クリーンルームガスモニタ CM500シリーズ CM501

General

Specifications

GS 12Y04F01-01

クリーンルームガスモニタ

CM500 シリーズ

CM501

■ 概説

LSI の高集積化やフラットパネルディスプレイの大 型化、精細化に伴い、クリーンルームの空気中から ら粒子成分の除去だけではなく、アンモニアや酸性 成分などのガス状汚染物質を除去することが求めら れており、汚染物質除去に使用されるケミカルフィ ルタの劣化監視や、汚染原因の特定のためにクリー ンルーム・エアの不純物を定期的にモニタリングす ることが、歩留まり向上の手段となっています。 本システムは、拡散スクラバを利用してアンモニ アや酸性ガスを水に吸収させ、その吸収液を濃縮法 を利用したイオンクロマトグラフにより、高感度に、 連続的に測定する装置です。また、人が捕集に関与 しないため微量域でも、再現性の良い測定が行えま す。さらに流路切換装置を追加することにより、最 大 16 点のサンプリングと経時変化を観察することが できます。

■ 特長

○ アンモニアガスを 0.01 µg/m3の感度で測定でき ます。 ○ 酸性ガス（塩化水素、二酸化硫黄等）の測定を 0.02 µg/m3の感度で測定できます。 ○ 信頼性の高い分析手法であるイオンクロマトグラ フィを採用しています。 ○ 拡散スクラバの採用と自動化により、試料汚染を 極力減らしました。 ○ 溶離液消費量が少なく、液の補充は 1 カ月に 1 回 です。 ○ ワークステーション上で測定結果の経時変化をト レンドグラフでモニタできます。 ○ クリーンルームのケミカルフィルタの交換時期を お知らせします。 ○ 最大 16 ポイントの測定が可能です（オプション）。

■ システム構成

本装置は、拡散スクラバを用い、水にガスを吸収さ せることで捕集を行うガス捕集ユニット、その吸収 液を分析するイオンクロマトユニット、システムの 操作 ､ 測定値の表示を行うワークステーション（パー ソナルコンピュータ）から構成されています。

1. ガス捕集ユニット

ガス捕集ユニットは流路切換部（オプション）と ガス捕集部から構成されます。 流路切換部（オプション） 流路切換部は 16 ポイントからサンプルを順次吸引 し、一定周期で流路を順に切り換え、サンプルを ガス捕集部へ導きます。 また、ガス入換ポンプで予め流路内を吸引してお くことにより、チューブ内サンプルガスの入れ替 わりを良くしています。このため、チューブ長さ は 50m まで使用可能です。 アンモニア等のガスは吸着性が高い為に、高濃度 のサンプルから、低濃度のサンプルに切り換えた 場合には流路への吸着の影響が出てきます。その 影響を少なくする為に、流路切換弁から拡散スク ラバまでを純水で洗浄する機能を備えています。

ガス捕集部 ガス捕集部へ吸引されたアンモニアガスは拡散スクラバにより純水に吸収され、その吸収液はイオンクロマト ユニットに導かれます。 拡散スクラバは多孔質ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）チューブを内管とし、ガラス管を外管とした二重 管から構成されています。内管の内側にガスを流し、内管と外管の間に純水を流します。多孔質 PTFE チューブ は、表面張力の大きい液体は通過させにくいが、気体は容易に通過させる性質を持っているため、内側のガス は拡散スクラバを通過中に外側の純水に吸収されイオンとなります。また粒子成分は純水に吸収されずに素通 りします。 ガス捕集ユニット ガス捕集部 純水装置 流路切換部（オプション） 流路切換弁 水洗浄 ポート 洗浄弁 流路弁 ガス入換ポンプ ガス捕集ポンプ 溶離液 溶離液ポンプ サンプルポンプ 濃縮カラム イオンクロマト_ユニット 分離カラム 導電率検出器 濃縮バルブ オーブン 拡散ス ク ラ バ 排出弁 F01.ai 図 1　CM501 システムフロー図

2. イオンクロマトユニット（Pi501）

イオンクロマトユニットは捕集したイオンを、濃 縮カラムに一旦トラップします。その後、切換バル ブを動作させ、トラップされたイオンを分離カラム に送ります。分離カラム内には測定するイオンと反 対の電荷をもつ充填剤が詰まっており、入ってきた イオン成分はこの充填剤と結合したり、離れたりし ながらカラム内を通過します。この結合する度合は 成分により異なることから、カラム内で各成分毎に 分離され、導電率検出器により検出します。

