従来同様、ボディにSUS304を採用し耐久性、低コスト化を考慮した真空 バルブです。
IVB/IVBL
L 型真空ベローズバルブ
■主な特徴
IV IV は、 まで 数 らした な によ し、容 な な にな います。 S S30 ）の 用によ 、 に れ い に対 です。 によ い ます。 IV は 用する によ 、 しました。 IV は 用する によ 、 な しました。■主な仕様
使用温度 -15 100 は a 70 ） 使用圧力 1 10-6 2 105 Pa(abs) 0.1 Pa(G) 標準材質 S S30 S S316 6063 気 用 ） の 対 いたします。 ベローズ耐久性 圧 で 用 れた場合100 の の 空状態） は いたします。） 操作圧力 0. 0.7 Pa G） 検査リーク量 内部リーク外部リーク 1 101 10-10-10 Pa m Pa m33secsec IVB シリーズ IVBL シリーズ15A 25A 40A 50A 50A 65A 80A 100A
オリフィス（mm） 16 23 2 3 60 70 6 バルブリフト（mm） 10 12 15 20 20 30 30 0 コンダクタンス（ℓ/sec） 5 11 2 2 60 5 125 320 シリンダー容積 NC/NO（cc） 13 16 33 56 136 136 2 5 シリンダー容積 DA（cc） 13 16 33 56 50 50 112 注 空弁の流れ は 空 に対し らの な 計 し ます 、 に した場合、 する流体 度によ しく する ます。 に 空 れる め します。 ハンドル ボンネット スリーブ ステム ベローズフランジ ベローズ ディスクホルダー Oリング Oリング Oリング トリム 六角穴付ボルト 六角穴付止めネジ ボディ アクチュエーター トリム Oリング Oリング 六角穴付ボルト ボディー フランジ ステム ベローズフランジ ベローズ ディスクホルダー 弁 弁 に 注 当 は、 的な 気圧 気で 用する で 、 空容 に し の 用はで ま 。 し 用する場合、 は 用温度に る で る な く い。
高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム
IVB シリーズ（15A ∼ 50A） 手動タイプ
IVB シリーズ（15A ∼ 50A） 自動タイプ
単位：mm 型式 口径 A L L1 L2 M- 深さ L H H1 H2 H3 S T M IVB15DA-NWF N 16 30 3 3 32 -6 .5 3 11 5 .5 Rc 1 IVB25DA-NWF N 25 0 3 3 0 5- 6 5 .5 11.5 11.5 52 5 Rc 1 IVB40DA-NWF N 0 55 50 50 0 5- 10 .5 5 .5 11.5 11.5 52 5 Rc 1 IVB50DA-NWF N 50 75 70 70 50 5- 136 60.5 12 12 6 7 Rc 1 IVB15CA-NWF N 16 30 3 3 32 -6 .5 6 11 - 5 .5 Rc 1 IVB25CA-NWF N 25 0 3 3 0 5- 6 7 .5 11.5 - 52 5 Rc 1 IVB40CA-NWF N 0 55 50 50 0 5- 10 .5 7 .5 11.5 - 52 5 Rc 1 IVB50CA-NWF N 50 75 70 70 50 5- 136 5.5 12 - 6 7 Rc 1 IVB15OA-NWF N 16 30 3 3 32 -6 .5 6 - 5 .5 Rc 1 IVB25OA-NWF N 25 0 3 3 0 5- 6 7 .5 - 11.5 52 5 Rc 1 IVB40OA-NWF N 0 55 50 50 0 5- 10 .5 7 .5 - 11.5 52 5 Rc 1 IVB50OA-NWF N 50 75 70 70 50 5- 136 5.5 - 12 6 7 Rc 1 単位：mm 型式 口径 A B L L1 L 2 H M- 深さ L IVB15MA-NWF N 16 30 5 3 3 32 .5 -6 IVB25MA-NWF N 25 0 60 3 3 0 3 5-IVB40MA-NWF N 0 55 60 50 50 0 .5 5-IVB50MA-NWF N 50 75 7 70 70 50 10 5-/○ A /○ A L1 H L /B ○ M-深さL L2 M-深さL /A ○ L /A ○ L1 H H1 H3 H2 M S S T L2
IVBL シリーズ（50A ∼ 100A） 自動タイプ
