Scientific / Metrology Instruments
走査電子顕微鏡
JSM-IT200 Series
Scanning Electron Microscope
Latest Advancements from JEOL
すぐ観察！すぐ分析！すぐ報告！
分析装置がツールに変わる
■
メイン画面
ー Z
ゼ ロ マ グeromag 観察 ー
メイン画面に表示したホルダーグラフィックや光学 CCD 画像 *
1を使って、視野探しや
分析位置の指定が行えます。
■
スペクトル表示・元素表示 ー Live Analysis 分析 *
２ー
スペクトル表示と元素表示で、観察中の視野のスペクトルと主元素を確認できます。
■
データ管理アイコン ー SMILE VIEW
TMLab データ一元管理 ー
データ管理アイコンを押してデータ管理画面を表示すると、SEM 像から分析まで全データの
レポート一括作成、データの見直し、データの再解析が行えます。
＊１ CCD 画像撮影には SNS（オプション）が必要です
＊２ (A) Analysis /（LA) Low Vacuum and Analysis に適用されます
スペクトル表示
メイン画面
データ管理アイコン
JSM-IT200 は、試料交換が完了すると同時に、指定した視野の観察が始まります。
試料交換も、ナビゲーションフローに従って操作することで、安全、簡単、確実に進めることができます。
試料交換完了と同時に
観察開始
■
試料交換ナビ
■試料交換ナビ
試料交換ナビは、試料室を開けるところから観察開始までナビゲーションを行う機能です。
●ホルダーグラフィック
試料位置を一目で確認できるホ ルダーグラフィックは、傾斜や 回転に合わせて現在の試料位置 を表示します。これにより、試 料ホルダーを直に見ているかの ように試料の位置関係を把握で きます。試料高さ入力
試料交換ナビにしたがって操作し ます。レシピによる条件設定
●ステージナビゲーションシステム（SNS）
ホルダーグラフィックと切替 えて光学像を表示することが できます。試料のカラー画像 を取り込みダブルクリックす ることで観察位置の指定がで きます。Zeromag 画面に表 示して視野探しをより円滑に 行うことができます。 ●チャンバースコープ（CS）
ホルダーグラフィックと切替 えて CCD 画像を表示するこ とができます。チャンバー真 横につけたカメラで試料と検 出器の位置関係をチェック。 複 雑 な 形 状 の 試 料 観 察 を サ ポートします。試料高さ測長治具
試料挿入前に、試料の高さ を測っておきます。 CCD 画像範囲：6 × 4.5 cm 画素数：500 万画素 デジタルズーム：～×20 正面 高さ オプション オプション観察範囲を選択してください。 クリックして観察位置を設定 試料室カメラ 試料ステージを移動しますか？ 観察位置へ移動する 移動しない 試料ステージ停止後に自動で 観察を ON する
試料セット
ドローアウト方式で試料の形状や大きさ によらず試料交換を行うことができます。 最大試料径：150 mm φ 最大試料高さ：48 mmHCCD 画像 * 取り込み後、真空排気を開始
真空排気中に CCD 画像 * 上で視野を指定できます。真空排気完了
真空排気が完了すると、目的の視野、条件設定、画像調整の行われた状態で、指定倍率画像が表示されます。 ＊ CCD 画像撮影には SNS（オプション）が必要ですZeromag の特長 ・ 光学顕微鏡感覚の視野移動 ・ 多視野に渡る分析測定予約が可能 ・ 測定済み視野の把握が容易 メイン画面上の Zeromag 画像
光学像を拡大すれば
SEM 画像に！
■
Zeromag
■Zeromag
光学像を拡大すれば SEM 像に切り替わります
Zeromag は、ステージ位置に連動したホルダーグラフィック画像 や CCD 画像 *（光学像）と SEM 像が連動する機能です。目で見た ままの光学像で視野探しを行い、像を拡大すると SEM 像に切り替わ るので、観察対象の間違いや、試料の取り違えを防ぐことができます。 100 μmZeromag