3. ワークステーション（PC）

ワークステーションはシステムの運転操作指令、運 転状態表示、クロマトグラム表示、分析値の履歴表 示、アラーム表示、フィルタ余命機能、各種パラメー タの設定等、CM501 の殆ど全ての機能指令と結果表 示を行います。

■ 標準仕様

形名： クリーンルームガスモニタ　CM501

● システム仕様

測定対象： クリーンルーム中のガス状物質を水 中のイオンとして検出 陽イオン NH4+

陰イオン Cl-, Br-, NO2-, NO3-, SO42-, SO3 - ピーク位置が近接した成分の場 合、濃度バランスによっては正し く測定できないことがあります。 ガス捕集方法：拡散スクラバ方式 分析方法： イオンクロマトグラフ方式 測定範囲： 0 ～ 50 µg/m3 検出下限 *： 0.01 µg/m3（0.02 µg/m3：酸性ガス） *： 検出下限は S( 感度）と N( ノイズ）から S/N>2 に より計算された値です。その値までの測定を保証 するものではありません。 測定精度： 濃度範囲（µg/m3） マニュアルインピン_{ジャとの相関} ≦ 0.5 ※ 0.5 ～ 1.0 ± 40％以下 1.0 ～ 5.0 ± 20％以下 5.0 ～ 50 ± 20％以下 ※ マニュアルインピンジャのばらつきが大きいため 規定せず

測定周期： 最短 30 分（オーバラップ時） 測定点数： 1 点または最大 16 点（オプション） 測定方式： オーバラップ測定、シリーズ測定 校正： 標準液による校正、自動校正 外部接点入力：測定流路スキップ信号、外部アラー ム信号、外部アラームリセット信号 外部出力： 濃度異常信号（各流路毎、リレー接 点）、装置のアラーム信号（リレー接 点）、測定流路信号（バイナリ、リレー 接点）、再測定信号（リレー接点）、液 漏れ信号（リレー接点）、アラームブ ザー信号、アラームライト信号

ユーティリティ

電源： 100 ～ 120 V AC、50/60 Hz ま た は 200 ～ 240 V AC、50/60 Hz 消費電力： 本体： 0.25 kVA 内部純水装置型の場合 + 約 0.1 kVA（100 V のみ） パソコン： 約 0.3 kVA 以下 配線材： ø10 ～ 16.5 mm　3 線シールドケーブル 接地： D 種独立接地（100 Ω以内）

純水

・外部純水導入型の場合 純度： 18 M Ω /cm 以上 圧力： 0.2 ～ 0.3 MPa 流量： 1 ～ 2 L/min 接続口： SUPER TYPE PILLAR FITTING, チューブサイズ：外径 6.35 mm、内径 4.35 mm ・内部純水装置型の場合 純度： 18 M Ω /cm 以上 供給水： 純水（18 M Ω /cm 以上） 使用温度範囲：5 ～ 40℃ 純水タンク： 20 L 1 個（液切れアラーム付き）

試薬（溶離液）

・アンモニア分析

1 m mol/L 硝酸 HNO3 0.2 mL/min 供給頻度： 約 1 カ月に一度、交換 ・陰イオン分析 4.5 m mol/L 炭酸ナトリウム Na2CO3 0.2 mL/min 供給頻度： 約 1 カ月に一度、交換

排水

薬液排液： アンモニア分析： 硝酸溶液　pH5 程度、約 1.2 mL/min 陰イオン分析： 炭酸ナトリウム溶液　pH10 程度、約 1.2 mL/min ・工場排水ラインに直結する場合 排液： 薬液排液＋純水排液（1 ～ 2 L/min） となります 配管： 排水は昇圧していないので排水管は CM501 より下に位置すること 配管材： ステンレス等、耐腐蝕性の材質であ ること 接続口： Rc 1/2 ・装置内排液タンクを使用した場合 タンク排水頻度：10 日に一度、20 L タンクを排水

