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研究業績・活動報告2017

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(1)

東 北 大 学

多 元 物 質 科 学 研 究 所

研 究 業 績・活 動 報 告

(2)
(3)

多元物質科学研究所

研究業績・活動報告

目 次

研究活動報告

···

1

有機・生命科学研究部門··· 1 無機材料研究部門··· 17 プロセスシステム工学研究部門 ··· 30 計測研究部門··· 51 サステナブル理工学研究センター ··· 73 先端計測開発センター ··· 91 高分子・ハイブリッド材料研究センター··· 99 新機能無機物質探索研究センター ··· 114 研究ステーション··· 126

研究会報告

···

129

学会発表講演目録

···

149

有機・生命科学研究部門··· 149 無機材料研究部門··· 151 プロセスシステム工学研究部門 ··· 153 計測研究部門··· 156 サステナブル理工学研究センター ··· 159 先端計測開発センター ··· 161 高分子・ハイブリッド材料研究センター··· 163 新機能無機物質探索研究センター ··· 165

研究業績目録

···

168

有機・生命科学研究部門··· 168 無機材料研究部門··· 170 プロセスシステム工学研究部門 ··· 173 計測研究部門··· 177 サステナブル理工学研究センター ··· 182 先端計測開発センター ··· 187 高分子・ハイブリッド材料研究センター··· 189 新機能無機物質探索研究センター ··· 193 その他 ··· 196

業績目録著者索引

···

197

(4)

1 研 究 活 動 報 告

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(5)

研 究 活 動 報 告 2

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(6)

