半導体製造装置プロセス管理技術
半導体製造装置プロセス管理技術
... 1） レシピ特許を含むプログラム特許では、日米での出願人分布は大きな違いがある。米国登録特許では、アプライドマ テリアルズ社（AM AT）、アドバンストマイクロデバイセズ社（AM D ）の上位2社でプログラム特許全体の55. 2％を占め ており、この2社は明らかに戦略的に特許を取得していると見られるのに対して、日本は大手半導体メーカや製造装 ...
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JAIST Repository: パワー半導体への適用を目指した液体プロセスによるSiC膜の研究
... （４）SiC 膜のエピタキシャル成長の可能性 検討 現在の SiC-MOSFET では、CVD（Chemical Vapor Deposition）法により SiC 膜をエピタ キシャル成長させてチャネル膜を形成して いる。この時、1600∼1800℃の高温処理が必 要であり、製造装置は非常に高額となる。本 研究では、SiC 基板上に液体プロセスを用い て SiC ...
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中小製造業における「測定・解析」技術の導入プロセスと取引関係の変化
... ところが，日本の半導体産業の国際競争力の低下に連動して，ステンレスの部分めっき技 術に関連した売上も徐々に減少してきた。こうした中で，次の事業の柱にしようとしている のが「ダイヤモンド特殊電着技術」である。1995 年に，知り合いの工具企業から「金属表面 にダイヤモンドをめっきで固着すること」を要望される。これはめっきとダイヤの複合技術 ...
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米中摩擦懸念も IoT ビッグデータなどの情報爆発で構造変化続く 半導体: 産業のコメから社会基盤全体のコメへ改めて拡大続く 半導体製造装置: 半導体生産増受け前工程中心に 2019 年も拡大 産業用ロボット: インダストリ 4.0 無人化 省力化需要高まる 工作機械: 高機能自動車 半導体製造に不
... 261 億ドル上方修正され、12.4％増の 4634 億ドル予測とし、調査ごとの上方修正が続いて いる。また 2019 年についても拡大を続け、4.4％増の 4837 億ドル予想とした。16～19 年 にかけ４年連続の前年比プラスとなる予想であるが、02～07 年にかけ 6 年連続で成長して 以来のスーパーサイクルへの期待が膨らむ。スマートフォン向けの伸びは鈍化するものの、 ...
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JAIST Repository: 半導体と装置の価値は競争か共創か : パッケージとチップボンダーのケース
... 今後の課題として、今回の検証では、各メーカーの価値に対する関心の対象を把握する手段として、 入手可能なリーフレットを用いたが、サンプル数を増やし、より客観的な指標を考えたい。また、これ がボンダーだけでなく、他の製造装置などへも普遍化できるかが課題である。 さらには、リーフレット作成担当者へのヒアリングだけでなく、製品装置自体がどのように価値創造 ...
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Kokusai Semiconductor Equipment Corp. 同社は 半導体製造装置の販売 サービス事業を行っています 1992 年に当地に法人を設立してから 20 年以 上の実績を有しています 同社は 高品質な半導体製造装置の販売及びサービスにより 高い評価を得ています 実際 複数の
... リコーは、1962年に米国でのカメラ販売事業を開始して以来、複合機、プロダクションプリンター、感熱紙などの製 造、販売、ITインフラサービス、ビジネスプロセスサービスなどの事業を展開しています。販売会社であるRicoh Americas Corporationが販売網を全米に網羅しているほか、カリフォルニアに研究開発拠点（Ricoh Innovation ...
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超音波スプレー技術を用いた次世代半導体洗浄技術に関する研究
... 研究分野：電気電子材料、品質工学 キーワード：半導体デバイス、超音波洗浄、ポリエスチレンラテックス (PSL)粒子、洗浄、純水、エレクトロスプレー 1．研究開始当初の背景 近年、半導体デバイスの微細化進み ITRS(International Technology Roadmap of Semiconductor)2.0 によると 2020 年 に DRAM (Dynamic Random Access ...
