<油回転真空ポンプ>
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS13-2195 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-650D ULVAC 1-03054 排気速度：500L/m 吸気口：VG-40
ﾎﾟﾝﾌﾟ部分のみ（ﾓｰﾀｰ及びﾍﾞｰｽ無し）
RS13-2194 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-650DK ULVAC A03B-03058 排気速度：500L/ｍ 吸気口：VG-40
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付き
RS13-2196 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-650DK ULVAC A03A-00204 排気速度：500L/ｍ 吸気口：VG-40
ﾎﾟﾝﾌﾟ部分のみ（ﾓｰﾀｰ及びﾍﾞｰｽなし）
RS12-1063 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ PVD-180 ULVAC 1-73468 2002年製 排気速度：150L/ｍ 吸気口：φ28×φ19 ﾎﾟﾝﾌﾟ部分のみ（ﾓｰﾀｰ及びﾍﾞｰｽなし）
RS13-2008 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VD-301 ULVAC A63A-01655 排気速度：500L/ｍ 吸気口：VG-40 TM-201付 RS10-2018 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-00854 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50
油回収機構D付
RS10-2061 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03120 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 RS10-2065 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03123 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 RS10-2092 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-02373 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50
RS10-2159 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC - 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50
（2台、要無害化洗浄整備）
RS11-3031 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03136 2004年製 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 防錆仕様。TM-4F付
RS11-3033 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03214 2004年製 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 防錆仕様。TM-4F付
RS13-2011 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03103 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 防錆仕様。TM-4F付
RS13-2012 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03102 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 防錆仕様。TM-4F付
RS13-2013 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-05463 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 防錆仕様。TM-4F付
RS13-2014 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-04748 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 防錆仕様。TM-4F付
RS13-2015 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03105 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 防錆仕様。TM-4F付
RS13-2016 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03834 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 防錆仕様。TM-4F付
RS13-2017 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VS-2401 ULVAC A36A-03250 排気速度：4000L/m 吸気口：VG80 排気口：VG50 防錆仕様。TM-4F付
☆ RS13-1012 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VD-301 ULVAC NB63A-52474 排気速度：500L/m 吸気口：KF40変換ﾎﾟｰﾄ付 排気口：VG40 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付 未整備
☆ RS13-8001 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VD-301 ULVAC NB63A-52475
排気速度：500L/m 吸気口：KF40変換ﾎﾟｰﾄ付 排気口：VG40 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付 未整備 使用履歴：ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 吸引ガス：Ａｉｒ、Ａｒ
☆ RS13-8002 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ VD-301 ULVAC NB63A-52476
排気速度：500L/m 吸気口：KF40変換ﾎﾟｰﾄ付 排気口：VG40 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付 未整備 使用履歴：ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 吸引ガス：Ａｉｒ、Ａｒ
☆ RS13-8003 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-330DK ULVAC A01B-04933
排気速度：253L/m 吸気口：KF40変換ﾎﾟｰﾄ付 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付 未整備
使用履歴：ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 吸引ガス：Ａｉｒ、Ａｒ
RS12-1221 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ E2M80 EDWARDS 006771404
RS12-1441 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ SV-300 Leybold NSS59 2010年製 未使用品。 排気速度：240m3/h、到達圧力：８Pa、電源：AC200V、
重量：200ｋｇ、排気口：2"G(BPS)
RS12-1442 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ SV-300 Leybold NSS58 2010年製 未使用品。 排気速度：240m3/h、到達圧力：８Pa、電源：AC200V、
重量：200ｋｇ、排気口：2"G(BPS)
RS04-8052 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 2010C1 ｱﾙｶﾃﾙ 334781 無害化処理が必要
RS11-1250 油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ DW-720 佐藤真空製 1108091 2011年製
排気速度：720L/min 到達圧力：6.7×10-2 Pa 吸気口径：VG- 40A
新規購入後、一般空気を1day排気しただけの、ほぼ新古品
〈油回転真空ポンプ部品〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-1259 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ【5個】 TM-2 ULVAC 無し 2009年製 PKS-016用 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ ｵｲﾙｴﾚﾒﾝﾄ交換要 全5台
RS09-1573 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ TMX-2 ULVAC
RS12-1064 ｺﾝﾃﾞﾝｻｰﾓｰﾀｰ TYPE EFOU ULVAC - 2002年製 状態良好
RS12-1065 ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ TYPE EFOU ULVAC - 2002年製 単相、100V、200W、4P、分相始動
RS12-1066 ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ TYPE EFOU ULVAC - 2002年製 単相、100V、200W、4P、分相始動
RS12-1067 ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ TYPE EFOU ULVAC - 2002年製 単相、100V、200W、4P、分相始動
〈油拡散ポンプ〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS12-1247 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01500 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1248 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01965 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1249 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01508 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1250 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01507 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1251 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01502 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1252 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01509 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1253 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01338 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1254 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01333 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1255 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01580 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1256 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-06A ULVAC A43A-01504 2000年製 排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、
1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1245 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-10A ULVAC A44A-00388 2000年製 排気速度：3000L/S、吸気口：VG-250、排気口：VG-80、200V、
2400W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1241 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ ULK-14A ULVAC A45A-00451 2000年製 排気速度：4900L/S、吸気口：VG350、排気口：VG80、200Ｖ、
3150W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS13-2004 油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ CDP-3700 ANELVA 1539 スパッタ装置に使用。（水冷ﾊﾞｯﾌﾙ無し）
〈メカニカルブースターポンプ〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-1004 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-006C ULVAC A14A-02055 排気速度：8300L/m 吸気口VG80 RS10-2170 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-012CM ULVAC A17A-01174 排気速度：16700L/m 吸気口VG100
大気駆動型 ﾌｫﾝﾌﾞﾘﾝ仕様（要無害化処理）
RS12-1443 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-012CM ULVAC - 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 大気駆動型
RS12-1430 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PMB-024CM ULVAC A19A-00535 排気速度：33300L/m 吸気口VG200 未整備 ﾓｰﾀｰ380V使用
RS09-1418 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 美品
RS09-1419 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 美品
RS10-2112 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01742 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 RS10-2114 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01732 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 RS10-2117 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01172 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 RS10-2118 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01173 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS10-2120 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01177 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付 大気駆動型