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(ee)䛷ග஧㔞య䛜ᚓ䜙䜜䜛䛣䛸䜢ሗ࿌䛧䛶䛝䛯[1]䚹䛥䜙䛻᭱㏆䚸2,6-䜰䞁䝖䝷䝉䞁䝆䜹䝹䝪䞁㓟(AD)䛾 HSA ୰䛷

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(7)

研 究 活 動 報 告 4 ◊㻌 ✲㻌 ά㻌 ື㻌 ሗ㻌 ࿌ M-1)䛸䜋䜌ྠ䛨䛷䛒䜛䛣䛸䜒᫂䜙䛛䛻䛺䛳䛯䚹䛣䜜䜙䛾⤖ᯝ䜘䜚䚸AC 䛸 AD 䛿㏆᥋䛧䛯␗䛺䜛䝃䜲䝖䛻⤖ྜ䛧䛶䛔 䜛䛜䚸ྛ䚻䛾⤖ྜ䛿⊂❧䛧䛶䛔䜛䛣䛸䛜♧၀䛥䜜䛯䚹⥆䛔䛶䚸ບ㉳≧ែ┦஫స⏝䛻䛴䛔䛶 HSA ୰䛾 AC 䛺䜙 䜃䛻 AD 䛾⺯ගᑑ࿨䛻䜘䜚᳨ウ䛧䛯䚹䛭䛾⤖ᯝ䚸AC Ꮡᅾୗ䛷䛾 AD 䛾⺯ගᑑ࿨䛻䛿䚸AC 㠀Ꮡᅾୗ䛷䛿ほ  䛥䜜䛺䛛䛳䛯▷ᑑ࿨ᡂศ䛜ほ 䛥䜜䚸ບ㉳≧ែ䛾᪂䛯䛺ኻά㐣⛬䛾⏕ᡂ䛜♧၀䛥䜜䛯䚹 ᭱ᚋ䛻䚸HSA 䜢୙ᩧ཯ᛂሙ䛸䛩䜛 AC ཬ䜃 AD 䛾㉸ศᏊ୙ᩧග཯ᛂ䜢✀䚻䛾᮲௳䛷᳨ウ䛧䛯䚹䛭䛾⤖ᯝ䚸 AC-AD 䝦䝔䝻஧㔞య䛜୺⏕ᡂ≀䛸䛧䛶ᚓ䜙䜜䜛䛸䛔䛖ண᝿䛻཯䛧䛯⤖ᯝ䛸䛺䛳䛯䚹䛧䛛䛧䚸⏕ᡂ≀䛾 ee 䛿 97% 䜢㉸䛘䜛ᴟ䜑䛶㧗䛔್䛜ᚓ䜙䜜䚸㠀ᖖ䛻䝴䝙䞊䜽䛺཯ᛂ⣔䛷䛒䜛஦䜢᫂䜙䛛䛸䛧䛯䚹AC 䛸 AD 䛿␗䛺䜛䝃䜲䝖䛻 ⤖ྜ䛧䛶䛔䜛䛸᥎ᐃ䛧䛶䛔䜛䛻䜒㛵䜟䜙䛪䚸䝦䝔䝻஧㔞య䛜୺⏕ᡂ≀䛸䛧䛶ᚓ䜙䜜䜛䛣䛸䛛䜙䚸䝍䞁䝟䜽㉁ෆ䛷ග ↷ᑕ䛻క䛔ບ㉳≧ែ䛾ᇶ㉁䛜㘒ゎ㞳䞉ᣑᩓ䛧䚸ືⓗ䛺ග஧㔞໬཯ᛂ䛜㐍⾜䛧䛶䛔䜛ྍ⬟ᛶ䛜♧၀䛥䜜䛯䚹䛥䜙 䛻䚸 ᗘ䞉pH 䛻౫Ꮡ䛧䛶཯ᛂ㏿ᗘ䜔䝦䝔䝻஧㔞య䛾⏕ᡂ๭ྜ䛜ኚ໬䛧䚸 ᗘ䜔㓟ᛶᗘ䛜཯ᛂไᚚ䛾㔜せ䛺ᅉ Ꮚ䛷䛒䜛䛣䛸䜢ぢฟ䛧䛯䚹 ௨ୖ䛾⤖ᯝ䜘䜚䚸HSA 䛾␗䛺䜛䝃䜲䝖㛫䛷ບ㉳≧ែᇶ㉁䛾ືⓗ䛺཯ᛂ䛜㛵୚䛩䜛᪂つ㉸ศᏊ୙ᩧග཯ᛂ 䜢Ⓨぢ䛧䚸䛭䛾཯ᛂᶵᵓ䜢᫂䜙䛛䛻䛧䛯䚹ᮏ◊✲䛿䚸ᚑ᮶䛾ᇶᗏ≧ែ┦஫స⏝䞉ㄆ㆑䜢㙾ീయ༊ู䛾♏䛸䛩 䜛㉸ศᏊ୙ᩧග཯ᛂ䛻䚸᪂䛯䛺◊✲ᡓ␎䞉ᴫᛕ䜢ᥦ᱌䛩䜛⣔䛸䛺䜛䛰䛡䛷䛺䛟䚸䝍䞁䝟䜽㉁⤖ྜ䝸䜺䞁䝗䛾ບ㉳ ≧ែ䝎䜲䝘䝭䜽䝇䜢ᐇド䛩䜛᪂つ䝒䞊䝹䛸䛧䛶䛾ά⏝䜒ᮇᚅ䛥䜜䜛䚹

