7.1 ポンプのベーキング
装置およびSTPポンプをベーキングすることで、到達圧力を更に低くすることや排気時間を短縮 することができます。
警 告
◇ ベーキングを行うとポンプ表面および周辺の装置が高温になります。
手を触れてやけどをしないように充分注意してください。
注 意
◇ ベーキングを行う場合は、ポンプの過熱を防止するため必ずポンプの冷却を行ってく ださい。（冷却方法は「7.2 ポンプの冷却（図7.1参照）」を参照してください。）
◇ 冷却を開始した後に、ベーキングを開始してください。
ベーキングヒータの温度は120℃以下に設定してください。
（特別付属品のベーキングヒータは温度が110℃以下になるように設定されていま す。）
◇ ベーキング時は、ポンプの過熱を防止するためガスを吸引しないでください。
参考
◇ 装置およびポンプの内壁より放出されるガスを排気するため、ベーキング中は、ポン プを運転してください。
7.1.1 ベーキングヒータの取り付け
① ベーキングヒータ（特別付属品）は、ポンプ外筒外周部の吸気口フランジの近くに取り付け てください。
（「図7.1 冷却ユニットおよびベーキングヒータの位置」を参照してください。）
② 付属の高温注意シールをポンプ表面のよく見える場所に貼り付けてください。
（「図7.1 冷却ユニットおよびベーキングヒータの位置」を参照してください。）
注 意
◇ 使用前にベーキングヒータの定格電圧を確認してください。
◇ ベーキングヒータはポンプ表面に密着させて巻き付けてください。
ベーキングヒータが密着していないと、浮いている部分が過熱します。
◇ ベーキングヒータを使用する場合、ベーキングヒータ用の保護装置（漏電ブレーカ、ヒ ューズ等）は貴社にてご用意ください。
◇ ベーキングヒータのケーブルに力が加わらないように引き回しには注意してください。
7.2 ポンプの冷却（図7.1参照）
冷却方法には冷却水による水冷方法と空冷ファンによる空冷方法があります。
ベーキングを行う場合には、ポンプを冷却する必要があります。
また、ガスを吸引する場合にもポンプを冷却してください。
貴社の装置にあわせて冷却方法を選択してください。
7.2.1 水冷方法
ポンプを冷却水にて冷却する場合は、特別付属品の水冷ユニットをご用意ください。
脚用ネジ穴（8-M8*1 深さ16mm）を使用して水冷ユニットをネジ4本で取り付けてください。
（脚用ネジ穴の位置は「図16.1、図16．2 STPポンプ外観図」を参照ください。）
① 図7.1に示す冷却水口に、冷却水用配管を接続してください。
② 冷却水口は、PT*1(Rc)1/4のメネジです。
③ 接続ホースは、内径8ｍｍ程度のものを使用して水漏れのないように確実に接続してください。
④ 冷却水は以下の条件で使用してください。
水量 2L/min 温度 5〜25℃
水圧 2.9×105Pa(3kgf/cm2)以下
参考
◇ 冷却水は、できるだけ清浄な水を使用してください。
不純物の混ざった冷却水を使用しますと冷却水管内の腐食、水詰まりの原因となりま す。
冷却水系統に異物が詰まって冷却水が流れなくなった場合には、冷却水の流れを逆 にすると詰まりがとれる場合があります。
◇ 冷却水の流量不足、断水等でSTPポンプが発熱した場合STPポンプの保護機能（ポ ンプ内過熱を検出）が作動し、ポンプを停止させます。
安全のため冷却水出口の途中にフロースイッチを入れ、冷却水異常の場合には、
STPポンプを停止させるようにしてください。
（フロースイッチは市販されています。）
◇ 長期間使用しない場合および移動する場合には、冷却水口の片側から圧縮空気等を 導入し、冷却水管内部に水が残らないようにしてください。
◇ 水冷ユニットの継手は黄銅のものを使用しています。腐蝕を防止するため、黄銅製の 継手を接続してください。
7.2.2 空冷方法