RS10-2121 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01171 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付 大気駆動型
RS10-2123 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01750 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付 大気駆動型
RS10-2124 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01186 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付 大気駆動型
RS10-2126 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01748 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 RS10-2128 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01749 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 RS10-2616 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-00815 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 RS11-3125 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01774 2004年製 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS11-3126 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01736 2004年製 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付 大気駆動型
RS11-3127 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01775 2004年製 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付 大気駆動型
RS11-3128 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-01745 2004年製 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付 大気駆動型
RS11-3129 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A68A-01022 2004年製 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付 大気駆動型
RS11-3130 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A68A-00960 2004年製 排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ｲﾝﾊﾞｰﾀ付 大気駆動型
RS11-8069 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012A ULVAC A69A-02252 排気速度：16700L/m 吸気口VG100
RS11-2064 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012AS ULVAC 排気速度：16700L/m 吸気口VG100
RS11-2065 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-012AS ULVAC 排気速度：16700L/m 吸気口VG100
RS09-2101 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-018A ULVAC A65A-00259 吸気口：VG150 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800内臓機 RS10-2233 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-018A ULVAC A65A-000257 2003年製 吸気口：VG150 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800内臓機 RS12-1223 ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ EH500 EDWARDS 006700640
〈クライオポンプ ULVAC製〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS07-2659 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 0003095D 排気速度：750L/S 吸気口：VG150
RS07-2682 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 9612407D 排気速度：750L/S 吸気口：VG150
RS08-2099 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 排気速度：750L/S 吸気口：VG150 未使用品
RS08-2699 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 排気速度：750L/S 吸気口：VG150
RS09-1023 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 排気速度：750L/S 吸気口：VG150
RS09-2785 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 9801623D 排気速度：750L/S 吸気口：VG150
RS11-2375 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 98046830 排気速度：750L/S 吸気口：VG150 急速再生仕様
LGﾓｰﾀｰ
RS11-2519 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-6H ULVAC 排気速度：750L/S 吸気口：VG150
RS11-8001 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-8H ULVAC 0512140D 排気速度：1700L/S 吸気口：VG200 MBS温度計
RS04-8001 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-8H-U ULVAC 703506 排気速度：1700L/S 吸気口：VG200
温度計：H2VP 無害化洗浄必要
RS04-8061 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-8H-U ULVAC 9307293 排気速度：1700L/S 吸気口：VG200
RS04-8062 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-8H-U ULVAC 9012074 排気速度：1700L/S 吸気口：VG200 温度計：H2VP
RS10-2657 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U8H-SP ULVAC 9402211D 排気速度：1700L/S、温度計：Ｈ2ＶＰ
標準整備済み（2013年3月事前再生実施）
RS11-8042 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-8H ULVAC 0602173D 排気速度：1700L/S 吸気口：VG200
RS07-2727 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-10PUS ULVAC 排気速度：2300L/S 吸気口：VG250 温度計：H2VP
RS09-1005 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-10PUS ULVAC 排気速度：2300L/S 吸気口：VG250
RS11-2379 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-10PUS ULVAC 9609102 排気速度：2300L/S 吸気口：VG250
急速再生仕様 LGﾓｰﾀｰ
RS08-2698 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-12HSP ULVAC 排気速度：4100L/S 吸気口：ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄﾌﾗﾝｼﾞ
低振動ﾓｰﾀｰ
RS10-2231 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-12HSP ULVAC 0007333 2003年製 排気速度：2300L/S 吸気口：VG250 美品
RS07-3001 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-22H ULVAC 排気速度：17000L/S 吸気口：VG550 本体のみ
RS07-3002 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-22H ULVAC 排気速度：17000L/S 吸気口：VG550 本体のみ
RS11-2502 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-26H ULVAC 排気速度：17000L/S 吸気口：VG550
RS12-1172 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ Ｃ30ＺＲ ULVAC ＣＳ1243
RS12-1173 ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ Ｃ30ＺＲ ULVAC ＣＳ1237
RS04-8067 ｸﾗｲｵﾌﾚｷﾎｰｽ 10m×2本 ULVAC
RS11-8035 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ温調器 STC-1（INV) ULVAC S-0823A
RS11-2546 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ ULVAC U-6H用バンドヒータ2式
〈クライオポンプ 他社製〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-8108 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ RS-10 CTI 0706582
RS11-8109 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ RS-10 CTI 0103767
RS11-8110 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ RS-10 CTI 0005538
RS11-2238 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ CRYO-T8C HELIX S/N9912441 付属品S/N:RFB220LG
RS11-2240 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ NETWORK K TERMINAL HELIX S/N95H9703096 RS11-2237 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD WATER PUMP HELIX S/N：MK9709651 RS11-2235 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD10Ｆ HELIX S/NK07686623 RS11-2236 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD10Ｆ HELIX S/NQK9709711
RS11-2233 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ ONBOAD8 HELIX S/NG10898859
RS11-2231 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Torr8F HELIX S/N70Ｃ9529467
RS11-2232 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Torr8F HELIX S/N70C9530128
RS11-2230 ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ Torr8F HELIX S/N:70H9638328 ＵＦＣ－２５３
〈ﾀｰﾎﾞ分子ポンプ ULVAC製〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS13-2179 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-500FW ULVAC 050F016 本体のみ。 水冷式。 吸気口：UFC-203(ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ） 排気口：
NW40
RS11-2535 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ UTM1200FW ULVAC 動作未確認。軸ｵｲﾙは入っていない。
RS13-2022 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0206 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2023 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0205 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2024 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0222 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2025 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0219 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2026 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0220 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2027 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0221 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2028 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD1B ULVAC 2300F0207 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2101 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD3B ULVAC 2300F0412 CVD非ガス雰囲気で使用。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300WD3)、電 源ｹｰﾌﾞﾙ、TMP/ｺﾝﾄﾛｰﾙ間（20ｍ）
