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(2) 黒部 ・杉 山:光 コネクタ用セ ラミックスフェルール微 細穴内壁面の 高速流動研磨. キ ンが 密 に 詰 め 込 ま れ る.ス ラ リー が 回 り込 ま な い よ う配 慮 し て い る.実 験 に 際 し,セ ラ ミ ッ ク フ ェ ル ー ル を エ ポ キ シ 樹 脂 管 の 中 に 入 れ 固 定 す る.左 右 の ス テ ン レ ス 円 筒 を 仕 切 り 板 を 介 し て 向 き 合 わ せ,ボ ル トで フ ェ ル ー ル を 締 め つ け る.フ ラ ン ジ に は,高 圧 の 流 体 圧 に 耐 え ス ラ リー が 漏 洩 しな い よ う に 二 重 に0 リ ン グ が 嵌 め られ て い る.フ. ラ ン ジ と 研 磨 装 置 は,配 管 用 の 継. ぎ 手 を 用 い て 接 続 さ れ て い る. 実 験 に 際 し,エ ア コ ン プ レ ッ サ を 稼 動 し圧 縮 空 気 を フ ィ ル タ レギ ュ レ ー タ を 介 して 一 定 の 圧 力(0.49MPa)に. 制 御 し,直 圧 式. Fig.4. Differential pressure measuring system. 増 圧 器 に 送 気 す る.直 圧 式 増 圧 器 に よ っ て シ リ ン ダ 内 部 の イ オ ン交 換 水 を 空 気 圧 の25倍. に ま で 増 圧 し,カ ー トリ ッ ジB内. の. 管 内 壁 の 研 磨 状 態 を 評 価 す る 別 の 方 法 と して,管 内 を 流 れ る. イ オ ン交 換 水 に 流 体 圧 を 加 え る.こ の た め,カ ー ト リ ッ ジB内. 気 体 の 圧 力 を測 定 す る 方 法 が あ る.図4に,差. の イ オ ン交 換 水 は カ ー ト リ ッ ジA内 に 注 送 さ れ,カ ー ト リ ッ ジ. 略 図 を 示 す.研 磨 後 の フ ェ ル ー ル を,マ ス フ ロ ー コ ン トロ ー ラ. 圧測 定 装置 の概. A内 の イ オ ン 交 換 水 に 流 体 圧 を 加 え る こ と と な る.こ の こ と に. (質 量 流 量 制 御 装 置)と 差 圧 計(微. 差 圧 トラ ン ス ミ ッ タ)の 間. よ っ て,カ ー ト リ ッ ジA内 の 底 部 近 く まで 挿 入 さ れ て い る 管 を. に 設 置 し,ア ル ゴ ン ガ ス を マ ス フ ロ ー コ ン ト ロー ラで 流 量 を 一. 通 っ て,底 部 に あ らか じめ 沈 殿 さ せ て お い た 砥 粒 が イ オ ン交 換. 定(0.5cm3/min)に. 水 ご と 被 研 磨 管 内 に 注 送 さ れ る こ と に な る.研 磨 は,ス ラ リー. 気 中 に 流 出 す る と き の ガ ス の 圧 力 と大 気 圧 との 圧 力差 が デ ジ タ. が 管 内 を流 動 す る こ と に よ っ て 行 わ れ る.図1の. ル 式 の 差 圧 計 で 計 測 され る.. 左(右)側. カ ー トリ ッ ジAの 容 積 に 相 当 す る ス ラ リー が,右(左)側. の. 制 御 して 流 す.ガ ス は フ ェ ル ー ル を 通 っ て 大. の カー 3.実. トリ ッ ジAに 注 送 され て 移 動 し終 わ っ た 時 を1パ ス と し,そ の 後 ス ラ リー は 逆 向 き に 注 送 され る(2パ. 2.2実. ス 目). 3.1真円. 験 集件 お よ び評 価 方法. 実 験 に は,焼 結 し た 部 分 安 定 化 ジ ル コ ニ ア(ZrO2)セ ラ ミ ッ ク フ ェ ル ー ル を供 し た.フ ェル ー ル の 寸 法 形 状 は,図3に う に,内 径0.12mm,外. 