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0 2 A g3S n S n / C u C u C u6S n5 C u S n C u / S n 0

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Academic year: 2021

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(1)

1

2 0 1 5 2

(2)

2

(

1 0 n m 1 m )

1 0 m

3

L o w - k L S I

L o w - k

L S I

S n F l i p

C h i p ( F C ) L S I

L o w - k C h i p P a c k a g e I n t e r a c t i o n ( C P I )

L o w - k S n

S n

S n / A g S n / C u S n

L S I

D R A M L S I

D R A M C u

C u S n - C u

S n - C u L S I

C u A g A g

(3)

3 A g

S n S n

S n / A g S n - A g A g / S n

0 . 0 4 0 . 0 2 A g3S n

S n / C u C u

C u6S n5 C u S n

C u / S n 0 . 0 0 4 0 . 0 6

S n C u ( w t % ) 0 . 4 w t % C u 1 . 0 w t % C u

C u 0 . 1 w t %

S n - C u ( 1 5 0 , 1 0 0 0 )

N i ( 6 0 0 n m ) S n - A g

N i N i3S n4

L o w - k C P I 6 5 n m F C

S n - A g 6 0 %

S n - C u ( - 5 5 / 1 2 5 1 0 0 0 )

C P I S n - C u

C u S n - C u L S I

D R A M

1 0 m C u

C u C u2O

D R A M

1 5 0 , 1 0 0 0 5 5 / 1 2 0 5 0 0

A g / C u / T i N / T i A g

C u A g

K A g ( C N )2 K C N C u

(4)

4

A g

A g / C u A g C u

A g A g

A g C u

A g / C u A g

A g / P d

A g

c m A g

A g / P d / T i A g P d ( 5 0 n m )

/ T i ( 1 0 0 n m ) A g

A g / P d / T i

A g [ D . J o s e l l : J . A p p l . P h y s . , 2 0 0 4 ]

A g / P d / T i

P d A g A g

A g - P d P d - T i

A g P d

T i A g

T i A g

A g

( )

2 0 1 5 1 3 0

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[r]

S t u d yo fFa c i a l C∬i c a t u r l n gb yPi c t u r ePr o c e s s l n g

[r]

(1)(2)(3)u C 0 S (4)u u u ( ( u ( u ) (6)u u u (7)SC SC (8)u o C C S u C u C ) u r o o C (9)u • • u • (10)u U • • I • • (11)u u u H (12)u • 2 I 8 H u e • I H u 4 .0 T • c 2 1 I I

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