マルチピクセルの透過特性

図 5.4.4 は 製 作 し た プ ラ ズ モ ニ ッ ク ナ ノ シ ー ト の 透 過 光 ス ペ ク ト ル お よ び 透 過 顕 微 鏡 画 像 で あ る ． 図 5.4.4 (a)の CCDカ メ ラ で 取 得 し た 透 過 色 は ， 可 視 光 波 長 帯 域 に 対 応 し た 複 数 色 が 観 測 さ れ ， 明 確 に 色 の 違 い を 認 識 で き る ほ ど 高

SBS Al width: SBS

250 nm

period:

600 nm

top view bird’s-eye view

1 µm

width:

250 nm

period:

400 nm width:

250 nm

period:

300 nm

(a) (d)

(b) (e)

(c) (f)

120

彩 度 で あ る ． 僅 か に 見 ら れ る 色 ム ラ は ， 製 作 し た カ ラ ー ナ ノ シ ー ト を 扱 う 際 に 生 じ た ひ ず み に よ る 部 分 的 な 構 造 周 期 の 変 化 ， シ ー ト の 波 打 つ よ う な 傾 き な ど が 影 響 し た と 考 え ら れ る ． 赤 色 の 画 素 に 顕 著 に 見 ら れ る 影 は ， 製 作 以 前 に ナ ノ シ ー ト に 入 っ て い た 欠 陥 で あ る ．図 5.4.4 (b)の 実 線 で 示 す 実 測 ス ペ ク ト ル で は ，Al ナ ノ ス ト ラ イ プ 周 期 の 拡 大 に 伴 い 透 過 ピ ー ク 波 長 が 439 nmか ら 641 nm ま で お よ そ 線 形 的 に 増 加 し て い る ． こ の た め ，MEMS ア ク チ ュ エ ー タ に よ る 電 圧 駆 動 に お い て 波 長 制 御 が 比 較 的 容 易 に な る と 考 え ら れ る ． 図 5.2.1 の RCWA 解 析 結 果 と 比 較 す る と ， 格 子 周 期 が 短 い 画 素 で は 透 過 ピ ー ク 波 長 に 実 測 と の 誤 差 が 生 じ た ．

図 5.4.4. マ ル チ ピ ク セ ル の(a) 透 過 顕 微 鏡 画 像 ，(b) 透 過 ス ペ ク ト ル の 実 測 値 ．

こ の 差 異 に つ い て 議 論 す る た め ， 図 5.4.5 に 示 す よ う に 格 子 周 期 を フ ィ ッ

4000 450 500 550 600 650 700

10 20 30 40 50 60

Transmittance [%]

Wavelength [nm]

grating period 300 nm 350 nm 400 nm 450 nm 500 nm 550 nm 600 nm 300 nm 350 nm 400 nm 450 nm 500 nm 550 nm 600 nm (a)

(b)

121

テ ィ ン グ パ ラ メ ー タ と し て フ ィ ッ テ ィ ン グ ス ペ ク ト ル を 解 析 し ，実 測 値 と 比 較 し た ． 破 線 は RCWA に よ る 解 析 値 を 表 し て い る ． こ の 結 果 よ り ， 格 子 周 期 の フ ィ ッ テ ィ ン グ の み で 実 測 に 一 致 す る こ と が 判 明 し た ．定 量 的 に 評 価 す る た め ， 解 析 値 と 実 測 値 と の 格 子 周 期 お よ び ピ ー ク 中 心 波 長 の 変 位 を 図 5.4.6 に ま と め た ． 格 子 周 期 お よ び ピ ー ク 波 長 の 変 位 は ， 設 計 値 に 対 し て 最 大 で 6.7%で あ っ た ． ま た ， 格 子 周 期 が 狭 い ほ ど 変 位 が 増 加 す る 傾 向 に あ る こ と が 分 か っ た ． 原 因 と し て ， 自 立 膜 と し て 形 成 し た 際 に SBS ナ ノ シ ー ト の 弾 性 変 形 に よ り 周 期 変 化 が 生 じ た こ と が 挙 げ ら れ る ．ま た ，FIB 加 工 限 界 で あ る 50 nm の 格 子 間 ギ ャ ッ プ を 持 つ 周 期 300 nm に 近 づ く ほ ど ， ビ ー ム の 広 が り に よ っ て 格 子 幅 ，格 子 断 面 形 状 が 設 計 構 造 と 異 な っ た た め ，ピ ー ク 中 心 波 長 が 非 線 形 的 に 変 位 し ，フ ィ ッ テ ィ ン グ に 要 し た 格 子 周 期 変 位 が 見 か け 上 増 加 し た と 考 え ら れ え る ．