設置環境

クリーンルーム内またはそれに準ずる場所である こと サンプルガスは CM501 の背面から下側に排気され ます。そのため、排気対策が別途必要な場合があ ります。 周囲温度： 10 ～ 30 ℃　測定中の温度変化が少な いこと 周囲湿度： 20 ～ 80 ％以内で結露しないこと 高度： 海抜 2000 m 以下 埃の無いこと 振動が無いこと 傾いていないこと 直射日光が当たらないこと 空調施設の風が直接当たらないこと 腐蝕性や爆発性の雰囲気でないこと 地震対策として固定できること

サンプルガス条件

クリーンルーム内（埃が無い）であること 測定対象ガス量：100 µg/m3以下 測定ポート圧力：－ 0.05 MPa 以上 流量： 1 L/min チューブ： お客様ご用意 チューブ材質　ポリエチレン チューブサイズ　外径 6.0mm、内径 4.0 mm、最大 50m チューブ内が純水で洗浄されていること

● 筐体仕様

構造： 自立非密閉形（床アンカー固定）、前 面扉鍵付、屋内設置用 外形寸法： 860（幅）× 730（奥行）× 1060（高 さ）mm 材質： 本体；鋼板、ドア；鋼板 塗装： エポキシ樹脂焼付け塗装 塗色： 天板；マンセル N-3.5-0 半光沢 前面・側板；マンセル 2.5Y 7/4 半光沢 質量： 薬液、ワークステーション、純水装 置を除く 約 170 kg

● 主要構成機器の仕様

・ガス補集ユニット 流路切換部（オプション） 流路切換バルブ： 16 点切り換え 純水洗浄機能： 流路ごとに設定可能 ガス入換ポンプ： 2 台、流量約 10 L/min ガス捕集部 拡散スクラバ： 1 個 ガス捕集ポンプ： 1 台 流量範囲　0.1 ～ 2 L/min（実用流 量 1 L/min） ・イオンクロマトユニット 形名： Pi501 溶離液送液用ポンプ： ダブルプランジャ・アクティブダン パ方式　1 台 サプレッサ： 陰イオン測定のときのみ取り付け・ 使用 サンプルポンプ： 洗浄機構付き　1 台 オーブン： 温度 45 ℃ 導電率検出器： 1 個 測定範囲： 0 ～ 5 mS/cm 自動切換弁： 1 個 メインカラム：1 個 濃縮カラム： 1 個 寸法： 370（幅）× 460（奥行）× 230（高さ） mm 質量： 約 24 kg

● ワークステーション（ノート PC）

お客様でご用意願います 項目 OS Microsoft Windows 2000 SP4, Microsoft Windows XP SP2 Microsoft Windows Vista Business Edition

PC IBM PC 互換機 CPU Pentium II 300 MHz 以上 1 GHz 以上のプロセッサ ハードディ スク容量 4 GB 以上 OS 用に 15 GB 以上 アプリケーション用に 10 GB 以上 メモリ 256 MB 以上 1 GB 以上 言語 日本語または英語 ディスプレ イ VGA (800 x 600）以上、256 色が表示可能なこと シリアル ポート RS-232C、アナライザとの接続用2 系統型では 2 ポート必要です。 I/O： D-Sub 9 ピン RS-232C ポート ケーブル： RS-232C　クロスケーブル

● ワークステーション・ソフトウェア PIWS

CM501 の操作・表示用 表示言語： 日本語／英語　選択 ソフトウェアのメディア：　CD-ROM

■ 製品形名コード

● CM501 クリーンルームガスモニタ

形名 基本コード 付加コード 仕様 CM501 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・クリーンルームガスモニタ 使用地域 -L -C ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・標準仕様（国内、北米）ヨーロッパ仕様 純水供給 -N -U ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・外部純水導入型内部純水装置型 測定イオン -A1 -C1 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・陰イオン、サプレッサありアンモニア 表示言語 -J -E ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・日本語英語 　― -N ・・・・・・・・・・常に "-N" 　― -N ・・・・・・・・・・常に "-N" 　― -N ・・・・・・・・・・常に "-N" 付加仕様 /EX 16 流路測定ユニット付き

● Pi501 プロセスイオンクロマトグラフ

形名 基本コード 付加コード 仕様 PI501 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・プロセスイオンクロマトグラフ 溶離液ポンプ -P1 ・・・・・・・・・・常に "-P1" 恒温槽 -V1 ・・・・・・・・・・常に "-V1" 測定対象 -A1-A-B -C1-N-A ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・陰イオン測定アンモニア測定 表示言語 -J -E ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・日本語英語 　― -N ・・・・・・・・・・常に "-N" 　― -N ・・・・・・・・・・常に "-N" 　― -N ・・・・・・・・・・常に "-N"

