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光弾性効果による光線の変調とその応用研究(第3報) : AT-cut水晶振動子の応力一光学係数の計算

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(1)Title. 光弾性効果による光線の変調とその応用研究(第3報) : AT-cut水晶振動 子の応力一光学係数の計算. Author(s). 山形, 積治. Citation. 北海道教育大学紀要. 第二部. A, 数学・物理学・化学・工学編, 29(1) : 15-30. Issue Date. 1978-09. URL. http://s-ir.sap.hokkyodai.ac.jp/dspace/handle/123456789/6018. Rights. Hokkaido University of Education.

(2) . 北海道教育大学紀要 (第2部A) 第29巻 第1号. 昭和53年 9月 Sept 8 embe rl97. lofHokka ido Un i i ion(Sect ionl l t Journa IA)Vo ver s yofEducat .29 .I ,No. 光弾性効果による光線の変調とその応用研究 第3報. AT-cu t水 晶振動子の応力一光学係数の計算. 山. 形. 積. 治. 北海道教育大学旭川分校物理学教室. icat ions ofthe L Study on the Appl i l i on by at ghtAdodu fect the Dynamic Photo-B1asic Ef RePor i iCaI Coe昼i t Jo, 3 Reduct fthe Stress--OPt on o cients forthe AT -cut Quartz CrystaI P1 ate. i i YAMAGATA Sek i Phys i i kawa Co l l i i t do Un i ty ofEduca i cs Labo r a o ry ege r ve s t on ,Asah , Hokka Asah i kawa 070. Abstract. The PurPoses ofth i i lcoe官 i i tudy are toreducethes t (g)f ss r - ess oPt ca C ent s C; orthe A cut tz crystal pl i i but i ate and to measure the st t ress d r quar s ons of a. tz ano‐convex AT‐cut quar. lpl i i i i dent Probe ta (g)coe鎖c Crys at e ent s depend on the d rect on angle g ofthe i nc . The C; ′ d l i h h f i f h Z h T i tb A C d l l lk t t t t ti me s u r e a e a m r o m e r - a x so ‐ e cu oo nae g , . s we now that when l i i tedi l a bounded AT- sexc cut quartzcrystalp atei n aresonantth cknessshear mode exure ,thef i fthe p l l l mot ons o repuent ate are f ed y coup ,. l l hi α(g) has a max 1mum va ue f or 窟=0 ,w e. C壱 (g)is zero the same ang1e・ Thusthe stress T ‘ofthe 負exural motion can be observed seParately from theetressri. i i i l l ltotheZ′ i on by mak ofthethi ckness shear mot ngthebeam d r ect onpara e - ax softhe AT- cut. l ingthe probel i Coordinate seiy rもCan be measured separateiy f ect rom ?; by se ght . Conver. beam d i i rect rom the Z′-axis. on at30 degreesf. The ComPuted C i but i (倉) coe什icientsandthe measured resultsofstress distr ; onar l … e descr bedinth i s paper . 1. 緒. 言. 第1報においては, 水晶振動子の動的な光弾性効果の理論的な検討を行い, J one s vector,Jones 1 ) i t r ma x を導入し, 光変調における方位角 の問題を主に扱っ た . 又, 第2報において は, 水晶振動 ) 子による変調の光学バイア スの変化に対する変調出力の線形性について, 実験的な検討を行っ た2 . 5 ) (1.

(3) . 山. 形 横. 治. この報告においては水晶振動子によっ て変調を行う 場合の応力 一光学係数について, 理論的に誘導 t水 晶板を主に用いるので, これに対する応 し,合せて, 実験的な裏付を行う. 特に実験には AT‐ cu. t板 が厚 味上り振動を行っ ている場合の応力の分布を解析する, 水 力一光学係数を導入し, AT‐ cu 一機械系 晶を極めて小さな電気系 エネルギー結合係数の状態 で励振すると, 振動子はほぼ機械的自 3 ) 由振動を行うものと考えられる . 2.. ATn cut水晶振動子の光変調. 水晶振動子に共振電界を印加 して励振を行い, このときの動応力によって, 水晶中を透過した光 ) 5 ) 線に光変調をかける場合, 光変調の要因には次の3通の効果が考えるれる4 . ( 1 ) 動的光弾性効果による位相変調 水晶は印加電界の周波数に共振した機械的な振動を行っ ているために内部に動的応力 (又は動的 ひずみ) が発生する, この中を偏光光線が透過すると応力に応 じて偏光の常光線と異常光線との間 に相対的な位相差角 を生ずる, これを検光子を通して観測すると輝度の変調と して検出される. 水晶においては電気一光学効果 も存在するが水晶の共振時には上記の効果に比較して, この効果は無視 できる. { 2 ) 方位角の微少振動による変調. 水晶の機械的振動に伴ってあらか じめ偏光子によってセ ッ トされた方位角も微少な振動を行う. 方位角の振動は検光子を出た光線の輝度を変化させ, 光変調を与える. ( ) 旋光角の微振動による変調 3 水晶には光学的活性が存在し水晶中を透過した直線偏光光線 の 振 動 面 を 透 過 距 離 に 比 例 して 回 転 さ せ る, 水 晶 の 振 動 に 伴 っ. てこの旋光性に関与 する係数が摂動し, この影響によっ て旋光 角も振動し光線に変調を与える.. p P. C -----------ー 、 E: 、 、. 著者の別な研究で明らかなように, 入射光線と水晶の光軸の. 間 の角 に よ っ て 上 述 3 要 因 の 光 変 調 に 与 え る 影 響 が 決 定 さ れ. ぬ. } 光軸に対して 入射光線の方向が10度以上傾いた場合には, る4 , 後2者による光変調は第1番目の要因による光変調に 比較して. ・ に G. 無 視 でき る こ と が わ か っ た,. ATcu t板では光線を主面(X′-Z′面)に 平行に透過させた. x 、F. 場合, この面に平行にかなる方向から光線を 進めても水晶の光 軸(Z 輔)に対する入射光線の角度は3菰5~9び の範囲をとる の で{ 1 )の 要 因に 対 し て(2 )及 び(3 )の 要 因 は1/1000以 下 の オ ー ダー と な り 無 視 さ れ る. 従 っ て, ATcut 水 晶 振 動 子 の 主 面 に 平 行. )の要因の動的光弾 i に光線を入射させて, 光変調を行う場合は( } 性 効 果 の み で扱 え る5 .. 水晶の× 軸に対し て Fig.1 の よ う に 偏 光 子(op) , (OA)がおかれた場合, 検光子を出光線の輝度は 2 ーs /= {co i i (の一元) s n26/2} n2のs n2 s ズ i /2(直交=コル) とした場合, と示される. 分ぇ=”. 6 ) (1. 検 光 子. …. ≠ \ :. VB. ◎. D,. i F g .I Construction ofthevibration. ted by a t componen stransmi lyzer l ryze r(OP)and ana a Po. (AO) .. { 1 ).

