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N 0.9 q
o onnealed 686 K lO.8ks
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‑ ‑ ‑ ‑ ‑ 一 一 ・ •
0.8
0.7 。 5 1 0
15T h i c k n e s s R e d u c t i o n / %
図
6 ‑8
吸 収 面 積 の 比 の 冷 間 圧 延 お よ び 焼 鈍 に 伴 う 変 化 .噌lム
﹁ ﹁υ
一方 , ス ペ ク ト ル の 吸 収 面 積 か ら い く つ か の 情 報 を 得 る こ と が で き る . ひ と つ は 磁 気 異 方 性 に 関 す る 情 報 で あ る . ス ペ ク ト ル の1番 目.
6
番 目 の ピ ー ク 強 度 と2
番目.5
番 目 の ピ ー ク 強 度 の 比 は 各F e
原 子核 が も っ 磁気モ ー メ ン ト と 入 射 7線 の な す 角 度 に よ って変わる.7線 を 試 料 面 に 垂 直 に 入 射 し た 場 合 , 磁 気 モ ー メ ン ト と 試 料 面 の な す 角 度 の 平 均 値<θ >は 次 式 で 与 え ら れ る (1 40 )
r 3 / 2
C A2 •5 1
A 1. s)1
~<θ>=π/2‑arc sin │ !
一
‑ ‑ L 1+3/4CA
2 • 5IA
1 •s)J
( 6. 1)ここでA1. S は 1 番目と 6 番目の吸収ピークの面積 • A 2.5は 2番目 と
5
番 目 の 吸 収 ピ ー ク の 面 積 を 表 す . したがってAゎ5 1
Aぃ 6=0
ならば磁気モーメントは試料面に垂直であり •A
2 • sIA
1 • 6=4/3
な ら ば 平 行 で あ る こ と を 意 味 す る . ま た , 完 全 に ラ ン ダ ム な 場 合 は A 2 • 5 1A t
・
s =2 / 3
と な る . 図6 ‑8
は こ の 吸 収 面 積 の 比 を 圧 延 率 に 対 し て プ ロ ッ ト し た も の で あ る . 白 丸 は 焼 鈍 し た 場 合 を 示 す . 作 製 し た ま ま の 状 態 で は Aゎ5 1
A 1. S二0 . 9 8
で 磁 気 モ ー メ ン ト の 方 向 は ほ ぼ 試 料 面 内 に あ る . こ れ は 液 体 状 態 か ら の 急 冷 凝 固 の 過 程 で 導 入 さ れ た 局 所 的 内 部 歪 み に よ る も の と 考 え ら れ る (1 4 1 ) 圧 延 率 の 増 加と と も に 面 積 比 は 減 少 し
10%
以 上 で は ほ と ん ど一定 と な る . こ れ は 冷 問 圧 延 に よ っ て 磁 気 モ ー メ ン ト の一部 が 試 料 面 内 か ら 面 外 方 向 へ 向 き , 全 体 と し て ラ ン ダ ム な 配 向 に 近 づ い た こ と を 示 し て い る . 圧廷 に よ り 圧 延 方 向 に 残 留 応 力 が 発 生 し , こ れ が 磁 歪C F e ‑ B ‑ S i
系ア モルフ ァス合 金では正)を介,し て 磁 気 モ ー メ ン ト を 試 料 面 に 対 し て垂 直 な 方 向 に 向 か せ る 働 き を し た も の と 考 え ら れ る . 焼 鈍 し た 場 合 も こ の よ う な 磁 気 モ ー メ ン ト の ラ ン ダ ム 配 向 が 起 こ る . これは焼鈍 による内部応力(歪み)の解放によるものである.圧廷によるこのよ
う な 磁 気 モ ー メ ン ト の 配 向 は 他 の ア モ ル フ ァ ス 合 金 に お い て も 観 測 されている (142)(143) と こ ろ で , 冷 問 圧 延 に よ る こ の よ う な 磁 気 モ ー メ ン ト の 方 向 の 変 化 が 内 部 磁 場 の 分 布 に ほ と ん ど 影 響 を 与 え な いことは注目すべきことである.
