11-111 STPポンプ動作原理（図11.1参照）
12 保守・点検
注 意
◇ コントロールユニットの保守（ヒューズ交換等）はポンプの停止を確認の上、必ず一次 側の電源を切って（ブレーカ OFF ）から行ってください。
感電、内部回路の短絡による故障等の不具合が発生する場合があります。
◇ ポンプの点検（反応性生成物の点検等）はポンプの停止を確認の上、必ず一次側の 電源を切って（ブレーカ OFF ）から行ってください。
誤ってポンプが回転し、事故が発生する場合があります。
◇ 各パネルは絶対に開けないでください。
◇ 保守・点検を行う場合はベーキングヒータ、空冷ユニット等の周辺装置の電源を切って ください。
12.1 空冷ファンの点検
一次側電源を投入（ブレーカ ON”）してください。
コントロールユニットサイドパネル（左）の空冷ファン（図4.4参照）が回転しているか確認してください。
空冷ファンが停止している場合は、交換の必要があります。弊社までご連絡ください。
空冷ファンの点検を1年毎に実施することを推奨します。
12-1
12.2 ヒューズ交換
注 意
◇ ヒューズ交換は、ヒューズ溶断の原因（リモート入力信号不良等）を除去してから行っ てください。
◇ ヒューズは、必ず指定の定格のものを使用してください。
参考
◇ ヒューズを交換しても頻繁にヒューズが溶断する場合は弊社までご連絡ください。
STPコントロールユニットに使用している保護用ヒューズを以下に示します。
（「4.1.2 リアパネル」を参照ください。）
F1, F2: 250V, 10A
I/O TB1リモート入出力端子保護用ヒューズです。
端子(1)、(2)の電源入力、端子(3)、(4)の電源出力の保護用です。
（図8.1 参照）
参考
◇ 交換用ヒューズは、2本付属しています。（表16.5参照）
◇ 推奨ヒューズは、「表16.5 推奨保守部品」を参照ください。
12.3 反応性生成物の点検
警 告
◇ 反応性生成物の点検を行う場合は、ポンプ内部のガスをすべて排出してください。
ガスが残っていると、ポンプを外す際にガスによる事故が発生する場合があります。
ガス供給メーカより使用するガスに関するデータシート（MSDS：Material Safety Data Sheet）を入手して、ガスの特性を確認してください。
必要に応じて、防毒マスク等を使用してください。
反応性生成物が堆積したままポンプを放置しておくと、ポンプ内部の腐 食が進み修理不能となる場合があります。
ポンプに取り付ける真空装置によっては、ポンプ内部に反応性生成物が堆積する場合があります。反応 性生成物の堆積量が多くなると、ポンプが運転不能になる可能性があります。このため、定期的な点検を お願いします。（3ヶ月〜半年に1回）
点検方法は、ポンプ排気口フランジを見て、排気口フランジの内側に反応性生成物が付着しているか確 認してください。
ある程度まで反応性生成物が堆積していればオーバーホール（洗浄）が必要となります。弊社までご連絡 ください。
反応性生成物によるトラブルは保証期間内でも有償となりますのでご了承ください。
反応性生成物によりポンプにトラブルが生じた場合は、吸気口および排気口、パージポートを密封して早 急に送品してください。送品方法については「12.5 修理、オーバーホール等での送品方法」を参照して ください。
参考
◇ ポンプを大気に開放すると、内部に堆積した反応性生成物の反応が促進されます。で きるだけ、大気に開放しないようにしてください。
12-3
12.4 オーバーホール
STPポンプ及びコントロールユニットに使用している電解コンデンサ、空冷ファン及びヒータ等 は長期間の使用で性能の劣化が起こります。
また、使用方法によってはSTPポンプの回転翼や保護ドライベアリングも劣化・消耗し、機能維 持が失われます。
確実にお使い頂く為に下表に従い、定期的にSTPポンプ及びコントロールユニットのオーバーホ ール(有償)を実施して下さい。
項 目 期間 備 考 メタルプロセス
(生成物堆積) 1年 生成物の堆積が特に多い場合には、個別に期間を設定させ
て頂きます。
その他のプロセス 2年 生成物が堆積するプロセスの場合には、個別に期間を設定 させて頂きます。
エ ッ チ ン グ
注)1
エッチングプロセスでの御使用は非常に過酷な条件となります。長期間使用することで、
回転翼素材及び表面メッキにダメージが蓄積されます。使用期間が5年を超えるSTPポ ンプのオーバーホールの際には、回転翼を交換することを推奨します。
その他の半導体プロセス 2年 生成物が堆積するプロセスの場合には、個別に期間を設定 させて頂きます。
真空排気のみ
(真空保持のみ使用用途) 5年
その他 (2年) 御使用方法により異なります。弊社まで御相談ください。
注)1 半導体及びLCDのエッチングプロセスを指します。
注)2 コントロールユニットの空冷ファンの寿命は、使用環境に大きく左右されます。このため、
上表の期間内でも空冷ファンが停止する場合があります。空冷ファンが停止した場合には、
交換のための修理を実施して下さい。
なお、オーバーホールにおいて、劣化及び磨耗が見られた部品は有償にて交換させて頂きます。
オーバーホールを希望される場合は弊社まで御連絡ください。
12.5 修理、オーバーホール等での送品方法
警 告
◇
ポンプを装置より外す場合は、ポンプ内部のガスを全て排出してください。ガスが残っていると、ポンプを外す際にガスによる事故が発生する場合があります。
ガス供給メーカより使用するガスに関するデータシート（MSDS：Material Safety Data Sheet）を入手して、ガスの特性を確認してください。
◇
有毒ガスや反応性ガス、可燃性ガスを吸引したポンプを弊社に返却する場合は、ガス の種類と取扱上の注意事項を梱包材の外部に明記してください。ガスの特性について は、ガス供給メーカより使用するガスに関するデータシート(MSDS：Material Safety Data Sheet)を入手して確認してください。注 意
◇
返却時は外部より損傷が与えられないように確実に梱包してください。送品時のトラブルについては弊社送品仕様を遵守して頂かなかった場合は責任を負 いかねます。
修理、オーバーホール等で弊社に本機を返送する場合は、①必ず事前に弊社に連絡して ください。特に有毒なガスや反応性ガス、可燃性ガスを使用した場合は、ガスによる二 次災害とポンプの腐食を防止するため、②ポンプは真空引きし密閉状態にし、③使用し たガスの種類と取扱い上の注意事項を梱包材外部に明記して送品してください。
また、返却時は外部より損害が与えられないように確実に梱包してください。梱包材は、
弊社出荷時に使用していた梱包材か、同等以上の梱包材をご使用ください。