(4) . . AT榊cu tの応用光学係数. ノ= ふs in のs i n26/2. ( 2 ). ) 但し の は方立角 で6は常光線と異常光線との間の 位相差角 であっ て となる6 .. ( 3 ) となる, 第1項は水晶が天然に有する複屈折でβ の直流分 あるいは光学的バイアスである, 第2項 目は応力 Too こよる光弾性を示し, 水晶が振動しているとき, 角共振周波数を ①た とす れば応力は )を特 定の方向 の光線 T8= Tb cosの々Zとなるから光変調の交流成分である.従っ て,係数(ガ。 。-刀c b. について計算しておけが光変調の深さを測定することによって, 動応力の絶対値 Tb を求めること i i l t )〃き〃/A を応力一光学係数と呼ぶ, 刀め 認 め は圧光学係数( ezoop ca が可能である. 窮 め-刀。 p 。. i i ) である, ent coe任 c. 3, 特定方向の光線に対する 応力光学係数 結晶の屈折楕 円体は一 般に. Z′. . /. と 示 た れる. 上 式 は 各々 の座 標 軸 が 結 晶 軸 と 一 致. 観. 飼 ,今 ,もっぽら 一 板. 鵜. 、γ. ー. ず I. を扱 う の で, 座 標 軸 を Fig.2 の よ う に ATcut 座. . o ぐ・・・・. 1 y. 標軸に変換すると( 4 )式は. ′ ′ ′ α 2 2 βi .尤 十β去 2以 十 β≦ 3g 十2βゑ 3〆% ′′ ′′ 十28; 3尤 z 十28{ 2尤 g =0. 、 、. M. やノ. . X X′ 」. ・. のような形式になり, 附録2の二次テンソルの変. 015, γ=35. 1 A 2‐2 より であるから, 方向余弦は Tab. (. 015 ′ で = 夢=0 換 式 に よ り, ATcut では γ=35 の. coordinqtg. ′ ′y~z ) Ak ふ (x , ド m。 } W バー M =W). nγL s γ 轡2 モ『 i一 三増 、 0. 三 吉驚 ; 誓 ニニニ ;宣 i 岬. J. y之 ) originQー. \ノ. Fig.2. 5) の式によ っ て となり, 変換マトリッ クスは(A2 , 凡 =〔αた戒け 〕 2 cos γ 0 2 sin γ 0. in γ cos γs 0. 0 1. in2γ s 0. 0 cos2γ 0 ・ 0 0 0. -sinγcosγ 0. 0 0 0 Cosγ 0・ -sinγ. (1 7 ). -2sinγcosγ 0 2cosγsinγ 0 inγ cosγs 0. AT l t ta ‐ cut quar zcrys i tem. coord nate sys. 0, 0 0 ・ S1nγ 0 cosγ. ( ) 7.