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半導体技術分野の重要技術説明資料
... Ⅲ−21 度なサービスが可能になるであろう。 SoC 混載用不揮発性メモリ システムオンチップ（SoC）は今後の電子機器の高付加価値化を支える中核的な半導体デバイ スである。高性能で小型であることから、据え置き型電子機器と並んでモバイル機器に多用され る。そのため、今後ますます、SoCには低消費電力長時間動作と、電源ON・OFFにより瞬時に 動作開始・終了できる機能の実現が求められるようになる。現状では、このような機能は ...
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JAIST Repository: 製造装置業界の垂直水平競争力分析
... 装 装置 置に には は、 、 隣 隣接 接上 上下 下工 工程 程依 依存 存度 度と と工 工程 程繰 繰り り返 返し し回 回数 数で で、 、 統 統合 合型 型と と個 個別 別型 型が があ ある る 出 出所 所： ：若 若林 林 22002200 前工程は、更に、半導体素子を形成する基板工程 (フロントエンド)、配線工程(バックエンド)があり、 ...
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JAIST Repository: 製造プロセス技術のスピルオーバー同化能力に関する一考察 : 日本の産業用ロボット生成期を例として
... 産業用ロボ ツド においては、 1 チップ CPU による座標演算機能のために、 それまで制御が 難し く機構が複雑であ った関節型ロボットの 操作が一気に 単純化した。 6 また、 電力制御用半導体素子 製造技術とマイクロコンピュータ 関連技術の進歩によって、 パワートランジスタが 普及し、 サーボ モ 一タの 大容量化、 小形化が[r] ...
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JAIST Repository: 半導体液体プロセスにおける微視的濡れ性制御：計算科学的アプローチ
... プリンテッドエレクトロニクス技術(液体 プロセス技術)は、半導体原料を含むインクを 塗布・焼結して半導体デバイスを製造する汎 用的次世代半導体製造技術である[文献①]。 特に、省資源・低環境負荷の点に優れており、 また幅広いインク(環状シリコンや酸化物半 導体)を利用可能となっており、適用範囲が広 ...
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RIETI - 汎用技術としての半導体
... のように物理的な回路が抽象化され、論理的なプログラムと切り離されることによって、 半導体のモジュール化は急速に進んだ。 チューリング・マシンのような論理的なモデルでは、命令をソフトウェアで書くのも回 路で実現するのも同じことだが、実装するコストには大きな違いがある。初期の IC のよう に機能ごとに違う論理回路を設計すると、ひとつの半導体で機能を実現できるが、プログ ...
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目次 1. 装置のご紹介 2. 技術的背景 3. 製造工程の概要 4. ロール to ロール / リール to リール 搬送機構例 5. 装置例 6. お問合せ Contact Us
... TAB・COF 製造装置のご紹介 】 進和工業株式会社は1970年代に写真製版用装置の製作販売から出発しました。弊社が半導体用リードフレーム（L/F）や TAB（Tape Automated Bonding）といったフォトエッチング技術を応用した電子デバイス製造用装置の製作を開始したのは ...
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JPCA Show 2016 配布資料 トリニティ スミック 千住金属工業は 単に材料の製造や販売を行うだけではなく 材料を扱う技術をプロセスとして また それに使用する装置の 3 つの技術を一体化させて お客様のソルダリングソリューションをサポートします
... ● 優れたフラックス材料開発力が、残渣フリーフラックス NRB シリーズ を開発 ● はんだ付けを熟知しているメーカーの、 SVR-625GTC でボイドフリー ● 材料と装置に、ノウハウを加えて低飛散、残渣＆ボイドフリー実装を実現 TRINITY SMICで、低飛散,ボイド＆残渣フリー実装を実現 ...
