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半導体製造プロセスの微細化により、さら

半導体製造装置プロセス管理技術

半導体製造装置プロセス管理技術

... 場 成 長 性 は 半 導 体 に 限 ら ず 各 方 面 か ら 言 わ れ て い る だ け に 、 こ 地 域 で ビ ジ ネ ス を 優 位 に 進 め る た め に 特 許 取 得 は よ り 重 要 に な る と 考 え ら れ る 。 一 方 、 コ ア テ ク ノ ロ ジ に 対 す る 特 許 取 得 を 考 え る と 、 ま ず 、 特 ...

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技術の系統化調査報告「プロセス制御システムの技術系統化調査」

技術の系統化調査報告「プロセス制御システムの技術系統化調査」

... プロセス制御システム技術系統調査 A Technical Survey of Process Control Systems ■ 要旨 プロセス制御とは、JIS-B0155によると「プロセス操業状態に影響する諸変量を、所定目標に合致するように ...

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ナノ世代物理設計 WG ナノ世代テクノロジに向けた新しい タイミングコーナーの考え方 ~ 微細化における設計対策 ~ 赤嶺武一郎 ( 富士通セミコンダクター ) Fabless 時代の DFM を問う ~ 設計と製造をいかに補完し合うか ~ 黒川敦 ( 弘前大学 ) システムデザインフォーラム 20

ナノ世代物理設計 WG ナノ世代テクノロジに向けた新しい タイミングコーナーの考え方 ~ 微細化における設計対策 ~ 赤嶺武一郎 ( 富士通セミコンダクター ) Fabless 時代の DFM を問う ~ 設計と製造をいかに補完し合うか ~ 黒川敦 ( 弘前大学 ) システムデザインフォーラム 20

... Foundry&EDAベンダーへ期待 リソ /平坦対策前と後ではタイミング解析条件が異なるはず! ばらつき、信頼性詳細な情報 面積優先、リソ対策優先等、チップコストと品質を設計者が選択 ...

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SIMATIC STEP 7 in TIA Portal TIA ポータルで進化する制御設計ソフトウェア設計データは統合プラットフォームで一括管理 シーメンスは 制御全体の視点から設計 ~ 製造プロセスを最適化するコンセプトとして TIA(Totally Integrated Automation)

SIMATIC STEP 7 in TIA Portal TIA ポータルで進化する制御設計ソフトウェア設計データは統合プラットフォームで一括管理 シーメンスは 制御全体の視点から設計 ~ 製造プロセスを最適化するコンセプトとして TIA(Totally Integrated Automation)

... ネットワークとデバイス設定 大きなプロジェクトからコンパクトな装置まで制御システム ネットワーク構築とデバイス設定を一元管理 情報系から制御系まで複数ネットワークとデバイス構成を同一 画面上に表示し、オンラインモードではネットワーク診断情報を 表示します。エディタは次 3 つビューで構成されます。 ・ネットワークビュー ・・・ ...

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2. 研 究 実 施 内 容 ( 文 中 に 番 号 がある 場 合 は(3-1)に 対 応 する) (1) 物 理 化 学 プロセス グループ 自 己 組 織 化 プロセスを 用 いて 形 成 されるハニカム 状 多 孔 質 膜 を 出 発 材 料 として 二 次 加 工 プロセスにより 形 成

2. 研 究 実 施 内 容 ( 文 中 に 番 号 がある 場 合 は(3-1)に 対 応 する) (1) 物 理 化 学 プロセス グループ 自 己 組 織 化 プロセスを 用 いて 形 成 されるハニカム 状 多 孔 質 膜 を 出 発 材 料 として 二 次 加 工 プロセスにより 形 成

... 「フナムシ」は脚を巧妙に使って鰓に適切量水を補給する。この脚微細構造吸水メカニ ズム解明において、微細構造がもつフェールセーフ機能を明らかにし、フルイディクス・デバイス 開発指針を得た。さらに、イオン液体を利用することで、脚内微細構造に沿って液体が輸送さ れる過程を SEM ...

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バイオ医薬品は生物を用いて製造されます 通常 細菌や動物細胞などの生体の中で目的とするタンパク質を産生させます バイオ医薬品の特性は製造プロセスの状態に依存するところが大きく しばしば プロセスが製品 と喩えられます 事実 製造プロセスにおける小さな変更でも 最終製品の違いにつながる可能性があります

バイオ医薬品は生物を用いて製造されます 通常 細菌や動物細胞などの生体の中で目的とするタンパク質を産生させます バイオ医薬品の特性は製造プロセスの状態に依存するところが大きく しばしば プロセスが製品 と喩えられます 事実 製造プロセスにおける小さな変更でも 最終製品の違いにつながる可能性があります

... 2 バイオ医薬品は生物を用いて製造されます。通常、細菌や動物細胞など生体中で 目的とするタンパク質を産生させます。バイオ医薬品特性は製造プロセス状態に依 存するところが大きく、しばしば「プロセスが製品」と喩えられます。事実、製造プロ ...