(5) . 山. 積. 形. 治. となるから. ( 8 ). . より, 2 β【 in2γ B3 186×10‐I ,+s .=cos γ β. 3=4 . -I B… =4 2 2= β2 .202×10 2 2 -I B≦ in γ β, 3=s .十cos γ β3 3=4 .169×10 B去 3= o. ( ) 9. ‐I お【 inγ β, inγcosγ B3 3=cosγs .-s 3=2 .303×10 Bi 2= 0. と な る. 伯 し 水 晶に お い て は 7 54366 2。=1, 28 , 7 ご1. 55171で あ る か ら,Zム: =β2 =1加 渉ニ4 2 0 2 0 3 . 1 - ×10-1 上 1 』 4 1 1 1 表 = = / = 3 6 〉 く 0 を 5 用 い 計 て % . , .. Z′ Y″. 算した.. 今, ATcut 板に 固 定 した 座 標 系 メ ーg′- z′ に. ずP /Z′ ′. おいて, Fi g .3 の 噂 の 方向に光 線 を進めると常 光線, 異常光線の振動方向は 吻 に垂 直な楕 円 平. 面内にあり,その方向は楕円面の長軸に一致する. 従っ て同図に示してあるように{ 5 )式を{ 9 )式の結果. 、 、 、、 、 、 、、 、. にもとづいて整理した 2 ′ 2 2 β{ .ギ 十βを 2ザ 十β≦ 3z ′′ 十281 3尤 之 = 1 ‐. や. 1 ( の. 、、 ÷// 、 、 、. 上 式 を 新 し い 座 標 系 ヱ″-g - z″ に 変 換 した 場. 合の メ′ の係数 Bi i の最大, 最小を求めれがA ′ ′ t板座標系メー cu g -z で 物 の方向に進む光線に 対する常光線, 異常光線に対応する屈折率を求め ることができる, Bi l の最大, 最小値は次のよう. F g.3. Roted axesand ang l l ing esre at them totheunrotated axes ,P: l ight beam d i i r ect on .. にして計算する. 附録 (A2. 4) , (A2.5)式,及び Tab l eA2,2の 方 向 余 弦 の 表 を 用 い て, ニ メ18; 1十 dIB≦ 2十 d1β≦ 3十2α3 1…181 3 2 =(cosのcos虜cos夢-s inのs in夢) βi . 2弱 inのcos鳥cos夢十Cosのs i 十(s n 夢) 2 2 ingcos夢) おき 十(一s 3 ingcos夢) +2(-s (cosのcos虜cos夢cos夢-s inのs in夢)政3 2 2 2 in2のs in2夢cos疑)/2十s in s ={cos のcos 9cos 彰一(s i n2夢}跳. in2のcos2gcos2夢十(s in2のs in2夢cosβ)/2十cos2のs +{s in2夢}弱2 2 in 9co 夢β≦ +s. 3. (1 8).

(6) . AT-cu tの応用光学係数. in2夢-s in2gcos2夢cosの)β【 inのs 十(敏ngs 3. .. 1 1 ( ). 1 の最大, 最小値は角 夢 を 一 転 さ せ た と き, となる. 光線が 噂 方向に進んでいるとき, お【 aBi /βの=0 熱満す場合に存在する. 即ち , tan2夢=. 一 β【 in2の in2のcos虜十2β{ inのs ing十 βま s .s 2cosgs 3 2 -cos 2 )十 露 s 2 2 2 2 2 2 i 9 十 段 ( i 段 i 疑 - )一 β; 9 ( n c o s s の の 3in g 2 3sn cosの .Cos cos の sn の. 2 ( 1 ). を満足する角 夢 でβれ の最大, 最小値が存在する 1 ( 2 )式を鋤式に代入し整理すると. 2理 に K,±. 看. ( 1 ) 3. where. 2倉cos ) (cos K.=2βを ,一β≦ 2 2十(βi i 十(蛋3- 彫2 ) s n2g. in2の) 十s. -王者3 in2倉Cosの s , 2 2 2 2 ”2;(甥,一 βを in2の) 2)(cos 島cos の 十s. 2g(Cos 2材Cos 2 -s (Bi +2 (β≦ ) i s n n2の) .-β角) 3-β≦ 2 の i 2 4 )s i +(露3一β… n虜 2 2 十s 2 -2(Bi in2窟cosの(Cos2”cos ・βi .一 β≦ 2) の in の) 3s -2(B≦ in29cosの 3- β ◎・βi 3s 2 2 2 十(2劇3) i 9 ( in2の) sn Cos 虜cos2の 十s. となる, 一方水晶は一軸性の結晶であるから, 理. の最大値は1/れ3 で最小値は1/れゑ となる はず である. 故に{ 1 3 )式で K,ニー/”名十./”も. ‘ =./ 郷 一1/”琶. Q4 ). と 置 換 す る こ と が可 能 であ る。 7 28 はほぼ等しいので近似式を用いて 2。 と 7. ご =1/れ3-1/れ に(ル ー 〃。 ) (ル + 〃。) /髭 れ老キ2 (〃 - ”。)/“3 r whe e れ= 方 弱 蕉. 05 ). とおける. 資料通過後の常光線と異常光線との位相差は偏光の振動面が お{ ~の最大, 最小方向にあ る場合は, 6=2だ(れ ーれ。)九/八. ( 1 6 ). であるから蝦 )式を用いて β= 伝 れ3叫人) . と おく こ と が でき る.. から上( )式は 1 7. ‘. 1 7 ( ). 霜 は βん を変数とする関数 であり 段‘は Bv を変数とする関数 である ,. げ= ん(B. ) . 2 3 3 3 2 , β2 , β3 , β2 , β. , β.. ・ (1 9 ). 1 8 ( ).