単位：mm 型式 口径 A B L L1 H H1 H2 IVBL50MA-NWF N 50 75 0 70 70 17 65 0 IVBL65MA-NWF N 63 7 100 211 73 0 IVBL80MA-NWF N 0 11 100 105 105 237 2 0 IVBL100MA-NWF N 100 13 125 130 130 2 7 101 55 単位：mm 型式 口径 A L L1 H H1 H2 H3 S M IVBL50SCA-NWF N 50 75 70 70 126 71 1 .5 - 77 Rc 1 IVBL65SCA-NWF N 63 7 152 1.5 23 - Rc 3 IVBL80SCA-NWF N 0 11 167 1.5 23 - Rc 3 IVBL100SCA-NWF N 100 13 130 130 222 10 25 - 117 Rc 3 IVBL50SDA-NWF N 50 75 70 70 126 71 1 .5 1 .5 77 Rc 1 IVBL65SDA-NWF N 63 7 160 77 1 12 6 Rc 1 IVBL80SDA-NWF N 0 11 176 77 1 12 6 Rc 1 IVBL100SDA-NWF N 100 13 130 130 230 1 1 .5 1 .5 77 Rc 1IVBL シリーズ（50A ∼ 100A） 手動タイプ
/○ A L1 H1 /A ○ L H2 H /B ○ /A ○ L /A ○ L1 H H1 H2 H3 S M
高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム 5 「IVBH」シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを内 蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できる真空バルブで す。本バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱するこ とによりコールドスポットをなくし、生成物付着を極力少なくすることを 可能にしました。内部・外部ヒーターは個別のチャンネルを持ち、それぞ れ Max180℃まで任意の温度で加熱することが可能です。また、オプショ ンとして磁気近接開閉スイッチ・サーモスタットなどを準備しております。
IVBH
L 型真空ベローズホットバルブ
■主な特徴
によ 、 の し、 する です。 の し、 の なくな 力 しました。 の の なくな 、 の で ました。 100 ） は IS KF IS VF VG IS F な に対 です。 対 ） 気 ）の に の る です。 の 、 用 ） な に対 いたします。 最高加熱温度 150 1 0 ） で 気 用する場合には、 の温度 70 で 用く い。 の は 温度に合 た し く い。 によ 温度は な ます。 しくは 当に く い。 温度制御方式 K 対 用の温度 による 使用圧力 1 10-6 2 105 Pa(abs) 0.1 Pa(G) 標準材質 S S30 S S316 6063 気 用 ） ／ の 対 いたします。 ベローズ / 内部ヒーター耐久性 圧 で 用 れた場合状態に 100 のの は 空状態） いたします。） 操作圧力 0. 0.7 Pa G） 検査リーク量 内部リーク外部リーク 1 101 10-10-10 Pa m Pa m33secsec IVBH シリーズサイズ 25A 40A 50A 80A 100A
オリフィス（mm） 23 0 70 6 バルブリフト（mm） 12 20 25 30 0 コンダクタンス（ℓ/sec） 11 3 65 135 320 ヒーター電圧（AC V） 100 100 100 100 100 200 内部ヒーター電力（Ｗ） 0 106 106 120 172 212 外部ヒーター電力（Ｗ） 0 120 120 250 35 300 シリンダー容積 NC/NO（cc） 13 56 70 136 2 5 シリンダー容積 DA（cc） - 21 26 50 112 ヒーターコード長さ（ｍ） 5 5 5 3 3
■主な仕様
注 当 は、 的な 気圧 気で 用する で 、 空容 に し の 用はで ま 。 し 用する場合、 は 用温度に る で る な く い。IVBH シリーズ（25A ∼ 100A） 自動タイプ
単位：mm 型式 口径 A L L1 H H1 S S1 S2 S3 M IVBH25CA-NWF N 25 0 50 50 167 103 52 .5 55 57 Rc 1 IVBH40CA-NWF N 0 55 65 65 1 3 133 77 6 .5 55 Rc 1 IVBH50CA-NWF N 50 75 70 70 203 13 77 66 55 Rc 1 IVBH80SCA-NWF N 0 11 2 1.5 163.5 1 55 10 Rc 3 IVBH100SCA-NWF N 100 13 130 130 31 217 117 6 55 123.5 Rc 3 IVBH40DA-NWF N 0 55 65 65 120.5 60.5 52 6 .5 55 57 Rc 1 IVBH50DA-NWF N 50 75 70 70 130.5 65.5 52 6 .5 55 57 Rc 1 IVBH80SDA-NWF N 0 11 1 .5 71.5 6 1.5 55 71 Rc 1 IVBH100SDA-NWF N 100 13 130 130 1 5 7 77 7 55 Rc 1 /○ A L L1 /A ○ H H1 S S3 S2 S1 M高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム 「IVB_X,VX」シリーズは、チャンバー内部で発生するパーティクルの巻き上 げを防止します。