[1] M. Nishijima, T, Wada et al. J. Am. Chem. Soc. 2007, 129, 3478-3479.

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5 研 究 活 動 報 告 ◊㻌 ✲㻌 ά㻌 ື㻌 ሗ㻌 ࿌ 䛿㈇䛾䝁䝑䝖䞁ຠᯝ䜢♧䛩䛣䛸䛜᫂䜙䛛䛸䛺䛳䛯䚹䜎䛯䚸䛣䛾⤖ᯝ 䛿䚸㻰㻲㼀 ィ⟬䛻䜘䜛෌⌧䛻䜘䜚䚸ጇᙜᛶ䜢☜ㄆ䛩䜛䛣䛸䛜䛷䛝 䛯䚹ḟ䛻䚸ගບ㉳≧ែ䛻䛚䛡䜛ศᏊ㛫┦஫స⏝䛾᳨ฟ䛻ྥ䛡䚸 䝰䝕䝹໬ྜ≀䛷䛒䜛䚸䝘䝣䝍䝺䞁䝆䜲䝭䝗䜢䜻䝷䝹䛻㓄⨨䛧䛯 㻞 㔞యศᏊ䛾䚸ບ㉳୕㔜㡯≧ែ䛾䜻䝷䝸䝔䜱᳨ฟ䜢⾜䛳䛯䚹㻲㼕㼓㻚㻌 㻞㻌 䛻♧䛩䜘䛖䛻䚸㻺㻰㻵 䝎䜲䝬䞊䛻≉ᚩⓗ䛺 㻣㻜㻜㻌 㼚㼙㻌 ௨㝆䛾㐣Ώ྾ ཰䛻᫂░䛺 㻯㻰 䛜ほ 䛥䜜䛯䚹䛣䛾⤖ᯝ䛛䜙ບ㉳୕㔜㡯䛿䚸 㻺㻰㻵㻞 ศᏊ䛻㠀ᒁᅾ໬䛧䛶䛔䜛䛣䛸䜢♧၀䛧䛶䛔䜛䚹௒ᚋ䚸ィ⟬ ᶵ⛉Ꮫ䜒䛧䛟䛿䚸⣔⤫ⓗ䛺㢮⦕యྜᡂ䛻䜘䜚䚸䛣䛾⤖ᯝ䛾⪃ᐹ䜢 ⾜䛖ணᐃ䛷䛒䜛䚹㻌 䜎䛯䚸ඹྠ◊✲ᣐⅬ䛻䜘䜛ຓᡂ䜢ཷ䛡ከᩘ䛾ඹྠ◊✲䜢⾜ 䛳䛯䚹≉䛻䃟ඹᙺ⣔ศᏊ䛾ගᏛ≉ᛶ䜢䝁䞁䝖䝻䞊䝹䛩䜛䛯䜑䛾 ⨨᥮ᇶᑟධἲ䛻㛵䛩䜛◊✲䜢៞ᛂ኱Ꮫ䛾⩚᭯㒊෸ᩍᤵ䚸ᮾி ᕤᴗ኱Ꮫ⚟ᓥᩍᤵ䜙䛸ඹྠ䛧䛶⾜䛳䛯䚹㻌 䜎䛯䚸ඹྠ◊✲ᣐⅬ䛻䜘䜛ຓᡂ䜢ཷ䛡ከᩘ䛾ඹྠ◊✲䜢⾜䛳䛯䚹≉䛻ᡃ䚻䛾ບ㉳≧ែᣲືゎᯒᢏ⾡䚸㉸ ศᏊග୙ᩧ໬Ꮫ◊✲䛸䛾⼥ྜ䛻䜘䜚ྡ኱ὸ἟ᩍᤵ䚸ᶔ⏣෸ᩍᤵ䛸ேᕤ᰾㓟䛾䚸㜰኱⏘㐃ᮏ㒊すᔱඛ⏕䛸⺮ ⓑ㉁䜢୙ᩧ཯ᛂሙ䛸䛧䛯◊✲䚸ᮾᕤ኱໬⏕◊⚟ᓥᩍᤵ䚸៞ᛂ኱⩚᭯㒊෸ᩍᤵ䛸䝦䝸䝉䞁⣔䜻䝷䝹ศᏊ⣔ᵓ⠏ 䛸䛾≉ᛶゎᯒ䚸ṑᏛ㒊වᖹ༤ኈ䛸䛾▱ぬ㐣ᩄ⑕἞⒪⸆䜢┠ᣦ䛧䛯ṑ⛉ᮦᩱ᥈⣴䛺䛹᥎㐍䛧䚸 ከ䛟䛾ᡂᯝ䜢 ୖ䛢䜛䛣䛸䛜ฟ᮶䛯䚹

