4.6 レーザー照射による応答測定
4.6.2 結果
今回、新しい抵抗率のbaby chipを用いて測定を行ったが、レーザーの焦点距離と照射位 置の調整ミスが原因で十分な結果が得られなかった。そこで、先行研究*7で図4.9中のold chipと同様の抵抗率を持つbaby chipを用いて同様の測定を行った結果を図4.24-4.27に示
す。baby chipは320 µm厚でカットサイズがCのものである。グラフの見方は、各グラフ
の位置がピクセルの位置に対応しており、グラフの横軸がレーザーを入射した時のch 1のシ グナル強度を表し単位はmVである。そして縦軸はADCでのカウント数を表している。先 行研究の測定におけるch1のシグナル強度は1000、2000、3000、4000 mVであった。表示 しているADCカウントは、−100 V印加時にレーザーを照射した場合のADCカウントか ら照射していない場合のADCカウント（ペデスタル）を引いたものである。また測定に際
して、ADCは2.5 Vまでの入力波形しか読み込めないので、ch 1のシグナルはアテネータ
を用いてシグナル強度を減少させてADCに入力している。赤線は各ピクセルにおけるシグ ナル強度毎のADCカウントを1次関数でフィットしたもので、グラフ内に書かれてある数 値は、ch 1でのフィットの傾きに対する各ピクセル（チャンネル）の傾きの割合である。今 回の測定では、ch 1以外での応答を見るためch 1のグラフは載せていない。
その結果、1ガードリングのチップのみ周上でクロストークが見られた。このクロストー クは、0ガードリングの結果と比較することにより電流がガードリングに沿って移動したこ とが原因であると考えられる。また2ガードリングと4ガードリングにはクロストークが見 られないことから、スプリットによりクロストークは防げることが確認された。
*7この先行研究は同研究室の高田秀佐君が行ったものである。
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000 0
200 400 600 800 1000
0.0785 %
ch2
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.0100 %
ch3
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
0.2692 %
ch4
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.0216 %
ch5
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.0297 %
ch6
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.1166 %
ch7
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.1768 %
ch8
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.0296 %
ch9
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.1061 %
ch10
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.0659 %
ch11
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.0241 %
ch12
図4.24 先行研究における0ガードリングのbaby chipに対するレーザー照射の応答測定結果[32]。
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
11.6318 %
ch2
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
23.8114 %
ch3
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
12.2619 %
ch4
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
0.2323 %
ch5
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
12.0767 %
ch6
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
23.6995 %
ch7
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
12.5944 %
ch8
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
24.2138 %
ch9
図4.25 先行研究における1ガードリングのbaby chipに対するレーザー照射の応答測定結果[32]。
4.6 レーザー照射による応答測定 75
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.2833 %
ch2
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.5971 %
ch3
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
2.0945 %
ch4
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.5989 %
ch5
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.5659 %
ch6
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.5031 %
ch7
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.4143 %
ch8
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.5334 %
ch9
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.5233 %
ch10
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.4275 %
ch11
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
-0.6772 %
ch12
図4.26 先行研究における2ガードリングのbaby chipに対するレーザー照射の応答測定結果[32]。
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
0.1872 %
ch2
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
0.1369 %
ch3
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
2.0650 %
ch4
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
0.1220 %
ch5
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
0.1109 %
ch6
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
0.1233 %
ch7
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
0.0976 %
ch8
1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000
0 200 400 600 800 1000
0.0401 %
ch9
図4.27 先行研究における4ガードリングのbaby chipに対するレーザー照射の応答測定結果[32]。