(7) . 山. 形. 積. 治. とおくことができる. 結晶に対する外的条件の変化によって, 定数 おり が各々 4β. , 2 , 482 , dB. dB. β 4βぉ, 4β2 なる微少変化を示したとすると 位相差角 の微少変化分は 3 2 3 , , ,. ( 1 9 ). 46= ん(β1 2 2十 dB. 2)一 β 1十 4 & お β22十 482 ,… …, β1. 1 9 8 1 3 )式の第 となる,( 1 )式は( )式においても明らかなように K2>0 の領 域に お いては 連続 であるから( 一項をテイラー展開して次式を得る. dが=(がん/68, )dB3 )dB2 .)dB, ,十(aた/β& )4β2 2十(aん ββ3 3 3十(βん/aお2 3 十(βん/ββ, )4β, 3 3十(β /β& )△β,. 2の (. 関数 左 は 風 “こよ っ て2階以上微分可能であるから2次の項も存在する. 詳細な検討を加える 3 以下となるので無視 できる と, 2次の項は一次の項に比較して1 0‐1 . 例拭 中のa /ββ▽ を値接求めるには( β 1 3 )式の βを ‘ を ” に変換すればよいが, 実験的な取扱いが. 有利なように, 又, 先に 座標系を A cu t座 標系に変換しておいた意味がそこなわれないように{ 9 ) 式を基にして, 次の演算 を行うと (ββi /ββ, )=cos , . , (βB圭 / β ) β 2 1 ,= ○ ,. (ββi ββ2 )= 0, (aBi /aβ3 2 .. (βB≦ aβ2 )ニ ー, (ββ圭 aβ淵)ご 0 2 (B露 aB2 )= 0, (ββ幻ββ3 =cos 2. )=s in2γ aβ. . ,. (ββ≦ (aβ圭 aβ=)= 。 , (aβ圭 ββ鑓)二 (βB圭 (aβ{ aβ.,)=cosγsinγ βBi げB鎚)二 0, (BB{ (aお目ββ, )= 0 ,. in2γ =s. aβ3 ○ 3 aお3 )=- inγ. s 3 cosγ. (aβ自信β鑓)= 0, (β別 /aB3 3F o. ,. ( 2 1 ). となる. 更に, 侶の式の各項は次のように書けるので ) (a′ ββ, ,. ( 第/ββ2 )= 2. aん/aBi ) (βBi /aβ, )+(aん/β露 訳β弱2 /aβ, ) , , . , +(β /a罵3 ) (β跳3β &. )+(β /a彫 ) (aβね俗&, ) 十(aんββ{ ) ( B 白 / B a β& ) + ( a / β i ) ( β 角熔& β ) f お 3 , 3 ,. ( 2 2 ). 吃り式の値を回に代入して 2γ (βた 俗 &. i )=C。s (aん 俗β◎ +s . (af /a拷3 . ) n2γ 6. (aんβ& =(βん/β彫り. 2, (aん 俗β3 i )=s (βん/ββi )+cos ) . /a氏3 n2γ 3 γ(af 8 ,. 僻ん/繊. i . ( 嚇 伽 も)- n2γ. i (a対 ββ◎ . n2γ. ( 2 3 ). を得る. 次に上式中の(βん 信βん)は( 1 7 )式を Bん で偏微分することによ って得られ, その結果は rれ3れ ↓ 7 』& - . .. . . 1. . .. となる.(aK‐ 1 )式により 3 2β Bん)は(. aK2. 4 ( 2 ). . 2金co (βに β籾. )=2 (罵.‐β◎(cos s. 2 in2の) 十s 2 2 2 十2(罵3- βを in 倉(Cos 倉Cos の-s in2の) 2)s ) (20.

(8) . AT-cu tの応用光学係数. (β&. 2 2 一2β【 in ) 3s加2材cosの(cos gcos の 十s 2 2 2 ) ( 倉 β 彫2ド2 (茂 ‐ 跳. cos cos の 十s加 の)2 十2 (Bお- 罵 )〔sin2g(Cos2gcos2の -sin2の)+sin4g〕 2gcos2 十s 2 in2葛cosの(Cos 十28も[ in29cosの〕 s の in の)+s. 2倉cos 2の-s (ag2β 罵3 )=2 i (罵.-B≦ ) i s n2倉(co s n2の) 2 4 in2疑cosの 十2 (β≦ 3s 3‐ 彫 sin g- B{. ( 2 5 ). 2 2 3 4 となり,( 0 )式に( ) 2 )式を代入し, 更に( 2 )式の結果を代入すると 46の入射光線の方向に対する係 5 ,( 数部分が求まる.. に 魅 ′ 4 4 . に心. 次に応力 Taこよる βf ′の微少変化 4Bf ノについて考察を加える. 応力によるβぎ ′の微少変化分 な次 示さ 〃 dBぞ ′ な次式で示される,. 4 4. ー ー . . 【 一. 4 4. 、. . 上式より dB1 ・ニ ガー 1rl十 ガー 2r2十 ガー 3r3十 カー 4r4 4β2 2ニ ガー 2rl十 だ1 lr2十 m3r3ー オー 4T4. 4β3 3ご オー 3 z 十 ガー 3r2+ ガ3 3r3 4 β2 r 3ニ ガー 4rl- 汀1 4r2+7 4r4 4. ( 2 ) 7. 4β1 3ニ ガ4 4T5+2刀1 4r6 4 81 2ニ2オー 4 鍔 十2(ガー 1一 オー 2)r6. と示される. 解)式の Tぎは水晶の結晶系にとっ てある座標にもと づく 応 力 であるか ら こ れらを , AT t板に固定した座標系に変換し, ,で示す 応力は2次のテンソルであるから( ‐ cu )式の方向余 6 . 弦と( )式の変換マトリッ クスを用いて, 7 T,= Ti. r2= rをCos2γ+ ?≦ in2γ十 r;s in2γ s 2 2 r3= rを in γ十 ricos γ- ri in2γ s s = -( 鑑 一 r≦)s inγCosγ十 たCos2γ. 鰹). r5= rgc。sγ一 rるs inγ r6= T占s inγ+ ?壱cosγ. のようになる. 低め式を例式に代 入すると 2 十 丁≦ 4 β, (Tをcos in2γ+ s .= m.T{+ 刀, γ 2 2 + “1 (rを in2γ十 s cos γ ー 3 十 刀. (- 4. i s n2γ). in2γ) s inγcosγ十 Ti inγcosγ十 Ticos2γ) s s (2 1 ).