(9)

研 究 活 動 報 告 6 ◊㻌 ✲㻌 ά㻌 ື㻌 ሗ㻌 ࿌

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研 究 活 動 報 告 8

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(12)

9 研 究 活 動 報 告 ⏕ࡌࡿศᏊᶵᵓࡢゎ᫂ࡀࠊ௒ᚋࡢ㔜኱࡞ㄢ㢟࡛࠶ࡿࠋ ࡲࡓ⌧ᅾࠊ့ங㢮⣽⬊ࢆ⏝࠸ࡓ ZnT ࣇ࢓࣑࣮ࣜࡢⓎ⌧⢭〇⣔ࢆᵓ⠏ࡋ࡚࠸ࡿ࡜ࡇࢁ࡛࠶ࡿࠋ௒ᚋࠊ ⢭〇 ZnT ࢱࣥࣃࢡ㉁ࢆ⏝࠸ࡓ⏕໬Ꮫゎᯒࠊ⤖ᬗᵓ㐀ゎᯒ࡟ྲྀࡾ⤌ࡳࠊZnT ࡟ࡼࡿ ERp44 άᛶ໬ᶵᵓࡢ ヲ⣽ࢆゎ᫂ࡍࡿணᐃ࡛࠶ࡿࠋ 㓟໬㑏ඖ౫Ꮡⓗ࡞ 655&$E ࡢάᛶไᚚࡢᵓ㐀ᇶ┙ ᑠ⬊యࡣ⭷ࢱࣥࣃࢡࡸศἪࢱࣥࣃࢡࡢྜᡂࡢሙ࡛࠶ࡾࠊࡑࡢ㔜せ࡞⏕⌮ᶵ⬟࡟࠾࠸࡚ᑠ⬊యෆࡢ㓟 ໬㑏ඖ⎔ቃ࠾ࡼࡧ࢝ࣝࢩ࣒࢘⃰ᗘࡀᐦ᥋࡟㛵୚ࡋ࡚࠸ࡿࠋᑠ⬊య⭷୰࡟Ꮡᅾࡍࡿ SERCA2b ࡣ ATP ౫ Ꮡⓗ࡟⣽⬊㉁ෆ࠿ࡽᑠ⬊యෆ࡬࢝ࣝࢩ࣒࢘ࢆ㍺㏦ࡍࡿ࢝ࣝࢩ࣒࣏࢘ࣥࣉ࡛࠶ࡾࠊᑠ⬊యෆࡢ࢝ࣝࢩ࢘ ࣒⃰ᗘࡢᜏᖖᛶ⥔ᣢ࡟㛵ࢃࡿࠋ᫖ᖺᗘ SERCA2b ࡢ⤖ᬗᵓ㐀ࢆỴᐃࡍࡿࡇ࡜࡟ᡂຌࡋࡓࡀࠊㄪ〇࡟⏝࠸ ࡿ⏺㠃άᛶ๣ࡢ✀㢮࠾ࡼࡧ⤖ᬗ໬᮲௳ࡢ᭦࡞ࡿ᳨ウࢆ⾜࠺ࡇ࡜࡛ࠊ㓟໬ᆺ SERCA2b㸦E1-2Ca2+-AMPPCP form㸧࡟ࡘ࠸࡚ࡼࡾ㧗ศゎ⬟ࡢ⤖ᬗᵓ㐀ゎᯒࢆ㐩ᡂࡋࡓࠋ᪂ࡓ࡟ᚓࡽࢀࡓ㓟໬ᆺࡢ SERCA2b ࡟࠾࠸࡚ ࡶ௨๓࡜ྠᵝ࡟ TM11 ࣊ࣜࢵࢡࢫࡢ㟁Ꮚᐦᗘࡣほ ࡉࢀ࡞࠿ࡗࡓࡇ࡜࠿ࡽࠊTM11 ࡢࣇࣞ࢟ࢩࣈࣝ࡞ᛶ ㉁ࡀ♧၀ࡉࢀࡓࠋ⌧ᅾࠊTM11 ࢆ௓ࡋࡓ SERCA2b ࡢάᛶไᚚᶵᵓࡢヲ⣽ࢆゎ᫂ࡍࡿࡓࡵࠊᵓ㐀᝟ሗ࡟ ᇶ࡙ࡃኚ␗యゎᯒࢆ㐍ࡵ࡚࠸ࡿࠋ ูࡢ཯ᛂ୰㛫≧ែࡢᵓ㐀ゎᯒ࡟ࡘ࠸࡚ࡣࠊFab ໬ࡋࡓᢠయ࡜ SERCA2b ࡜ࡢඹ⤖ᬗ໬࡟ࡼࡾࠊపศゎ ⬟࡞ࡀࡽࣇࣝࢹ࣮ࢱࢭࢵࢺࢆ཰㞟ࡍࡿࡇ࡜࡟ᡂຌࡋ࡚࠸ࡿࠋ ࡇࢀࡲ࡛ࡢㄪ〇⏝ࣂࢵࣇ࢓࣮࡛ࡣ SERCA2b ࡢάᛶ⥔ᣢ࡟࢝ࣝࢩ࣒࢘ࡀᚲ㡲࡛࠶ࡗࡓࡀࠊ⏝࠸ࡿ⏺㠃άᛶ๣ࢆኚ᭦ࡍࡿࡇ࡜࡛ࠊ࢝ࣝࢩ࢘ ࣒㠀Ꮡᅾୗ࡛ࡶᏳᐃࡋࡓ SERCA2b ࢆ⢭〇ࡍࡿࡇ࡜࡟ᡂຌࡋࠊ࢝ࣝࢩ࣒࢘㠀⤖ྜ≧ែ (E2 form)ࡢ⤖ᬗ ໬ࡢ‽ഛࡀᩚࡗࡓࠋ