● PIWS ワークステーション・ソフトウェア

形名 基本コード 付加コード 仕様 PIWS ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ワークステーション・ソフトウェア 表示言語 -J -E ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・日本語英語 接続アナライザ数 1 ・・・・・・・・・・１台 　― -0 ・・・・・・・・・・常に "-0" 　― 1 ・・・・・・・・・・常に "1" 　― -N ・・・・・・・・・・常に "-N" 　― N ・・・・・・・・・・常に "N" 　― N ・・・・・・・・・・常に "N"

■ 付属品・予備品

1. 標準付属品

品名 部品番号 数量 備考 アンモニア 溶離液 *1 K9601LA 1 1 m mol/L 硝酸、10 L タンク入り 標準液用試薬 *1 K9601LB 1 NH4+ 10mg/L、50 mL システムチェック液 *1 K9601LC 1 NH4+ 1mg/L、100 mL 陰イオン 溶離液 *1 K9601LH 1 4.5 m mol/L 炭酸ナトリウム溶液、10 L タ_ンク入り 標準液用試薬 システムチェック液 *1 K9601LG 2 陰イオン混合標準液 50 mL F-:5, Cl-:10, NO2-:15, Br-:10, NO3-:30, PO43-:30, SO42-:40 (mg/L) 本体固定用 TOOL K9613MA 1 本体固定用 チューブ加工冶具 K9613MC 1 TUBE 加工冶具 10 L タンク K9603ZJ 1 溶離液用タンク FUSE S9517VK 2 SS2、3 A

FUSE A1288EF 2 SS2、1 A

FUSE L9019EF 2 3 A、Pi501 用

FUSE A1174EF 2 1.25 A、Pi501 拡張 Box 用

フェライトコア K9607MU 7 電源用 2 個、DO 用 5 個 フェライトコア K9607MV 2 パソコン― Pi501 間用 20 L タンク *2 K9603RF 1 純水予備タンク アクセサリキット *2 K9601BG 1 純水タンク用 取扱説明書 *1： 仕様によって異なります *2： 内部純水装置型のとき付属

2. 補用品

補用品として次のものを用意しておくことをお奨めします。 推奨交換 周期 品名 部品番号 アンモニア 陰イオン数量 3 か月 アンモニア測定用濃縮カラム *1 *2 K9601GA 1 アンモニア測定用分離カラム *1 *2 K9601FA 1 陰イオン測定用濃縮カラム *1 *3 J9732DX 1 陰イオン測定用分離カラム *1 *2 J9732DF 1 陰イオン測定用サプレッサ *1 *3 J9732DU 1 ラインフィルタ K9601DC 1 1 4 か月 排水ポンプダイヤフラムキット K9601BH 1 *4 1 *4 6 か月 溶離液ポンプ用プランジャシール K9600HZ 2 2 サンプルポンプ用プランジャシール（ポンプヘッド部） K9600NY 2 2 サンプルポンプ用プランジャシール（裏洗浄部） K9600NZ 2 2 1 年 濃縮バルブ用ロータシール K9600QC 1 1 溶離液ポンプ用プランジャ *1 K9600HY 2 2 溶離液ポンプ用チェックバルブ（吸引側）*1 K9600HA 1 1 溶離液ポンプ用チェックバルブ（吐出側）*1 K9600GV 1 1 サンプルポンプ用プランジャ *1 L9869DJ 2 2 サンプルポンプ用チェックバルブ（吸引側）*1 K9600NG 1 1 サンプルポンプ用チェックバルブ（吐出側）*1 K9600NB 1 1 ガス捕集ポンプ *1 K9608GJ 1 1 脱気モジュール *1 K9603PB 1 1 拡散スクラバ *1 K9603NA 1 1 超純水カートリッジ（Q ガード TL）*5 QGARDTL01 1 *1： 使用状況により交換 *2： 保存可能期間 6 か月（15 ～ 28℃の清浄な直射日光の当たらない場所に保存してください） *3： 保存可能期間 3 か月（15 ～ 28℃の清浄な直射日光の当たらない場所に保存してください） *4： 内部純水装置型のみ *5： 内部純水装置型のみ 超純水カートリッジは日本ミリポア（株）より直接ご購入ください。日本ミリポア（株）の品名・製品番号です。 注： 推奨交換周期は、その期間を補償するものではありません。