RS13-2102 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD3B ULVAC 2300F0413 CVD非ガス雰囲気で使用。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300WD3)、電 源ｹｰﾌﾞﾙ、TMP/ｺﾝﾄﾛｰﾙ間（20ｍ）
RS13-2103 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWD3B ULVAC 2300F0396 CVD非ガス雰囲気で使用。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300WD3)、電 源ｹｰﾌﾞﾙ、TMP/ｺﾝﾄﾛｰﾙ間（20ｍ）
RS13-2029 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3301FW/D1Z ULVAC 3301F0201 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-3301W)、ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2030 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3301FW/D1Z ULVAC 3301F0243 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-3301W)、ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2032 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3301FW/D1Z ULVAC 3301F0274 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-3301W)、ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS11-3036 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0282
付属品： コントローラ：FTI-3302W付（故障中）
コントローラ用電源ケーブル付 履歴 ： MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用 RS11-3037 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0284
付属品： コントローラ：FTI-3302W付 コントローラ用電源ケーブル付 履歴 ： MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用 RS11-3038 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0285
付属品： コントローラ：FTI-3302W付 コントローラ用電源ケーブル付 履歴 ： MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用 RS11-3039 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0326
付属品： コントローラ：FTI-3302W付 コントローラ用電源ケーブル付 履歴 ： MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用 RS11-3040 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0268
付属品： コントローラ：FTI-3302W付 コントローラ用電源ケーブル付 履歴 ： MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用 RS11-3041 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0269
付属品： コントローラ：FTI-3302W付 コントローラ用電源ケーブル付 履歴 ： MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用 RS11-3043 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0290
付属品： コントローラ：FTI-3302W付 コントローラ用電源ケーブル付 履歴 ： MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用 RS11-3044 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0289 2004年製
付属品： コントローラ：FTI-3302W付 コントローラ用電源ケーブル付 履歴 ： MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用 RS11-3047 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-3302FH/D1A ULVAC 3302H0272
付属品： コントローラ：FTI-3302W付 コントローラ用電源ケーブル付 履歴 ： MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用 RS13-2141 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0453
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2142 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0449
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2143 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0451
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2144 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0450
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2145 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0455
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2146 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0428
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2147 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0447
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2148 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-2300FWB ULVAC 2300F0448
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2149 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-1001FWD3A ULVAC 1001F0081
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2150 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ UTM-1001FWD3A ULVAC 1001F0083
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
〈ﾀｰﾎﾞ分子ポンプ 他社製〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-2253 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TPU1501PC PFEIFFER S/N：13882198 ICF-306 NW-40 水冷 本体のみ M/N：PMP03697 本体のみ M/N:PM03697
RS11-2254 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TPU1501PC PFEIFFER S/N：14072840 ICF-306 NW-40 水冷 本体のみ M/N：PMP03697 本体のみ M/N：PMP03697
RS11-2246 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ TCP380 PFEIFFER S/N：7007900 本体のみ M/N：PMC01490 RS11-1202 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ STP-300 ｴﾄﾞﾜｰｽﾞ 1084A 1997年製 ※UTM-50 VULP-65付属※良好 RS09-1583 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TURBOVAC361C ﾗｲﾎﾞﾙﾄ
RS13-2180 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TS440VW 大阪真空 S440-485 本体のみ。 水冷式。 吸気口：VG150 排気口：NW25、取扱説明
書無し
RS11-2262 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG-1300 大阪真空 1265 2004年製 ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ型式：TG-1300(S/N:A143387-04) ﾌﾙｾｯﾄ
RS13-2185 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG200 大阪真空 G200-965 本体のみ。 空冷式。 吸気口：VG100 排気口：NW25、取扱説明
書無し
RS13-2186 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG200 大阪真空 G200-966 本体のみ。 空冷式。 吸気口：VG100 排気口：NW25、取扱説明
書無し
RS13-2187 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG200 大阪真空 G200-1117 本体のみ。 空冷式。 吸気口：VG100 排気口：NW25、取扱説明
書無し
RS13-2188 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG200 大阪真空 G200-1127 本体のみ。 空冷式。 吸気口：VG100 排気口：NW25、ｵｲﾙ付き、
取扱説明書無し
RS13-2189 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG200 大阪真空 G200-1715 本体のみ。 空冷式。 吸気口：VG100 排気口：NW25、取扱説明
書無し
RS13-2181 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TG1810VM 大阪真空 G1810-1292 本体のみ。 水冷式。 吸気口：VG250 排気口：NW40、ｵｲﾙ付き、
取扱説明書無し
RS13-2190 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ TC200 大阪真空 A055107-53 ｺﾝﾄﾛｰﾗｰのみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し、取扱説明書無し RS13-2191 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ TC200 大阪真空 A058678-47 ｺﾝﾄﾛｰﾗｰのみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し、取扱説明書無し RS13-2192 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ TC200 大阪真空 A099089-34 ｺﾝﾄﾛｰﾗｰのみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し、取扱説明書無し RS13-2193 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ TC200 大阪真空 A058678-58 ｺﾝﾄﾛｰﾗｰのみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し、取扱説明書無し RS08-8013 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-303LM 島津製作所 LZL145 O-ｒｉｎｇ ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-303M FZR175
RS08-8010 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-403LM 島津製作所 HZL026 O-ring 本体のみ
RS08-8011 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-403LM 島津製作所 FZL182 O-ring 本体のみ
RS09-1474 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-202LM 島津製作所
RS13-2182 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP280 島津製作所 406134 本体のみ。 空冷式。 吸気口：ICF152（ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ仕様） 排気 口：NW25、ｵｲﾙ・Cuｶﾞｽｹｯﾄ付き、取説無し
RS13-2183 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP280 島津製作所 222 本体のみ。 空冷式。 吸気口：ICF152（ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ仕様） 排気
口：NW25、ｵｲﾙ・Cuｶﾞｽｹｯﾄ付き、取説無し
RS13-2184 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP280LC 島津製作所 6309 本体のみ。 水冷式。 吸気口：VG100 排気口：NW25、ｵｲﾙ付き、
取説無し RS09-1475 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所
RS09-1477 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所
RS10-8003 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 MZM092 ICF
RS11-8094 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 ICF
RS11-8095 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 ICF
RS11-8124 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM 島津製作所 NZM230 RS09-1487 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-1003M 島津製作所
RS09-1199 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ - -
RS11-8131 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-202M 島津製作所 AH60 RS11-8126 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-303M 島津製作所 FZR144 RS11-8127 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-303M 島津製作所 FZR138 RS11-8128 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-303M 島津製作所 FZR118 RS11-8130 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-303M 島津製作所 FZR044 RS10-2660 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-D1303M 島津製作所 RS11-8132 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-D303M 島津製作所 LKB254
〈ドライポンプ〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-1255 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ ER-80 ULVAC A95A-00313 排気速度 1330L/m 吸気口；NW40 排気口；NW40
RS11-1256 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ ER-150 ULVAC A96A-00016 排気速度 2500L/m 吸気口；NW50 排気口；NW40
RS11-8173 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ HR300 ULVAC - 排気速度 6000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ HR60 + ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ PRC-003A RS12-1288 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00657 排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 ｹｰﾌﾞﾙ切断／ｻｲﾚﾝｻ・ｺﾈｸﾀ付属 取扱説明書無し
RS13-2049 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00032
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2050 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00372 排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2051 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00422
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2052 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00034 排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2053 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00485
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2054 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00100
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2055 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00021
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2056 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00020
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2104 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00898 排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 非ｶﾞｽ雰囲気排気用
RS13-2105 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00887 排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 非ｶﾞｽ雰囲気排気用
RS13-2106 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00924 排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 非ｶﾞｽ雰囲気排気用
RS13-2125 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00025
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2126 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00362 排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2127 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00022
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2128 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00031
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2129 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-180 ULVAC A85A-00023
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2033 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2923-2
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2034 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2991-1
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2036 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC CK04-6031-2
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2037 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2991-4
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2041 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2921-1
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2042 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2990-1
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2043 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2991-2
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2044 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2921-2
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2045 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2923-1
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2046 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC YK04-0027-1
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2047 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2990-3
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2048 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR-1800 ULVAC NK03-2991-3
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150 CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2172 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800特 ULVAC A85A-03232 59248
排気速度： 28000L/m 吸気口：VG150 CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、
GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2173 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR1800特 ULVAC A85A-01233 59248
排気速度： 28000L/m 吸気口：VG150 CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、
GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2132 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-TT ULVAC A128A-10237
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、
GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2133 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-TT ULVAC A128A-10013
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、
GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2134 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-TT ULVAC A128A-10233
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、
GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2135 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-TT ULVAC A128A-10296
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、
GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2136 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ LR3601-TT ULVAC A128A-10236
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、
GeH4/H2/PH3/H2
RS11-8145 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ PDR-090CLN ULVAC - 排気速度 1800L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40
本体のみ
RS11-8146 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ PDR-090CLN ULVAC - 排気速度 1800L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40
本体のみ
RS11-8147 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ PDR-090CLN ULVAC 排気速度 1800L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40
本体のみ
RS08-8029 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA C60132 排気速度：3000L/min 吸気口：NW50、ｺﾈｸﾀｰ破損
RS08-8030 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA C61435 排気速度：3000L/min 吸気口：NW50
RS12-1125 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA CA0199 2000年製 排気速度：3000L/min 吸気口：NW50 RIE装置に使用。 使用ｶﾞ ｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1126 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA CA0200 2000年製 排気速度：3000L/min 吸気口：NW50 RIE装置に使用。 使用ｶﾞ ｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1128 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA C70771 2000年製 排気速度：3000L/min 吸気口：NW50 RIE装置に使用。 使用ｶﾞ ｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1129 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA C80285 2000年製 排気速度：3000L/min 吸気口：NW50 RIE装置に使用。 使用ｶﾞ ｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1130 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA CA0191 2000年製 排気速度：3000L/min 吸気口：NW50 RIE装置に使用。 使用ｶﾞ ｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1127 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ A30W EBARA C40290 2000年製 排気速度：3000L/min 吸気口：NW50 RIE装置に使用。 使用ｶﾞ ｽ：CF4・O2・Ar
RS09-1478 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ QDP80 EBARA
RS09-1479 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ QDP80 EBARA
RS09-1480 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ QDP80 EBARA