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研 究 活 動 報 告 14 ◊㻌 ✲㻌 ά㻌 ື㻌 ሗ㻌 ࿌ 䝥䝻䞊䝤䇷Mg ཎᏊ㛫㊥㞳䜢᭷䛩䜛 MGQ-2 䜢㛤Ⓨ䛧䛯䚹MGQ-2 䛾⺯ග䝇䝨䜽䝖䝹䛿䚸Mg2+⃰ᗘ䛾ቑຍ䛻ᛂ䛨 䛶ගㄏ㉳㟁Ꮚ⛣ື䛻䜘䜚⺯ගᙉᗘ䛜኱䛝䛟ῶᑡ䛩䜛ᾘගᆺ䛾ᛂ⟅䜢♧䛧䛯䠄ᅗ 1b䠅 䚹䛣䛾᮲௳䛻䛚䛡䜛 Mg2+ 䛻ᑐ䛩䜛ゎ㞳ᐃᩘ䛿 0.27 mM 䛷䛒䛳䛯䛜䚸Ca2+䛻ᑐ䛩䜛ゎ㞳ᐃᩘ䛿 1.5 mM 䛸㠀ᖖ䛻ᙅ䛟䚸䛣䛾ぶ࿴ᛶ䛷䛿䝃 䜲䝖䝌䝹䛾 Ca2+⃰ᗘኚ໬䛻䜋䛸䜣䛹ᛂ⟅䛧䛺䛔䛸⪃䛘䜙䜜䜛䠄ᅗ 1c䠅䚹ᐇ㝿䛻 10 mM 䛾⣽⬊እ Ca2+䛸 Ca2+䜲䜸 䝜䝣䜷䜰䛷䛒䜛䜲䜸䝜䝬䜲䝅䞁䜢ῧຍ䛧䚸⣽⬊ෆ䛻 Ca2+䜢ὶධ䛥䛫䛯䛜䚸඲䛟ᛂ⟅䛿ぢ䜙䜜䛺䛛䛳䛯䚹ᮏ䝥䝻䞊 䝤䜢ㄏᑟయ໬䛧䚸䜸䝹䜺䝛䝷䛻ᒁᅾ໬䛥䛫䜛䛣䛸䛷䚸௒ᚋ䝭䝖䝁䞁䝗䝸䜰䛺䛹䛾䜸䝹䜺䝛䝷ෆ䛾 Mg2+ືែ䛾ゎ᫂ 䛜㐍䜐䛣䛸䛜ᮇᚅ䛷䛝䜛䚹 2䠊 䝦䝮ศゎ㓝⣲䛻㛵䛩䜛◊✲ ⏕యෆ䛾䝦䝮ศゎ䛿㔜せ䛺⏕⌮ᶵ⬟䜢ᢸ䛳䛶䛚䜚䚸䛭䛾≉Ṧ䛺཯ᛂᶵᵓ䛻䜒ὀ┠䛥䜜䛶䛔䜛䚹௦⾲ⓗ䛺䝦 䝮ศゎ㓝⣲䛿့ங㢮䛾䝦䝮䜸䜻䝅䝀䝘䞊䝊䠄HO䠅䛷䛒䜚䚸཯ᛂᶵᵓ䛾ヲ⣽䜒 HO 䛻䛴䛔䛶䛾䜏ゎ᫂䛥䜜䛶䛝䛯 䠄ᅗ 2䠅䚹䛧䛛䛧㏆ᖺ䚸HO 䛸䛿␗䛺䜛䝍䜲䝥䛾䝦䝮ศゎ㓝⣲䛜⑓ཎᛶ⣽⳦䛛䜙┦ḟ䛔䛷Ⓨぢ䛥䜜䚸䛭䛾ᶵᵓ䜔 ⏕⌮ᶵ⬟䛻ὀ┠䛥䜜䛶䛔䜛䚹䛭䛣䛷ᮏᖺ䛿䝁䝺䝷⳦⏤᮶䛾䝦䝮ศゎ㓝⣲ HutZ 䛸㯤Ⰽ䝤䝗䜴⌫⳦⏤᮶ IsdG 䛻 