3. 薬品

薬品会社より直接ご購入ください。 測定 用途 内容 容量 製品番号 * 使用量 ( 目安 ) アンモニア 溶離液 1 mmol/L 硝酸 10 L 14701-84（関東化学） 1 本／月 標準液 10 mg NH4+／ L 50 ml 38107-96（関東化学） 1 本／月 システムチェッ ク液 1 mg NH4+／ L 100 ml 38108-96（関東化学） 1 本／月 陰イオン 溶離液 4.5 mmol/L 炭酸ナトリウム 10 L 38085-84（関東化学） 1 本／月 標準液 陰イオン混合標準液 （mg/L） F-：5、Cl-：10、NO2-：15、Br-：10、 NO3-：30、PO43-：30、SO42-：40 50 ml 01856-96（関東化学） 各 1 本／月 システムチェッ ク液 *： 関東化学 ( 株 ) の製品番号です。 注： 試薬の保存可能期間は、未開封で 6 か月です。

■ 外形寸法図、設置スペース

730 1060 860 820 100 115 40ピッチ 135 120 80 150 主電源用ブレーカ 純水入口* * 外部純水導入型（-N） ** 16流路測定ユニット付き（/EX） 4-ø15穴 380 165 185 710 80 70 720 70 70 ↑ 正面 （上から見た場合） 底面（アンカーボルト位置） 排水出口* サンプル導入口** 単位：mm CM501上面 CM501前面側 1000 860 1000 1000 1000 730 設置スペース

■ 外部入出力図

#1 #2 #3 #4 #5 #6 #7 #8 #9 #10 #11 #12 #13 #14 #15 #16 Bit 0 Bit 1 Bit 2 Bit 3 Bit 4 #1 #2 #3 #4 #5 #6 #7 #8 #9 #10 #11 #12 #13 #14 #15 #16 D/O (*2) D/O (*2) D/O Common D/O Common D/O (*2) D/O (*2) Bit 0 Bit 1 Bit 2 Bit 3 Bit 4 #1 #2 #3 #4 #5 #6 #7 #8 #9 #10 #11 #12 #13 #14 #15 #16 Bit 0 Bit 1 Bit 2 Bit 3 Bit 4 #1 #2 #3 #4 #5 #6 #7 #8 #9 #10 #11 #12 #13 #14 #15 #16 流路 No. 3 6 9 12 15 18 21 24 27 30 33 36 39 42 45 48 51 54 57 60 63 66 69 72 75 78 81 84 87 90 93 96 99 102 105 108 111 114 117 120 123 126 129 132 135 138 141 144 A B No Connection Normally Close (*1) No Connection D/O (*2) D/O (*2) 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 端子 番号 #1 #2 #3 #4 #5 #6 #7 #8 #9 #10 #11 #12 #13 #14 #15 #16 流路 No. 2 5 8 11 14 17 20 23 26 29 32 35 38 41 44 47 50 53 56 59 62 65 68 71 74 77 80 83 86 89 92 95 98 101 104 107 110 113 116 119 122 125 128 131 134 137 140 143 端子 番号 流路No. 1 4 7 10 13 16 19 22 25 28 31 34 37 40 43 46 49 52 55 58 61 64 67 70 73 76 79 82 85 88 91 94 97 100 103 106 109 112 115 118 121 124 127 130 133 136 139 142 端子 番号 端子盤ス イ ッ チ 番号 接点入力 A-B間 抵抗 200Ω以下 100kΩ以上 200Ω∼100kΩ ON OFF 動作保証なし 接点出力

 Alarm Buzzer, Alarm Light

 Alarm Buzzer, Alarm Light以外

30V DC，0.5A以下で使用すること。 電源OFF イベントなし イベントあり 保護回路は設けてありません。 0V +1V未満 +24V 例えば端子盤スイッチを A とした場合に端子番号 101 と 102 間は次のようになります。 電源OFF イベントなし イベントあり Open Open Close *1： *2：端子盤スイッチの A または B の何れかを選択

