の 単 結 晶 育 成 が 可 能 で あ る か ど う か を 確 認 し た 。比 較 的 育 成 温 度 の 高 い 本 系 で は フ ラ ッ ク ス へ の B2O3 添 加 が PbO の 蒸 発 を 抑 制 す る の に 有 効 で あ る こ と が 判 明 し た 。 PIMNT 系 に お い て は PbO-B2O3 を フ ラ ッ ク ス に 用 い 、 1230℃ か ら 1.2℃ /h で 徐 冷 す る こ と で 、 30mm×20mm 程 度 の 比 較 的 大 型 の 単 結 晶 が 得 ら れ た 。 得 ら れ た 単 結 晶 の (001) 板 に お い て Tc=187 ℃ 、 分 極 後 の 誘 電 率 2.
(4) ε33T/ε0=4000、 圧 電 定 数 d33=2200pC/N を 確 認 し た 。 本 系 が 従 来 の PZNT、 PMNT 単 結 晶 (Tc=150〜 175℃ 、 d33=2000〜 2400pC/N)よ り 高 い Tc と 同 等 の d33 を 併 せ 持 つ 材 料 で あ る こ と を 発 見 し た 。 PSMNT 系 に お い て も PbO-B2O3 を フ ラ ッ ク ス に 用 い 、 1200℃ か ら 1.2℃ /h で 徐 冷 す る こ と で 単 結 晶 が 育 成 可 能 で あ っ た 。 得 ら れ た 結 晶 の 大 き さ は い ず れ も 2 - 7 m m 程 度 と 小 さ く 、ペ ロ ブ ス カ イ ト 構 造 を 示 す 淡 緑 色 結 晶 とパイロクロア構造を示す赤褐色結晶の 2 種類に大別された。結晶の大きさ、質 が 不 十 分 で あ っ た た め 圧 電 特 性 の 確 認 に は 至 ら な か っ た も の の 、高 い T r t = 1 2 0 ℃ と Tc=200℃ を 実 証 し た 。 第 ６ 章 で は 量 産 対 応 可 能 な ブ リ ッ ジ マ ン 炉 を 用 い て 大 型 の PIMNT と PSMNT 単 結晶を育成し、その育成状況と得られた結晶の組成分布を比較することで、どち ら の 系 が 結 晶 育 成 の 点 で よ り 有 望 で あ る か を 判 断 し た 。 ま た 、 得 ら れ た PIMNT 単 結 晶 の 誘 電 ･圧 電 特 性 を 明 ら か に し た 。 PIMNT 系 で は 25mmφ ×30mm 程 度 の 大 型 結 晶 が 得 ら れ た 。 一 方 、 同 条 件 で 育 成 し た PSMNT 系 で は 多 核 化 が 著 し く 一 体 化 し た 大 型 結 晶 は 得 ら れ な か っ た 。 ま た 、組 成 均 一 性 に つ い て は 置 換 元 素 で あ る I n と S c に お い て 顕 著 な 違 い が 見 ら れ 、 PIMNT 系 で は In/Mg 比 が ほ ぼ 一 定 で あ っ た の に 対 し 、 PSMNT 系 で は Sc/Mg 比 が 著 し く 変 動 す る こ と が 判 明 し た 。P S M N T 系 に お け る 組 成 の 不 均 一 性 は 融 点 の 高 い Pb(Sc1/2Nb1/2)O3 (PSN)に 起 因 す る も の で あ っ た 。 こ れ ら の 結 果 か ら PIMNT 系 は PSMNT 系 に 比 べ て 結 晶 育 成 が 容 易 で 組 成 均 一 性 に も 優 れ る も の と 判 断 し た 。 得 ら れ た PIMNT 単 結 晶 の Tc は ウ ェ ハ の 切 り 出 し 位 置 に よ っ て 181℃ 〜 196℃ ま で 変 動 し た が 、 T c の 変 動 は 結 晶 内 の Ti 量 の 変 動 と よ く 一 致 し た 。 T r t は 室 温 付 近 〜 90℃ ま で 変 動 し た 。 Trt=55℃ 、 Tc=191℃ を 示 す PIMNT 単 結 晶 (001)板 に お い て ε33T/ε0=3630、 d33=1950pC/N、 Ec=7.0kV/cm を 確 認 し 、 短 冊 状 試 料 に お い て 縦 振 動 モ ー ド の 結 合 係 数 k 3 3 ' = 8 0 . 3 % お よ び 同 振 動 モ ー ド の 周 波 数 定 数 N 3 3 ' r = 111 0 H z ･ m を 確 認 し た 。超 音 波 プ ロ ー ブ 用 圧 電 材 料 と し て P I M N T 単 結 晶 は 従 来 の P Z N T 、P M N T 単 結 晶 と 同 等 の 誘 電 ･圧 電 特 性 を 有 す る た め 、 プ ロ ー ブ の 高 感 度 ･広 帯 域 化 に 有 効 で あ る 。 ま た 、 PIMNT 単 結 晶 は Tc が PMNT68/32 単 結 晶 に 比 べ て 約 40℃ 高 く 、 Ec が 約 1.5 倍 高 い た め 誘 電 ･圧 電 特 性 の 耐 電 圧 性 に 優 れ る 。 Trt は ま だ 若 干 低 い も の の 、本 系 は P Z N T 、P M N T 系 に 比 べ て T c が 十 分 に 高 い た め 、T r t と T c の バ ラ ン ス を 取 っ た 組 成 調 整 が で き る 。 組 成 を 調 整 す る こ と で Trt>100 ℃ 、 Tc>200 ℃ を 示 す PIMNT 単 結 晶 が 得 ら れ る こ と も 確 認 し た 。 さ ら に. PIMNT 単 結 晶 は 高 い. N33'r(PZNT91/9 単 結 晶 の 1.4 倍 )を 有 す る た め に 高 周 波 用 の 振 動 子 や 積 層 用 の 振 動 子 材 料 と し て も 非 常 に 有 効 で あ る 。こ の よ う に P I M N T 単 結 晶 が 従 来 の ２ 成 分 系 圧 電 単 結 晶 の 課 題 を 克 服 し 、新 た な 用 途 に も 有 望 な 圧 電 材 料 で あ る こ と を 示 唆 し た 。 最終第７章では本研究を総括し、今後の展開について述べた。 3.