䛴䛔䛶䚸䛭䛾཯ᛂゎ᫂䛻୺䛻ྲྀ䜚⤌䜣䛰䚹 䝁䝺䝷⳦ HutZ 䛿䜋ங㢮ᆺ HO 䛸ྠ䛨䛟䝡䝸䝧䝹䝆䞁䜢⏕ᡂ䛩䜛䛯䜑䚸཯ᛂᶵᵓ䜒 HO 㢮ఝ䛸ண᝿䛥䜜䛯䚹䛭䛣 䛷✀䚻䛾཯ᛂ᮲௳䛷⏕ᡂ䛩䜛୰㛫య䛻 䛴䛔䛶᳨ウ䛧䛯䛸䛣䜝䚸HO ཯ᛂ䛻䜒ぢ䜙 䜜䜛 1) 㓟⣲⤖ྜᆺ䝦䝮䚸2) Ỉ㓟໬䝦 䝮䚸3) 䝧䝹䝗䝦䝮䛾ྛ୰㛫య䛾⏕ᡂ䛜䚸 ඹ㬆䝷䝬䞁䞉ྍど⣸እ྾཰䞉EPR 䝇䝨䜽䝖 䝹䛾 ᐃ䛺䛹䛻䜘䛳䛶☜ㄆ䛥䜜䛯䚹䛣䛾 ⤖ᯝ䛿 HutZ 䛸 HO 䛾ᶵᵓ䛾㢮ఝᛶ䜢ド ᫂䛩䜛䛜䚸୧⪅䛾䝍䞁䝟䜽㉁ᵓ㐀䛿኱䛝 䛟␗䛺䛳䛶䛔䜛䚹௒ᚋ䚸HutZ 䛻䛚䛡䜛཯ ᛂไᚚᶵᵓ䛾ゎ᫂䛻䜒ὀ┠䛥䜜䜛䚹 ୍᪉䚸㯤Ⰽ䝤䝗䜴⌫⳦⏤᮶䛾 IsdG ᆺ㓝⣲䛻䜘䜛䝦䝮ศゎ䛷䛿䚸Ỉ㓟໬䝦䝮䛸 O2䛾䠍ẁ㝵䛾཯ᛂ䛷㛤⎔䛩䜛 䛸⪃䛘䜙䜜䛶䛔䛯䠄ᅗ 2䠅䚹Ỉ㓟໬䝦䝮-IsdG 」ྜయ䛾཯ᛂゎᯒ䛾⤖ᯝ䚸䛣䛾㛤⎔཯ᛂ䛿㠀㑏ඖ᮲௳䛷䛿༢⣧ 䛺䠎ཎᏊ㓟⣲ῧຍ཯ᛂ䛻䜘䛳䛶┤᥋㛤⎔䛧䚸ษ᩿㒊఩䛾Ⅳ⣲ཎᏊ䛿䜰䝹䝕䝠䝖䛸䛧䛶ಖᣢ䛥䜜䜛䛣䛸䛜♧䛥䜜 䛯䚹䛧䛛䛧㑏ඖ๣䛾Ꮡᅾୗ䛷䛿䚸䜒䛖䠍ศᏊ䛾 O2άᛶ໬䜢క䛖䝩䝹䝮䜰䝹䝕䝠䝗䠄HCHO䠅䛾㐟㞳䛜ಁ㐍䛥䜜䛯䚹 䛣䛾⏕ᡂ≀ኚ໬䛿㯤Ⰽ䝤䝗䜴⌫⳦䛾䝺䝗䝑䜽䝇≧ែ䜎䛯䛿 O2䛾䝉䞁䝃䞊䛸䛧䛶⏝䛔䜙䜜䜛ྍ⬟ᛶ䜒䛒䜚䚸௒ᚋ䛾 ゎ᫂䛜ᮇᚅ䛥䜜䜛䚹 ௨ୖ䛾཯ᛂ◊✲䛻ຍ䛘䚸≉Ṧ䛺䝦䝮௦ㅰ⏘≀䜢㑅ᢥⓗ䛻᳨ฟ䛩䜛䛯䜑䛾⺯ග䝍䞁䝟䜽㉁䛾㛤Ⓨ䛻䜒ྲྀ䜚⤌ 䜣䛷䛔䜛䚹⌧᫬Ⅼ䛷≉Ṧ⏕ᡂ≀䛾⤖ྜ䛸ᙅ䛔⺯ග䜢☜ㄆ䛧䛶䛚䜚䚸௒ᚋ䚸㐍໬ᕤᏛⓗᡭἲ䛺䛹䛻䜘䛳䛶⺯ග ᙉᗘ䛸㑅ᢥᛶ䛾ྥୖ䜢ヨ䜏䜛䚹 ᅗ 2㻌 䝦䝮ศゎ㓝⣲䛾཯ᛂᶵᵓ

