研 究 活 動 報 告 70
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I/I-GaN:Mg䛾
TRPLಙྕ䚹
[Mg]
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[Mg] = 2x1018cm-3 Epitaxial
[Mg] = 1x1017cm-3
[Mg] = 1x1018cm-3
PLINTENSITY(arb. unit)
TIME (ns) Implanted
研 究 活 動 報 告 72
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73 研 究 活 動 報 告
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研 究 活 動 報 告 74
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