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（３）光源技術の実用化
１）実用化の見通しに関する評価
レーザ法、放電法ともに、いずれも実用機実現に至る技術開発の見通しがしっ かりと述べられている。その見通しは、現在までに得られた実験データに基づく もので、十分に信頼できるものであり、実用化の可能性は高いと判断する。是非 間違いなく、技術開発を進めていただきたい。
ただし、両方式ともに課題が残されており、開発技術・検討項目が多岐にわた るため、SFET への搭載などマイルストーンとして目標と時期を定めた取り組みが 有効であると思われる。
さらに、海外との知的財産の権利関係に十分注意し、知的財産権を元にした技 術的優位を確立できるよう、実用化を進めていただきたい。
＜肯定的意見＞
○ レーザ法、放電法ともに、いずれも実用機（115W）実現に至る技術開発の見通 しがしっかりと述べられている。その見通しは、現在までに得られた実験デー タに基づくものであり十分信頼できる。是非間違いなく、技術開発を進めてい ただきたい。
○ LPP では CO2レーザは実用化されたレーザであるから、信頼性･長寿命とも実用 化に耐える。DPP では大電流･短パルス励起回路とエキシマレーザの技術の延長 であるので実用化に耐える。
○ 2010 年に 100W 級の実用 EUV 光源を実用化するという目標はかなり困難なもの であると思われるが、現在までの実績と、述べられている今後の方策の明瞭さ を勘案すると、実用化の可能性は高いと判断する。
○ 短い期間に多くのすばらしい成果を創出している。H17 年度末の中間目標の達 成は問題ないと考えられる。最終目標の実現に向けても、様々の手法が考案・
提案されており、活発な検討により目標達成が大いに期待される。
○ 計画通りに進捗しており、ほぼ問題をクリアしている。実用化の目処は極めて 高くなっていると思われる。
○ 中間目標達成状況からは、実用化の可能性は高いと判断できる。
○ 115w 実用化光源の開発まで道は長いが、段階的で着実な現在の研究開発を続け て実用化に繋げて欲しい。
＜問題点・改善すべき点＞
● LPP では Xe ドロプレットの安定性･寿命、Xe の回収技術、集光ミラーの損傷防 止技術が課題である。DPP ではデブリの除去、放電電極の磨耗が課題である。
● EUV リソグラフィにおける光源開発の重要性を考えると、今後さらなる加速的 な研究開発を実施すべきであり、予算の十分な手当とともに、候補技術の見極 めと重点投資を行っていくべきである。
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● 敢えて言う必要もないが、開発技術・検討項目が多岐にわたるため、SFET への 搭載などマイルストーンとして目標と時期を定めた取り組みが有効であると思 われる（開発期間全体を使うのではなく、前倒しの心構え）。また、特許調査は 必須である。
● 本領域は海外に先行されており、いくつかの領域で知的財産権を握られている と懸念される。
● しかし、実露光による総合評価へ早期に持って行き、目標の見直し等を行って 進める必要がある。
● ミラー汚染の問題に関しては、改善の方式の案はあるが、確認は十分ではない と思われる。開発努力が必要と考える。
● 115w での課題、リスクを早期に抽出して、解決に必要な研究開発を早いうちか ら進めること。
＜その他の意見＞