分析機能付き走査電子顕微鏡
JSM-IT200 走査電子顕微鏡
... モンタージュは破面解析や広領域の異物の把握など、広い領域に対して細かい情報が必要な時に便利な機能です。全体像が把握できる Zeromag により、広領域モンタージュの視野選択が容易に行えます。「傾斜補正」、 「視野の重なり設定」、 「Auto Focus ポイント設定」 を行うことができます。 試料全体の偏析や介在物分布等を把握しつつ、介在物一つ一つの細かい解析ポイントを確認することができます。試料情報の共有に ...
24
走査トンネル顕微鏡を用いた2次元キャリア分布計測技術とデバイス開発への適用
... で評価する技術が切望されていた。富士通マイクロエレクトロニクスは，走査トンネル顕微 鏡（STM）を用いて1 nm程度の空間分解能の2次元キャリア分布計測技術を開発し，90 nm 世代以降の微細トランジスタ開発に適用した。製造条件の異なる微細トランジスタに対して， 断面測定で得た2次元キャリア分布とトランジスタ特性の製造条件依存性がよく一致した。 ...
6
TEM 像の解釈 ( ) 今野豊彦 a 東北大学金属材料研究所 キーワード : 透過電子顕微鏡 (TEM), 走査型透過電子顕微鏡 (STEM) 1. はじめに 透過電子顕微鏡 (TEM) は電子の粒子と波としての性質 をたくみに用いて物質の構造を解析する類まれな装置であ る. すなわちレンズ作用は
... 図 15 試料に対する電子の入射角と検出器の位置関係：（a） STEM-HAADF 法．検出器は主に熱散漫散乱電子を検出する高 角に置かれ，主に試料中の原子量の差を反映した Z コントラ ストが得られる，（b）STEM-BF 法．入射角 α p と取り込み角 α BF が同程度のとき透過波は最大の効率で検出されるが同時に 一部の回折波も取り込まれる．また α p + α BF > θ を満たした面の ...
10
プローブ顕微鏡“AFM5500M”による微小領域の三次元形状計測
... STM は，トンネル電流を利用したプローブ顕微鏡であるが，1986 年には絶縁物表面の観察も可能な原子間力顕微鏡（AFM ： Atomic Force Microscope）が開発され，その後表面科学および関連産業分野で急速に普及してきた。 （株）日立ハイテクサイエンス（旧・セイコー電子工業（株））は，日本において最初に STM の原子像観察に成功した旧通産省・ ...
10
ナノテクノロジーの応用 カーボンナノチューブ、光半導体、走査型プローブ顕微鏡
... （１）出願企業の研究開発の選択・集中度 日米とも光半導体分野に参入している電気機器企業は、ナノテクノロジーの応用としての カーボンナノチューブ、光半導体、走査型プローブ顕微鏡の 3 技術分野に関わりが見られる が、カーボンナノチューブの分野と走査型プローブ顕微鏡の分野は、それぞれ技術の背景と ...
27
近接場磁気光学顕微鏡の現状と課題
... SNOM 光学像が同時に得られる。透過光は偏光無依存のダイ クロイックミラーで反射されフィルタ（光てこ用半導体レー ザー波長除去）と検光子を通して光電子増倍管に導かれる。 この装置を用いてクロム薄膜標準試料（石英基板上に成膜 された膜厚 20 nm、2 µ m×2 µ m のクロスハッチ）を観察した 結果が図 9 に示される。(a)は AFM によるトポ像、(b)は近接 場(非磁性)像である。走査範囲は 5 ...
10
肺炎球菌感染症とワクチン 走査型電子顕微鏡 グラム陽性双球菌 表面は莢膜多糖体 ( ホ リサッカライト ) で覆われている ホ リサッカライト の抗原性による少なくとも 90 種類の血清型が存在 血清型特異抗体と補体が同一血清型あるいは交差血清型の肺炎球菌に対する感染防御を担っている
... わが国において、高齢者に対する23価肺炎球菌ワクチンの肺炎 予防効果、医療費削減効果が明らかになった (Maruyama T et al.. 成人IPDの発生動向と原因菌の血清型分布 地方衛生 研究所 国立感染症研究所 医療機関 保健所 菌株 患者 情報 分担研究者 （各県データ集計) 細菌一部 疫学センター 感染症 疫学センター 研究代表者 （統括） ＊上五島(長[r] ...