つ ぎ に , メ ス バ ウ ア ー ス ペ ク ト ル の 吸 収 ピ ー ク の 全 面 積 は 近 似 的 に
F e
原 子 の 無 反 跳 分 率 に 比 例 す る . 無 反 跳 分 率fR
は 次 式 で 表 さ れ る(144)f
R =exp(‑4π2<u2>IA2)( 6 . 2)
ここでえは 7線の波長,
< u
2 >は 7線 の 方 向 へ の 原 子 の 平 均 自 乗 変位である. したがって,f
RはF e
原 子 の 結 合 状 態 を 反 映 す る こ と になる.図6 ‑ 9
は 吸 収 ピ ー ク 面 積 す な わ ち 無 反 跳 分 率 の 冷 問 圧 延 お よ び 焼 鈍 に よ る 変 化 を 示 し た も の で あ る . 吸 収 ピ ー ク 面 積 は 作 製 し た ま ま の 試 料 の 値 を 基 準 と し て そ れ に 対 す る 比 で 表 し た . 焼 鈍 に よりfR
は大きく増加している. こ れ は 焼 鈍 に よ る 構 造 緩 和 でF e
原 子 の 結 合 が よ り 強 固 に な っ た こ と を 意 味 し て い る . ア モ ル フ ァ ス 構 造 が 焼 鈍 に よ っ て よ り 安 定 な 構 造 へ 緩 和 す る こ と を 裏 づ け て い る .こ れ に 対 し て 圧 延 し た 場 合
fR
は5%
圧 廷 で 最 小 値 を 示 し , そ の 後 圧 延 率 と と も に 増 加 し て15%
圧 廷 で は ほ ぼ 圧 延 前 の 値 に 戻 っ て い る .ここで注目されるのは
5%
の庄廷でfR
が 減 少 す る こ と , す な わ ち円4
υ
﹁ ﹁
U
4Ei
rd
a . .
、t芝 Cコ
¥、ω
斗 15
号
刀0
→14芝 o annealed 686 K ‑10.8 ks
• cold rolled
.4 Young's Modulus
1.2ト
。
1.1←
~・--- ‑‑‑‑‑‑‑企
rd
~ 1.0ト
《
0.9← (/)
~13 ~ コ0
‑‑l12 >‑ 0.8←
よ
15
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O ノJ
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DH 上
5
T h i c k n e s s
i
O
メ ス バ ウ ア ー ス ペ ク ト ル の 吸 収 ピ ー ク 面 積 と ヤ ン グ 率 の 冷 問 圧 延 お よ び 焼 鈍 に よ る 変 化 .
6 ‑9
図
吸 収 ピ ー ク 面 積 は 作 製 し た ま ま の 試 料 の 値 を 基 準 と し た .
Fe原 子 の 結 合 の 強 さ が 弱 く な る こ と で あ る . こ の こ と を さ ら に 確 認 す る た め に 単 純 引 張 試 験 を 行 い ヤ ン グ 率 の 変 化 を 調 べ た . 結 果 は , 図
6 ‑9
に 示 し て い る . ヤ ン グ 率 の 変 化 は 吸 収 ピ ー ク 面 積 ( 無 反 跳 分率)の変化と良く 一致 し て い る . 冷 間 圧 延 に よ る ヤ ン グ 率 の 減 少 はFe'/5Pt s Sis A13ア モ ル フ ァ ス 合 金 な ど で も 観 測 さ れ て い る (1 "5 )図
6 ‑1 0
は 冷 問 圧 廷 に よ る ア モ ル フ ァ ス 構 造 の 変 化 をX
線 回 折 により調べた結果である.圧延前(作製したまま),5%
圧 延 お よ び15%
圧 延 試 料 に つ い てX線 回 折 プ ロ フ ィ ル の 第 1ハ ロ ー の 部 分 だ け を 示 し て い る . 各 プ ロ フ ィ ル に つ い て ピ ー ク 高 さ , 半 価 幅 お よ び 半 価 幅 中 点 法 で 求 め た 回 折 角2
fJの 値 を 表6 ‑ 1
に示す. ピーク高さは 圧 延 率 と と も に 減 少 し て い る . 半 価 幅 は
5%
圧 延 で は 圧 延 前 の 状 態、とほとんど同じであるが,15%
圧 延 で は 増 加 し て い る . ま た 回 折 角2 θ
の値は5%
圧 延 で わ ず か に 低 角 度 側 へ シ フ ト し て い る . しかし15%
圧 延 し た 場 合 は ほ と ん ど 圧 延 前 の 値 へ 戻 っ て い る . ここで5%
圧 延 試 料 に み ら れ る
2 θ
の 低 角 度 側 へ の シ フ ト は , 圧 廷 に よ り Fe原 子 聞 の 距 離 が 平 均 と し て 増 加 し た こ と を 示 し て い る . このことは,図
6 ‑9
