注 意
◇ STPポンプ通電中は、各ケーブル類の脱着は絶対に行わないでください。
◇ STPポンプ運転中は、一次側電源の停止（ブレーカ OFF 等）は絶対に行わないでく ださい。
◇ STPポンプ運転中は、吸気口および排気口フランジを大気圧に開放しないでくださ い。
5.1 起動前の確認
STPポンプの取り付け、配管、リークテスト、コントロールユニットの設置、ケーブルの配線が 終了したら、ポンプを起動することができます。
起動前に次の点を確認してください。
1) ポンプおよびコントロールニットは適切な方法で固定してありますか？
2) 電源ケーブルを電源に接続してありますか？
3) 電源電圧の選択は適正ですか？
4) アース線、STP接続ケーブルは接続してありますか？
また、各端子、コネクタ部は確実にロックしてありますか？
5) STP接続ケーブルには STP-301/451 のラベルが貼られていますか？
Series
6) STPポンプとコントロールユニットの製造番号は同一ですか？
異なる場合は「9. 浮上調整」に従い浮上調整を行ってください。
7) ケーブル長は変更してありませんか？
ケーブル長を変更した場合は「9. 浮上調整」に従い浮上調整を行ってください。
5.2 起動・停止時間
起動時間 ・・・ ポンプ回転操作後約3分 停止時間 ・・・ ポンプ停止操作後約3分
なお、起動後約10分でポンプ回転数が定格回転数に到達しない場合『FAILURE』ランプが点灯 し、LCDディスプレイに『OVERLOAD』が表示されます。
配管・チャンバーからのリークの有無、補助ポンプの容量・起動確認等を行ってから再起動を行 ってください。
参考
5.3 起動順序
補助ポンプはSTPポンプ回転操作を行う前か、回転操作を行うと同時に起動してください。
補助ポンプ起動後に排気口側の真空バルブを開けてください。
参考
◇ 補助ポンプを運転せずに真空バルブを開ないでください。
補助ポンプによっては、油の逆流によってSTPポンプ内部が汚染される場合がありま す。
5.4 停止順序
STPポンプ停止操作直前か、直後に排気口側の真空バルブを閉めてください。
バルブを閉めた後に、補助ポンプを停止してください。
注 意
◇ バルブを閉めずに、補助ポンプを停止しないでください。
補助ポンプによっては補助ポンプを停止したときに、大気がSTPポンプ内に逆流し、
STPポンプが正常に動作しなくなる場合があります。
参考
◇ バルブを閉めずに、補助ポンプを停止しないでください。
補助ポンプによっては補助ポンプから油等の逆流が生じ、STPポンプ内部が汚染され る場合があります。
ＳＴＰポンプの操作にはマニュアル操作とリモート操作があります。
貴社の装置によって、操作方法を選択してください。
5.5 マニュアル操作（図5.1参照）
フロントパネルの「MANUAL/REMOTE」切換スイッチを ON と反対側に切り換えてくださ い。
この時『REMOTE』ランプは消灯しています。
5.5.1 パワーオン操作
1) リアパネルのブレーカを ON にします。
（ブレーカには誤操作防止の金具が付いています。ネジをゆるめて金具をあげ、ネジを締 めて金具を固定してください。）
磁気軸受が動作しロータが浮上し、『POWER』ランプが点灯します。
（パワーオン状態）
2) コントロールユニットが自己診断を行い、異常がなければLCDディスプレイにメッセージ
『LEVITATION』（静止浮上状態を示す）が表示されます。
5.5.2 ポンプ回転操作
1) ポンプを回転する場合には、フロントパネルの「START」スイッチを押します。
ポンプが回転し、加速動作に入り、『ACCEL.』ランプが点灯します。また、LCD ディス プレイに現在の回転数が500rpm刻みで『ACCEL : ***00rpm』の様に表示されます。（ア クセル状態）
2) 回転数が定格回転数に到達すると『ACCEL.』ランプが消灯し、『NORMAL』ランプが点
灯します。また、LCDディスプレイの表示が『NORMAL: ***00rpm』となります。（ノー マルオペレーション状態）
参考
◇ ポンプ回転操作はLCDディスプレイのメッセージが『LEVITATION』または
『BRAKE : ***00rpm』の時のみ可能です。
その他のメッセージが表示されている場合は、『LEVITATION』または
『BRAKE : ***00rpm』のメッセージが表示されるまで「SELECT」スイッチを押してくだ さい。
◇ ポンプ加速中にポンプから数秒間音がする場合がありますが異常ではありません。
5.5.3 ポンプ停止操作
1) ポンプを停止する場合には、フロントパネルの「STOP」スイッチを押します。
ポンプが減速し、停止動作に入り、『NORMAL』ランプまたは『ACCEL.』ランプが消灯 し、『BRAKE』ランプが点灯します。（ブレーキ状態）
（ただし、回転数が500rpm未満の場合には『BRAKE』ランプは点灯しません。）
2) 回転数が500rpm未満になった時に『BRAKE』ランプは消灯します。
参考
◇ ポンプ停止操作はLCDディスプレイの表示がいずれの場合でも可能です。
5.5.4 ポンプ停止操作後の回転操作
ポンプが停止動作中でも、フロントパネルの「START」スイッチを押すと再加速できます。
参考