RS11-2350 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ 40*20 ERD5M-NJ EBARA RN75878-04 2/3 RS11-2351 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ 40*20 ERD5M-NJ EBARA RN75878-04 RS11-2353 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ 40*20 ERD5M-NJ EBARA RP75728 1/3 RS11-2354 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ 40*20 ERD5M-NJ EBARA RP75728 2/3 RS11-2355 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ 40*20 ERD5M-NJ EBARA RL75390-04 1/3
RS12-1134 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ RD90 樫山 02I0673 2002年製 排気速度：1300Ｌ/min 到達圧力：2.7Pa 吸気口：NW50 半導体、
液晶製造装置の軽負荷ﾌﾟﾛｾｽ排気用ﾎﾟﾝﾌﾟ ﾊｰﾄﾞﾌﾟﾛｾｽ不向き。
RS12-1139 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ RD90 樫山 01B0410 2002年製 排気速度：1300Ｌ/min 到達圧力：2.7Pa 吸気口：NW50 半導体、
液晶製造装置の軽負荷ﾌﾟﾛｾｽ排気用ﾎﾟﾝﾌﾟ ﾊｰﾄﾞﾌﾟﾛｾｽ不向き。
RS12-1325 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡ 樫山 排気速度：1000l/min 吸気口：VG40 排気口:NW40
RS12-1326 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡ 樫山 排気速度：1000l/min 吸気口：VG40 排気口:NW40
RS12-1327 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡ 樫山 排気速度：1000l/min 吸気口：VG40 排気口:NW40
RS12-1328 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡ 樫山 排気速度：1000l/min 吸気口：VG40 排気口:NW40
RS12-1329 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡ 樫山 排気速度：1000l/min 吸気口：VG40 排気口:NW40
RS12-1330 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ SD60VⅡ 樫山 排気速度：1000l/min 吸気口：VG40 排気口:NW40
RS11-2527 ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ DVSL-500B ｱﾈｽﾄ岩田
RS12-1284 ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ DVS-321 ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 563532
作動時間；12382.3hr 吸気口；KF25 排気口；KF16 ｹｰﾌﾞﾙ切断 取扱説明書無し
RS04-8071 ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑﾎﾟﾝﾌﾟ DA-120S ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 排気速度：120L/min 吸気口：Odφ14×Idφ9
RS12-1335 ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑ DA-240S ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 73286 排気速度：240L/min 吸気口：Odφ16×Idφ12
RS12-1336 ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑ DA-120D ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 72315 排気速度：240L/min 吸気口：Odφ16×Idφ12
RS08-8032 ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑﾎﾟﾝﾌﾟ DA-241S ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 00153 排気速度：240L/min 吸気口：Odφ16×Idφ12
〈排気セット〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
☆ RS09-2124 排気ｾｯﾄ DP40+EH250 EDWARDS 5274A/7270FF 使用履歴：アッシャー、吸引ガス；O2、N2H2、H2 RS11-2264 排気ｾｯﾄ QDP-40+EH-250 EDWARDS PDP40(01701176) 2004年製 EH-250（006814350) 本体のみ
RS11-2265 排気ｾｯﾄ QDP-40+EH-250 EDWARDS 2004年製 本体のみ
RS11-1156 超高真空排気装置 XYZｽﾃｰｼﾞ ULVAC 無し CR（解放）保管。
〈真空バルブ ULVAC製〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS07-2852 ｵﾘﾌｨｽﾊﾞﾙﾌﾞ 12in ULVAC
RS12-1079 ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ BV-A-4AW（LS- ULVAC - 2002年製 状態良好。
RS08-2050 仕切弁 70×430 ULVAC
RS11-2155 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U3/4S ULVAC 800456 JIS規格 3/4ﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2156 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U3/4S ULVAC 800361 JIS規格 3/4ﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1276 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U3/4S ULVAC 800424 2000年製 動作未確認 JIS規格 3/4ﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1295 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U3/4S ULVAC 800111 2000年製 動作未確認 JIS規格 3/4ﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1077 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-01 ULVAC - 2002年製 状態良好。JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1078 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-01 ULVAC - 2002年製 状態良好。JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1108 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1S ULVAC 1989年製 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1275 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1S ULVAC 021415 2000年製 動作未確認 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1274 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U1 1/2S ULVAC 517253 2000年製 動作未確認 JIS規格 1.5 inﾌﾗﾝｼﾞ
RS09-2648 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2 ULVAC （各種） JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-3142 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2 ULVAC 028891 2004年製 JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1273 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U2S ULVAC 020626 2000年製 動作未確認 JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1265 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6Ｓ ULVAC 068673 2000年製 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1266 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6Ｓ ULVAC 068671 2000年製 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1267 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6S ULVAC 068672 2000年製 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1268 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6S ULVAC 068674 2000年製 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1269 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6S ULVAC 067358 2000年製 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1270 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6S ULVAC 067357 2000年製 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1271 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6S ULVAC 067811 2000年製 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1272 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U6S ULVAC 067359 2000年製 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2153 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06AW ULVAC 068772 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2154 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06AW ULVAC 068771 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2073 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06SW-B ULVAC 070277 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2074 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U06SW-B ULVAC 070276 動作未確認 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1263 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U10S ULVAC 102579 2000年製 動作未確認 JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1264 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U10S ULVAC 102581 2000年製 動作未確認 JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1257 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U14S ULVAC 147210 2000年製 動作未確認 JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1258 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U14S ULVAC 147231 2000年製 動作未確認 JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1259 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U14S ULVAC 174278 2000年製 動作未確認 JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1260 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U14S ULVAC 174281 2000年製 動作未確認 JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1261 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U14S ULVAC 174283 2000年製 動作未確認 JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1262 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VLP-U14S ULVAC 147232 2000年製 動作未確認 JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-1217 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-100 ULVAC P951302 1997年製 良好。
RS11-2534 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-150F ULVAC 未使用品
RS11-1215 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-25 ULVAC 無し 1997年製 良好。
RS09-1150 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-25CM ULVAC
RS11-1216 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULP-40 ULVAC 無し 1997年製 良好。