SEM像拡大
光学像拡大
二次電子像
高倍率観察により、表面の微細構造まで観察できます。オート
●オート機能
オート機能により画像観察も簡単に行えます。 ワンクリックでフォーカス + コントラストブライトネス＋非点補正を自動調整します。 試料：アスベスト 加速電圧：10 kV 撮影倍率：×5,000 高真空モード 二次電子像 5 μm 5 μm 500 nm 10 μm撮影
試料 : 着火石 加速電圧 ：30 kV 撮影倍率：×200、2,000、50,000 高真空モード 二次電子像SEM像拡大
＊ CCD 画像撮影には SNS（オプション）が必要です観れば分かる
元素分析
SEM 観察中に、常に元素分析結果が表示されます
Live Analysis は、SEM 観察と EDS 分析を分けて考える必要がなくなる機能 です。観察している領域の X 線スペクトル表示と、自動定性された主成分の元 素表示を、常に観察画面上で行います。予期しない元素や注目元素を「見つける」 「気付ける」確率の向上が期待できます。
■
Live Analysis
■Live Analysis
試料 : ウッドメタル 加速電圧 : 15 kV 撮影倍率 : ×3,000 高真空モード 反射電子組成像 試料 : ウッドメタル スペクトル表示 測定視野の X 線スペクトルと 自動定性分析結果を 常に表示します。 Live Analysis の特長 ・ 常に X 線スペクトルを表示 ・ 主元素の元素表示で 予期しない元素を見つける ・ 注目元素のアラートの表示 元素表示 測定視野中に存在する主元素を表示します。 元素を指定してアラートを表示することもできます。 スペクトル表示 元素表示 分析アイコン■ 分析詳細表示画面
スペクトル解析画面、元素マップ解析画面など、分析の内容に合わせて詳細画面が表示されます。 合成マップ 表示画面 スペクトル 表示画面 画面切替 画面切替 画面切替元素マップ表示画面
元素マップ解析画面 周期表表示画面 SEM 像表示画面 スペクトル表示画面 スペクトル解析画面 ワンクリック画面切替 ワンクリックで SEM 観察画面と 分析詳細表示画面を 切り替えられます。SEM 観察画面
(A)/(LA) 標準装備
002 003 001 AlKa SiKa CuLa CuLa CuLl CuLl OKa OKa OKa CKa CKa CKa SiKa SiKa 50 μm
定性分析・定量分析
ワンクリックで SEM 観察画面上に分析アイコン を表示することができます。点分析アイコンや全 面分析・エリア分析アイコンを押し、メイン画面 上に直接指定したポイントや、観察エリア全面ま たは指定したエリアのスペクトルを取得できます。 スペクトル取得後、スペクトル解析画面の定量結 果タブを押すと、定量結果が表示されます。元素マップ
SEM 観察画面上に配置された全面マップ・エリアマップアイ コンで観察エリア全面または指定したエリアの元素マップを 取得できます。取得したデータは、データ管理ソフト SMILE VIEWTM Lab
を使って、スペクトル、元素マップ、線分析で元素の再指定等、 様々な解析を行うことができます。 試料：クリソコーラ 加速電圧 : 15 kV 撮影倍率 : ×500 高真空モード C コーティング 反射電子組成像 定性分析結果 反射電子組成像と元素マップ 試料 : クリソコーラ Bi ネットマップ Pb 強度マップ Pb と Bi のピーク Bi 強度マップ ● リアルタイム ネットマップ／定量マップ 各ピクセルのスペクトルのピーク分離を行い、近接するピー クの影響を抑えた元素マップ表示です。ネットマップをさら に補正計算して定量値で表示した定量マップもあります。 ● 強度マップとネットマップの比較
Pb-Mα (2.342 keV) 、Bi-Mα (2.419 keV) のピークが近 く、 強度マップでは Bi から Pb の影響を完全に分離するこ とが困難です。ネットマップ表示にすることで、Bi 本来の分 布が確認できます。 試料 : ウッドメタル 001 002 003 BiMz PbMa BiMa BiMb BiMr CdLa SnLa SrLb SnLb2
