様式８の１の２ 別紙２
論文審査の結果の要旨
専攻名 システム創成工学専攻 氏 名 浅野功輔
本論文は「半導体露光装置を用いた微細周期構造を有する光学素子の開発 」と題し、半導体露光 装置を用い、サブミクロンオーダーの構造性複屈折位相板やワイヤーグリッド偏光子などの微 細周期構造光学素子を製作するための格子周期の微細化 や素子面積の大面積化のための微細加 工技術などを提案し、実験的理論的な研究成果をまとめたものである。このような光学素子を半導 体露光装置で作製するためには、新しい極微細構造作製技術、素子の大面積化技術、新機能作製技術 などを開発する必要があり、新機能高付加価値光学素子作製技術を提案し、理論的・実験的にその有 効性を明らかにした。
以下に本論文の構成と各章の内容について述べる。
第1章では、微細周期構造素子に関する概要について述べ 、具体的な装置搭載例について述べ た。光学素子加工に適用する半導体微細加工技術について 、露光技術を主に概説した。
第2章では、微細周期構造光学素子の加工微細化の手段としてダブルパターニング技術の適用 を提案した。試作対象とした微細周期構造光学素子は、深紫外波長で機能するワイヤ ーグリッド 偏光子であり、材料の選択、格子設計から厳密カップル波解析法（RCWA）による光学性能の評価 を実施し、実験的に性能評価を行った。
第3章では、微細周期構造光学素子に付加価値を与える手段として 、マイクロマシニング技術 である表面活性化常温接合の適用を提案した。試作対象とした微細周期構造光学素子は、高出力 の紫外光源に対して耐性の強いワイヤーグリッド偏光子であり 、素子試作からその長寿命化技術 の有効性を実験的に検証した。
第4章では、微細周期構造光学素子の大面積化の手段としてステッチング露光の適用を提案し た。試作対象とした微細周期構造光学素子は 、フェムト秒レーザーの高出力化に有効なチャー プパルス増幅器のパルス圧縮器に搭載される透過型石英回折格子であり 、RCWAによる格子設計 から光学性能の実験的評価までを実施した。
本論文については、平成２６年８月５日、審査委員および関連分野の研究者が出席して公聴会が 開催された。論文発表の後、質疑応答が交わされたが、特に問題はないことが確認された。公聴会終 了後ただちに学位審査委員会を開催し、本論文の内容について詳細に検討した。その結果、半導体露 光装置を利用した極微細周期構造光学素子技術により、紫外光領域におけるワイヤーグリッド偏光素
子、表面活性化常温接合技術による高耐熱性極微細格子、ステッチング露光による大面積化回折格子 の作成などに初めて成功したことなどの意義は大きいと判断した。研究成果は工学的に価値があり、
研究内容の学術的水準と独創性においても優れていると判断した。
よって本論文は、博士（工学）の学位論文に値するものと認める。