(9) . 山. = 冗... 形. 積. 治. 2 inγCosγ)Tを in2γ- 冗. 十(汀. s 4 3s 2cos γ十 死, 2 2 inγCosγ)r≦ in γ十 m3cos γ+ だ1 十(だ1 s s 4 2 in2γ十 ガー in2γ一 カー 十(カー s s 4cos2γ)r; 3 2. 482 2 2; 打.. in 十 刀. (丁≦s 3. +. cos. -. i n2γ) s. in2γ十 s 十 四s i n2γ) inγcosγ十 inγCosγ十 s (- 一 打. cos2γ) s 4 2 2 i )T ≦ i 十 十 T {+( = 打. snγcosγ m.cos γ 月, 4 3sn γ 万. 2 2 inγcosγ)?≦ in2γ十 刀1 十(ml s 3Cos γ一 m4s 十 m. ( 四cos. in2γ一 ガ1 in2γ一 刀1 +(オー s s 3 4cos2γ)r; . 2 2 in γ十 s i 483 十 m3 (Ticos γ十 7is n2γ) 3 3= 〃. 2 ー i in 十 (γをs 十 ”3 cos γ sn2γ) 3 2 in γ)?≦ = 刀. 3s 3cos 十 汀3 3 四 十(刀, 2 in2γ十 ガ3 十(刀1 3Cos γ)rg 3s in2γ一 オ3 in2γ)r; 十(刀1 s 3s 3 2 in 十 鴛s イB2 一 i 四s i = 【 (T 十 cos γ n2の m4 3 だ, 4 inγcosγ十 Tis inγcosγ十 + 打4 4(- ris 2 i )r r ;-( 十 ニ オー snγcosγ i 力1 4 4 4cos γ 汀4 2 inγcosγ)r≦ in γ一 ガ4 一(力1 s 4 4s ー(だ1 in2γ- 汀4 s 4 4Cos2γ)r;. cos2γ). 48. inγ)十2刀. (丁きsinγ十 鑑 cosγ) (T6cosγ- Tるs 4 3= 刀4 4 inγ) ;(力4 s 4cosγ十2ガー 4 inγ十2オー 一(“4 4Cosγ)r6 4s inγ十 r各cosγ) inγ)十2(ガ1 (rg (?雲cosγ- rるs ) 4β1 s 1- ガ1 2 4 2;2“1 i ( 一 ) }? ら 二{2打, 十2 刀, . 死. 2 snγ 4cosγ inγ-2(ガ1 一{2″1 1- オー 2)cosγ}r6 4s. ) ( 2 9. 2 4 ) }式の結果をαの式に代入すると ri となる. ◎式の値をぱの式に代入し, 更に回,( ,鱗 , Tを… rg , Tも }式は の係数がもと示リヅ 例 (g, の)ri十Ci (9, の)?≦十 Ci (g, の) 48; α(g,の)r【十Ci (g, の)T6十 C6(倉, の) 鑑 十 C6. ( 3 ) 0. (9, の)は上で考察しは応力 一学係数である. と なり, 但 し C≦ 4. 応力一光学係数の計算 4 cut 板の け 面に平行に光線を入射させた場合 .I AT‐. 0 ′ 脚式 ATcut 板 は Fi g.2 に も 示 す よ う に z 軸 の ま わ り に γ=3515 だけ回転 した ものであるから( 015 にとる グ 面に平行に光線を入射させる場合 F i 4 うに例 ) 式で =0 に に示すよ の γ は 35 の . , g 。 0 o と り, 倉=o ~360 の範囲で変化させれば, 全ての条件について検討したことになる。. ) (22.

(10) . . AT-cu tの応用 光学係数. Z′. ′ / i. P. . 0ゼー 一 - -・ 、. /. Y′. 、. V^. 宇 Fig.4. o. g=. 36び. i 1nc dentl i l ltothe y′ tbeam when paral l i e - surf ace ef rom the z′ gh -ax s , , and 倉:beam ang. (g,0) を computerを用 い て 計 算 し た の が Fig.5 ~10 である, この条件の基で Cf. /′ ′ 330 ‐/. 0 d d Cm y a5xlo-arq yn . , ′ i s z -ax きodeg ,. 20. i s カーo X 90. 180 Fig.5. 150. l l Theca i lcoef i f i l l mot t i fthef cu ress ated st ‐opt ca c entf ors ress Ti o e×ura on.. (23 ).