メインバルブとバイパスバルブが一体となっており、大気 から真空に排気する場合、若しくは真空から大気に戻す場合に起こる急激な 圧力変動を抑え、メインバルブ開閉前にバイパスバルブでスロー排気によ り圧力コントロールをします。バイパスバルブには流量の固定と排気スピー ドが調整可能なタイプの 2 種類を用意しています。このバイパスバルブは 15A サイズを除く「IVB」「IVBL」「IVBH」シリーズ全てに対応可能です。
IVB/IVBL/IVBH
L型真空ベローズソフト排気バルブ
■主な特徴
の 気 体 な 、 で、 気 の です。 気 で る V は 気 の に で ます。 は の く い。 は する によ IV の 用に 、 に する です。 は によ 数 る です。 は 当に く い。■主な仕様
の は、 なる です。 し で PCTF し いた場合、 は 1 10- Pa m3sec な ます。 バイパスバルブ仕様 タイプ 固定流量タイプ NC 可変流量タイプ NC シート材質 PCTF PCTF サイズ 1 1 2 1 1 2 1 1 2 1 1 2 Cv 値 0.3 0. 5 0.3 0. 5 0.03 0.2 0.05 0.7 0.03 0.2 0.05 0.7 バルブリフト 1.0mm 1.5mm 1.0mm 1.5mm 1.0mm 1.5mm 1.0mm 1.5mm 操作圧力 0. 0.7 Pa 注 流量 は、 の N FF 弁 し 流量 する で 、 用 によ は 流量 する場合 ます。 当 は、 的な 気圧 気で 用する で 、 空容 に し の 用はで ま 。 し 用する場合、 は 用温度に る で る な く い。 までの 系 気弁 用 の系 A A P P/C A P P/C ：プロセスチャンバー ：バイパス用空気作動弁 ：ニードルバルブ ：排気用ポンプ 排気 L 型真空弁 A P P/C 排気 A ：ソフト排気バルブ8
■
メインバルブ寸法
単位：mm 型式 口径 A L L1 H H1 H2 H3 M S T IVB25（V) X (F) (8) A-NWF N 25 0 3 3 132.5 7 .5 11.5 - Rc 1 52 5 IVB40（V) X (F) (8) A-NWF N 0 55 50 50 13 7 .5 11.5 - Rc 1 52 5 IVB50（V) X (F) (8) A-NWF N 50 75 70 70 163 5.5 12 - Rc 1 6 7 IVB25 Ｄ（V) X (F) (8) A-NWF N 25 0 3 3 10 5 .5 11.5 11.5 Rc 1 52 5 IVB40 Ｄ（V) X (F) (8) A-NWF N 0 55 50 50 11 .5 5 .5 11.5 11.5 Rc 1 52 5 IVB50 Ｄ（V) X (F) (8) A-NWF N 50 75 70 70 12 60.5 12 12 Rc 1 6 7IVB ソフト排気バルブ（25A ∼ 50A）
NC タイプ（可変流量タイプ）
IVB ソフト排気バルブ（25A ∼ 50A）
DA タイプ（固定流量タイプ）
S T S /○ A L L2 /D ○ M1 バイパスバルブ H2 M H L1 /○ A H1 S T S /A ○ L L2 /○ D M1 バイパスバルブ H1 /A ○ L1 H H2 H3 M■
IVB ソフト排気バルブ バイパスバルブ寸法
タイプ 固定流量 X シリーズ 可変流量 VX シリーズ サイズ 1/4" 1/2" 1/4" 1/2" シート材質 PCTF PCTF PCTF PCTF L2 25A 0.5 － － .5 6 － 40A 0.5 7 .5 6 7 50A 5.5 2 .5 101 102 D 3 5 M1 Rc 1高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム
■
メインバルブ寸法