20
上図 ( 左 ) は, 原子間力顕微鏡 (AFM) による固液界面ナノバブルの計測イメージ図である. 固液界面ナノバブルの計測には AFM が最もよく用いられているが, その理由は液中での走査が可能であ
... １．はじめに 微小液滴は， その高い比界面積や内部流動の存在， 小さな容積などの特徴があり，連続流と比べて多く の利点を有するため，マイクロ流路内に多数の液滴 を流してその内部を反応・分析場とするような用途 などで広く研究されている[1-3]．一方，微小液滴に まつわる輸送現象に着目すると，比界面積が高くな るにつれて，界面現象の影響が顕在化する．著者ら は，界面流れの制御の可能性を探求すべく，光照射 ...
69
山田豊和 Ph.D. 博士 ( 理学 ) 千葉大学融合科学研究科特任准教授 連絡先 住所 千葉市稲毛区弥生町 研究分野 表面物理学 磁性 走査プローブ顕微鏡 研究テーマ スピン偏極走査トンネル顕微鏡
... 【研究内容】 物質を構成する最小のユニットである原子・分子を直接観察できる走査トン ネル顕微鏡（ STM）を用いる。磁性 STM 探針を用いることで、原子分子の凹凸 像だけでなく電子伝導測定や量子スピン状態を測定することができる。これを スピン偏極 STM とよぶ。また、STM 探針を用いて単一原子分子を走査し、人 ...
7
走査型電子顕微鏡による減数分裂の観察-香川大学学術情報リポジトリ
... も少数ではあるが紡錘糸が付着している様子が 確認できる。また，図7で染色体が両極に押し やられたようになっていることをあわせて考え ると，動原体微小管が動原体の部分だけを引っ 張っているのではなく染色体全体を引っ張って いる可能性がある。 次に細胞板形成に注目すると，細胸板は極 微小管の残存物がゴルジ小胸と融合してできる といわれている[r] ...
6
Title Author(s) 先端半導体デバイス対応欠陥レビュー走査型電子顕微鏡の画像処理技術に関する研究 原田, 実 Citation Issue Date Text Version ETD URL DOI /7258
... 領域) に設けた計測用の専用パターンを光学式顕微鏡で撮像し、計測を行ってい た [30]。この計測用パターンは n 回目の回路パターン形成工程と、n + 1 回目の 回路パターン形成工程で、それぞれ異なるパターンが形成されるようになって おり、各パターンのずれを定量化することでオーバーレイの計測が可能である。 この手法では計測用パターンのサイズを光学式顕微鏡で解像できる程度に大き ...
81
走査型プローブ顕微鏡によるラテックス／デンプンブレンドフィルムの相分離状態の観察
... 多い、空隙のないフィルムでは試料にクラックが入り、mm オーダーでは形態が破壊さ れる。 µ m オーダーでは a のように 0.2 µ m 程度の粒子がプローブ顕微鏡観察と同様に観 察された。これが SB ラテックスであるかどうか EDX 分析で Os のマッピングを試みた が、電子線による破壊のため確認するには至らなかった。Os を付加していない試料(b) ...
14
走査型電子顕微鏡によるカキ富有の果面の微細構造-香川大学学術情報リポジトリ
... 香川大学農学部学術報告 中 低 利 明，葦 渾 正 義 220 一方，樽谷ら（6）は果面をトルイジンブルー液紅浸して，ひび割れ部位を認め，細裂傷と呼んでいる・ 本報は光学顕微鏡に厳ぺて分解能および焦点深度の優れる走査型電子顕微鏡を用ぃて．−，カキの成熟果の果面の微細構 造を観察し，果粉の形状と果皮のき裂についてニ，三の知見を得たのでそ・の結果を述[r] ...
