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MOSFET における極薄酸化膜のトンネル電流と酸化 膜遷移層の考察

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Academic year: 2021

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MOSFET における極薄酸化膜のトンネル電流と酸化 膜遷移層の考察

著者 今井 康人, 山本 弘明

雑誌名 福井大学大学院工学研究科研究報告

巻 55

ページ 107‑113

発行年 2007‑03‑31

URL http://hdl.handle.net/10098/927

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