単位：mm 型式 口径 A L L1 H H1 H2 H3 M S T IVBL65S（V) X (F) (8) A-NWF N 63 7 152 1.5 23 - Rc 3 6 IVBL80S（V) X (F) (8) A-NWF N 0 11 167 1.5 23 - Rc 3 6 IVBL100S（V) X (F) (8) A-NWF N 100 13 130 130 222 10 25 - Rc 3 117 6.5 IVBL65SD（V) X (F) (8) A-NWF N 63 7 160 77 1 Rc 1 6 7 IVBL80SD（V) X (F) (8) A-NWF N 0 11 176 77 1 Rc 1 6 7 IVBL100SD（V) X (F) (8) A-NWF N 100 13 130 130 230 1 1 .5 11 Rc 1 77 7■
IVBL ソフト排気バルブ バイパスバルブ寸法
タイプ 固定流量 X シリーズ 可変流量 VX シリーズ サイズ 1/4" 1/2" 1/4" 1/2" シート材質 PCTF PCTF PCTF PCTF L2 65A 100.5 － 112.5 11 .5 － － 121.5 123 80A － － 112.5 11 .5 － － 121.5 123 100A － － 131.5 － 131 － 13 － D 3 5 M1 Rc 1IVBL ソフト排気バルブ（65A ∼ 100A） 自動タイプ（可変流量タイプ）
S T H3 H2 M バイパスバルブ /○ D M1 /A ○ L L2 /A ○ L1 H H18
■
メインバルブ寸法
単位：mm 型式 口径 A L L1 H H1 H2 H3 M S T IVBH40（V) XF (8) A-NWF N 0 55 65 65 1 3 71 1 .5 1 .5 Rc 1 77 7 IVBH50（V) XF (8) A-NWF N 50 75 70 70 203 76 1 .5 1 .5 Rc 1 77 7 IVBH80S（V) XF (8) A-NWF N 0 11 2 2.5 1.5 23 16.5 Rc 3 6 IVBH100S（V) XF (8) A-NWF N 100 13 130 130 31 10 25 21 Rc 3 117 6.5 IVBH40D（V) XF (8) A-NWF N 0 55 65 65 11 .5 5 .5 11.5 11.5 Rc 1 52 5 IVBH50D（V) XF (8) A-NWF N 50 75 70 70 1 0.5 6 .5 11.5 11.5 Rc 1 52 5 IVBH80SD（V) XF (8) A-NWF N 0 11 1 .5 70.5 12 12 Rc 1 6 IVBH100SD（V) XF (8) A-NWF N 100 13 130 130 1 5 6 1 .5 1 .5 Rc 1 77 7■
IVBH ソフト排気バルブ バイパスバルブ寸法
タイプ 固定流量 X シリーズ 可変流量 VX シリーズ サイズ 1/4" 1/2" 1/4" 1/2" シート材質 L2 40A － 102 10 .5 111 50A 5.5 102 10 .5 111 80A 10 112.5 112 121.5 100A － － － 1 0.5 D 3 M1 Rc 1IVBH ソフト排気バルブ（40A・50A） 自動タイプ（可変流量タイプ）
IVBH ソフト排気バルブ （80A・100A） 自動タイプ（可変流量タイプ）
S M T L1 H /○ A H1 /D ○ M1 H2 H3 /A ○ L L2 バイパスバルブ /A ○ L1 H H1 /A ○ L2 L /D ○ M1 H2 H3 S T M バイパスバルブ
高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム 8 1 ： バルブサイズ 2 ： 継手種類 3 ： バルブ形状 4 ： 面間寸法 5 ： 使用圧力 6 ： バルブ耐差圧 7 ： 操作方式 8 ： バルブ寿命 9 ： 操作圧力 10 ： 材質 ① ： ボディ ② ： ボンネット ③ ： ベローズフランジ・リング ④ ： ベローズ ⑤ ： ガスケット 11 ： リークレート ① ： 外部検査リーク量 ② ： 内部検査リーク量 12 ： 使用環境 13 ： 接ガス部条件 14 ： バイパスバルブ（子弁） ① ： バイパスバルブサイズ ② ： バイパスバルブ種類 ③ ： バイパスバルブシート材質 ④ ： バイパスバルブ個数 15 ： ヒーター回りについて ① ： 設定温度 ② ： 均熱性 ③ ： チャンネル数 ④ ： ヒーター種類 ⑤ ： 供給電源 ⑥ ： 熱伝対の種類 ⑦ ： 過昇温防止 ⑧ ： サーモスタット温度 ⑨ ： サーモスタット種類 ⑩ ： ベローズ内部TC ⑪ ： 断熱材 ⑫ ： ヒートサイクル ⑬ ： 昇温時間 ⑭ ： コネクター処理 18 ： 開閉センサーの有無 ① ： センサーの数 ② ： センサーの種類 19 ： 出荷検査内容 20 ： 必要認証 21 ： その他仕様に関するご要望 = 15A・25A・40A・50A・65A・80A・100A = ISO-KF・MF（ISO)・VF/VG（旧JIS)・ICF・その他 = Ｌ型・Ｙ型・Ｚ型 = ｍｍ = 標準=1×10-6∼ 2×105 Pa(abs) [ 0.1 MPa(G) ] = 標準＝使用圧力範囲内 = 手動・空圧（ノーマリクローズ・ノーマリオープン・ダブルアクション） = 回数 = 0.4∼0.7MPa [4∼7Kgf/cm2] = 標準=SUS304 オプション=SUS316L 他 = 標準=SUS304 = 標準=SUS304 オプション=インコネル・ハステロイ他 = 標準=SUS316 オプション=インコネル・ハステロイ他 = 標準=バイトン オプション=カルレッツ他 = 標準=1×10-10 Pa・m3/sec以下 = 標準=1×10-10 Pa・m3/sec以下 = 圧力・温度 = 材質・温度・表面処理指定など = 有り・無し = 1/4"・1/2" = 固定・可変（流量調整付きバリアックバルブ） = お勧め=フッ素ゴム 他PCTFEなど = 機種によってはMAX3台まで対応可 = Hot or 常温 = 内部○○℃ 外部○○℃ = 対象場所・条件・±表記 = ご指定がなければ弊社で選定を致します。 = ご指定がなければ弊社で選定を致します。 = 標準=100V = ご指定がなければ弊社で選定を致します。 = サーモスタットの有無・温度・場所など = = 自動復帰・手動復帰・ノーマリクローズ/オープン = 1本 or 2本 = 種類、表面温度の限定、アウトガス、パーティクル条件など = 期間・回数・温度（閉状態 月2回 200→常温→200など） = ご指定がなければ弊社で選定を致します。 = TC・ヒーター・サーモ・センサーなど = 有り・無し = 1個（CLOSE側・OPEN側） or2個 = PD31L3（接点出力） PE33L3（無接点） = = = 22 ： 希望価格 23 ： 数量 24 ： スケジュール 25 ： 波及効果など 26 ： その他 = 評価時・量産時 = 評価時・量産時 = 評価時・量産時 =
L型真空ベローズバルブ仕様
バルブ仕様外
■仕様決定用雛形
8
■主な仕様
温度 ： 温 a 1 0 用温度 ：K 対 用 ： C100V 00 00 C200V 00 00 入 力 ： C100V 200V 用 出力： 、 1a出力 用） 示 ： 、 、 、 ） ： に 、 流 に ：0 50 5 5 Rh 示 ： 気 による 位 出 「IVBH-C015」は、L 型真空ベローズシールホットバルブ用のデジタル温度 コントローラーです。 このデジタル温度コントローラー 1 台で、内部ヒーター・外部ヒーターの 2 チャンネルのヒーターを同時に加熱することが出来ます。IVBH-C015
IVBH用 PID制御
デジタル温度コントローラー
3 3 111 103 ︵ パ ネ ル カ ッ ト 寸法︶ 14 212 14 203 （パネルカット寸法） 2 10 264.5 255 9.5 3 3 111 103 ︵ パ ネ ル カ ッ ト 寸法︶ 14 212 14 203 （パネルカット寸法） 2 10 264.5 255 9.5高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム 8 「IVB」「IVBL」「IVBH」シリーズのエアーシリンダー式バルブ（NC・NO・ DA）は、バルブの開閉状態を検知する磁気近接スイッチを取り付けること が出来ます。 有接点スイッチ 負荷電圧範囲 C：2 V C：110V 負荷電流範囲 C：5 0m C：5 20m 内部電圧降下 3V 漏れ電流 0 動作時間 1ms 復帰時間 1ms 絶縁抵抗 C500V に 100 ） 耐電圧 C1500V 1 ） 耐衝撃 2 m s2 耐振動 1.5mm 10 55 z 2 ） 周囲温度 0 70 し、 な ） 結線方式 PVC0.2mm2 2 φ2.6mm 保護構造 IP67 IC ）、 IS C0 20 表示灯 N ） 適合負荷 注）誘導負荷（リレー等）を使用する場合は、必ず負荷に保護回路（SK-100）を付けてください。 無接点スイッチ 電源電圧範囲 C5 2 V 負荷電圧範囲 C：2 V 負荷電流範囲 0.1 0m 内部電圧降下 0.5V 漏れ電流 50 C2 V) 動作時間 1ms 復帰時間 1ms 絶縁抵抗 C500V に 100 ） 耐電圧 C1500V 1 ） 耐衝撃 2 m s2 耐振動 1.5mm 10 55 z 2 ） 周囲温度 0 70 し、 な ） 結線方式 PVC0.15mm2 3 φ2.6mm 保護構造 IP67 IC ）、 IS C0 20 出力保護回路 表示灯 N ） 適合負荷 スイッチ 主回路 発光ダイオード ダイオード ツェナーダイオード （茶）DC5∼28V 28V/Max10mA （黒）出力 0.1∼40mA （青）GND 磁気近接スイッチ（PE33L3）コード 3m 付 発光ダイオード リードスイッチ （青） （茶） DC24V 5∼40mA AC110V 5∼20mA GND 磁気近接スイッチ（PD31L3）コード 3m 付