(5) 研 究 業 績 種 類 別. 題名、. 発表・発行掲載誌名、. 発表・発行年月日、. 連名者. 論文 ○. and Crystal growth of P b ( I n 1 / 2 N b 1 / 2 ) O 3 - P b ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) O 3 - P b Ti O 3 P b ( S c 1 / 2 N b 1 / 2 ) O 3 - P b ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) O 3 - P b Ti O 3 p i e z o e l e c t r i c s i n g l e c r y s t a l s using the solution Bridgman method J p n . J . A p p l . P h y s . , Vo l . 4 2 , N o . 9 B , p . p . 6 0 6 2 - 6 0 6 7 , 2 0 0 3 Y. H o s o n o , Y. Ya m a s h i t a , H . S a k a m o t o a n d N . I c h i n o s e To p - s e e d e d s o l u t i o n g r o w t h o f P b [ ( I n 1 / 2 N b 1 / 2 ) , ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) , Ti ] O 3 s i n g l e crystals J p n . J . A p p l . P h y s . , Vo l . 4 2 , N o . 9 B , p . p . 6 0 5 9 - 6 0 6 1 , 2 0 0 3 T. K a r a k i , M . N a k a m o t o , Y. S u m i y o s h i , M . A d a c h i , Y. H o s o n o a n d Y. Ya m a s h i t a. ○. Growth of single crystals of high-Curie-temperature Pb(In1/2Nb1/2)O3P b ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) O 3 - P b Ti O 3 t e r n a r y s y s t e m s n e a r m o r p h o t r o p i c p h a s e boundary J p n . J . A p p l . P h y s . , Vo l . 4 2 , N o . 9 A , p . p . 5 6 8 1 - 5 6 8 6 , 2 0 0 3 Y. H o s o n o , Y. Ya m a s h i t a , H . S a k a m o t o a n d N . I c h i n o s e Dielectric and piezoelectric properties of tetragonal PMNT 65/35 piezoelectric single crystal Tr a n s . o f t h e M a t e r i a l s R e s e a r c h S o c i e t y o f J a p a n , Vo l . 2 8 , p . p . 1 6 5 - 1 6 8 , 2003 K . I t s u m i , Y. H o s o n o , N . N i j h o f a n d Y. Ya m a s h i t a. ○. Dielectric and piezoelectric properties of Pb(In1/2Nb1/2)O3P b ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) O 3 - P b Ti O 3 t e r n a r y c e r a m i c m a t e r i a l s n e a r t h e m o r p h o t r o p i c phase boundary J p n . J . A p p l . P h y s . , Vo l . 4 2 , N o . 2 A , p . p . 5 3 5 - 5 3 8 , 2 0 0 2 Y. H o s o n o , Y. Ya m a s h i t a , H . S a k a m o t o a n d N . I c h i n o s e. ○. Large piezoelectric constant of high-Curie-temperature Pb(In1/2Nb1/2)O3P b ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) - P b Ti O 3 t e r n a r y s i n g l e c r y s t a l J p n . J . A p p l . P h y s . , Vo l . 