平成２６年 ２月１３日
学 位 論 文 の 審 査 要 旨
学位論文申請者氏名：原田 恭彦 論 文 題 目：
原子間力顕微鏡による高アスペクト構造計測に向けた探針形状推定手法および観察像補正 に関する研究
（Estimation of 3-dimensional structure of atomic force microscope (AFM) probe and correction of the AFM image for precise measurement of nano-structure with high aspect ratio using AFM）
論文の概要及び判定理由
本研究は、ナノメートル領域における3 次元表面構造計測に関する研究であり、特に、原 子間力顕微鏡（AFM）の精密計測に係わるものである。本研究では、精密計測を実現する ため、円柱列の標準試料を用いた AFM 像からインパルス手法を応用した探針形状の計測 法を新たに提案し、実験及びデータ処理により探針形状計測が可能であること、また、こ の形状から AFM 像の補正が必要であることを実証した。本成果は、ナノ計測の中におい て、先駆的業績であり、今後のパターン計測等で極めて重要な技術に位置付けられる。よ って、これらの成果は、博士（工学）の学位に値するものと判定した。
審査年月日 平成２６年２月１３日 審査委員
主査 群馬大学理工学研究院 教授 太田 直哉 印 副査 群馬大学理工学研究院 教授 櫻井 浩 印 副査 群馬大学理工学研究院 准教授 曾根 逸人 印 副査 群馬大学理工学研究院 准教授 三浦 健太 印 副査 群馬大学理工学研究院 教授 保坂 純男 印
関連論文
１著者名 原田恭彦, 曾根逸人, 保坂純男
論文題目 ”Estimation of Three-Dimensional Atomic Force Microscope Tip Shape from Atomic Force Microscope Image for Accurate Measurement”
（高精度測定に向けた原子間力顕微鏡観察像からの3次元探針形状推定）
雑誌名 Japanese Journal of Applied Physics 第47巻第7号6186頁～6189頁 2008年7月
２著者名 原田恭彦, 曾根逸人, 尹友、保坂純男
論文題目 “Reconstruction of atomic force microscope image using estimated tip shape from impulse response technique”
（インパルス応答法から推定された探針による原子間力顕微鏡観察像の補 正）
雑誌名 Key Engineering Materials 第596巻 147頁～151頁 2014年1月 ※ 掲載決定のものも記載すること
