15-115 トラブルシューティング
16 仕様・付属品
16.1 STPポンプ仕様
表16.1 STPポンプ仕様
本表の値は実測データの代表値であり、保証値ではありません。
項目 STP-301シリーズ STP-451シリーズ 吸気口 ICF152/VG100/ISO100 ICF203/VG150/ISO160 フランジ口径*1
排気口 KF25
N2 L/s 300 480
He L/s 280 460
排気速度*2
H2 L/s 300 460
N2 >108
He 5×105
圧縮比*2
H2 2×104
10-8 （10-10） :ICFフランジ 耐腐食処理なし
6.5×10-6(5×10-8) :VG/ISOフランジ 10-7 （10-9） :ICFフランジ 到達圧力*2
Pa (Torr)
ケミカル仕様品
6.5×10-6(5×10-8) :VG/ISOフランジ 許容吸気口圧 Pa(Torr) 6.7×10-2 (5×10-4) : 自然空冷時
許容排気口圧 Pa(Torr) 13 (0.1) : 自然空冷時
回転数 rpm 25,000〜48,000
起動時間 min 3
停止時間 min 3
振動 μm(0‐P) < 0.01 (48,000rpm時) 騒音 dB < 50 (48,000rpm時)
ベーキング温度 ℃ < 120
潤滑油 不要
取付姿勢 自由
冷却方法 自然空冷
（水冷、空冷：ベーキングおよびガス吸引時）
標準補助ポンプ L/min 240
重量 kg 11 12
寸法 mm φ180×230 φ180×200
許容周囲温度 ℃ 0〜40
保存温度 ℃ ‐25〜55
*1: ICF（JVIA規格）
VG,KF（JIS規格）
*2: 48,000rpmの値です。回転数により性能は変化します。
16-1
16.2 STPコントロールユニット仕様
表16.2 STPコントロールユニット仕様
項目 仕様
入力電圧 ACV 100〜120±10%（100V仕様）
200〜240±10%（200V仕様）
起動時 VA 550
入力電力
定常時 VA 150
入力周波数 Hz 50/60±2
入力相数 単相
メインブレーカ定格電流 A 7.5
メインブレーカ定格遮断容量
(AIC; Amper Interupting Capacity) 1000A (AC240V, 50/60Hz) モーター駆動方式 三相DCブラシレスモータードライバー 定常時出力電圧（三相） ACV 31〜62
定常時出力周波数 Hz 420〜800
許容周囲温度 ℃ 0〜40
保存温度 ℃ ‐25〜55
重量 kg 7
寸法 mm W209.5×H132.5×D315
● STARTスイッチ （ノンロック式押しボタン・緑）
● STOPスイッチ （ノンロック式押しボタン・赤）
● RESETスイッチ （ノンロック式押しボタン・白）
● SELECTスイッチ （ノンロック式押しボタン・白）
操作スイッチ
● MANUAL/REMOTE切換スイッチ （スライドスイッチ・灰）
● ACCELランプ （緑LED）
● NORMALランプ （緑LED）
● BRAKEランプ （黄LED）
● POWERランプ （緑LED）
● FAILUREランプ （赤LED）
パネル表示灯
● REMOTEランプ （緑LED）
パネルディスプレイ ● LCDキャラクターディスプレイ （16文字）
● AC POWER CON1 （3ピン）
● P.CONNECTOR CON2 （45ピン）
● I/O TB1 （20ピン）
入出力端子
● I/O TB2 （6ピン）
● 電源（一次側）ケーブル
● STP接続ケーブル 入出力ケーブル
● アース線
● 磁気軸受異常検出 （ロータ振動100μm0-P以上）
● STPポンプモータ過熱検出 （110℃以上）
● ドライバー過負荷検出 （モーター電流過大）
● 停電検出（約2秒以上の停電を検出）
安全機能
16.3 付属品
表16.3 付属品
*1：ケーブル長は標準で3mです。
品名 数量 備 考
STPコントロールユニット 1
電源（一次側）ケーブル*1 1 片側コネクタ付 STP接続ケーブル*1 1 両端コネクタ付
アース線*1 1 両端圧着端子付
吸気口用蓋 1
排気口用蓋 1
STP接続コネクタ用蓋 1
予備ヒューズ 250V, 10A 2 F1、F2用（リアパネル）
取扱説明書 1
表16.4 ケミカル仕様品［Cタイプ］追加付属品
本付属品はケミカル仕様品［Cタイプ］のポンプにのみ、表16.3の付属品に追加付属します。
品名 数量 備考
パージポート用ブランクフランジ 1 KF*210 パージポート用クランパー 1 KF*210 パージポート用Ｏリング座 1 KF*210
*2：JIS規格
表16.5 推奨保守部品
品名 型式 仕様
F1、F2用ヒューズ MF60-NR10 10A, 250V
（東洋ヒューズ製） 10A, 250V 普通溶断形 φ6.35×30mm
注 意
◇ 推奨保守部品以外を使用する場合は、弊社へお問い合わせください。
16-3
MIN 230
Ａ φ156
50
φ180
1 197(33)
933
()8 Ｄ φ128
φＢ
Ｃ
Ａ
99.5 φ160
108
Ａ Ｂ Ｃ Ｄ
IC F* 215 2 2 3 0 1 5 2 1 7 1 2 1
V G*11 0 0 23 0 18 5 17 1 1 2
I S O 1 0 0 2 3 0 1 3 0 1 7 1 1 2
I C F*220 3 2 0 0 2 0 3 1 4 1 2 2
V G*11 5 0 20 0 23 5 14 1 1 2
IS O1 60 20 0 18 0 14 1 12
KF* 12 5
8‑ M8*1
25°
20° 吸気口フランジ
排気口
脚用ネジ穴
STP接続コネクタ
A矢視 単位:mm (接続ケーブル曲げ寸法)
深16
*1:JIS
*2:JVIA規格 機種名
フランジ
STP-301シリーズ
機種名ポンプ全長及びフランジ部 寸法表
STP-451シリーズ
MIN 230
Ａ φ156
50
φ160
108
99.5 φ180
1 197(33)
933
(8) Ｄ φ128
φＢ
110
Ｃ
Ａ
25°
20° KF
* 125
*1:JIS
*2:JVIA規格 A矢視 単位:mm
Ａ Ｂ Ｃ Ｄ
I C F* 21 52 23 0 15 2 17 1 2 1
V G* 11 00 2 3 0 1 8 5 1 7 1 12
ISO 10 0 23 0 13 0 17 1 1 2
IC F* 22 03 2 00 2 03 1 41 2 2
V G* 115 0 20 0 23 5 14 1 12
IS O1 60 2 00 1 80 1 41 12 機種名
フランジ
STP-301シリーズ
機種名ポンプ全長及びフランジ部 寸法表
STP-451シリーズ (接続ケーブル曲げ寸法)
STP接続コネクタ 8‑ M8*1
脚用ネジ穴 深16
排気口 吸気口フランジ
パージポート
図16.2 STPポンプ外観図 [ケミカル仕様品[Cタイプ]] （例:STP-301C）
16-5
3151.65122.5 132.5
34.85 140 34.85
209.7
4‑φ3.6
4.85 200 4.85
25 150 25
11110.511
ゴム足用ネジ穴 4‑M4 深さ5
(150以上)ケーブルスペース
16-7
ROTATION