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15 研 究 活 動 報 告 ◊㻌 ✲㻌 ά㻌 ື㻌 ሗ㻌 ࿌

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(2017.7 䜘䜚)

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(19)

研 究 活 動 報 告 16

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Bull. Chem. Soc. Jpn., 90, 34-43, (2017)䠅䠊

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研 究 活 動 報 告 18 ◊㻌 ✲㻌 ά㻌 ື㻌 ሗ㻌 ࿌ 㻟㻚㻌 㑇ఏⓗ䜰䝹䝂䝸䝈䝮䜢ᛂ⏝䛧䛯⌮ㄽ≧ែᅗ䛾ᵓ⠏㻌 ㏆ᖺ䚸≀㉁䛾⏕ᡂ䜶䝛䝹䜼䞊䜔ㅖ≀ᛶ䜢ㄪ䜉䜛ୖ䛷䚸➨୍ཎ⌮ィ⟬䛜ᗈ䛟ά⏝䛥䜜䜛䚹䛧䛛䛧䚸➨୍ཎ⌮ ィ⟬䛿ᑐ㇟䛾ᵓ㐀䛾᝟ሗ䛜୙ྍḞ䛷䛒䜚䚸ᮍ▱䛾ྜ㔠䛻ᑐ䛧䛶Ᏻᐃᵓ㐀䜢᥈⣴䛩䜛䛣䛸䛜ᅔ㞴䛷䛒䜚䚸䛣䛾 ၥ㢟䛜➨୍ཎ⌮䝧䞊䝇䛾⌮ㄽ≧ែᅗᵓ⠏䜢⾜䛖ୖ䛷䛾㞀ᐖ䛸䛺䛳䛶䛔䛯䚹ᮏ◊✲䛷䛿㑇ఏⓗ䜰䝹䝂䝸䝈䝮䜢 ᛂ⏝䛩䜛䛣䛸䛷ᮍ▱䛾ྜ㔠䛻ᑐ䛧䛶䜒䚸Ᏻᐃᵓ㐀᥈⣴䛩䜛䛣䛸䛷䚸ᐇ㦂ⓗ䛺᝟ሗ䜢඲䛟⏝䛔䛺䛔᪂䛧䛔⌮ㄽ≧ ែᅗసᡂἲ䛻ྲྀ䜚⤌䜣䛰䚹䜎䛯䚸䛣䛾◊✲䛾ಁ㐍䜢ᅗ䜚䚸䝕䞊䝍⛉Ꮫ䜢䝔䞊䝬䛸䛧䛯◊✲䝥䝻䝆䜵䜽䝖䛂᝟ሗ⤫ ྜᆺ≀㉁䞉ᮦᩱ㛤Ⓨ䜲䝙䝅䜰䝔䜱䝤 MI2I䛃䛻ཧ⏬䛧䚸᝟ሗ஺᥮䜢⾜䛳䛯䚹 2017 ᖺ䛿୕ඖ⣔ྜ㔠䜎䛷䛾ィ⟬ 䜢⾜䛔䚸ᐇ㦂䛸䛾ᩚྜᛶ䜢ㄪ䜉䛯䚹ᮏ◊✲ᡭἲ䜢☜❧䛩䜛䛣䛸䛷䚸Ᏻᐃ┦䛾ண᝿䛸ᮦᩱ䛾≀ᛶண 䜢ྠ᫬䛻 ⾜䛖䛣䛸䛜䛷䛝䚸ᮦᩱᏛ䛻ᑐ䛧䛶኱䛝䛺㈉⊩䛜ᮇᚅ䛷䛝䜛䚹 㻌 㻠㻚㻌 㔠ᒓᾮయ䛾⮬⏤䜶䝛䝹䜼䞊䛾➨୍ཎ⌮ィ⟬㻌 ྜ㔠ᾮయ䛿ཎᏊ䛜㞳ྜ䞉㞟ᩓ䜢⤯䛘䛪⧞䜚㏉䛧䚸⤖ᬗᵓ㐀䛾䜘䛖䛺✵㛫ⓗ䛺࿘ᮇᛶ䜢ᣢ䛯䛺䛔䛯䜑䚸䛣䛾≧ ែ䜢グ㏙䛩䜛䛯䜑䛻኱䛝䛺䛾༢఩⬊䝰䝕䝹䜢ᚲせ䛸䛩䜛䚹䛧䛯䛜䛳䛶䚸ィ⟬䝁䝇䝖䛾ほⅬ䛛䜙➨୍ཎ⌮䛻ᇶ䛵 䛟⌮ㄽィ⟬ἲ䛾㐺⏝౛䛿ஈ䛧䛟䚸䛣䜜䜎䛷ά㔞䛺䛹䛾ᐇ㦂⤖ᯝ䛛䜙 CALPHAD 䛺䛹䛾⇕ຊᏛⓗィ⟬ἲ䛜ᾮ య䛻ᑐ䛧䛶㐺⏝䛥䜜䛶䛝䛯䚹䜎䛯䚸ྜ㔠ᾮయ䜢ศᏊືຊᏛἲ䛛䜙ィ⟬䛧䛯䛸䛧䛶䜒䚸ཎᏊ᣺ື䛾䜶䞁䝖䝻䝢䞊䜢 ㄪ࿴᣺ືᏊ㏆ఝ䛻䜘䜚ồ䜑䛯ሙྜ䚸᣺ືᩘ 0 䛾ᦂ䜙䛞ᡂศ䛜Ꮡᅾ䛩䜛䛯䜑䛻䚸䜶䞁䝖䝻䝢䞊ィ⟬䛜Ⓨᩓ䛩䜛 ၥ㢟䛜▱䜙䜜䛶䛔䜛䚹ᮏ◊✲䛷䛿䚸䛣䛾ၥ㢟䜘䛖䛺䛻ᑐ䛧䛶䚸ᾮయ≧ែ䛜Ẽయᡂศ䛸ᅛయᡂศ䛛䜙ᵓᡂ䛥䜜䜛 