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微細組織制御に基づくMgB2超伝導線材の高臨界電流密度化の研究

微細組織制御に基づくMgB2超伝導線材の高臨界電流密度化の研究

... 査 結 果 要 旨 氏 名 児 玉 一 宗 本学位論文は, 「微細組織制御に基づく MgB2 超伝導線材高臨界電流密度 研究」と題して,MgB2 超伝導線材製造プロセス改良により微細組織を制 ...

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太陽電池用シリコン製造プロセス副生物からの機能性シリカの気相合成

太陽電池用シリコン製造プロセス副生物からの機能性シリカの気相合成

... 図 Figure II.1 金属シリコン製造プロセス................................................................ 27 Figure II.2 多結晶シリコン製造新規プロセス基礎....................................... 34 Figure ...

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リンドープn型ダイヤモンド半導体の電極界面特性の解明と低抵抗化

リンドープn型ダイヤモンド半導体の電極界面特性の解明と低抵抗化

... ダイヤモンド半導体は、1.2.3 節で述べた優れた物性だけでなく、多くユニークな性質も有してい る。例えば、一般半導体材料(Si、Ge)よりも水素(H)電気陰性度は大きく、さらにダイヤモン ドを構成する炭素(C)方が大きいため、ダイヤモンド半導体表面を水素原子で終端すると、負性 電子親和力(NEA: negative ...

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RIETI - 機械製造業のグローバル化と生産性に対する影響

RIETI - 機械製造業のグローバル化と生産性に対する影響

... al,2006)。しかし、上記 ような海外進出企業内生産プロセス再配分といった生産性上昇源泉にせまる分 析は行われていない。また、市場競争激化に伴って、海外進出企業は海外生産を増やす ことによる対応をとりやすいが、海外生産を行っていない企業は限られた選択肢中で ...

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豊田工業大学ナノテクノロジープラットフォーム LeafLetシリコンと各種物質のナノ微細加工によるハイブリッド化ものづくり

豊田工業大学ナノテクノロジープラットフォーム LeafLetシリコンと各種物質のナノ微細加工によるハイブリッド化ものづくり

... 設備とシリコン系( 3 ~ 4 インチ対応)素子半導体プロセス設備を備えており、企業 で実務 経験ある技術職員が技術指導・委託加工に対応する。また、マ ス クレス 露光装置を導入し、最新設備等充実も図りつつある。 一方、多種多様なナノテクノロジーを持つ研究室群も連携して支援活動を実施す る 。 研 究 室 群 で は 、 Ⅲ - Ⅴ 族 、 カ ー ボ ン 、 ...

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9 174 製造工程の開発作業により どのような物質特質 ( 例えば 原料 出発物質 試薬 溶媒 プロセス助剤 中間体等 ) 及び工程パラメータを管理すべきかを特定しなければならない The manufacturing process development program should ident

9 174 製造工程の開発作業により どのような物質特質 ( 例えば 原料 出発物質 試薬 溶媒 プロセス助剤 中間体等 ) 及び工程パラメータを管理すべきかを特定しなければならない The manufacturing process development program should ident

... 7 155 バイオテクノロジー応用医薬品/生 物起源由来医薬品では、不純物とし て製造工程由来不純物又は目的物 質由来不純物(ICH Q6B参照)があ る。製造工程由来不純物には、細胞 基材に由来する不純物(例えば、宿 主由来タンパク質、宿主細胞由来 DNA);細胞培養液に由来する不純 物(例えば、培地成分);及び、細胞 培養以降工程に由来する不純物 ...

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概要 GaN 系半導体デバイスとして レーザー 高輝度 LED パワー半導体が関心を集め 研究対象となっているが これらデバイスは GaN 基板を必要とする場合が多い GaN 単結晶の製造が技術的に困難なため GaN 基板は極めて高価で GaN 基板を利用したデバイスの実用化を阻んでいるとされている

概要 GaN 系半導体デバイスとして レーザー 高輝度 LED パワー半導体が関心を集め 研究対象となっているが これらデバイスは GaN 基板を必要とする場合が多い GaN 単結晶の製造が技術的に困難なため GaN 基板は極めて高価で GaN 基板を利用したデバイスの実用化を阻んでいるとされている

... CVD プロセスを利用する気相成長法(HVPE 法)、超臨界アンモニアを利用するア モノサーマル法、 Na 融液を利用する Na フラックス法などが研究されている。 GaN は結晶成長時晶癖ため、特に+C 軸方向に成長させると円錐型に直径がどんどん減少 し、長い単結晶が取れないという問題もある。このため、単結晶から数枚~ 10 枚程度基板しか ...