元素マップ
● 元素マップの多色重複表示 任意の元素マップを色指定して、リアルタイムで SEM 画像と重ねて表示できます。複数の元素が重 なる領域は、合成色で表示されます。線分析
線分析は、SEM 画像上で指定した水平ラインまた は任意のライン上でスペクトル収集を行い、指定元 素の強度分布を表示する機能です。収集中および収 集完了後に表示する元素の変更が可能です。 多色重複表示 線分析結果 試料：ウッドメタル観れば分かる
元素分析
■ 解析の精度を上げる機能
ビジュアルピーク ID （VID） 定性分析結果で得られた元素の強度を元に標準スペクトルか ら合成スペクトルを作成し、同定が適切になされているか視 覚的に確認することができます。 プローブトラッキング 長時間におよぶ点分析や元素マップ収集時、定期的に分析開 始時の SEM 画像と現在の画像を比較して分析位置を維持し ます。■ SMILE VIEW
TMLab による解析
ポップアップスペクトル
元素マップまたは SEM 画像上で任意の領域を指定し、その 領域に含まれるスペクトルの定性、定量分析を元素マップ収 集中に行うことができます。マッピング中にもリアルタイム で解析できます。
SMILE VIEWTM Lab
・スペクトル、元素マップ、線分析で元素の再指定 ・元素マップの多色重複表示 ・元素マップや線分析の色変更 等
■ その他の便利機能
リアルタイムフィルター 元素マップ収集中に画像処理を行い、S/N を向上させたマッ プを表示することができます。 ピンポイントナビ モーター駆動ステージによる視野移動で生じた微小な画像の ズレをプローブトラッキングにより検出し、自動的に正確な 分析位置を再現させます。 分析視野の再現 分析した視野のステージ位置と倍率はデータにリンクして保 存されています。SEM 像表示画面でステージ位置を再現し、 再測定することができます。計測
計測機能は、観察画像上で距離や角度、面積の計測を行い、 その結果を SEM 画像に記録して保存することができます。3D
画像を三次元化するためのソフトを 2 種類用意しています。 試料：マシュマロ 試料：メモリー ● アナグリフ 指示に従って 2 枚の SEM 画像を撮影すると、アナグリフ画 像を作ることができます。専用のソフトウェアがなくても赤 青メガネで試料表面の凹凸状態の確認ができます。 ● 三次元測定画像 三次元測長の為の専用のソフトウェアです。2 枚の SEM 画 像から三次元画像を作ることができます。また、三次元画像 を使って試料表面の凹凸を測長することができます。 オプションSMILE VIEWTM Lab の特長 ・ CCD 画面 *1/ SEM 画面 / EDS 分析結果 *2を一元管理 ・ 各視野毎のデータが一目で把握可能 ・ 様々なデータ検索機能 ・関連データの自動配置が可能 ・レイアウト変更が容易
SMILE VIEWTM Lab は、ステージ位置に連動した CCD 画像*1、SEM 画像、EDS 分析結果*2等のデータを一元管理し、
短時間でレポートを作成できる “データ解析ソフトウェア”です。
SMILE VIEW Lab データ管理画面
SMILE VIEWTM Lab データ管理画面では、全てのデータを
一元管理することができます。ホルダーグラフィックや CCD 画像*1による低倍率画像と、観察位置、観察および分析結果 が関連付けられた形式でデータが保存されます。過去に取得 したデータの見直しや再解析、レポートへの展開も簡単に行 うことができます。 各視野の名称が 表示されます。 試料の名前、作成日時、データ種別等から データを検索することができます。 ホルダーグラフィックまたは CCD 画 像*1上 に、 各 視 野 の 位置を表示します。 選択した視野の元素マップ、スペクトル等の データや定量分析結果が一覧表示されます。 ＊１ CCD 画像撮影には SNS（オプション）が必要です