形25mm,長. ア ル ミ ナ(Al2O3)砥 粒 を 用 い,砥 濃 度 を1〜Svol%aと. さ10mmで. 示す よ. あ る.実 験 は,. 粒 の 粒 径 を1〜60μm,砥. 粒. 種 々 変 え て 行 っ た.実 験 条 件 を表1に. 示 す.. 実 験 終 了 後,フ ェ ル ー ル の 内 壁 面 の 研 磨 状 態 を 評 価 す る た め に 観 察 と 粗 さ の 評 価 を 行 っ た.観. 験結果. 察 用 の 試 験 片 の 作 製 には. 既 報2)に 述 べ た の と 同 様 の 方 法 を 用 い た.管 内 壁 面 を 観 察 す る. の測定. フ ェ ル ー ル は,フ ァ イ バ を 滑 らか に 水 平 方 向 に 挿 入 す る必 要 が あ り,加 工 に よ る 穴 の 仕 上 が り程 度(真 円 度)が 重 要 視 さ れ て い る.高 速 流 動 研 磨 に よ っ て,フ ェ ル ー ル の 穴 が ど の 程 度 真 円 にな る の か 実 験 的 検 討 を行 っ た,真 円 度 は,穴 の 円 形 部 を 二 つ の 同 心 の 幾 何 学 的 円 で 挟 ん だ と き,両 円 の 間 隔 が 最 小 とな る 両 円 の 半 径 の 差 で 表 示 さ れ る.真 円 度 が 小 さ い 程 真 円 に 近 い. 図5に,粒 12.7MPaし,平. 径 と 真 円 度 の 関 係 を 示 す.実 均 粒 径1,5.5,20,60μmの. 験 は,注. 砥 粒 を 用 い,砥 粒. た め に は,管 軸 に 沿 っ て 管 の 上 半 分 を 削 っ て 内 面 を 露 出 さ せ ね ば な らな い.フ. ェ ル ー ル は 小 さ い も の で あ り,削. る際 に フェ. ル ー ル を傷 め な い た め に,樹 脂 で 包 埋 して 削 っ た 。研 磨 後,ま ず イ オ ン交 換 水 で 管 内 壁 面 を 洗 浄 した.洗 浄 後 管 の 両 端 を粘 土 で 封 止 し,そ れ を 高 さ30mm,直. 径30mmの. プ ラスチ ック製の. 容 器 に 入 れ,そ の 中 に 包 埋 用 樹 脂 を 流 し込 み 硬 化 さ せ た.包 埋 用 樹 脂(Buehler社. 製)は,エ. た も の で あ る.完. 全 に 硬 化 さ せ る た め 樹 脂 注 入 後1日. ポ キ シ樹 脂 の 主 剤 に硬 化 剤 を 混 ぜ 放置し. た.硬 化 後,包 埋 材 を 容 器 か ら取 り外 し,サ ン ドペ ー パ(＃400) で 慎 重 に 少 しず つ 削 っ て い き,細 管 内 壁 面 が 露 出 す る ま で(管 の 断 面 中 心 部 よ り も や や 下 に な る よ う に)削. り込 ん だ.そ. の. 後,十 分 洗 浄 して 管 内 壁 面 を,光 学 顕 微 鏡(ノ マ ル ス キ ー 干 渉 顕 微 鏡)お ま た,触. よ び 走 査 型 電 子 顕 微 鏡(SEM)に. 針 式 粗 さ 計(Talyor. フ:カ ッ トオ フ値0.25mm)を. Hobson社. Fig.5. Effect. of grain size on roundness. よ っ て 観 察 した.. 製:フ. ォ ー ム タ リサ ー. 用 い て 内 面 の 粗 さ を 測 定 し た.粗. さ の 表 示 は,特 に 断 らな い 限 りRaの 値 で 行 う.測 定 値 は,同 一 条 件 で2回 計 測 し た 値 の 平 均 値 で 表 して い る . Table. 1. Experimental. condition. Fig.3. Dimension configuration ferrule. 266精. 密 工 学 会誌Vol.67,No.2,2001. and of Fig.6. Photomicrographs. 送圧力 を. of hole.