䛸䛩䜛㏆ఝἲ䛻䜘䜚䜶䞁䝖䝻䝢䞊ィ⟬䛾Ⓨᩓ䜢ᢚ䛘䜛䛣䛸䛷䚸➨୍ཎ⌮ศᏊືຊᏛἲ䛻ᇶ䛵䛔䛯䠎ඖ⣔ྜ㔠ᾮ య䛾⮬⏤䜶䝛䝹䜼䞊ィ⟬䜢⾜䛳䛯䚹㔠ᒓ㠀㔠ᒓ䛾⤌䜏ྜ䜟䛫䜔䚸ᅛ┦䛻䛚䛔䛶໬ྜ≀ᙧᡂ䛜᭷↓䛺䛹䛻╔ ┠䛧䛯 Fe-C, Fe-B, Fe-Ti, Fe-P, Al-Cu, Au-Si 䛺䛹䛾ྜ㔠⣔䜢ᑐ㇟䛻ィ⟬䜢⾜䛔䚸ᐇ㦂್䛸䛾ẚ㍑䜢⾜䛳䛯䚹䛥 䜙䛻䚸CNA(Common Neighbor Analysis) ἲ䜔஧యศᕸ㛵ᩘ䛻䜘䜛ゎᯒᡭἲ䜢⏝䛔䚸ᾮ┦୰䛷Ⓨ㐩䛩䜛▷㊥ 㞳⛛ᗎ䜔䜽䝷䝇䝍䞊䛸ᅛ┦䛸䛾㛵ಀ䛻䛴䛔䛶⪃ᐹ䜢⾜䛳䛯䚹 㻌 㻡㻚㻌 ‵ᘧ⢭〇ἲ࡟ࡼࡿ㑄⛣㔠ᒓࡢ㧗⣧ᗘ⢭〇㻌 㔠ᒓ䜢㧗⣧ᗘ໬䛩䜛䛸䚸✀䚻䛾≉ᛶ䛜ᚑ᮶䛸䛿඲䛟␗䛺䜛ᣲື䜢♧䛩䚹䛣䜜䛿䚸㔠ᒓᮏ᮶䛾≉ᛶ䛜⌧䜜䛯䛸 ⪃䛘䜛䜉䛝䛷䛒䜛䚹ᮏ㉁ⓗ≉ᛶ䜢᫂䜙䛛䛻䛩䜛஦䛿䚸Ꮫ⾡ୖᴟ䜑䛶㔜せ䛷䛒䜚䚸䛥䜙䛻䛿᪂䛯䛺ᮦᩱタィ䛾䛯 䜑䛾ᇶ♏ⓗ▱ぢ䜢ᚓ䜛஦䛻䛴䛺䛜䜛䚹㔠ᒓᛶ୙⣧≀ศ㞳ᡭἲ䛸䛧䛶ሷ㓟⁐፹୰䛾㝜䜲䜸䞁஺᥮⢭〇ἲ䛿኱ ኚ㔜せ䛷䛒䜛䛜䚸䛭䛾ᇶ♏䛷䛒䜛㝜䜲䜸䞁஺᥮཯ᛂ䛻㛵䛩䜛ヲ⣽䛿᫂䜙䛛䛻䛥䜜䛶䛔䛺䛔䚹ྛ䚻䛾㔠ᒓ䜲䜸䞁 䛜㝜䜲䜸䞁஺᥮ᶞ⬡䛻྾╔䛩䜛ᣲື䛿䚸Ỉ⁐ᾮ┦䛻䛚䛡䜛㘒㝜䜲䜸䞁䛾Ꮡᅾẚ䛻౫Ꮡ䛩䜛䛜䚸䜽䝻䝻㘒䜲䜸䞁 ศᕸ䛾ᚑ᮶ሗ࿌್䛿䝞䝷䝒䜻䛜኱䛝䛟䚸⇕ຊᏛⓗ⪃ᐹ䜢⾜䛖䛻䛿⢭ᗘ䛜୙඘ศ䛷䛒䜛䚹䛭䛣䛷䚸⣸እྍど྾཰ 䝇䝨䜽䝖䝹䛸 X ⥺྾཰䝇䝨䜽䝖䝹䜢ᡂศศᯒ䛧䚸䝁䝞䝹䝖(II)䜽䝻䝻㘒య䛾ศᕸ䜢ồ䜑䚸䛥䜙䛻ྛ㘒య䛾ᵓ㐀䜢ୡ ⏺䛷ึ䜑䛶ᐇ㦂ⓗ䛻᫂䜙䛛䛻䛧䛯䚹᮶ᖺᗘ௨㝆䚸྾╔ᣲື䛻㛵䛩䜛⇕ຊᏛⓗ䚸㏿ᗘㄽⓗ⪃ᐹ䜢⾜䛖䛸ඹ䛻䚸 ௚䛾㔠ᒓ䛾䜽䝻䝻㘒యศᕸ䜢㡰ḟ᫂䜙䛛䛻䛧䚸ᚑ᮶ἲ䜢෽㥙䛩䜛㧗⢭〇ຠ⋡䛾㝜䜲䜸䞁஺᥮⢭〇ἲ䛾☜❧䜢 ┠ᣦ䛩䚹

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19  ◊ ✲ ά ື ሗ ࿌研 究 活 動 報 告 

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Table  Etching  rates  of  electron  beam  resists  before  and  after  sequential  chemical  vapor  reaction  (SCV) positive-tone  electron  beam  resist cycle  number  of SCV O 2 RIE  etching  rate [nm min -1 ] Ar  ion millingetching  rate[nm min-1] C 3

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