RS11-1014 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC 美品 動作未確認 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-1015 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC 美品 動作未確認 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-1016 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC 美品 動作未確認 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-1017 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC 美品 動作未確認 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1432 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC MN03-0347-8 圧空式 未使用 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1433 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC MN03-0347-3 圧空式 未使用 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1434 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC MN03-0347-4 圧空式 未使用 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ RS12-1435 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-200Ⅱ ULVAC MN03-0347-5 圧空式 未使用 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1438 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-250Ⅱ ULVAC 000102 圧空式 未使用 JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
☆ RS12-1437 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-250Ⅱ ULVAC 000098 圧空式 未使用 JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1439 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-250Ⅱ ULVAC 000103 圧空式 未使用 JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2147 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-300WⅡ ULVAC 000186 圧空式 未使用 JIS規格 12inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2148 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-300WⅡ ULVAC 000183 圧空式 未使用 JIS規格 12inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2149 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-300WⅡ ULVAC 000188 圧空式 未使用 JIS規格 12inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2150 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-300WⅡ ULVAC 000189 圧空式 未使用 JIS規格 12inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2151 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-300WⅡ ULVAC 000185 圧空式 未使用 JIS規格 12inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2152 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VAP-300WⅡ ULVAC 000184 圧空式 未使用 JIS規格 12inﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1074 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ 287-02-B1 ULVAC - 2002年製 要無害化処理。
RS12-1075 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VLH-2 ULVAC - 2002年製 要無害化処理。
RS12-1076 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VLH-2 ULVAC - 2002年製
RS12-1068 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-251C ULVAC - 2002年製 ICF-070
RS12-1069 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-251C ULVAC - 2002年製 ICF-070
RS12-1070 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-251C ULVAC - 2002年製 ICF-070 整備後、引渡し
RS12-1071 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VUH-651 ULVAC - 2002年製 状態良好。
RS08-8040 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ VULH-40 ULVAC H402495
RS12-1072 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ VULH-40 ULVAC - 2002年製 要無害化処理。
〈真空バルブ 他社製〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS09-1149 APCﾊﾞﾙﾌﾞ 253A-11792 MKS
RS10-8026 ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ 20044-CE24-1001/0006 VAT A-249751 Zi LL室ｺｱﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用
RS11-2216 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT 本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/153
RS11-2217 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT 本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/160
RS11-2220 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT 本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/220
RS11-2259 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT 2004年製 641PM-16BC-0003/1029
RS11-2460 ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ PM-5 VAT 102532-R1
RS10-8024 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ 1-800-345-1967 MKS 9928670041 Zi LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用 RS10-8025 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ 1-800-345-1967 MKS 9928670044 Zi LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用
RS08-3040 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ CV-40A-2VS CKD 2833
RS10-2762 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ KA21 VAT - 2000年製
未使用品
26132-KA21（NW40）2個、24128-KA21（NW25）2個、
26124-KA21（NW16）2個
RS11-2163 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG25 SMC 無し ＮＷ２５
RS11-2164 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG25 SMC 無し ＮＷ２５
RS11-2165 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG25 SMC 無し ＮＷ２５
RS11-2166 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG25 SMC 無し ＮＷ２５
RS11-2082 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG25-M9NC SMC ＮＷ２５
RS11-2080 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG40-M9NC SMC ＮＷ４０
RS11-2084 真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ XLG63-M9NC SMC 無し ＮＷ６３
RS11-2257 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 1641431 富士精機 000012 2004年製
RS11-1157 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 10844-CE44-0005/0821 VAT A-719543 CR（解放）保管。
RS11-2226 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 14036-CE44-AAC1 VAT F14-109375/3 本体のみ RS11-2227 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 14046-CE34-0005 VAT F14-96835/3 本体のみ RS11-2222 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 14048-CE34-0005 VAT F14-104723/2 本体のみ RS11-2067 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 16250-JA28-0001/0002 VAT A-450700
RS11-2068 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 16250-JA28-0001/0003 VAT A-450700 RS11-2072 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 16250-JA28-0001/0004 VAT A-450700 RS11-2070 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 16250-JA28-0001/0005 VAT A-450700 RS11-2066 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 16250-JA28-0001/0006 VAT A-450700 RS11-2069 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 16250-JA28-0001/0007 VAT A-450700 RS11-2071 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 16250-JA28-0001/001 VAT A-450700
RS11-1160 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 48240-CE01-0002/0015 VAT A-719540 CR（解放）保管。
RS11-1158 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 48244-CE01-0002/0021 VAT A-719540 CR（解放）保管。
RS06-2823 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64048-JE28-0006 VAT
RS11-2229 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64246-CE52-0101 VAT F64-90562/0002 本体のみ RS07-2961 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64246-JE52-0101 VAT F64-10866 1/1
RS11-2223 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64250-CE52-1101 VAT F64-105808/1 本体のみ RS11-2224 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64250-CE52-2202 VAT F64-105808/2 本体のみ RS11-8017 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 64252-JE52-ANZ1+PM5 VAT
RS11-2258 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ 84021-R1 VAT LOS-Nr 299 2004年製 ｹｰﾌﾞﾙ付
RS07-2931 真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ VAT （ＩＳＯﾊﾞﾙﾌﾞ）
RS11-2157 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ IB6CS-SCC-STD KITZ-SCT 無し ガス配管用ＳＴＯＰ ＶＡＬＶＥ
RS11-2158 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ IB6CS-SCC-STD KITZ-SCT 無し ガス配管用ＳＴＯＰ ＶＡＬＶＥ
RS11-2077 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT 無し ガス配管用ＳＴＯＰ ＶＡＬＶＥ RS11-2078 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT 無し ガス配管用ＳＴＯＰ ＶＡＬＶＥ
RS11-2170 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ XLH40 SMC 無し ＮＷ４０
RS11-2171 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ XLH40 SMC 無し ＮＷ４０
RS11-2172 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ XLH40 SMC 無し ＮＷ４０
RS11-2173 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ XLH40 SMC 無し ＮＷ４０
RS11-2174 真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ XLH40 SMC 無し ＮＷ４０