＊２ (A) Analysis / (LA) Low vacuum and Analysis に適用されます
取得したデータを、
まとめてレポート作成します
■
データ一元管理ソフト SMILE VIEW
TMLab
■
データ一元管理ソフト SMILE VIEW
TM
Lab
オプション
自動レイアウト機能
SEM 画像にスペクトルやマップ等の情報が関連づけられているので、データの一つを選択するだけで、関連データもあわせた報告書 が自動レイアウトされます。データ数が多い時は、ページを自動で割り振ります。また、必要に応じてレイアウトを変更しても、全て の情報がワンクリックで入れ替わります。■
オフライン解析用ソフトウェア
■
オフライン解析用ソフトウェア
装置の稼働率が上がります
オフラインでデータ管理、解析、レポート作成が行えるソフトウェアがあります。保存したデータから元素マップの元素の指定、定量マッ プ作成、ポップアップスペクトルによる再確認等のデータ処理およびレポート作成を、装置から独立した別の PC で行うことで、装置 の稼働率が上がります。ユーザーレイアウト
通常作成するレポートに合わせて、レイアウトのテンプレート を作っておくことができます。 報告書作成をするデータを選択し 「報告書へ追加」を押します。 関連データが、レイアウトにあわせて自動的に 貼り付けられます。 他のレイアウト選択をすると ､ データは変わらずに レイアウトのみが変更されます。 ユーザーレイアウト 特許出願中二次電子像
二次電子像は、SEM で表面形態を観察する際に最も良く使われています。 下の画像は、高加速電圧で観察したカーボンナノチューブの二次電子像です。 鮮明な 10 万倍の画像が得られるので、1 本の太さを測長することが可能です。 表面に導電性コーティングを行い観察したガイシ の断面形状です。コーティングを行うことで、導 電性のない試料も観察できます。 細孔を持つ中空糸は、構造が複雑でコーティングが難し い非導電性試料です。低加速電圧で CF スキャンを使用 すると、チャージアップを抑えて容易に観察できます。 試料：カーボンナノチューブ 加速電圧 ：30 kV 撮影倍率 （左）： ×100,000 （右）： ×30,000 高真空モード 二次電子像 試料： ガイシ 加速電圧 ：5 kV 撮影倍率： ×20,000 高真空モード 二次電子像 試料： 中空糸 加速電圧 ：1.0 kV 撮影倍率： ×10,000 高真空モード 二次電子像加速電圧
30 kV
1 μmJSM-IT200 の様々な機能と、それらを利用したアプリケーションをご紹介します。
100 nm 0.5 μm 1 μm反射電子
低真空モード
CP（クロスセクションポリッシャTM）で作成した 平滑な断面を低加速電圧、反射電子組成像で観察し ました。亜鉛めっきと鉄（基板）のチャンネリング コントラストが確認できます。 試料：ビタミン剤（糖衣部分） 加速電圧 ：5 kV 撮影倍率： ×2,000 高真空モード 反射電子組成像 試料： 卵殻膜 加速電圧 ：10 kV 撮影倍率： ×500 低真空モード 上：反射電子立体像 下：元素合成 MAP（緑：C 青：O 赤：Ca） 試料： 鉄上の溶融亜鉛めっき 加速電圧 ：5 kV 撮影倍率： ×500 高真空モード 反射電子組成像 試料： バナナの皮 加速電圧 ：5 kV 撮影倍率： ×500 低真空モード 低真空二次電子像 * * 低真空二次電子像を観察するためには、低真空二次電子検出器（オプション） が必要です。 反射電子組成像は、平均原子番号の異なる部分を異 なる輝度で表示します。これにより、ビタミン剤表 面の滑剤の分布を確認できました。 JSM-IT200(LV) / (LA) は低真空モードが標準装 備されています。低真空モードは、導電性の無い試 料を無処理で観察できる機能です。 また、(LA) を組合わせることで前処理をすること なく元素分析も可能になります。 10 μm 50 μm 50 μm 50 μm光学顕微鏡像 加速電圧 ：15 kV 加速電圧 ：2 kV 試料： マイクロ SD 撮影倍率： ×3,000 高真空モード 二次電子像 5 μm 5 μm 拡大 拡大