(11) . 山. Fig・6. 形 積. i i i 1C。ef f St t ress r 圭 ressopt ca c entfors ・. 治. Fig.7. i lcoef f i i St c entf。rsr ess ri ress ‐ opt ca ,. ± i s o x ×. Fig.8. i i i lcoef f t St ress T i c entfors ‐opt ca ress ,. Fig.9. i i icoef f i St t g ress r ress ca c entf ors - opt ,. ミ ニき ; 』 三 豊 ,瀞 . ′. . . \. \. ′ i X -o s x 90. \ \. \. 120 / i l l l t Fig.1O The ca ress ‐ opt ca cu at ed s f i i t ress T‘ of coef c ent f or s. 一 2 1 0. i i the th on not ckness shear r .. (24).

(12) . AT-cu tの応用光学係数. 4 cut板の 〆 面に平行に光線を入射させた場合 ,2 AT一. 0 にとり =0~36 0の範囲 で変化 こ の 場 は Fig,11 に も 示 さ れ て い る よ う に 鋤 式 に お い て 倉=90 0 の. Fi 12 Fi 14 t さ せ れ ばよ く, こ の 条 件 の 基 で Cr(90 , の) を compuer を用 いて 計算 した も の が g. ~ g. であ る。. xずs. -. 、\ . 、、 三. 8 x メー2. Y′. し i a × s Y. beqm 0 載=90. 0 字=o‐360 Fig.12 St lcoef i f i i ress ‐ opt ca ress ri c entforst .. Fig.11 lnc i ight beam when para dentl l l l e f d b to the z′ : - ace a n e sur am の , l i ang ef rom γ′ - ax s .. . S 零×. i L a ・ s Y. Fig i lcoef f i i t ressopt ca c entfors ress ・13 St. Fig・14 St i lcoef f i i t ressopt ca c entfors ress r 占 ,. ,. 4 cut板の メ 面に平行に光線を入射させた場合 ,3 AT‐. 0 に と り g=0~360 0 の範囲で変 こ の 場 合 は Fig,15 に も 示 さ れて いる よ う に ◎ 式 に お い て の =90. 化させることになる. この条件の基 で Cr(“,90)をcompu t 16 rを用いて計算しした結果が Fi e g . ~17 であ る。. (25 ).

(13) . . 山 形. 積. 治 し i o s Z x. L i t s Y o. f i lcoef i i t Fig.16 St ress TL entfors c ‐ ca ress opt. i s 宅メ. / . / i Ya x s i dentl ightbeam when para l l l Fig.15 1nc e f to the 又′ - ace sur , and 虜 ;beam i rom the z′ - ef s angl ax .. f i 1coef i i Fig.i7 St ress r三 ress ‐ opt ca c entforst ・. 5. 計算結果の実験的検証. e一 一T. 計算した応力一光学係数が正しいか どうかを実 験 に よ っ て 確 か め る. 一 般 に 境 界 を も つ AT‐ cut. 水晶振動子 を厚 味す べり 共振 モー ドで励振する と, 無限平面板の場合と異り屈曲モー ドが寄生す ) こ の 様 子 を Fig18 に 示 す 従 っ て 〆 軸 に る7 . . . 平行に プロー ブ光線を透過させた場合, Fig.5.. F i 16 の係数の関系から応力 T iが求まる であろ g . i 10 からなように Cる係数はゼ う. この場合, Fg . ロ で あ る か ら Tろは検出されず. Tiのみが求まる,. 丁目ま屈 曲によ っ て 生ず る応力 であるか ら, 基 本振動・倍振動 に お いて も板 表面 のすべり 変位. i 18 のみが屈曲に有効な成分となり, 板全体がF g . に 示すよう な屈 曲振動 を行う, 従 っ て, ザ 方向. (厚味方向) 及 び メ 方向 (変位方向) に プロー ブ 光線を走査した応力分布を測定すれだ, g′方向で は板表面付近に位相が だ ばけ 異 る (互に 逆 方向. 6) (2. ノ /. ( a ). .\. 半 も、. . a:infini ーate te crystaーp b:boundgd crystaーpー ate i l l ing modeso fthe ATcut Fig,18 osc at lp l t ta zcrys ates quar ,.