に 示 し た ヤ ン グ 率 や メ ス バ ウ ア ー ス ペ ク ト ル の 吸 収 ピ ー ク 面積(無反跳分率)が,5%
程 度 の 圧 延 で 最 小 値 を 示 す こ と と 良 く 対 応 し て お り , 圧 廷 に よ るFe原 子 間 距 離 の 増 大 が ヤ ン グ 率 や 無 反 跳 分 率の減少の原因であることを示している.一方,15%
圧 延 試 料 に お け る ピ ー ク 高 さ の 減 少 お よ び 半 価 幅 の 増 大 は , 圧 延 率 の 増 加 に 伴 っ て歪みが導入され, Fe原 子 間 距 離 の 分 布 が 広 が っ た こ と を 表 し て いFhd
11ム ﹁ ﹁υ
〉、
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コ
ChL OL
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吟ー‑の Cω
やC
1 5 。 20
025
02 θ (MoKα)
30 。
図
6 ‑1 0
冷 間 圧 延 に 伴 うX
線 回 折 プ ロ フ ィ ル の 変 化 . 第 1ハ ロ ー の 部 分 を 示 す .表
6 ‑1
第1
ハ ロ ー の ピ ー ク 高 さ , 半 価 幅 お よ び 回 折 角 の 冷 問 圧 廷 に よ る 変 化 .Peak height Half width 28 (ratio)
( 市 川 ) ( 市 削 )
as‑quenched 2.95 20.36 5% cold rolled 0.95 2.94 20.20 15完cold rolled 0.77 3.05 20.34
る.その結果, Fe原 子 間 距 離 が 平 均 と し て 減 少 し た こ と が 2θ の変 化からわかる. し た が っ て ヤ ン グ 率 や 無 反 跳 分 率 が
5%
圧 延 試 料 に 比 べ て 増 加 す る の は , 圧 延 率 の 増 加 に 伴 う 歪 み の 増 加 に よ る も の で ある.ワl
Fh υ
6.1. 3
相 関 関 数ア モ ル フ ァ ス 合 金 の よ う に 原 子 配 列 に 周 期 性 を も た な い 物 質 の 構 造 を 調 べ る 際 , 相 関 関 数 ( 干 渉 関 数 ま た は 構 造 因 子 と も 呼 ば れ る ) は 極 め て 有 用 な 情 報 を 与 え て く れ る . この相関関数は X線 回 折 実 験 に よ っ て 得 ら れ る 散 乱 強 度 の 測 定 結 果 か ら 求 め る こ と が で き る . そ の 手 順 の 概 略 は つ ぎ の と う り で あ る . ま ず
X
線 散 乱 強 度 の 測 定 デ ー タ に 対 し て , 偏 光 因 子 , 吸 収 因 子 な ど の 補 正 を 行 う . つ ぎ に 強 度 の 規 格 化 を 行 っ た 後 , 非 干 渉 性 散 乱 に よ る 強 度 を 差 し 引 い て 干 渉 性 散 乱 強 度 の み を 得 る . 相 関 関 数 S(Q)は こ の 干 渉 性 散 乱 強 度 1(Q) を 用 い て 次 の よ う に 表 さ れ る (1 48 )S(Q)=[I(Q)
一(</2 > ̲</>2)J/</>2 Q=4
7rsinOI
え</2>=Eci/j2
,</>2=E(Cj/i)2
ここで
20
は散乱角, えは入射X
線 の 波 長 ま たCj
お よ び/j
は そ れ ぞれ i種 原 子 の 濃 度 お よ び 原 子 散 乱 因 子 で あ る . 本 研 究 で は 入 射X( 6. 3)
線としてグラファイトモノクロメータにより単色化した!loKα 線を 用 い た . ま た 強 度 の 規 格 化 はKrogh‑!loe‑Normanの 方 法(147) (148)を 用 い て 行 っ た. 図
6 ‑1 1
はこのようにして求めた圧延前, 5%圧 延 お よ び15%圧 延 の 各 試 料 に 対 す る 相 関 関 数 S(Q)で あ る . 圧 延 前 の試料の S(Q)は ア モ ル フ ァ ス 合 金 の 特 徴 を 良 く 表 し て い る . す な わ ち 第1
ピークは鋭く,第2
ピークは高底2
つ サ ブ ピ ー ク に 分 裂 し て い る . ま たQの 増 加 と と も に S(Q)は 1に収束する. S(Q)の冷4
3
2
2
( O ) ω
2
a s q u e n c h e d
5 % c o l d r o l l e d
15
% c o l d r o l l e d
0 o 20 40 60 80 100 120 140 160
Q / nm‑
I図 6‑1 1 X線 回 折 に よ り 求 め た 相 関 関 数 S(Q)の 冷 間 圧 延 に よ る 変 化.