低加速電圧
低加速電圧で観察することで、より表面の観察がおこなえます。光学顕微鏡像で観察された試料表面の汚れは、加速電圧 15 kV で観 察しても見えにくいですが、加速電圧を 2 kV に下げることで鮮明に観察することができます。モンタージュ：Zeromag から広領域の観察と分析が簡単に自動で行えます
モンタージュは破面解析や広領域の異物の把握など、広い領域に対して細かい情報が必要な時に便利な機能です。全体像が把握できる Zeromag により、広領域モンタージュの視野選択が容易に行えます。「傾斜補正」、「視野の重なり設定」、「Auto Focus ポイント設定」 を行うことができます。 試料全体の偏析や介在物分布等を把握しつつ、介在物一つ一つの細かい解析ポイントを確認することができます。試料情報の共有に 非常に効果的です。 Zeromag 上で モンタージュ設定 モンタージュ結果 4 × 4 （左：反射電子組成像 右：Na 元素マップ） 試料：ラピスラズリ 加速電圧：15 kV 低真空モード 撮影範囲：約 4 mm × 3 mm 約 3 mm 約 4 mmメンテナンス
フィラメント
電子源であるフィラメントは電子銃の中心軸に正確に装着す る必要があります。JSM-IT200 のフィラメントは工場で中 心合わせがおこなわれたプリセンター型です。ユーザーによ る中心合わせは不要です。ガンアライメント
フィラメントを交換した時等はアライメント調整と呼ばれる 操作が必要になります。このアライメント調整がおこなわ れていないと、高倍率の画像を得ることが困難になります。 JSM-IT200 は、このアライメント調整をオートで行います。 フィラメントをウェーネルトに挿入し固定するだけで、中心に合います。迷ったときはヘルプガイド
ヘルプガイドは、SEM と EDS の操作方法やメンテナンス方法を分かりやすく説明しています。 初めて装置を使う方でも、安心してお使いいただけます。 条件設定 分析 メンテナンス ヘルプガイド画面Technical DATA
＊1 JSM-IT200 (LV) / (LA) 標準機能です。 ＊2 JSM-IT200 (A) / (LA) 標準機能です。 ＊3 Microsoft® Office のインストールが必要です。
＊4 照射電流補正ユニット（オプション）が必要です。照射電流の自動読取は、 電子顕微鏡本体の PC との接続に限ります。
＊5 MP-30060 使用の場合は 1 pA ～ 1 μA
主な仕様
主なオプション
JSM-IT200 Series
(BU) Base Unit / (A) Analysis / (LV) Low Vacuum / (LA) Low Vacuum & Analysis の 4 タイプがあります。分解能 高真空モード 3.0 nm (30 kV)、8.0 nm (3 kV) 15.0 nm (1.0 kV) 低真空モード*1 4.0 nm (30 kV BED) 写真倍率 ×5 ～ 300,000 （128 mm × 96 mm を表示サイズとして倍率を規定） 表示倍率 ×14 ～ 839,724 モニター上の画像倍率 (358 mm × 269 mm を表示サイズとして倍率を規定） 電子銃 W フィラメント 完全自動ガンアライメント 加速電圧 0.5 ～ 30 kV 照射電流 1 pA ～ 0.3 μA*5 低真空圧力設定範囲*1 10 ～ 100 Pa 対物レンズ絞り 1 段 XY 微調整機能付き 自動機能 フィラメント調整、ガンアライメント調整、 フォーカス / 非点 / 明るさ / コントラスト調整 最大試料寸法 150 mm 径× 48 mm 高さ 試料ステージ XY 2 軸モーター標準（ユーセントリック式） X：80 mm Y：40 mm Z：5 ～ 48 mm 傾斜：－ 10 ～ 90° 回転：360° モンタージュ機能 標準装備 ホルダーグラフィック 127 mm φ 表示範囲 標準レシピ あり（EDS 条件を含む*2） 画像モード 二次電子像、REF 像、 組成像 *1、凹凸像 *1、立体像*1 画像取り込み画素数 320 × 240 640 × 480 1,280 × 960 2,560 ×1,920 5,120 × 3,840 OS Microsoft®Windows®10 64bit