5
技術の系統化調査報告「透過型電子顕微鏡技術発展の系統化調査」
... 本電子のその後の躍進を推進することとなった。 電子顕微鏡が開発されてからの20年は日本の電子顕 微鏡は世界の技術を追いつくのがやっとだったが1970 年代に転機が来る。この要因は2つ考えられる。一つ は電子顕微鏡を開発製造するメーカーの特徴にある。 電子顕微鏡の開発企業はドイツのシーメンス、米国の RCA,GE ...
52
環境制御型走査プローブ顕微鏡Esweepによるアルミニウム蒸着膜の膜厚測定 分析事例 | 先端機器分析センター | 静岡理工科大学
... Application Note, vol. 16, Feb. 2018. Advanced Instrumental Analysis Center, Shizuoka Institute of Science and Technology 1 キーワード 原子間力顕微鏡 AFM ﾀﾞｲ ﾐ ｸﾌｫ ｽﾓ ﾞ DFM 膜厚測定 ...
2
JCM-7000 卓上走査電子顕微鏡 NeoScope(TM)
... 複合材料であるプリント基板は、低真空モードによる観察、分析 * が有効な試料の一つです。 無処理で SEM 観察しながら、凹凸情報を傾斜することなく Live で確認することもできます。 繊 維 入り組んだ構造をしている繊維は、導電処理のためのコーティングが奥まで届きにくく、観察が困難です。 低真空モードを使用することにより、形態観察はもちろん、繊維に入り込んだ異物の分析 * も容易に おこなえます。 ...
24
走査電子顕微鏡を用いた1分子ダイナミクス計測法の開発
... 。 電子線源としては市販の走査電子顕微鏡による電子線を 利用できるため，小規模な研究室で運用でき，マシンタ イムに左右されない研究が可能となる。しかし，電子顕 微鏡内は高真空に保つ必要があり，ネイティブなタンパ ク質など水分を含む試料を直接は観察できない。そこ で，1 気圧環境を維持し，かつ電子線透過可能なカーボ ン薄膜（隔膜） 9） ...
6
C ナノ材料分析 評価装置 C1 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 4,830 円 加工 評価室 1 C2 分析走査電子顕微鏡 6,720 円 加工 評価室 1 C3 高速液中原子間力顕微鏡 ( 株 ) 生体分子計測研究所 2,570 円 加工 評価室 2 C4 走査型プローブ顕微鏡システム 2,
... （ネットワークアナライザ） (株)アポロウェーブ 卓上顕微鏡(SEM) (株)日立ハイテクノロジーズ 高周波伝送特性測定装置（C27+C28+C29) (株)アポロウェーブ 卸 売 業 資本金の額又は出資の総額が1億円以下の会社又は常時使用する従業員の数が100人以下の会社及び個人 小 売 業 資本金の額又は出資の総額が5千万円以下の会社又は常時使用する従業員の数が50人以下の会社及び個人 サービス業 ...
8
走査電子顕微鏡の原理と応用 ( 観察, 分析 ) Principle and Application of Scanning Electron Microscope/Syunya WATANABE 日立ハイテクノロジーズグローバルアプリケーションセンタ渡邉俊哉 1. はじめに走査電子顕微鏡 (Sca
... FE 電子銃は，細く尖らせたチップの先端に強い電界を作 用させて，トンネル効果により電子を放出させる．この FE 電子銃は電子源の大きさが小さく，かつ高輝度でエネ ルギー幅も小さいことから高分解能観察に適している．こ の他にも FE 電子銃と熱電子銃の中間的な特徴をもつ Schottky Emission 型電子銃があり，組成や結晶方位解析 ...
6
走査電子顕微鏡(SEM) 簡易マニュアル
... • 反射電子像 COMPO像では表面の組成がコント ラストに反映される。重い場所が明 るく、軽い場所が暗い。TOPO像では 画面の右側からライトで照らされた ような陰影が付く為、表面の凹凸が はっきりと判断出来る。立体像は COMPOとTOPO像の重ね合わせ。結 晶性試料の場合は結晶方位の違い がコントラストに反映される。表面か らかなり深い領域(μmオーダー)まで の信号が出てくる ...
14