開閉表示用
磁気近接スイッチ
IVBシリーズ用 オプション
PE33L3
PD31L3
8 コンパクトさと、シンプルな構造を併せ持ち、かつ配管作業が容易なバル ブです。ボディ内でステムを軸として、ボールが 90 度回転します。開ま たは閉状態でのオン・オフ動作で使用するバルブです。
BRW/BRWH
NW フランジボールバルブ
ホットボールバルブ
■主な特徴
によ 、 流量 な で流す で ます。 です。 の で ます。 な の 用 し ます。 BRW シリーズサイズ 25A 40A 50A
コンダクタンス（ℓ/sec） 1 .5 0 5 注 当 は、 的な 気圧 気で 用する で 、 空容 に し の 用はで ま 。 し 用する場合、 は 用温度に る で る な し く い。 は、 に する ますので、 的に し め い。 い められる用 、 空 空 められる用 には、 し いま 。 です。数 の で しますので は め します。 使用流体温度範囲 -10 200 最大設定可能温度（ホットボールバルブ） 1 0170 200 います。 は に く い。
使用圧力 1 10-6 Pa(abs) 6 105 Pa(abs) 0.5 Pa(G)
標準材質 SCS13 S S30 S S30 PTF PTF 操作圧力 0.3 0.6 Pa(G) ハイパータイト PTFE Ⓡは株式会社キッツの登録商標です。
■主な仕様
高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム 85
BRW シリーズ 手動タイプ
BRW シリーズ 自動タイプ
単位：mm 型式 口径 L H H1 H2 A B C P E E1 BRW25MS-NWHT N 25 6 161 37 - 0 3 73 - 160 -BRW40MS-NWHT N 0 11 163 - 55 6 - 230 -BRW50MS-NWHT N 50 121 17 5 - 75 56.5 107.5 - 230 -単位：mm 型式 口径 L H H1 H2 A B C P E E1 BRW25DS-NWHT N 25 6 272 37 165 0 3 73 Rc 1 173 50 BRW40DS-NWHT N 0 11 3 5 217 55 6 Rc 1 213.5 5 BRW50DS-NWHT N 50 121 35 5 22 75 56.5 107.5 Rc 1 213.5 5BRW
25
NW
ボールシート材質 パッキン・ガスケット材質H
T
BRW:ボールバルブ BRWH:ホットボールバルブ NW:ISO KFフランジ F:ハイパタイトPTFE® T:PTFE
E B L C H H1 /A ○ H H2 H1 E B L B B /A ○ P
8 「IVWF」シリーズは、半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシン プルな構造を持った遮断弁です。 構造は、フラッパ式の弁体が 90 度回転することにより流路を遮断するバ タフライバルブです。
■主な特徴
な によ 、 量 た し、 容 です。 の によ の で ます。 は、 度 によ 流量 し、 によ の 度で で ます。 の は、 の によ 度の で 、差 による で ます。サイズ 25A 50A 80A 100A
オリフィス (mm) φ33 φ51.3 φ7 φ100
使用圧力 1 10-6 Pa(abs) 2 105 Pa(abs) 0.1 Pa(G)
弁座耐差圧 0.101 Pa ( 圧 ) 使用流体温度範囲 -15 100 検査リーク量 内部リーク外部リーク 1 101 10-10-10 Pa m Pa m33sec sec 作動耐久回数 気状態で 10 接続方式 IS KF 、 IS VF VG 、 に対 アクチュエーター部 自動弁 (DA) のみ 操作圧力 0. 0.7 Pa(G) 操作方式 式 使用温度 -20 60
■主な仕様
IVWF
真空バタフライバルブ
注 当 は、 的な 気圧 気で 用する で 、 空容 に し の 用 はで ま 。 し 用する場合、 は 用温度に る で る な く い。 気 用 で 用の場合、 当に く い。 シールOリング 通常フロー 拡大 拡大HIGH VACUUM SIDE
高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム 8
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IVWF シリーズ 手動バルブ JIS VF/VG フランジ
（25A・50A） JIS VF/VG フランジ
（80A・100A） JIS VF/VG フランジ
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IVWF シリーズ 手動バルブ ISO-KF フランジ