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様式 研究成果の概要 窒化アルミニウム (AlN) などの窒化物半導体は, ワイドギャップ半導体として次世代の発光素子, 太陽電池およびハイパワー半導体素子として注目され, 世界的に開発競争が激しい研究分野である. 素子として適応できる窒化物半導体の組成領域を拡大し, その性能を最大限に

様式 研究成果の概要 窒化アルミニウム (AlN) などの窒化物半導体は, ワイドギャップ半導体として次世代の発光素子, 太陽電池およびハイパワー半導体素子として注目され, 世界的に開発競争が激しい研究分野である. 素子として適応できる窒化物半導体の組成領域を拡大し, その性能を最大限に

... (和文):窒アルミニウム(AlN)など窒化物半導体は,次世代発光素子,太陽電池およびハ イパワー半導体素子として注目されているが,素子性能を最大限に発揮させるため高品質 AlN 結晶基板開発が急務である.本研究では,熱力学的な学理に基づく新たな液相成長法を 開発し,高品質 AlN ...

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RIETI - 半導体生産方式におけるUMCJの強さを分析:トヨタ生産方式の半導体版?

RIETI - 半導体生産方式におけるUMCJの強さを分析:トヨタ生産方式の半導体版?

... WIP 増大は、上式関係を通じて必然的にサイクルタイム増大をもたらすので、 結果的に生産量が減少しサイクルタイムが上昇してしまう。加えて、半導体生産プロセス では、同一ウェーハが複雑につながった工程同一箇所を20∼30回通過することが常 ...

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リンドープn型ダイヤモンド半導体の電極界面特性の解明と低抵抗化

リンドープn型ダイヤモンド半導体の電極界面特性の解明と低抵抗化

... 本論文構成は以下通りである。 第 2 章では、試料作製から評価方法まで、本研究で使用したプロセスである、洗浄方法、マイクロ波プ ラズマ CVD による合成方法、SIMS による不純物深さ分布測定方法、電極形成方法、接触抵抗を解 析する輸送長(transfer length method: TLM)法について詳細を述べる。 ...

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韓国の半導体産業の「脱日本化」の行方-日本の対韓輸出管理強化の「意図せざる」結果

韓国の半導体産業の「脱日本化」の行方-日本の対韓輸出管理強化の「意図せざる」結果

... 17 この点と財閥事業再構築動きに関しては、向山英彦「製造再生に向けて動き出した韓国」日本総合研究 所『環太平洋ビジネス情報 RIM』2020 Vol.20 No.75(近刊)を参照。 2018年 2030年 順位 業種 付加価値比重(%) 順位 業種 付加価値比重(%) 1 メモリ半導体 9.4 1 メモリ半導体 10.2 2 内燃車・部品 ...

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米中摩擦懸念も IoT ビッグデータなどの情報爆発で構造変化続く 半導体: 産業のコメから社会基盤全体のコメへ改めて拡大続く 半導体製造装置: 半導体生産増受け前工程中心に 2019 年も拡大 産業用ロボット: インダストリ 4.0 無人化 省力化需要高まる 工作機械: 高機能自動車 半導体製造に不

米中摩擦懸念も IoT ビッグデータなどの情報爆発で構造変化続く 半導体: 産業のコメから社会基盤全体のコメへ改めて拡大続く 半導体製造装置: 半導体生産増受け前工程中心に 2019 年も拡大 産業用ロボット: インダストリ 4.0 無人化 省力化需要高まる 工作機械: 高機能自動車 半導体製造に不

... THK、空圧制御 SMC、CKD など、工作機械メーカー数倍成長を遂げた要素機器メ ーカーがあり、今回も工作機械メーカー以上に重要要素機器企業に恩恵がある図式は変わ らない。この面で、工作機械メーカーに対する投資判断は特徴ある機械を持ち、EV 対応、 精密技術を生かし多角できるかなどが重要。投資対象として放電加工機ソディック、西 部電機、2 ...

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技術戦略研究センターレポート Vol. 14 化学品製造プロセス分野の技術戦略策定に向けて 2016 年 12 月 1 章 化学品製造プロセス分野の概要 化学産業における製造プロセス 化学品製造プロセスにおける温室効果ガス削減の重要性 我が国の化学産業における C

技術戦略研究センターレポート Vol. 14 化学品製造プロセス分野の技術戦略策定に向けて 2016 年 12 月 1 章 化学品製造プロセス分野の概要 化学産業における製造プロセス 化学品製造プロセスにおける温室効果ガス削減の重要性 我が国の化学産業における C

... 水をターゲットに分離膜製造基盤技術や分離膜評価技術 開発等を行った。また、 「二酸化炭素原料基幹化学 品製造プロセス技術開発」 (2012 ~ 2013年度 経済産業 省、2014年度~ NEDO)では、光触媒反応で発生する 水素/酸素分離やメタノール合成反応分離に膜分離 ...

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バイオマス資源としての微細藻類

バイオマス資源としての微細藻類

... また、 バイオマス由来燃料に関しては、 ほとんど 場合、 既存化石燃料と比較して生産コストが高いことか ら、 税制優遇など補助政策や使用義務量などを設定し て普及を図っている 2 。 一方で、 化学品用途としてバイ オマスについては、 技術開発に関して政府補助を得て いるケースはあるが、 ...

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