(3) 黒 部 ・杉山:光 コネ クタ 用セラミック スフェルール微細穴内壁 面の高速流動研磨. 濃 度 を1,3,5vo1%に. して 行 っ た.図5か. ら,い ず れ の砥 粒 濃. 度 の 場 合 に お い て も 粒 径 が 大 き い砥 粒 の 方 が 真 円 度 が よ く な る. 3.2表面粗 図7に,表. さ の測 定 と顕 徽 鏡観察 面 粗 さ,差 圧,穴. 径 とパ ス 回 数 の 関 係 を 示 す.実. こ と が わ か る,な お,研 磨 に よ っ て 穴 径 も 増 大 す る が(図7参. 験 は,平. 照),砥. 圧 力 を12.7MPaと. して 行 っ た.図7か. 粗 さが0.1μm以. 下 に ま で 低 減 す る 様 子 が わ か る.そ. 粒 濃 度,粒. 次 に,高. 径 の 違 い に よ る 差 異 は 認 め られ な か っ た.. 速 流 動 研 磨 を 施 した フ ェ ル ー ル の 穴 の 様 態 に つ い. て,研 磨 後 の 穴 の 端 部 の 光 学 顕 微 鏡 観 察 を 行 っ た.図6に 結 果 を示 す.観. 察 に供 した フ ェ ル ー ル は,平. 砥 粒 を 用 い 砥 粒 濃 度 を5vo1%,注 行 っ た も の で あ る.図6か. 観察. 均 粒 径20μmの. 送 圧 力12.7MPaと. して研磨 を. ら,研 磨 前 に 見 られ た 不 規 則 な 穴 の. 形 状 が,研 磨 が 進 行 す る に つ れ て 滑 らか に な り次 第 に 光 沢 を 帯. 均 粒 径20μmの. 粒 濃 度5vol%,注. 送. ら,パ ス 回 数1回 で 表 面 の 後 は,. パ ス 回 数 の 増 加 に と も な う粗 さ の 低 下 は 小 さ く,表 面 粗 さ は ほ ぼ 一 定 とな り飽 和 して い る.な お,平 均 粒 径 が,1μrn,5.5μm と 小 さ い 場 合,20μmで. も砥 粒 濃 度 が 小 さ い 場 合,ま. たスラ. リー 注 送 圧 力 が 低 い 場 合 に は 粗 さ の 低 減 の 度 合 は 小 さ く,粗 さ が 飽 和 す る ま で に 多 く の パ ス 回 数 が 必 要 で あ っ た. 図7で,差. び る よ う に な る 様 子 が わ か る,. 砥 粒 を 用 い,砥. 圧 と表 面 粗 さ の 関 係 を 見 る と,1パ. ス 研 磨 後 に差. 圧 の 値 が 大 き く 低 下 して お り,内 壁 面 の 表 面 粗 さ が 急 激 に 低 減 す る こ と に 対 応 し て い る.パ ス 回 数2回 目 以 降 に お い て は,粗 さ の 改 善 は 飽 和 し て い る が 差 圧 は 漸 減 す る こ と が わ か る.図7 に 示 した よ う に 穴 径 は,パ ス 回 数 の 増 加 と と も に 徐 々 に 大 き く な っ て お り,こ. の た め,差. 圧 は減 少す る もの と考 え られ る. .次 に,流 動 研 磨 し た フ ェ ル ー ル 細 管 内 壁 面 を光 学 顕 微 鏡 を用 い て 観 察 し た.国8に. 観 察 結 果 を 示 す.図8に. は,粗. 定 した 表 面 プ ロ フ ィー ル も 併 記 し て い る.図8か. さ計で 測. ら,パ ス 回 数. が 多 くな る に つ れ て 表 面 が 滑 らか に な っ て い く様 子 が わ か る. ま た,表 ら,粗. 面 は 次 第 に光 沢 を 示 す よ う に な る.プ. ロフ ィール か. さ も 小 さ くな っ て い く こ と が 知 ら れ る.. 図9に,内. 壁 面 のSEM観. ス 回 数1,2回. 察 の 例 を 示 す.こ の 観 察 例 で は,パ. で は ま だ 粗 さ が 幾 分 大 き い よ う に 見 え,そ. れで. も ス ラ リー の 流 動 パ ス 回 数 が3回 程 度 で 極 め て 平 滑 な 面 に な る こ とが わ か る. Fig.7. Change. of surface. roughness. 