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半導体デバイス製造のウエットプロセスにおける帯電・放電現象の解明とその対策
... IoT、AI 技術が注目され、まさに技術の革新時代に突入している。このキーテクノロジーの一つ に CMOS イメージセンサ、CCD イメージセンサ等の半導体デバイスがある。半導体デバイス製造プロセスは、フォ トリソグラフィ工程、イオン打込み工程等多くの工程を繰り返し行うが、洗浄工程はいずれの前後に存在し、半導体 ...
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JAIST Repository: 半導体製造装置サブシステムにおける技術伝播 : ターボ分子ポンプのケース
... 一方、その半導体を作る製造装置においては、 2000 年以降でも、日本のメーカーの中には、前工程、 後工程でそれぞれシェアの高いメーカーが存在して いる。日本の半導体製造装置メーカーは力を温存し、 2006 年度の実績で見ると、製造前工程では、例えば、 電子ビーム描画装置が 48％、コータ＆デベロッパが ...
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JAIST Repository: 国際貿易にみる半導体製造装置産業の発展と競争力
... 半導体産業のもう１つの特徴は設備投資が巨額である点である。半導体生産では半導体回路を焼き付けるシ リコンウェーハの面積（直径）が拡大すればするほどより多くの半導体チップを生産できるため，ウェーハの大口 径化が生産コストの低減に直結する。また，ウェーハに焼き付ける回路加工技術も微細化が進み，近年では微 ...
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ここまで 生産システムのマネジメント 原価管理 作業改善 工程 在庫管理 品質管理 人事労務管理 設備管理 購買管理 製造企業のもう一つの中核機能 研究開発 製品開発 製品開発のプロセスと組織 開発期間 ( リードタイム ) 開発効率 ( 開発生産性 ) 商品力 ( 設計品質 ) 測定の問題と管理
... 先行技術開発 「 要素技術 」（部品や素材などに体化された技術）をあらかじめ 開発（「冷蔵庫」） 機能部品から成る機械製品の場合、「製品技術」は個々の構成 部品の中に「要素技術」として埋め込まれていることが多い。 ...
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SEAJ( 日本半導体製造装置協会 ) JAMP( アーティクルマネージメント推進協議会 ) 共催 環境情報専門委員会 chemsherpa 導入講座 ( 化学物質管理 ) 及び chemsherpa 入門講座 ( データ作成方法 ) 一般社団法人日本半導体製造装置協会 Semiconductor
... イビデン㈱、アイホン㈱、オルガン針㈱、大内新興化学工業㈱、大塚化学㈱、㈱アルゴグラフィックス、 エア・ウォーター・マッハ㈱ 【か行】 キヤノン㈱、花王㈱、㈱クレハ、甲賀高分子㈱、北村化学産業㈱、㈱クボタ、旭東電気㈱、互応化学 工業㈱、グローバルマイクロニクス㈱、（一財）化学研究評価機構、コーセル㈱、コニカミノルタ㈱、 ㈱キャリアパートナーズ、京都技術法規サービス合同会社、グローリー㈱、京浜光膜工業㈱、堅田電 機㈱、㈱カネカ ...
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2016 年技術年鑑 1. 変減速機 インバータ 1 2. プラスチック加工機械 3 3. 電子機械 6 4. 半導体製造装置 7 5. エネルギー 環境設備 9 6. 量子機器 精密機器 極低温装置 制御システム 17 Sumitomo Heavy Industries T
... 受動素子の一つであるインダクタは，抵抗率の低いシリコ ン基板上の配線層最表面にアルミニウムなどの渦巻き構造で 形成されている。インダクタに電流が流れると，電磁誘導に よりシリコン基板中に渦電流が発生し，電力損失が生じる。 その結果，インダクタの消費電力が増加し，これがモバイル 通信機器の使用時間を短くさせる要因の一つとなっている。 住友試験検査のイオン照射技術は，インダクタ下層のシリ ...
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