観察モニター 24 型タッチパネル
EDS 機能 *2 EDS の仕様参照
計測機能 あり（2 点間距離、平行線間隔、 角度、直径等） データ管理機能 SMILE VIEWTM Lab
レポート作成機能 Microsoft®Word への出力*3 Microsoft®PowerPoint®への出力*3 言語切換 UI 上で可能（日本語、英語） 排気系 完全自動 TMP：1 台 RP：1 台 反射電子検出器（BED）*1 低真空二次電子検出器（LSED） エネルギー分散形 X 線分析装置（EDS）*2 モーター駆動ステージ（XYZ3 軸、XYR3 軸、5 軸 駆動） ステージナビゲーションシステム（SNS） チャンバースコープ（CS） オペレーションパネル ３D 計測ソフト 操作テーブル
設置室例
幅 (mm) 奥行 (mm) 高さ (mm) 質量 (kg） 鏡筒系ユニット 630 840 1480 約 260 油回転ポンプ（1 台） 530 230 320 約 23 EDS ユニット*2 約 5設置条件
電源 単相 AC100 V、 50/60 Hz、1.5 kVA、 （付属のアース付 3 pin コンセントを使用） 電圧変動 ± 10% 以内 接地端子 D 種接地以上 設置室 室温 15 ～ 27℃ 湿度 60% 以下 設置室の寸法 2,500 mm × 2,000 mm × 1,800 mm 以上 ドア幅 850 mm 以上●：標準 ○：オプション
主な仕様
検出器詳細 （ドライSD
検出器仕様）
EDS
A（Analysis） / LA （Low Vacuum & Analysis）に適用されます。外観・仕様は改良のため予告無く変更する場合があります。
Microsoft、Windows、PowerPoint、Microsoft Office は米国 Microsoft Corporation の米国およびその他の国における登録商標または商標です。 Microsoft Word は、米国 Microsoft Corporation の商品名称です。
受光面積 エネルギー分解能 検出可能元素
25 mm2 130 eV 以下 Be ～ U
Basic（標準構成） Standard SEM インテグレーション SEM 制御ソフトウェアに組込み
観察・分析データ一元管理
SEM の操作画面で分析位置を指定 （SEM の GUI 上からダイレクト分析 ) ● ● 分析位置のグラフィック表示 検出器 SDD タイプ 検出器詳細を参照 スペクトル分析 定性分析（ピーク同定、自動定性） ビジュアルピーク ID ● ● スタンダードレス定量分析（ZAF 法） スタンダード定量分析（ZAF 法）*4 ● PHI-RHO-Z(PRZ) 法定量補正法 線分析 線分析（水平、任意方向） ● ● 元素マップ 元素マップ（多色表示、単色表示、多色合成） 最大解像度 4,096 × 3,072 リアルタイムポップアップスペクトル 波形分離マップ （ネットカウントマップ、定量値マップ） リアルタイムネットカウントマップ ● ● リアルタイムフィルター ラインプロファイル表示 プローブトラッキング 連続分析 スペクトル分析・線分析・元素マップ 測定済みデータの一括解析（定性・定量） ● ● モンタージュ 自動モンタージュ作成 （SEM 像、元素マップ） 複数視野にまたがる連続元素マップ ● ● 粒子解析ソフトウェア 粒子解析（自動 / 手動） ＆ EDS 分析 粒子解析データの分類機能 粒子解析データの統計処理のグラフ表示 ○ ○ 広領域の連続粒子解析 ＆ EDS 分析 ステージナビゲーションシステム上での測定範囲設定
データ管理機能・レポート作成 SMILE VIEWTM Lab ● ●
ヘルプ機能 ヘルプガイド ● ●
オフライン機能 装置以外の PC でデータ解析可能なオフラインソフトウェア ○ ○