3.3穴径. with pass number. の測定 と差 圧. 流 動 研 磨 を 繰 り返 す と,一 般 に 粗 さ の 低 減 と と も に フ ェ ル ー ル の 内 径 は 次 第 に 大 き くな っ て 行 く。そ こ で,内 径 の 大 き さ と 差 圧 の 関 係 に つ い て 調 べ た.図10に 平 均 粒 径1,5.5,20,60μmの. 測 定 結 果 を 示 す.実 験 は,. 砥 粒 を用 い て,砥. 粒 濃 度,注. 送 圧 力,パ ス 回 数 を種 々 に 変 え て 研 磨 した 結 果 を 整 理 した も の で あ る.内 径 の 増 加 と と も に 右 下 が り の 曲 線 と な る.さ. ら に,. 平 均 粒 径 が 大 き くな る につ れ て 右 下 が りの 傾 き が 大 き くな る こ と が わ か る,こ 3.4砥粒 図11に,砥 を 示 す.実 1,3,5vol%と. の 点 に つ い て は 後 に考 察 す る. の濃度 お よ び粒径. と差 圧. 粒 濃度 の差 圧 に及 ぼす 影響 につ いて調 べた 結果 験 は,平. 均 粒 径20μmの. 砥 粒 を 用 い,砥 粒 濃 度 を. 変 え,注 送 圧 力 を12.7MPaに. し て 行 っ た.図11. か ら,パ ス 回 数 が 増 す と 急 激 に差 圧 が 低 下 す る こ とが わ か る.. Fig.8. Optical. micrographs. and profiles. of inner. wall. Fig.9. SEM. micrographs. of inner wall. 精 密 工 学 会 誌Vol.67,No.2,2001. 267.
(4) 黒部 ・杉山:光 コネクタ 用セラミツク スフエル ール微細穴内壁面の高速流動研磨. Fig.11. Relationship. between. and differential. Fig.10. Effect. of hole diameter. on differential. pass number. pressure. pressure. いず れ の 砥 粒 の 場 合 も 数 パ ス を 経 た だ け で ほ ぼ 一 定 の 値 に な る.差 圧 の 絶 対 値 に つ い て,高 濃 度 で 低 い 傾 向 が あ る が,砥 粒 濃 度 の 違 い に よ る差 圧 の 違 い は 小 さ い.図12に 60μmの. 粗 粒 の 場 合 に は,差. 示 した,粒 径. 圧 の値 に濃 度依存 性 があ る こ と. が わ か る.濃 度 が 大 き い 程 差 圧 の 値 は 小 さ く な る 傾 向 が あ り, 研 磨 能 力 の 大 き い 粗 粒 に あ っ て は,濃 度 の 影 響 が 顕 著 に 現 れ た もの と 思 わ れ る.し か し,差 圧 の 値 は い ず れ の 濃 度 の場 合 に お い て も 数 パ ス で ほ ぼ 一 定 の 値 とな る.. Fig.12. Relationship. between. and differential. pass number. pressure. 4.考察. 4.1ス. ラ リ ー の 薫 動状態. と研 磨 機 構. フ ェ ル ー ル 内 壁 面 の 研 磨 様 態 は,細 管 内 を 流 れ る ス ラ リー の 流 動 状 態 と深 くか か わ っ て い る と 思 わ れ る.フ ェ ル ー ル 細 管 内 にお け る ス ラ リー の 流 動 状 態 は,レ イ ノ ル ズ 数 に よ っ て 規 定 さ れ る.い をu,ス. ま,穴. の 内 径 をd,穴. の 断 面 積 をA,ス. ラ リー の 流 速. ラ リー が 試 料 を通 過 す る 時 間 をt,流 量 をQ,直. 圧 式増. 