（25A・50A） ISO-KF フランジ
（80A・100A） ISO-KF フランジ
単位：mm 型式 口径 A B E J H G I F L D IVWF25MS-NW40 □ 25 0 12 5 55 33 - 5 20 - 10 IVWF50MS-NW 50 120 15 5 75 51.3 - 5 20 - 10 IVWF80MS-NW 0 160 225 0 11 7 0 76 20 55 10 IVWF100MS-NW 100 1 5 250 0 13 100 102 75 20 55 10 単位：mm 型式 口径 A B E H C G F L D n×ｈ IVWF25MS-V □ 25 0 130 5 33 70 35 20 - 10 10 IVWF50MS-V □ 50 120 160 5 51.3 100 53 20 - 10 10 IVWF80MS-V □ 0 160 225 0 7 135 0 20 55 10 12 IVWF100MS-V □ 100 1 5 250 0 100 160 102 20 55 10 12 /E ○ L /○J F I G B A /H ○ D88
■
IVWF シリーズ 自動（DA) バルブ JIS VF/VG フランジ
（25A・50A） JIS VF/VG フランジ
（80A・100A） JIS VF/VG フランジ
■
IVWF シリーズ 自動（DA) バルブ ISO-KF フランジ
（25A・50A） ISO-KF フランジ
（80A・100A） ISO-KF フランジ
単位：mm 型式 口径 A B E D H J I F G 2-M IVWF25SDS-NW40 □ 25 0 162.5 60.5 6 33 55 5 20 - Rc 1 IVWF50SDS-NW 50 120 1 2.5 60.5 6 51.3 75 5 20 - Rc 1 IVWF80SDS-NW 0 160 253 77.5 103 7 11 76 20 0 Rc 1 IVWF100SDS-NW 100 1 5 27 77.5 103 100 13 75 20 102 Rc 1 単位：mm 型式 口径 A B E D H C F G 2-M n×ｈ IVWF25SDS-V □ 25 0 162.5 60.5 6 33 70 20 35 Rc 1 10 IVWF50SDS-V □ 50 120 1 2.5 60.5 6 51.3 100 20 53 Rc 1 10 IVWF80SDS-V □ 0 160 253 77.5 103 7 135 20 0 Rc 1 12 IVWF100SDS-V □ 100 1 5 27 77.5 103 100 160 20 102 Rc 1 12高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム 8
IVWF シリーズ 流量調整バルブ JIS VF/VG フランジ
IVWF シリーズ 流量調整バルブ ISO-KF フランジ
単位：mm 型式 口径 A B K D E H J I F G IVWF25FS-NW40 □ 25 0 110 55 1 3 12 33 55 5 20 -IVWF50FS-NW 50 120 16 55 1 3 12 51.3 75 5 20 -IVWF80FS-NW 0 160 205 60 1 3 12 7 11 76 20 0 IVWF100FS-NW 100 1 5 22 60 1 3 12 100 13 75 20 102 単位：mm 型式 口径 A B K D E H C F G n×ｈ IVWF25FS-V □ 25 0 13 55 1 3 12 33 70 20 35 10 IVWF50FS-V □ 50 120 16 55 1 3 12 51.3 100 20 53 10 IVWF80FS-V □ 0 160 205 60 1 3 12 7 135 20 0 12 IVWF100FS-V □ 100 1 5 22 60 1 3 12 100 160 20 102 121 ： バルブサイズ 2 ： 操作方式 3 ： 接続タイプ 4 ： シート材質 5 ： 使用圧力 6 ： 弁座耐差圧 7 ： 弁開閉許容差圧 8 ： バルブ寿命 9 ： 操作圧力（自動弁） 10 ： 材質 ① ： ボディー ② ： ボンネット ③ ： フラッパ ④ ： ステム ⑤ ： Ｏリング 11 ： リークレート ① ： 外部検査リーク量 ② ： 内部検査リーク量 12 ： 使用環境 13 ： 接ガス部条件 14 ： 開閉センサーの有無 ① ： センサーの数 ② ： センサーの種類 15 ： 開閉時間 16 ： 出荷検査内容 17 ： 必要認証 18 ： その他仕様に関するご要望 19 ： 希望価格 20 ： 数量 21 ： スケジュール 22 ： 波及効果など 23 ： その他 = 評価時・量産時 = 評価時・量産時 = 評価時・量産時 = =
