日本独自の開発技術を本命として早期に実用化し、特許で固めてほしい。実用 化に向けては、非常にハードルが高いと思われるので、シミュレーション等を駆 使して、スケールアップにおける問題点・課題を明確化し、開発成功の確度を向 上させることを提言する。
また、レーザ法と放電法に関しては、どの段階で、どのような基準で 1 つの方 式に絞り込むかの指針を明確にするべきである。しかし一方、可能性を最大限追 求していくために、最終局面まで開発を並行して行うことも是非検討すべきであ る。
＜今後に対する提言＞
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日本発のオリジナル技術である、CO2 レーザ技術、Xe ドロップレット技術、Sn ガスターゲット技術等を本命技術として早期実用化、特許で固めてほしい。•
LPP と DPP の開発は最終局面まで並行して行う必要があると考える。SFET では LPP の搭載を考えているようであるが、それぞれ一長一短があり、可能性を最大 限追求していく必要があると考える。•
レーザの集光点での出力不足は計画から大きく遅れている。リソースの補強あ るいは開発の具体的強化策を検討すべき。放電法は計画通りの出力がでており、今後も着実に推進されることを期待したい。
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実用化に向けては、非常にハードルが高いと思われるので、もっとシミュレー ション等を駆使して、スケール up 等における問題点・課題をより明解にし、開 発成功の確度を向上させることを提言する。•
二つの光源方式をどの段階で、どのような基準で 1 つの方式に絞り込むかの指 針を明確にするべきである。•
レーザ法、放電法のパラレルな開発は必要であるか、適切な時期に選択と集中 が必要である。
＜その他の意見＞
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集光点パワーと実用装置のコスト見積もりの点で DPP 法が LPP よりも優れてい るというデータが出されているが、今後の開発においてこれをどのように反映さ せるのであろうか。1-21
（２）集光ミラー汚染・損傷評価技術および集光ミラー汚染・損傷防止技術 １）成果に関する評価
EUV 光源の実用化にとってミラーの損傷防止はキーテクノロジーである。レー ザ法、放電法ともに、独自技術の開発でミラーの損傷、デブリによる汚染の防止 を実現、あるいは実現の可能性を示しており、実用化にむけて改良の必要はある が、着実に成果を上げていると評価できる。
ただし、現時点では、出力の高い放電法ではミラーの寿命が目標未達であり、
提示されているデータだけでは予想できない。もっと実験データを蓄積する必要 がある。
＜肯定的意見＞
○ レーザ法、放電法ともに、いずれもオリジナル技術の開発でミラーの損傷、デ ブリによる汚染の防止を実現、あるいは実現の可能性を示している。
○ EUV 光源の実用化にとってミラーの損傷防止はキーテクノロジーである。現段 階では EUPS、イオン分析、中性粒子分析、QCM など基本的測定法が整備された 段階であるが、少しずつ損傷の原因の究明が進んでいる。また防止技術につい ても磁場防御、ECR、ガスカーテン、フォイルトラップなどを使用して大幅な改 善が達成された。
○ 初段ミラーの寿命は中間目標値を達成しており、反射率測定精度については年 度内に達成見込みであると認められる。特に、ミラー寿命を低下させる高エネ ルギーイオンの同定と磁場による防御メカニズムの開発は大きな成果と言える。
○ よい成果が得られている。ミラー損傷の防止技術として開発された「ECR によ る中性粒子イオン化技術」や「ガスカーテン＋フォイルトラップ」に期待した い。
○ 損傷防止に向けた磁場、ガスカーテン、Xｅ励起などの工夫が効果を生んでいる。
実用化にむけて改良が必要であるが、着実に成果を上げていると評価できる。
ＣＯ2レーザを使用するアイデアは、実用化を加速するアイデアとして高く評価 できる。
○ 集光ミラー汚染・損傷評価・防止技術とも、世界最高レベルの技術開発を行っ ており、高く評価できる。
○ ミラー汚染損傷の評価方法、防止技術は有効なオリジナル技術ということで評 価できる。
○ 磁場による高速イオン防御技術は独自技術として高く評価できる。その他、地 道に個別要素技術を積み上げている点は評価できる。
＜問題点・改善すべき点＞
● 現時点では、放電法では、ミラーの寿命が未達だが、うまく行くのか？Sn ガス ソースになったときもこの方法で十分いけるのか。提示されているデータだけ
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では、予想できない。もっと実験データを蓄積する必要がある。装置の寿命、
信頼性に関しては、さまざまな条件変化に対しても大丈夫なのかどうか、十分 なデータの蓄積が重要である。ワンポイントデータでオプティミスティックな 判断を下すことがないようにして欲しい。
● 特許戦略と実用化目標を見据えた改善策の早期検証を挙げておきたい。
● 放電法の集光ミラー寿命、集光ミラー反射率検出精度は、単に数字をみると楽 観はできないようにも見える。十分注力する必要があると思われる。
● 現時点で出力の高い放電法においては、ミラー寿命において１年の余裕はある が、改善が必要。
＜その他の意見＞