圧 器 の コ ラ ム の 容 積 をvと す る と,連 続 の 式 よ り,Q=Auが り立 つ.こ. こ で,v=Qtで. dは0.12mm,tは る の で,フ. あ る の で,u=V/Atと. ラ リー の 動 粘 度 をvと. あ な る,ス. す る と レ イ ノル ズ 数Reは,Re=ud/vと. 記 され る3).こ こ で,ス ラ リー の砥 粒 濃 度 は5vol%程. 度 な の で,. ス ラ リ ー の動 粘 度 を 水 の そ れ で 近 似 で き る と し て ,vの て1.004mm2/sを. 4.2真円度. な る,. 実 測 の 結 果6.89秒,vは77×103mm3で. ェ ル ー ル を 流 れ る 流 体 の 流 速 は988m/sと. 用 い る と,Reは118104と. Fig.13. Finishing. mechanism. of ceramics. 成. 値とし. な る.臨 界 レ イ ノ ル. の創成機. 構. フ ェ ル ー ル 微 細 穴 を 加 工 す る 場 合,内 壁 面 の 表 面 粗 さ の低 減 に 加 え て 真 円 の 穴 が 求 め られ る.図5に. 示 し た よ う に,真 円 の. 度 合 い は ス ラ リ ー に 懸 濁 さ せ る 砥 粒 の 粒 径 に 依 存 す る.粒 径 が 大 き い砥 粒 ほ ど真 円度 の値 は 小 さ くな る.こ れ は 次 の 理 由 に よ る も の と考 え られ る. 砥 粒 は,溶 媒(水)に. 保 持 さ れ て 細 管 内 を 流 れ る が,砥 粒 の. ズ 数 は23003)で あ る の で,管 内 の 流 体 の 流 れ は 乱 流 に な っ て い. 粒 径 の 大 き さ と 管 の 内 径 の 比 に よ って,管 の 断 面 内 を 通 過 す る. る と 推 測 され る.乱 流 状 態 で 流 れ る ス ラ リ ー 中 の 砥 粒 は ,回 転. 砥 粒 の 数 は 自 ず と 決 ま る.図14に. 等 を 伴 う 複 雑 な 運 動 を し な が ら管 壁 に衝 突 す る と思 わ れ る .こ. 研 磨 に 関 与 す る の は,主 に 壁 面 近 傍 の ス ラ リー の 流 れ と考 え ら. の よ う な 砥 粒 の 衝 突 と 引 っか き作 用 に よ っ て 内壁 面 の 研 磨 が 行. れ る が,そ こ で は ス ラ リ ー は,壁 面 の 谷 や うね り に沿 っ て 流 れ. わ れ る も の と思 わ れ る が,そ の加 工 機 構 は 先 に行 っ た ス テ ン レ. る と考 え られ る.図14に. ス 鋼 製 細 管 の 場 合2)と は か な り異 な る と思 わ れ る.セ ラ ミ ッ ク. 合 に は,砥 粒 は ス ラ リ ー 中 で あ る 程 度 自 由 に 動 く こ と が で き,. ス は硬 ぜ い 性 材 料 で あ る の で,砥 粒 の 壁 面 突 起 部(表. 砥 粒 は .凸部 に 衝 突 す る だ け で な く,凹 部 分 に も入 っ て 研 磨 作 用. へ の 衝 突 に 伴 う 加 工 メ カ ニ ズ ム は ,図13に. 面 粗 さ). 示す模 式 図の よ う. そ の 様 子 を 模 式 化 して 示 す.. 示 す よ う に,粒 径 が 小 さ い砥 粒 の 場. を 示 す と考 え られ る.一 方,粒 径 が 大 き い 砥 粒 の 場 合 に は,粒. に,砥 粒 が 衝 突 す る部 位 で ワ ー ク(加 工 物)に 微 視 き 裂 が 入 り,. 径 が大 き い た め に各 砥 粒 が 干 渉 し あ い ス ラ リー 中 で砥 粒 が 自 由. そ れ が 伝 播 して 材 料 の 除 去 が 招 来 さ れ る と考 え られ る4).ス テ. に 動 き 回 れ る 自 由 度 が 小 さ く な る.