国立大学法人名古屋大学
ン ン 大学
世界 初 ボン ュ 集積回路 実現
透明 任意 立体形状 熱成型可能 電子
名古屋大学 大野雄高准教授
注
ン ン 大学 ン教授
ボン ュ ン 配線 構成 た 全 ボン集積回路 世界
初 実現 た V 超え 移動度 得 高性能 透明 キ
へ 応用 期待さ さ 実現 た全 ボン集積回路 任意 立体形状
熱成型 可能 本研究 成果 ッ 製品へ 電子 融合 可
能 ン性 機能性 併 持 ッ 電子 創出 繋
本件 ８ ６日付 英国 科学雑 ュ ョン
注
電子版
掲載さ た 本論文 ン あ 自由 ン 可能
た 本研究 日本学術振興会 科学研究費補助金 若手 A 科学技術振興機構 先端
的低炭素化技術開発 大学 I 助成 受 行わ た
注 ン ン 大学客員教授 併任
注 :
．背景
ッ 材料 加熱 軟化 自 形状 成型 た ッ 製品 日
用品 子供 ち 電化製品 筐体 医療器具 多岐 わた 用い い 一方 電 化製品 主要部品 あ 集積回路 硬く脆い ン 上 形成さ ッ 製品 融合
限 い た
近年 本研究 ボン ュ 用いた集積回路 研究 推進 透明
ッ 上 高性能 ボン ュ 薄膜 ン そ 用いた集積回路 初 実 現 成果 挙 た [ ] 高い柔軟性 伸縮性 実現 た 配線材料 絶縁膜 材料 探索 進 た 今回 電極 配線材料 ボン ュ 薄膜 用い た絶縁膜 材料 樹脂 用い 極 柔軟 透明 全 ボン集積回路 実現 た さ
全 ボン集積回路 立体形状 熱成型可能 あ 示 た
．成果 特徴
全 ボン集積回路 実現
近年 機材料 ボン ュ 半導体層 用いた柔軟性 キ 研
究 盛 行わ 湾曲可能 開発さ あ 柔軟 究極的
伸縮 可能 電子 実現 半導体層 電極 配線材料 絶縁材料 い 伸縮性 持た 不可欠 従来 用い い 金属膜 酸化膜 無機材料 伸
縮性 持ち 本研究 電極 配線 い ボン ュ 薄膜 形成
絶縁材料 い 従来 酸化膜 代え 樹脂 用い 透明 極 柔軟 全 ボン集積回路 実現 た 図 今回 実現 た集積回路 ン 発振器 各種論理
A 含 い いう厚い 樹脂 絶縁膜 用い い
わ 構造へ 電界集中効果 利用 V いう低電 集積回路 動作 実 現 い
図 全 ボン集積回路． 写真， ン 発振器， 排他的論理和 ．
V 超え 高い移動度 実現
従来 ッ 上 作製さ 薄膜 ン 移動度 ～ V 程度 た 以前
本研究 長尺 清浄 ボン ュ 薄膜 ッ 上 形成 技術 開
発 V 超え 移動度 薄膜 ン 実現 い [ ] 今回 ボン ュ 薄膜 成膜技術 い 最適化 進 移動度 V 実現 た 移動度 単結晶
用いた T 高く ッ 基板上 薄膜 ン 驚異的 値
任意 立体形状 熱成型可能
実現 た全 ボン集積回路 い 用い た材料 ボン ュ 薄膜 た ッ あ 柔軟性 加え 極 高い伸張性 持ち さ 熱成型技術 任意 形状 成型
可能 今回 そ 実証例 形状 熱成型 薄膜 ン 集積回路 動作 確 た 図 形状 成型 た場 合 ン 配 線 軸方向 伸張さ
T 薄膜 亀裂 剥離 問題生 た 今回 全 ボン薄膜 ン 場合 軸 方向 ％ 伸張 施さ た場合 い 正常 動作 た 集積回路 い % 伸張
正常動作 確 た
本研究 実現 た全 ボン集積回路 う 電子 熱成型 施
ッ 製品 電子的機能 容易 実装 た 電子 ン性 広 可能
図 全 ボン集 積回 路 熱成 型 ． 熱成型 工程， 形状 成型さ た 全 ボン 集積回 路， 成型 ボン ュ T T 構造変化 軸 %伸張 ．
参考文献：
[ ] Y T Y T A I K K T z Y
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用語解説
＊1 リン 発振器：
インバータをリン 状 接続した発振回路 内蔵タイマー ロッ や回路全体 基準 ロッ し 使用さ また 発振周波数 インバータ 遅延時間 インバータ 数 決ま ため インバータ 動作速度を評価す ため し し 用い
＊2 SRAM。static random access memorと)： ッ ッ 等 順序回路 用い 記憶 ン
あ 現 計算機 必須 基本回路 あ 定期的 ッ ュ 記憶保持動作 不要 あ 高速 消費電力 低 い
＊3 電界集中効果：電界 微細構造や先鋭構造 集中しやすい 電界放出型 電子源 利用さ 現象 あ