〈ピラニ真空計〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-3083 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 15804 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3090 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 15797 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3112 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 15810 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3113 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 15811 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3114 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 15812 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3115 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 15824 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3116 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 15819 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3117 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 15820 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-8030 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 04281 ｹｰﾌﾞﾙ：20M校正
RS11-8031 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 04284 ｹｰﾌﾞﾙ：30M校正 RS11-8073 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 04285 30M校正 RS11-8074 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 04286 30M校正 RS11-8075 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BPR2 ULVAC 04287 30M校正
RS08-2158 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 3363 ｹｰﾌﾞﾙ 付属無し。SENSOR CABLE 35m RS08-2159 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 3364 ｹｰﾌﾞﾙ 付属無し。SENSOR CABLE 40m RS08-2160 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 3365 ｹｰﾌﾞﾙ 付属無し。SENSOR CABLE 40m RS08-2161 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 3366 ｹｰﾌﾞﾙ 付属無し。SENSOR CABLE 40m RS11-3081 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15803 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3082 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15802 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3088 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15795 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3089 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15796 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3091 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15798 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3092 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15488 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3093 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15047 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3095 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15814 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3096 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15815 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3097 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15816 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3098 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15817 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3100 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15822 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3101 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15823 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3102 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15048 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3103 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15045 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3104 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15290 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3105 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15291 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3106 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15805 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3107 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15806 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3108 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15807 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3109 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15808 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3110 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15041 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3111 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15809 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V RS11-3118 ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BRP2 ULVAC 15046 2004年製 非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
RS11-2326 ﾋﾟﾗﾆ真空計 DV-6200 ULVAC 07240212184 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2327 ﾋﾟﾗﾆ真空計 DV-6200 ULVAC 006760116373 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2328 ﾋﾟﾗﾆ真空計 DV-6200 ULVAC 006740115388 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS13-2123 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM301 ULVAC PH8601 12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、
付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
RS13-2124 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM301 ULVAC PH8602 12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、
付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
RS11-2102 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM-301 8CH ULVAC PH1508 ＭＡＸ8点測定
RS11-2103 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM-301 8CH ULVAC PH1509 ＭＡＸ8点測定
RS11-2188 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM-301 8CH ULVAC PH7302 ＭＡＸ8点測定
RS11-2189 ﾋﾟﾗﾆ真空計 EM-301 8CH ULVAC PH7301 ＭＡＸ8点測定
RS12-1398 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1000 ULVAC 2847 動作確認済み、電源ｹｰﾌﾞﾙ欠品､ 測定子ｺｰﾄﾞ欠品、検出ﾕﾆｯﾄ欠
品。
RS12-1112 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY ULVAC 52780 アナログ表示 定温度型 ＳＥＴPOINT 2点
RS11-2445 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY ULVAC 98C155635 アナログ表示 定温度型 ＳＥＴPOINT 2点
RS11-2429 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY ULVAC 98D160136 アナログ表示 定温度型 ＳＥＴPOINT 2点
RS11-2433 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-1SRY ULVAC 99H220928 アナログ表示 定温度型 ＳＥＴPOINT 2点
RS11-1063 ﾋﾟﾗﾆ真空計 GP-2001 ULVAC
RS07-2783 ﾋﾟﾗﾆ真空計 G-TRAN ISP ULVAC 00382 センサーユニット
RS07-2791 ﾋﾟﾗﾆ真空計 G-TRAN ISP ULVAC 00265 センサーユニット
RS07-2792 ﾋﾟﾗﾆ真空計 G-TRAN ISP ULVAC 00270 センサーユニット
RS11-2529 ﾋﾟﾗﾆ真空計 G-TRAN SP1 ULVAC センサーユニット
RS11-2303 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 2131 0212188 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2304 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 01 376 9017382 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2305 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 2837 04191737 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2306 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 2128 0212185 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2307 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 2831 1418377 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2308 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 1813 0116195 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2309 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 2127 0212184 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2310 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2311 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 無し ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2312 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018140116196 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2313 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018110116193 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2314 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018080116190 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2315 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 無し ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2316 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018370116197 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2317 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 無し ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2318 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018070116199 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2319 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018090116191 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2320 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018100116192 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2321 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018120116194 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2323 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 018390116199 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2325 ﾋﾟﾗﾆ真空計 PG-6200 ULVAC 28400419176 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