nu u
﹁同
υ41i
間 圧 廷 に よ る 変 化 を み て み る と , 圧 延 率 の 増 加 に 伴 っ て 第
1
ピーク の 高 さ は 減 少 し 第 2ピ ー ク の 分 裂 は 次 第 に 不 明 瞭 に な っ て い る . 特 に , 分 裂 し た 2つ の サ ブ ピ ー ク の う ち 小 さ い 方 の サ ブ ピ ー ク が 潰 れていくのがわかる. こ れ は 結 晶 化 に 伴 う 変 化 と 全 く 異 な っ て い る . す な わ ち , 結 晶 化 の 際 に 結 晶 性 の 回 折 ピ ー ク と し て 成 長 す る の は こ の 小 さ い サ ブ ピ ー ク で あ り 大 き い サ ブ ピ ー ク は 消 滅 す る . 冷 間 圧 廷 に よ る 相 関 関 数S(Q)
の こ の よ う な 変 化 はPdaoSi20 (149) (150)ゃ Pd77Si17CUe (151)ア モ ル フ ァ ス 合 金 で も 観 察 さ れ て い る . これは圧 延 に よ っ て ア モ ル フ ァ ス 構 造 が ト ポ ロ ジ カ ル に は , よ り 乱 雑 化 す ることを示している.
6. 2 焼 鈍 に よ る 磁 気 特 性 の 改 善
6 . 1
節 に お け る 議 論 に よ っ て 冷 間 圧 廷 が ア モ ル フ ァ ス 合 金 の 物 性 お よ び 構 造 に お よ ぼ す 影 響 が 明 ら か に な っ た . しかしながら,図
6 ‑1
に 示 し た よ う に 圧 延 に よ り 軟 磁 性 材 料 と し て の 優 れ た 特 性が著しく損なわれるという問題が残されている.そこで, この節で
は 冷 間 圧 延 後 の
B ‑ H
曲 線 の 形 状 お よ び 保 磁 力 の 焼 鈍 に よ る 変 化 挙 動 に つ い て 調 べ , 圧 廷 を し て い な い 液 体 急 冷 し た ま ま の 場 合 ( 以 下 急 冷 試 料 と 呼 ぶ ) と 比 較 し な が ら 圧 廷 に よ っ て 劣 化 し た 磁 気 特 性 の 改 善の方策を検討する.図
6 ‑ 1 2
は急、冷試料について,室温における保磁力Hcの 焼 鈍 温 度 お よ び 焼 鈍 時 間 依 存 性 を 示 し た も の で あ る . 縦 軸 は 焼 鈍 前 の 保 磁 力 の 値Hc (as)に 対 す る 比 で 表 し て い る . 保 磁 力 は い ず れ の 焼 鈍 時 間 で も 温 度 の 増 加 と と も に 減 少 し て 温 度T1で極小値を示す.そ の 後 急 激 な 増 加 を 示 し た 後 , 温 度 T2を 境 に 再 び 急 激 に 減 少 し 最 小値をとる. ここで室温から T1に か け て の ゆ る や か な 減 少 は , 液 体 か ら の 超 急 冷 の 過 程 で 導 入 さ れ た 歪 み の 解 放 に よ る も の で あ る .
方, T1から T2に か け て の 急 激 な 増 加 は 磁 壁 の 固 着 化 に よ る も の で あ り , つ ぎ の よ う に 考 え る こ と が で き る . 焼 鈍 温 度 が 十 分 に 高 く な っ た た め に 焼 鈍 中 に 原 子 の 移 動 が 比 較 的 容 易 に な り , 磁 区 内 で は 自 発 磁 化 を 駆 動 力 と し て 拡 散 型 の 原 子 対 異 方 配 列 に よ り 一軸 磁 気 異 方 性 が 生 じ る . 磁 壁 内 で は 磁 気 モ ー メ ン ト の 回 転 分 布 を 安 定 化 す る よ う に 原 子 対 の 再 配 列 が 起 こ り , そ の 結 果 , 磁 壁 の ポ テ ン シ ャ ル エ
41i
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1i
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