真空バタフライバルブ仕様
バルブ仕様外
= 25A 50A 80A 100A = 手動 自動（複動） 手動流量調整 = ISO-KF JIS-VF/VG 他 = 標準=フッ素ゴム= 標準=1x10-6 Pa(abs) ∼2x105 Pa(abs) [0.1MPa(G)] = 標準=正圧逆圧 0.101MPa = 標準=1.3×103 Pa (10Torr) = 回数 = 0.39∼0.69MPa（G) = 標準=SUS304 = 標準=SUS304又はA5056 = 標準=SUS304 = 標準=SUS304 = 標準=フッ素ゴム = 標準=1×10-10 Pa・m3/sec以下 = 標準=1×10-10 Pa・m3/sec以下 = 圧力・温度 = 材質・温度・表面処理指定など = 有り・無し = MAX 開閉各2コ = 標準=マイクロスイッチ = 開閉時間指定有り無し = = =
■仕様決定用雛形
高純度ガス系バルブ 高純度ガス系継手 真空バルブ W E T系バルブ W E T系継手 ウェットシステム 「UXG，LG」シリーズは、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャ ンバー間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。ボディ はアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動します。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部 の両方から加熱することにより、高い均熱性能を特長としたバルブです。 ボディと弁体は Max180℃まで任意の温度に設定する事が可能です。
UXG/LG
角型真空ゲートバルブ
■主な特徴
温 する で るため、 の 積 の らし、 に する で ます。 弁体 は で 、 の温度 に で ます。 する に、 しにくい います。 用 るな の の場合、 ます。 流体温度 流体 の によ 、 の し 、 K R 1 Chemraz 2 用 し ます。 サイズ 12 (300mm ) 使用圧力 1 10-6 Pa 0.101 Pa(abs) 弁座耐差圧 0.101 Pa( 圧 ) ベローズ耐圧 0.02 Pa(G) 弁開閉許容差圧 1.3 KPa 検査リーク量 内部リーク 1 10-10 Pa m3sec ( 温30 ) 1 10-5 Pa m3sec ( 30 ) 外部リーク 容 量：1 10-10 Pa m3sec 操作方式 弁操作圧力 0.5 0.7 Pa(G) 開閉時間 0. 2sec ） ( 操作圧力 0.5MPa) 1.5 2sec ） ヒーター設定最高温度 160 1 0 の場合） 昇温到達時間 温度に 1.5hr で 温度に 耐熱温度 60210 ）） 絶縁抵抗 C500Vに 10 ベローズ寿命 100 パーティクル性能( 参考値) た 0.1 m の 数 0.3 ※ ※社内試験による参考値。N₂ ガス供給量：1cf/min、サンプリング量：0.2cf/min、バルブ開閉スピード：6 秒/サイクル（開→閉→開） 1 K R は、 uPont Performance lastomers の 標です。2 Chemraz は、Greene T eed の 標です。 UXG ボディ有り LG ボディ無し
■主な仕様
ボディ ゲート 注 当 は、 的な 気圧 気で 用する で 、 空容 に し の 用はで ま 。 し 用する場合、 は 用温度に る で る な く い。1 ： バルブサイズ 2 ： 開口部寸法 3 ： ボディ 4 ： ボディ寸法 5 ： 使用圧力 6 ： 弁座耐差圧 7 ： 弁開閉許容差圧 8 ： バルブ寿命 9 ： 操作圧力 10 ： 材質 ① ： ボディ ② ： ボンネット ③ ： ゲート ④ ： ベローズ ⑤ ： Oリング 11 ： リークレート ① ： 外部検査リーク量 ② ： 内部検査リーク量 12 ： 使用環境 13 ： 接ガス部条件 14 ： ヒーター回りについて ① ： 設定温度 ② ： 均熱性 ③ ： チャンネル数 ④ ： ヒーター種類 ⑤ ： 供給電源 ⑥ ： 熱伝対の種類 ⑦ ： 過昇温防止 ⑧ ： サーモスタット温度 ⑨ ： サーモスタット種類 ⑩ ： 弁体TC ⑪ ： ヒーター仕様・断熱材 ⑫ ： ヒートサイクル ⑬ ： 昇温時間 ⑭ ： コネクター処理 15 ： 開閉センサーの有無 ① ： センサーの数 ② ： センサーの種類 16 ： 開閉時間 17 ： ゲートロック（ラッチロック機構） 18 ： 出荷検査内容 19 ： 必要認証 20 ： その他仕様に関するご要望 21 ： 希望価格 22 ： 数量 23 ： スケジュール 24 ： その他 = 評価時・量産時 = 評価時・量産時 = 評価時・量産時 =