4 1 , N o . 11 A , p . p . L 1 2 4 0 - L 1 2 4 2 , 2 0 0 2 Y. H o s o n o , Y. Ya m a s h i t a , H . S a k a m o t o a n d N . I c h i n o s e. ○. D i e l e c t r i c a n d p i e z o e l e c t r i c p r o p e r t i e s o f 0 . 9 3 P b ( Z n 1 / 3 N b 2 / 3 ) - 0 . 0 7 P b Ti O 3 piezoelectric single crystals for medical array transducers J p n . J . A p p l . P h y s . , Vo l . 4 1 , N o . 11 B , p . p . 7 0 8 4 - 7 0 8 8 , 2 0 0 2 Y. H o s o n o , K . H a r a d a , T. K o b a y a s h i , K . I t s u m i , M . I z u m i , Y. Ya m a s h i t a and N. Ichinose. 5.
(6) 研 究 業 績 種 類 別. 題名、. 発表・発行掲載誌名、. 発表・発行年月日、. 連名者. 論文 ○. Te m p e r a t u r e d e p e n d e n c e o f d i e l e c t r i c a n d p i e z o e l e c t r i c p r o p e r t i e s o f P b ( Z n 1 / 3 N b 2 / 3 ) - P b Ti O 3 p i e z o e l e c t r i c s i n g l e c r y s t a l J p n . J . A p p l . P h y s . , Vo l . 4 1 , N o . 6 A , p . p . 3 8 0 8 - 3 8 11 , 2 0 0 2 Y. H o s o n o , K . H a r a d a , T. K o b a y a s h i , K . I t s u m i , M . I z u m i , Y. Ya m a s h i t a and N. Ichinose. ○. Va r i a t i o n s of dielectric and piezoelectric properties of P b ( Z n 1 / 3 N b 2 / 3 ) 0 . 9 1 Ti 0 . 0 9 O 3 p i e z o e l e c t r i c s i n g l e c r y s t a l w a f e r Tr a n s . o f t h e M a t e r i a l s R e s e a r c h S o c i e t y o f J a p a n , Vo l . 2 7 , p . p . 2 4 7 - 2 5 0 , 2002 Y. H o s o n o , K . H a r a d a , T. K o b a y a s h i , K . I t s u m i , M . I z u m i , Y. Ya m a s h i t a and N. Ichinose E ff ec t of mol ec ul a r mass of B -s it e io n s on e le ct r o me c ha n i ca l co u pl in g factors of lead-based perovskite piezoelectric materials J p n . J . A p p l . P h y s . , Vo l . 3 9 , N o . 9 B , p . p . 5 5 9 3 - 5 5 9 6 , 2 0 0 0 Y. Ya m a s h i t a , Y. H o s o n o , K . H a r a d a a n d N . I c h i n o s e. ○. Growth, electric and thermal properties of lead scandium niobate-lead magnesium niobate-lead titanate ternary single crystals J p n . J . A p p l . P h y s . Vo l . 3 9 , N o . 9 B , p . p . 5 5 8 9 - 5 5 9 2 , 2 0 0 0 Y. H o s o n o , K . H a r a d a , Y. Ya m a s h i t a , M i n g D o n g a n d Z u o - G u a n g Ye. ○. C r y s t a l g r o w t h a n d m e c h a n i c a l p r o p e r t i e s o f P b [ ( Z n 1 / 3 N b 2 / 3 ) 0 . 9 1 Ti 0 . 0 9 ] O 3 single crystal produced by solution Bridgman method J p n . J . A p p l . P h y s . , Vo l . 