◇ ポンプ再加速操作はLCDディスプレイのメッセージが『LEVITATION』または
『BRAKE : ***00rpm』の時のみ可能です。
5.5.5 パワーオフ操作
『ACCEL.』,『NORMAL』,『BRAKE』ランプが全て消灯している状態で、リアパネルのブレ ーカを OFF にします。
磁気軸受の動作が停止しロータが降下し、『POWER』ランプが消灯します。（パワーオフ状態）
注 意
◇ 『ACCEL.』,『NORMAL』,『BRAKE』ランプのいずれかが点灯している状態で、ブレー カを絶対に OFF にしないでください。
この状態のときに、リアパネルのブレーカを OFF にすると、停電と同じ状態になりま す。
5.5.6 安全機能動作後の再起動
ポンプまたは周辺装置に異常が発生し、安全機能が動作した後に再起動する場合は『BRAKE』ラ ンプ消灯後に異常の原因を除去し、「RESET」スイッチを押します。
『FAILURE』ランプが消灯し、安全機能が解除されます。（リセット操作）
その後、ポンプ回転操作を行うと、ポンプを再起動できます。
安全機能、異常原因の除去方法については「6. 異常発生時の安全機能」「15. トラブルシューテ ィング」を参照してください。
5.6 リモート操作（図5.1参照）
（「8. リモート入出力信号用端子台」を読んだ後で操作してください。）
フロントパネルの「MANUAL/REMOTE」切換スイッチを ON に切り換えてください。
『REMOTE』ランプが点灯します。
5.6.1 パワーオン操作
1) リアパネルのブレーカを ON にします。
（ブレーカには誤操作防止の金具が付いています。ネジをゆるめて金具をあげ、ネジを締 めて金具を固定してください。）
磁気軸受が動作しロータが浮上し、『POWER』ランプが点灯します。
（パワーオン状態）
2) コントロールユニットが自己診断を行い、異常がなければLCDディスプレイにメッセージ
『LEVITATION』（静止浮上状態を示す）が表示されます。
5.6.2 ポンプ回転操作および停止操作
ポンプ回転操作および停止操作には、以下の 3通りの方法があります。いずれかの方法で操作し てください。
表5.1 リモート操作時のポンプ回転操作および停止操作（I/O TB2）
方法 ポンプ回転操作 ポンプ停止操作
1 1) 端子(2)−(3)間を短絡した状態で、端子(1)−(4)間を 短絡します。
2) 端子(4)−(5)間を0.3秒以上短絡します。ただし、リ アパネルのブレーカを ON にするのと同時に本 信号を入力する場合は(4)−(5)間を 5 秒以上短絡し てください。
(1)−(4)間を開放します。
2 (2)−(3)間を短絡した状態で、(1)−(5)間を短絡します。(1)−(5)間を開放します。
3 (3)−(5)間にAC25VまたはDC12〜48Ｖを入力します。
DC入力は、＋側を(3)、(5)どちらに入力してもかまいま せん。
(3)−(5)間を開放します。
注 意
◇ 方法3)の場合、AC25〜250Vの入力でも使用可能です。ただし、この場合は安全を 確保するために、端子台に金属カバー等を取り付けてください。
参考
◇ リモート操作の場合、ポンプ回転操作はLCDディスプレイの表示がいずれの場合でも 可能です。
◇ ポンプ加速中にポンプから数秒間音がする場合がありますが異常ではありません。
5.6.3 ポンプ停止操作後の回転操作
ポンプが停止動作中でも、「5.6.2 ポンプ回転操作および停止操作」の回転操作を行うと再加速で きます。
参考
◇ リモート操作の場合、ポンプ再加速操作はLCDディスプレイの表示がいずれの場合 でも可能です。
5.6.4 パワーオフ操作
『ACCEL.』,『NORMAL』,『BRAKE』ランプが全て消灯している状態で、リアパネルのブレ ーカを OFF にします。
磁気軸受の動作が停止しロータが降下し、『POWER』ランプが消灯します。
（パワーオフ状態）
注 意
◇ 『ACCEL.』,『NORMAL』,『BRAKE』ランプのいずれかが点灯している状態で、ブレー カを絶対に OFF にしないでください。
この状態のときに、リアパネルのブレーカを OFF にすると、停電と同じ状態になりま す。
5.6.5 安全機能動作後の再起動
ポンプまたは周辺装置に異常が発生し、安全機能が動作した後に再起動する場合は『BRAKE』ラ ンプ消灯後に異常の原因を除去し、「表5.2」に示す操作を行ってください。
『FAILURE』ランプが消灯し、安全機能が解除されます。（リセット操作）
その後、ポンプ回転操作を行うと、ポンプを再起動できます。
安全機能、異常原因の除去方法については「６．異常発生時の安全機能」「15．トラブルシューテ ィング」を参照してください。
表5.2 リモート操作時のリセット操作（I/O TB2）
方法 リセット操作
1 端子(2)−(3)間を短絡した状態で、リセット信号用端子(6)
−(1)間を0.3秒以上短絡します。
2 リセット信号用端子(6)−(3)間に AV25V または DC12〜
48Vを0.3秒以上入力します。
DC入力は、＋側を(3)、(6)どちらに入力してもかまいま せん。
注 意
◇ 方法2)の場合、AC25〜250Vの入力でも使用可能です。ただし、この場合は安全を
確保するために、端子台に金属カバー等を取り付けてください。