動 的 色 変 調 は ， 伸 縮 に よ り 格 子 周 期 を 連 続 的 に 制 御 す る ． 幸 い な こ と に ， シ フ ト す る ピ ー ク の 形 状 は 維 持 さ れ て お り ，変 位 は 僅 か な 格 子 周 期 の 調 整 で フ ィ ッ テ ィ ン グ で き た ．よ っ て ，可 変 フ ィ ル タ の 動 作 に お い て 変 位 の 影 響 は ほ と ん ど 無 視 で き る と 考 え ら れ る ．全 体 的 に は ，サ イ ド バ ン ド を 含 め 解 析 値 と 良 く 一 致 し て い る ．

122

図 5.4.5. 実 測 ス ペ ク ト ル お よ び フ ィ ッ テ ィ ン グ ス ペ ク ト ル ．

400 450 500 550 600 650 700 750

Tra nsmitta nce [a.u .]

Wavelength [nm]

grating period:

Λ= 300 nm Λ= 350 nm Λ= 400 nm Λ= 450 nm Λ= 500 nm Λ= 550 nm Λ= 600 nm

simulated value measured value

123

図 5.4.6. 解 析 値 に 対 す る 実 測 値 の 格 子 周 期 お よ び ピ ー ク 中 心 波 長 の 変 位 ．

図 5.4.7 は ， 図 5.2.1 で 示 す 解 析 透 過 ス ペ ク ト ル ， 図 5.4.4 で 示 す 実 測 透 過 ス ペ ク ト ル の そ れ ぞ れ と 等 色 関 数 と の 積 分 値 よ り 刺 激 値 を 算 出 し ，xy 色 度 図(CIE 1931)に プ ロ ッ ト し た 結 果 で あ る ． 黒 丸 点 は 実 測 値 ， 白 抜 き の 丸 点 は 解 析 値 ，ク ロ ス 印 が 白 色 点(x，y = 0.3128，0.3290)を 示 す ．さ ら に ，国 際 標 準 規 格 の 色 空 間 で あ る sRGB (Red (x，y = 0.6400，0.3300)，Green (x，y = 0.3000，

0.6000)，Blue (x，y = 0.1500，0.0600))を 表 示 す る ．こ れ よ り ，製 作 し た プ ラ ズ モ ニ ッ ク カ ラ ー シ ー ト の 色 域 は ，単 色 光 で 表 現 可 能 な 色 域 を 意 味 す る 色 度 図 の 湾 曲 部 分 の”ス ペ ク ト ル 軌 跡”を ほ と ん ど 補 う こ と が で き て い る ．一 方 で ， 単 一 ピ ー ク で は 表 現 で き な い 直 線 部 分 の“純 紫 軌 跡”に は プ ロ ッ ト が 及 ば ず ， 単 一 画 素 で の フ ル カ ラ ー 表 示 に 向 け て は 二 つ 以 上 の 波 長 ピ ー ク を 持 つ よ う 設 計 す る か ， 複 数 画 素 に よ り 混 色 表 示 す る 必 要 が あ る ．sRGB の 色 域 と 比 較 す る と ， 格 子 周 期 450 nm 程 度 ま で は 上 回 っ て い る が ， 長 波 長 領 域 に お い て 彩 度 は sRGB の 50%程 度 ま で 減 少 し た ．こ れ は ，動 的 色 変 調 の た め に 設 計 し た 周 期 格 子 の 幅 が 常 に 一 定 値 で あ り ，格 子 周 期 の 拡 大 に 伴 い デ ュ ー テ ィ ー 比 (格 子 幅 ／ 格 子 周 期)が 減 少 し た た め と 推 察 さ れ る ．こ の 状 態 で は リ ー ク 光 が 増 加し て メ イ ン ピ ー ク 以 外 の サ イ ド バ ン ド で 透 過 率 が 増 加 す る と 考 え ら れ る ． そ の 結 果 と し て 彩 度 が 低 下 し ，色 度 図 上 で は 中 心 の 白 色 点 に 近 づ く こ と に な る ． し か し な が ら ， こ れ ま で 報 告 が な か っ た 膜 厚 400 nm の エ ラ ス ト マ ー ナ ノ シ ー ト を 使 用 し ， 動 的 色 変 調 を 想 定 し た 設 計 に も か か わ ら ず ， ほ と ん ど の 色 域 を 表 示 可 能 な プ ラ ズ モ ニ ッ ク カ ラ ー シ ー ト を 実 証 す る こ と が で き た た め ， 最 終 目 的 で あ る MEMS 可 変 カ ラ ー フ ィ ル タ に 繋 が る 成 果 と い え る ．

300 350 400 450 500 550 600

-8 -4 0 4 8

Defference [%]

Grating period [nm]

peak wavelength grating period

124

図 5.4.7. 透 過 ス ペ ク ト ル よ り 算 出 し た xy 色 度 図(CIE1931)．