(14) . AT-cu tの応用光学係数. に振動する) 応力のピーク値が存在するであろう, 又, メ 方向にプローブ光線を走査すれば屈曲の i 18の屈曲点にあたるところに 位相が 刀 だけ異るピーク値が得られるで 中位層以外の固 所では, F g , 19 あ ろ う, 測 定 の 結 果 をFig, i 6=0 25 の位置を げ 方向にプローブ光 19は メ/ヱ g .20 に 示 す, F , Fig . . i 20は げ/%;0 25の 位置 を メ 方 向 に 走 査 し て 得 ら れ た 結 果 であ 線を走査した結果 であり, F g , , ) 両 図ともあらかじめ推測した応力 T i 16の応力一光学係数の計 る5 iの分布と一致し, Fig.5 g . ,F , 算結果は正 しいものと思われる,. 10の応力一光学係数の関係を用いて, プローブ i 検出にはFig 次に厚味すべり振動に伴う応力 T . o i 光線を ザ 面に平行で 〆 軸から27 傾けて水晶中を透過させればよい. この時, F g .5の Ti の 応. iは検出されない, 力一光学係数 Ci は ほ ぼ ゼロ に な り, 従 っ て T. も8 fund.. も8. fund, 1 0463 ( ,. ウ乙. 0. 5th。t ,. 尋4. 3rd, Qt ,. 5 thQt ,. o. .6 ,8 1 .2 ,4 ,o ′ i d i t on 7 ; r ec y y y. o. 2 ,. 3rdo t , .. 4 ,. “ di t i ec r on. 6 .. 8 .. だ も /x. 1 o ,. i i i but Fig.20 St t ressd r finthe onsof 丁 s ′ i ion ご r eet -d , generated by a f l lrnot i exura on .. ibut i Fig.19 St ressdi sr onsof 丁finthe i i y′ on, generated by a -d ect i f l l mot on exura ,. Tも 2三 g. . 以. i i 22に プローブ光線を ザ 方向, メ 方向に走査した場合の応力 T6 の 分 布 を 示 す. F 21 g g , . ,F に 5 の所を メ 方向に走査して得ら F i 2 1は 〆/z i 6=0 22は げ/〃 5 の所を 〆 方 和こ走査し, F 6=0 g g . . . . b 突 0 乍RU 十 q U“ ぶ/ ー 。 7 ぬ 6 ○ 一 × - \ - 文学 一 ≦ハ b 6 8 - 十 に 3 6 ! 言 ) 5 H M 、 z : ′ モ”7y 、 き ト 」 u ⑤ . 誘 . ′ 5 ー ′ U型 L 5\ ⑪ ・ - ′ r ゴ ′ ′ 1 〉 仁 惑に . ′ ・ ℃ ′ 〉 ー 4U ′ の 切 心 」 t ′ ′ 4 m 勇 ① 」 , 新ム「 . . / 盗 電: ′ , ” ′ 3 ・ ′′ の ” . 明 3豪 ” ,ヘ t } させ 雪 .○ ,O 2せ ,. L \. ^ ‘. m d1 1 s ^ = tg 6. V. 8 1 6 , 0 ,2 4 . o , ion y/ y direct. 」 O. E. ・. O 」 の J 亡 . 」 お ・ ←. b コ o 0. 上 1一 面 」 o 0一. f und , 1 ( )\ ,稀15MHz. ● 2 8 ム 6 , , . , 坪 di ion 幻× る ect r. LO. i i but i Fig,22 st t r ress d s onsofthe i th cknessshear だ inthe i i X′ rect -d on.. 1 i ibut i i Fig.21 St t r onsoftheth ckness ress d s i i -d rect on. r T‘in the y′ shea. (2 7).

(15) . 山 形. 穣. 治. 8 ) 予想通り T ’ れた結果 である5 iから T6 を分離して測定することができFig 10の応力一光学係数 . . i 1 i 2 9 F 2 Cろ の計算結果は正しいもほと思われる. F 比較 と の で興味味のある点は厚味方向の応 g g . . 力 Tiと Tiの 分布において, 前者はいかなる倍振動においてもピーク値を2 ヶ持つ, 板全体にか. かわる振動 であるのに対して, 後者は倍振動において~ 各層毎に互に逆方向に振動している応力分 5 ho 23は5次倍振動( t 布を示す, 阻g )の各振動応力層を メ 方向に分布を測定したものである. ● . .t .. F ig 2 1との関連は5次倍振動 (破線で示されている) の各ピーク値を左から順に1,2,~5として示 . してある.. 4 . 1 . 2 . 3, 5 . 6 . 7. 9 1o 8. . ′di x t ion r ec も xソx Fig.24 Di t i l rect measurementofs ressopt ca. Fig.23 St i i but i i t ressd s r onsoftheth ckness i 「 ginthe ごんdi rect shear 7 on , when. f i i coef c ent Ci (g) ,. l i l l tone atei ngin 5th over at sosci p f repuency ・. 5 ) 実験の i 更 に Cもを回転角 ” の直接的関数として, 実験によっ て求めた結果を F 24に示す4 ’ g . ,. 方法‘ まげ/〆 =0 5 5 の所を 〆 軸と一致させてプローブ光線を透 過させておく, 従って . , , メ 腐ろ=0 先記の実験事実により厚味すべり振動の応力 T iによっ て光変調をかけることになる, 次にこの水 i 24の上図のような交流分の変調出力が得 晶振動子を X′-Z′平面に平行に回転させる. その時 F g .. られる. この包絡線 (点線) が回転角 g に対する, 応力-光学係数 Cる (鍵)を示す. 変調出力信号 } が波打つ現象議論については著者の別の論文を参考にされたい5 . i 10 と同一の形状を示し, Cもの算値は正 しいこ とを示す. こ れ らの 実験の結果は相対的に F g ,. ことから, 前述の α の誘導の理論は正しく, 扱われていたことが明確になっ た. 6. 測定された応力の信頼性. }で測定したひずみとの比較によっ て計算 に 測定した応力の絶対値とSpenc e rが x 線回折顕微法9. よ っ て 求 め た 応 力 - 光 学 数 の 信 頼 性 を 論 ず る. Spencerの 実 験 に よ れ ば pl ‐ ano conuex ATcut振 動. 子 (基本厚みすべり共振周波数約IMHz, 著者もほぼ同様な資料を用いている) を5次倍振動 で励 8彰 A- 1 振した場合, 結晶電流1”A 当りのひずみは Sる=1 37×10- )ぜあっ たと報告している. 著 , 者の実験では結晶電流が150”A で あ っ た の で,. ) (28.