し た が っ て,粒 径 が 大 き い. ン レス 鋼 の 金 属 材 料 の 場 合 の よ う に,流 れ 型 の 切 り くず 生 成 に. 砥 粒 の 場 合 に は 凸 部 が 主 に 研 磨 作 用 を 受 け る た め に,ま た,粗. よ る 除 去 機 構 とは そ の 加工 メ カ ニ ズム が 異 な る と 思 わ れ る が 今. 粒 自身 の 研 磨 能 力 も細 粒 に 比 して 大 き い た め に,低 パ ス 回 数 に. 後 の 課 題 で あ る.. お い て も 良 好 な 真 円 度 が 得 られ る も の と 考 え られ る.. 268精. 密 工 学 会 誌Vol.67,No.2.2001.
(5) 黒部 ・杉山:光 コネクタ用セ ラミ ック スフェルール微細穴内壁面 の高速 流動 研磨. Fig.14. 4.3差. Schematic. view. of polishing. mechanism. 圧 に よ る 加 工評 価. 研 磨 した 後 の 管 内 壁 面 の 状 態 は,差 圧 を 測 定 す る こ と によ っ. Fig.15. Finishing. assessment. curve. て 評 価 で き る と 思 わ れ る.差 圧 は,ガ ス の フ ェ ル ー ル 内壁 と の 摩 擦 に よ っ て,管 壁 か ら抵 抗 を 受 け る こ と に よ っ て 変 化 す る. 管 内 を流 れ る ガ ス の 流 動 状 態 は,レ イ ノ ル ズ 数 に よ っ て 規 定 さ れ る.い. ま,フ. 動 粘 度 をYと. ェ ル ー ル の 内 径 をd,ガ. す る と,レ. ス の 流 速 をu,ガ. イ ノ ル ズ 数Reはud/vと. で,dは0.12mm,vは13.9×10‑6m2/s,で. スの. な る.こ. あ る.uの. の 関 係 式 か ら求 め られ る.0は. 流 量 で0.0083×10‑6m3/s,Aは. 管 の 断 面 積 で0.01×10‑6m2で. あ る の で,uの. 値 は0.83m/sと. る.こ れ らの 値 を式 に代 入 す る と,Reは7.6と 臨 界 レイ ノル ズ 数(2300)の. こ. 値 は,Q=Au. な. な る.こ の 値 は. 値 に 比 べ て 極 め て 小 さ い の で,管. 内 を 流 れ る ア ル ゴ ン ガ ス は 層 流 状 態 で 流 れ て い る と考 え られ る. Fig.16. フ ェ ル ー ル の 内 壁 面 が 滑 らか で あ る と仮 定 す る と,フ ェ ル ー. Relationship. between •¬ð“. and. grain. size. ル の 内 径 が 変 化 した 場 合 の圧 力 損 失(層 流 状 態 を 想 定 した 場 合. が 大 き い ほ ど 粗 さ の 低 減 が 大 き く,そ の 影 響 が 差 圧 の 低 下 に 顕. の 差 圧)は,ボ. 著 に 現 れ,見 か け 上,内 径 依 存 性 が 大 き くな っ て い る も の と 考. ア ズ イ ユ の 式(1)か ら求 め られ る5).. え られ る.さ. ら に 図15に. お い て 同 一 内 径 の 場 合,内. 壁 が滑 ら. か な 管 の 場 合 の 曲 線 ② と実 験 的 に 求 め た 曲 線(1)との 差 が,管 内. 〓(1). 壁 面 の 性 状 を 表 す 指 標 と な る. こ こで,0は. 流 量,uは. 心 か らの 距 離,pは 性 率 で あ る.ま. 流 速.aは 管 の 内 半径,rは. 圧 力,Xは. た 差 圧△pは. 管 軸 方 向 の 距 離,η. 管 断面 の中 5.結. は ガス の粘. 貫. 次 式 で 求 め られ る. 高 速 流 動 研 磨 法 を ジ ル コ ニ ア セ ラ ミ ッ ク フ ェ ル ー ル細 管 内 壁 面 の 研 磨 に 適 用 し て,次. 