冷却水による冷却ができない場合は、特別付属品の空冷ユニットをご用意ください。
脚用ネジ穴（8-M8*1 深さ16mm）を使用して空冷ユニットをネジ4本で取り付けてください。
（脚用ネジ穴の位置は「図16.1、図16.2 STPポンプ外観図」を参照ください。）
警 告
◇ 空冷ユニットは脚用ネジ穴を4ヶ所使用して取り付けるため、脚用ネジ穴を使用したベ ース部の固定ができません。（「3.3.3 ポンプ固定方法」参照） 空冷ユニットを使用す る場合は、装置のポンプ取付フランジ部がポンプ異常時の発生トルクに耐えられる様 に貴社装置を設計してください。
注 意
◇ 使用前に空冷ユニットの定格電圧を確認してください。
◇ 空冷ユニットを使用する場合、空冷ユニット用の保護装置（ブレーカ、ヒューズ等）は貴 社にてご用意ください。
（リモート端子台TB1にはヒューズが内蔵されています。）
◇ 空冷ユニット駆動用の電源をリモート端子台（I/O TB1）に接続する場合は、安全を確 保するために、端子台に金属カバー等を取り付けてください。
◇ ケーブルに力が加わらないように引き回しには注意してください。
以下に示す方法で STP ポンプの運転と空冷ユニットの作動を連動させることができます。（「8.
リモート入出力信号用端子台」を読んだ後で操作してください。）
① 空冷ユニットを接続してください。
② 空冷ユニット用の電源を「I/O TB1 AC. POWER IN端子(1)−(2)」間に入力してください。
③ ポンプがアクセル状態およびノーマルオペレーション状態のときに、空冷ユニットが作動し ます。
④ ポンプを停止すると、空冷ユニットも停止します。
*1JIS規格
7.3 ガスの吸引
警 告
◇ ガスを吸引する場合、ポンプ内にガスが残留する場合があります。
ガス吸引停止後もパージガス導入等を行い、完全にガスを排出してください。
ガスが残留していると、ポンプを外した際にガスによる事故が発生する場合がありま す。
ガス供給メーカより使用するガスに関するデータシート（MSDS：Material Safety Data Sheet）を入手して、ガスの特性を確認してください。
注 意
◇ ケミカル仕様品［Cタイプ］は塩素系、フッ素系のガスは使用可能です。
他の特殊ガス（Liを除くアルカリ金属を含むガスおよびGa, Hg, In, Snを含むガス、
HBr等）を使用する場合は、弊社にご相談ください。（「1.1 使用可能ガスについて」を 参照してください。）
◇ STP-301、STP-451等、耐腐食性の処理を行っていないポンプは腐食性のガス（塩素
系、フッ素系ガス等）は使用できません。
◇ ガスを吸引する場合はポンプの過熱を防ぐためにポンプを冷却してください。（「7.2 ポ ンプの冷却（図7.1参照）」を参照してください。）
7.3.1 パージガス導入方法（ケミカル仕様品[Cタイプ]の場合）
反応性ガスまたは腐食性ガスを吸引する場合は、ポンプ内部を保護するためにパージガスを導入 してください。
1) パージポートにニードルバルブ等を接続してドライ N2ガス等を導入しガスパージを行
ってください。
（「3.3.6 パージポートの接続」を参照してください。）
2) パージガスの流量は、1.7×10-2Pa･m3/sec.（10SCCM）程度が適当です。
ガス圧は、0（大気圧）〜4.8×104Pa(0.5kgf/cm2)［ゲージ圧］を目安としてください。
参考
◇ パージポートを使用しない場合には、必ず付属のブランクフランジを取り付けてくださ い。
ラベルはヒーターに 付属しています ベーキングヒータ
(特別付属品)
冷却水口 RT(Rc)1/4
冷却水口 RT(Rc)1/4 水冷ユニット(特別付属品)
水冷時に使用
空冷ユニット(特別付属品) 空冷時に使用
図7.1 冷却ユニットおよびベーキングヒータの位置