電源OFF Open Common Close

Aのとき イベントなし Open Common Close

イベントあり Close Common Open

電源OFF Open Common Close

Bのとき イベントなし Close Common Open

イベントあり Open Common Close

電源OFFのとき Open Common Close

A A Normally Open (*1) GND GND D/O (*2) D/O (*2) B B Common +24V +24V D/O Common D/O Common Measurement Strream Skip Input

Alarm Intput Alarm Reset Input

Leakage Water Alarm Output Alarm Buzzer Output Alarm Light Output Retry Measurement Output Alarm Output

Measurement Stream Bit

● Measurement Stream Skip Input 任意の流路測定をスキップさせるときに使用する 接点入力端子です。 この接点を ON にしますと、その流路の測定を飛ば します。 ● Alarm Input レベル 1 のアラームを外部から入力する際に使用 する接点入力端子です。 外部からのアラームを、CM501 と連動させたいと きに使用します。

● Alarm Reset Input

レベル 1 のアラームと流路アラームを外部よりリ セットする際に使用する接点入力端子です。

● Leakage Water Alarm Output

CM501 内（Pi501 内は除く）で液漏れが発生した 際にリレー接点で出力します。

● Alarm Buzzer Output

レベル 1 のアラーム発生時と流路アラーム発生時 にブザーを鳴らすための端子です。

ブザーが標準で付いています。

● Alarm Light Output

レベル 1 のアラーム発生時にパトライトなどを点 灯させるための端子です。+24 V DC 印加が出力し ます。（0.3 A max）。 通常ライトは取り付けられていません。特に保護 回路は設けてありません。 ノイズを混入させるような配線は避けてください。

● Retry Measurement Output

測定結果に異常があり、同一流路にて測定をやり 直している際にリレー接点にてリトライ中である ことを出力します。（オーバラップ測定時は使用で きません。） ● Alarm Output レベル 1 のアラームと流路アラームが装置に発生 した際にリレー接点（5 点）で出力します。

● Measurement Stream Bit Output

現在の測定流路を Bit で表し、リレー接点で出力し ます。

測定流路 Bit0 Bit1 Bit2 Bit3 Bit4

1 1 0 0 0 0 2 0 1 0 0 0 3 1 1 0 0 0 4 0 0 1 0 0 5 1 0 1 0 0 6 0 1 1 0 0 7 1 1 1 0 0 8 0 0 0 1 0 9 1 0 0 1 0 10 0 1 0 1 0 11 1 1 0 1 0 12 0 0 1 1 0 13 1 0 1 1 0 14 0 1 1 1 0 15 1 1 1 1 0 16 0 0 0 0 1 注： 1 は ON を表します 2 は OFF を表します

● Stream Alarm Output

各測定流路ごとのアラーム（濃度異常）をリレー接 点で出力します。

（注）リトライ設定があるときには、リトライ後に、 濃度異常があった場合に出力します。

クリーンルームガスモニタ 引き合い仕様書

横河電機のクリーンルームガスモニタのお引き合いをいただき、誠にありがとうございます。該当する□内に （レ）を入れ、 部分には所定の事項を記入の上、ご照会くださいますようお願いいたします。 1. 一般事項 (1) 御社名： ________________________________________ (2) 御担当者： _________________ 　御所属： __________________ 　TEL： ______________________ (3) 工場名： ___________________________________________________________________________ (4) 測定箇所： _________________________________________________________________________ (5) 電源： ________ VAC, _______ Hz 2. 測定条件 (1) 測定ガス： _________________________________________________________ (2) 測定点数： _____________ 点 (3) ガス濃度： ________________________________ µg/m3, ppb 　 __________________________________ µg/m3, ppb 　 __________________________________ µg/m3, ppb 　 __________________________________ µg/m3, ppb 　 __________________________________ µg/m3, ppb (4) その他： ___________________________________________________________________________ ___________________________________________________________________________ ___________________________________________________________________________ 3. 設置場所 (1) 環境： □ クリーンルーム内、 □ 準クリーンルーム、 □ クリーンルーム外 (2) 周囲温度： __________ ～ __________ ℃ (3) その他： ___________________________________________________________________________ ___________________________________________________________________________ ___________________________________________________________________________ 4. その他ご要求 ___________________________________________________________________________ ___________________________________________________________________________ ___________________________________________________________________________ ___________________________________________________________________________ ___________________________________________________________________________ ___________________________________________________________________________ 本仕様書に記載の会社名，製品名は，それぞれ各社の商標もしくは登録商標です。