(16) . AT-cu tの応用光学係数. ム =150”A. 6 一8 sも ニー ・06×1び ・37×10 ×15〇=2. 1 ( 3 ). 5 dyn/cm2 7ろ=(ふ 詰 =6 o6×10 .. l l 2 where Cき 6=2 .93×lo dyn/αn. となる。 但し上式中 で C6 t板の弾性係数 である. 6 は ATcu 0方向の応力一光学係数 C6 1 0 から 〆 軸から回転角 倉=30 (g=30)=3 今,Fi OXI0 rad・cm/ g . , i i F 2 1 F 2 2 dyn を用いて応力の絶対値を当ってみると g ) tho t ,, g . に示したように第5次倍振動(5 . .. の応力の最大値は 鑑 =6,5×105dyn/cm2 と な り, Spencerの 報 笥31 )式 と よ り 一 致 を 示 す, 7. 結. 論. AT t水晶振動子の応力-光学係数を理論的に誘導し AT tpl - cu - ano conuex 水 晶振 動 子 資 料 を用 ‐ cu いて, 計算結果を実験的に裏付けた. 特にこの研究にけける特徴は これまで多くの研究者によっ て, t振動子が厚味すべり振動を行う場合に寄生する屈曲振動に関する応力が, 議論されて来た, AT ‐ cu. プロー ブ光線の方向を選択することによっ て, 勢断応力 鑑 か ら分離して測定することが可能であ 1 0 ) 又 応力一光学係数 を導入することによって 各々の応力の ’ ると言う結論に刻 っ た点である6 . , , 絶対値が実験的に求められると言う点は今後の水晶振動 子の開発・研究において, 有効な手法とな t水晶 振動子を厚味すべり共振周波数で用いているか ぎり, あまり重要とはならない他 る. ATcu. の応力 ri t 専用の理論 , Ti , Ti , T6等に対する応力-光学係数も掲載しておいた. 今回は ATcu 展開を試みたが, 他種のcu tに も応用 できる, 汎用な応力一光学係数の誘導を次回には報告したい, 頁数の関係上, 附録2は次回に記載する.. 辞. 謝. 実験は北大工学部電気工学科・回路講座で行い, 同講座の深井一郎教援並びにスタ ッフ一同には 種の協力を得た. 元北大同講座の安田一次教授には研究全体を通じて御指導を得た, 理論の展開に. は元同講座修士課程・杉原正博君 (現・中部電力) と有意義なデスカッ ショ ンを行っ た. 実験には 同講座修士課程・山本和光君 (現・住友電工) の協力を得た, 計算及び係数の作図には北大・大型計算セ ンターの電算機を用いた, 水晶資料の提供は東洋通信. 機・岡野庄太郎氏の御好意による. 関係諸氏に感謝する.. 参 考 文 献 1) 山形積治:-光弾性効果による光線の変調とその応用研究 第1報″ 北教大紀要第 2 部 A Vo 27 1977 ( ) , . , l , No 5 .2,p . .. 2) 山形積治 が 同上, 第2報″ 北教大紀要第2部 A,Vo l 8 197 6 ( 29 )No ,2 .1,p , , 3) 山形積治他:-Me i l励振による水晶振動子の諸特′世’ 信学会超音波研究会 US7 ch an ca 7 1 7 97 7 1 ( ) ‐ , , , ,P 4) 山形積治他:いATc t水晶振動子による光変調機構の研究″ 北教大紀要2部 A VO u L 2 1 6 9 7 5 1 ( 47 )N o , . ,p , , (2 ) 9.

(17) . 山. 形 積. 治. 5) 山形積治他 が レーザ光線の変調による A r Fcu t水晶振動子の応力分布測定″ 信 学 会 誌, Vo l 1977 12 ) No ‐A( .60 . , 1122 p . . ″ Pergamon pre oxfo 6) M.Bom andE, Wo i i l fopt l f;-Pr i 1970 ) nc e so cs rd( p . . ,. 〃J app l in がTh i 7)R.D.Mi lv i br i t lp l nd t ckness‐ shearandaexur t l 1951 a a onofcrys a es ( 316 a )No . l .Phys . .22 ,Vo .3 . ,p - Y d dS 8)1 Y S t d i i b i t a s u aa n t t i i l i a m a a t a: r t lwi es s sr u on measur t t g emen noscl thal l a ngqua r rys . zc a . ase rp obe″ OSA/ IEEE,Di i IPaper tofTechn (Mayl967 ca ) s ges ,P,38 . nPhys ″ Vo S i l i l 9) W. J : t 5 A A d i e c r 1968 n e c a a c o u s c s p ( ) c a e m c Pr e rk . . , .127 , ,New Yo , ,p l:いA Measur 10) S.Yamaga t fthe St i i but aet t emento IResona r ess Di s r t onsofan AT t ‐ t cutQuar z Crys .a a o rby MeansofLase l ion″,Trans rDr 1977 obe Beam Modu l ( 12 7 2 8 at ) p .IECBJap .Vo . E60 . , ,No . . ,. (30 ).

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参照

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