〈電離真空計〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS10-2218 電離真空計 GI-M ULVAC 1881 デジタル表示
RS13-2120 電離真空計 GI-M2 ULVAC 22944 デジタル表示 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ 欠品：測定子ｹｰﾌﾞﾙ
RS13-2121 電離真空計 GI-M2 ULVAC 22945 デジタル表示 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ 欠品：測定子ｹｰﾌﾞﾙ
RS13-2122 電離真空計 GI-M2 ULVAC 22946 デジタル表示 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ 欠品：測定子ｹｰﾌﾞﾙ
RS11-3073 ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BMR2 ULVAC 15001 非表示式（ホットカソードゲージ）
RS11-3074 ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BMR2 ULVAC 15497 非表示式（ホットカソードゲージ）
RS11-3075 ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BMR2 ULVAC 15498 非表示式（ホットカソードゲージ）
RS11-3076 ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BMR2 ULVAC 15004 非表示式（ホットカソードゲージ）
RS11-3077 ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BMR2 ULVAC 15005 非表示式（ホットカソードゲージ）
RS11-8032 ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BMR2 ULVAC 15069 非表示式（ホットカソードゲージ）
RS11-8076 ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ G-TRAN BMR2 ULVAC 10207 非表示式（ホットカソードゲージ）
RS11-2332 電離真空計 IG-6200 ULVAC 014120116347 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品、本体のみ
RS11-2333 電離真空計 IG-6200 ULVAC 013900115378 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2334 電離真空計 IG-6200 ULVAC 013910115379 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2335 電離真空計 IG-6200 ULVAC 014100116345 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2336 電離真空計 IG-6200 ULVAC 013880115376 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2337 電離真空計 IG-6200 ULVAC 15630123381 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2338 電離真空計 IG-6200 ULVAC 15650123381 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2339 電離真空計 IG-6200 ULVAC 15660123381 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2340 電離真空計 IG-6200 ULVAC 0267 ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
〈バラトロン真空計〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-8059 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 MKS
RS10-8044 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 186B-BOJOAANV MKS 000,206,023 Ver1.20.15X
RS11-3007 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 628A1TBF-S MKS 000065664 外観問題なし、動作未確認、ｹｰﾌﾞﾙ無。ﾚﾝｼﾞ：1Pa
RS10-2727 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 MKS-127 MKS
RS11-2104 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 PDR-C-1C MKS 000759409
RS11-2105 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 PDR-C-1C MKS 000759408
RS08-8015 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 PDR-CJ1C-BCD MKS 001240828J 本体のみ、故障
RS08-8016 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 PDR-CJ1C-BCD MKS 001240829J 本体のみ
RS08-8017 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計 PDR-CJ1C-BCD MKS 001240830J 本体のみ
RS13-2174 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 651CD2S1NJ MKS 016293672 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計のｷｰ破損 RS13-2175 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 651CD2S1NJ MKS 016293679 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ RS13-2176 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 651CD2S1NJ MKS 016293683 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ RS13-2177 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 651CD2S1NJ MKS 016293684 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ RS13-2178 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 651CD2S1NJ MKS 016293833 付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ RS10-2219 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計電源 PDR-C1-C（-BCD） MKS 000094997
RS09-1421 ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子 CMX-1110 CELERITY
〈成膜コントローラー〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-2012 水晶振動式膜厚計 MDC-260 MAXTEK,INC 121 本体、ｹｰﾌﾞﾙのみ（ｾﾝｻｰ無し）
RS11-1057 成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ CRTM-7000 ULVAC 0977
RS13-2197 成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ IC/5 INFICON L3XF42A02947 本体、ｹｰﾌﾞﾙ、膜厚センサー付属
〈ガス分析計〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-3132 Q-MASS ST-200 ULVAC 2994 2004年製
RS12-1302 ｶﾞｽ分析器 Transpector XPR-3 INFICON 70006605
PVD用ﾌﾟﾛｾｽﾓﾆﾀｰ。Model ; 918-214-G1U SYSTEM (Model;XP31-201000000 / Sensor;No2172) ｹｰﾌﾞﾙ無し ｿﾌﾄ無し 取扱説明書無し
RS11-1169 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector TT100 - LOTT23B02800 CR（解放）保管。
RS11-1170 質量ｶﾞｽ分析計 Transpector 2 - 70003237 CR（解放）保管。
RS09-1409 質量分析計 RG-202P ULVAC
〈リークテスト計〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-2208 Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ HELIOT 302s特 ULVAC 3198 スニファー専用機器
〈表面検査装置〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-1075 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 90750005 装置状態良好。取説仕様書無し。
RS12-1234 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1500 ﾄﾌﾟｺﾝ 00210041
RS12-1422 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 01250019 1997年製 2013/4まで稼動し特に問題なく動作。型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対 応。仕様書：なし 取説：なし
RS12-1423 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 90670026 1997年製 2013/4まで稼動し特に問題なく動作。型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対 応。仕様書：なし 取説：なし
RS12-1424 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1500 TOPCON 00370032 1997年製 2013/4まで稼動し特に問題なく動作。型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対 応。仕様書：なし 取説：なし
RS12-1140 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-1700 TOPCON 91197011 ﾚｰｻﾞｰ管発振状態、測定動作良好品 4ｲﾝﾁ測定可能。
RS12-1087 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-2500 TOPCON 00110021 2001年製
RS12-1088 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-2500 TOPCON 00110022 2001年製 Smif200mmｳｴﾊ専用 0.079μmﾊﾟｰﾃｨｸﾙの測定が可能。
RS12-1396 ｳｪｰﾊ表面検査装置 WM-300FOUP TOPCON 00350074
RS13-3018 ｳｪｰﾊ異物検査装置 - ﾀｲﾖｰ電機 -
RS12-2080 ｳｪﾊ外観検査装置 Vi-4201-FTN1 ﾄﾌﾟｺﾝ 00364054
RS11-1223 触針式表面形状測定器 DEKTAK3 Veeco OS-67624 サービスＵＰ機器
RS12-1340 触針式表面形状測定器 DAKTAK3030 ULVAC 無し 保守不能機器 部品取り用
〈EB電源〉
中古品番号 品名 型式 メーカー 製造番号 製造年 備考
RS11-8048 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020011
RS11-8009 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020014 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
RS11-8010 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020012 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
RS11-8049 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020013 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
RS10-2209 EB電源 HPS-1000G ULVAC
RS11-8050 EB電源 HPS-1600F ULVAC 20020010 電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
RS11-8047 ｶﾞﾝｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EGC-10G ULVAC 19952050
RS12-1122 EB電源 JST-10F JEOL ＢＳ101108-74ＡＥ 2003年製
EB電源：JST-10F (ｱｰｸｽﾌﾟﾚｯｻｰ付属) EB蒸発源：EBG-203UB4H（4るつぼ仕様)
電圧導入端子：ﾌｨﾗﾒﾝﾄ用 EBG-HV025G02 / 偏向ｺｲﾙ用 EBG- LV025G01
高圧ｹｰﾌﾞﾙ(3m)