3 8 , N o . 9 B , p . p . 5 5 1 2 - 5 5 1 5 , 1 9 9 9 Y. H o s o n o , K . H a r a d a , S . S h i m a n u k i , S . S a i t o h a n d Y. Ya m a s h i t a その他. 15 件. 講演 P i e z o e l e c t r i c M a t e r i a l s P b ( I n 1 / 2 N b 1 / 2 ) O 3 - P b ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) O 3 - P b Ti O 3 H i g h C u r i e Te m p e r a t u r e s a n d L a r g e P i e z o e l e c t r i c c o n s t a n t s 2003 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct., 2003 Y. H o s o n o , Y. Ya m a s h i t a a n d N . I c h i n o s e. with. ブ リ ッ ジ マ ン 法 に よ る イ ン ジ ウ ム ニ オ ブ 酸 鉛 (ス カ ン ジ ウ ム ニ オ ブ 酸 鉛 )-マ グ ネ シ ウ ム ニ オ ブ 酸 鉛 -チ タ ン 酸 鉛 ３ 成 分 系 圧 電 単 結 晶 の 育 成 第 20 回 強 誘 電 体 応 用 会 議 5 月 2003 年 細野靖晴、山下洋八、坂本英也、一ノ瀬昇. 6.
(7) 研 究 業 績 種 類 別. 題名、. 発表・発行掲載誌名、. 発表・発行年月日、. 連名者. 講演 F a b r i c a t i o n o f p h a s e d a r r a y p r o b e u s i n g 0 . 9 3 P b ( Z n 1 / 3 N b 2 / 3 ) O 3 - 0 . 0 7 P b Ti O 3 piezoelectric single crystals 2002 IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct., 2002 Y. H o s o n o , T. K o b a y a s h i , K . H a r a d a , K . I t s u m i , M . I z u m i a n d Y. Ya m a s h i t a Dielectric and piezoelectric properties of 0.93Pb(Zn1/3Nb2/3)O30 . 0 7 P b Ti O 3 p i e z o e l e c t r i c s i n g l e c r y s t a l s f o r m e d i c a l a r r a y t r a n s d u c e r s International Joint Conference on the Applications of Ferroelectrics 2002, M a y, 2 0 0 2 Y. H o s o n o , K . H a r a d a , T. K o b a y a s h i , K . I t s u m i , M . I z u m i , Y. Ya m a s h i t a and N. Ichinose P b ( Z n 1 / 3 N b 2 / 3 ) 0 . 9 1 Ti 0 . 0 9 O 3 単 結 晶 ウ ェ ハ に お け る 誘 電 ･ 圧 電 特 性 の ば ら つ き 第 13 回 日 本 MRS 学 術 シ ン ポ ジ ウ ム 12 月 2001 年 細 野 靖 晴 ､原 田 耕 一 ､小 林 剛 史 ､逸 見 和 弘 ､泉 守 ､山 下 洋 八 ､一 ノ 瀬 昇. ス カ ン ジ ウ ム ニ オ ブ 酸 鉛 -マ グ ネ シ ウ ム ニ オ ブ 酸 鉛 -チ タ ン 酸 鉛 3 成 分 系圧電単結晶の育成とその電気的特性 第 17 回 強 誘 電 体 応 用 会 議 5 月 2000 年 細 野 靖 晴 、 原 田 耕 一 、 山 下 洋 八 、 Z u o - G u a n g Ye その他. 14 件. 著書 Dielectric and Piezoelectric Properties of Pb(In1/2Nb1/2)O3P b ( M g 1 / 3 N b 2 / 3 ) - P b Ti O 3 Te r n a r y M a t e r i a l s w i t h H i g h C u r i e Te m p e r a t u r e s Piezoelectric single crystals and their application, E. Cross, S. M a k e n s t r y, Y. Ya m a s h i t a , i n p r e s s Y. H o s o n o , Y. Ya m a s h i t a a n d N . I c h i n o s e. その他 (特許). 超音波プローブ及び超音波プローブ製造方法 武内俊、細野靖晴、泉守、山下洋八 その他. 3 件. 7. (P2001-298795).
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