〓(1). こ こで〓 は 流 路 長 で あ る.(1)式 と の 関 係 を 図15に. を 用 い て 計 算 した 差 圧 と 内 径. ×10‑6Pa・s,〓=10‑2mの. 値 を 用 い た.ま た 図15に. は,各 種. 粒 径 の 砥 粒 を用 い て研 磨 した 結 果 も示 して あ る.こ れ ら の 実 験 曲 線(1)は,図10の. 研 磨 法 は,フ. ェ ル ー ル 内 壁 面 の研 磨 に 有 効 で あ る.. (2)表. 面 粗 さ は,砥. 粒 径,ス. 曲 線(2)で 示 す.当 然 な が ら 曲 線(2)は壁 面 が. 滑 らか な 場 合 に 相 当 す る.計 算 に は,Q=8.3×10‑3m/s,η=22.6. パ ス 回 数1回 (3)ス. ラ リ ー 注 送 圧 力 の大 き い と き. で ほ ぼ 飽 和 す る.. ラ リー 往 復 動 に よ っ て 内 径 は 拡 大 す る.. (4)真. 円 度 は,粒. (5)差. 圧 と 内 径 お よ び 粗 さ と の 間 に は 密 接 な 関 係 が あ り,. 差 圧 と 内径 の 関 係 を 両 対 数 プ ロ ッ ト上 で 表. し て 最 小 二 乗 法 に よ っ て 求 め た も の で あ る.図15に. の 結 論 が 得 られ た 。. (1)本. 径 の 大 き な 砥 粒 で 加 工 す る と 向 上 す る.. 差 圧 測 定 に よ っ て 内 径 と 内壁 面 の 性 状 を推 定 で き る.. お い て,実. 謝. 験 曲 線 は 理 論 曲 線 よ り も,全 体 と して 高 差 圧 側 に あ る.こ の こ. 辞. と は 内 壁 面 粗 さ が 差 圧 を高 め る た め で あ る.ま た,砥 粒 の 粒 径 に よ っ て 実 験 曲 線 の 傾 き が 異 な る こ と は,差 圧 に 対 し て,粗 さ と 内 径 と の 両 者 の 影 響 が 重 畳 し て い る た め で あ る.そ こで 差 圧 △ pは,次. 研 磨 装 置 は金 沢 大 学 工 学部 工 作 セ ンタ ー で 製作 さ れ た も ので あ り,記 して 謝 意 を表 す.. の 実 験 式 で 表 さ れ る も の と考 え る.. 参考 1)大 平 文 和:光. 〓 (2). 文献. コ ネ ク タ の 加 工 技 術,セ. ラ ミ ッ ク ス 加 工 研 究 会 第59. 回 講 演 資 料,(1996)11.. こ こで,α. 2)山 本 桂 一 郎,黒. は砥 粒 径 に よ っ て 決 ま る 定 数 で あ る.. 内 壁 が 滑 らか な 管 の 場 合 に は,α. の 値 は4で あ り(1)式. な る.し か し,粒 径 の 異 な る 砥 粒 で 研 磨 し た 場 合,式(2)に る αの 値 は,図16に. と おけ. 示 す よ う に粒 径 の 増 加 と と も に大 き くな. る.こ れ は研 磨 の 進 行 と と も に,粗 さ の 低 減 と内 径 の 増 大 が 並 行 し て 生 じ,こ れ ら両 者 は差 圧 の 低 下 を もた らす が,平 均 粒 径. 部 利 次,山. 田 良 穂,三. 内 壁 の 高 速 流 動 研 磨(第1報)一. 浦 毅 彦:極. 細 ス テ ン レス 鋼 管. 研 磨 の 基 本 特 性 一,精. 密工 学 会 誌,. 64,1(1998)126. 3)加 藤. 宏:流. れ の 力 学,丸. 4)今 中. 治:セ. ラ ミ ッ ク加 工 ハ ン ドブ ッ ク,日. 善,(1993)50. 刊工 業 新 聞 社,(1987). 瀬 元 雄,越. ロ ナ 社,(1992)120.. 19. 5)池 森 亀 鶴,黒. 智 光 昭:水. 力 学,コ. 精 密 工 学 会 誌Vol,67,No.2,2001. 269.
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