音楽用語では Allegro ( アレグロ ) は 速く という意味になります 太陽電池製造設備をオーケストラに例えた場合 LPKF Allegro レーザースクライビングシステムは 全体的な目標である グリッドパリティ ( 系統電力との等価 ) の達成に完璧に貢献してくれる世界的レベルのプレーヤー

費用効果の優れた薄膜太陽電池モジュールの製造

音楽用語では「

_Allegro

®

_{（アレグロ）」は「速く」という意味になります。太陽電池製造設備}

をオーケストラに例えた場合、

_{LPKF Allegro}

®

_{レーザー スクライビング システムは、全体的}

な目標である「グリッドパリティ(系統電力との等価)」の達成に完璧に貢献してくれる世界的

レベルのプレーヤーと言えます。

_LPKF

は太陽電池業界において常に最先端の技術開発を行な

い、生産性と信頼性に最も優れた装置を提供するよう努めています。

_LPKF

のエンジニアはこ

の目標の達成をお約束致します。

[アイコン] 最高のスループット コンパクトなマルチビーム ヘッド によって、加速度と速度を最大にし

LaserScriber

のサイクル時間を短縮しま す。スクライビングヘッドの一度の動作で 複数の構造を同時に作成します。基板の処理を最大限に並 列化しマシンのスループットを向上させ製造コストを削減し ます。 [アイコン] 最大のモジュール効率 最も弱いセルがモジュール全体の性能に 大きく影響します。

P1

ステップにおいてセ ルのサイズが一様である超精密レイアウ トの製造が非常に重要です。それに続くP2 と

_P3

のラインは、このマスターに基づいて正確に位置合わせ を行います。

P1

でのスクライビングに超精密な

Allegro

® _シ ステムを使い、

_P2

と

_P3

でのスクライビングに

_Allegro

® _の動 的パストラッキング技術を用いる事によって、アクティブな モジュール領域を大幅に拡大してモジュールの効率を最大 にします。 [アイコン] 最適な稼働率

Allegro

®

_LaserScriber

_{は強固で保守を} あまり必要とせず容易に修理できるよう に設計されています。システムの特長は、 ガラスの送り出しと機械加工ヘッドの動作 のためメンテナンス不要な空気ベアリングと、長寿命のレー ザー源、事前に位置合わせされている光学および機械部品 です。これによって計画的な休止時間と計画外の休止時間 を最小限に抑えてシステムの稼働率を向上させます [アイコン] 費用対効果 動作を最適化した高精度レーザースクラ イビング装置とコストを最小化する装置コ ンセプトによって、

_Allegro

®

_LaserScriber

は薄膜太陽電池モジュールの製造におい て非常に費用対効果の優れたソリューションです。

結果をお約束します

優れた収益性

大規模で超精密でしかも破損しやすい基板を生産することは 挑戦的な仕事です。レーザースクライビングの工程で生じる熱 変形によって更に難しくなります。

Allegro

®

_LaserScriber

_{を用いた超精密構造によってモジュー} ルの効率を物理的限界まで引き上げます。

Allegro

®

_LaserScriber

_{は投資や運用面において非常に経済} 的で最も高度なスループットを提供します。革新的で実地試 験による概念によって、全工程に渡って最適なセル形状から のズレを仮想的に補正し、効率が最大になる太陽電池モジュ ールの基礎を確立します。

LPKF

グループの一員として、

_{LPKF SolarQuipment}

はレー ザー、制御および駆動技術における技術力が広く認識されて おり、レーザーによる精密機械加工に関する幅広い知識や世 界的なサービス網と販売網に優れています。

Allegro

® _シリー ズの

_LaserScriber

の多くは休みのない24時間稼動の生産に 使用され成功を収めています。

LaserScriber の費用効果は様々な要因に依存します。

もっとも重要な要素を以下に挙げます：

2

2

2

2

4

4

4

4

4

/

/

/

/

/7

7

7

システムの心臓部 -

スクライビング ヘッド

Allegro

® _{は部品を最適な動きで移動させるというコンセプ} トを実現しており、更に主要な機能をコンパクトにまとめて います。数本のレーザービームが並行に配置されていてレー ザー スクライビングの対象となるフィルム上に焦点を合わ せます。 この方法によって、知能的で費用対効果の優れたソリューシ ョンが、モジュールの効率を最大化しスクライビング工程を 安定化させます。

Allegro

® _{システムには、}

_LPKF

_{社の「動的} パストラッキング」と「動的フォーカストラッキング」という2 つの独自技術が統合されています。

頑丈な装置本体が高精度で的確な動作と信頼

性を実現します。実際のレーザースクライビ

ングは

_Allegro

®

_{システムの心臓部である可動}

式レーザー加工ヘッドで行います。

ソーラーマスター

_GUI

アレグロのハードウェアに加えて、システムのグラフィカル ユーザーインタフェース

（(GUI)（

は、使いやすさに影響を与 える重要な要因です。ソーラーマスターは、複数の人間工 学的側面に基づいて開発された直感的な

GUI

を備えてい ます。操作エラーを防ぎながら、生産レシピの操作や設定 を容易にします。 さらに、ツールセッターは、迅速に最適なプロセスパラメー タを決定するために特別なサポート機能を備えています。 ソーラーマスターはアクセス管理を支援する

3

種類のユー ザーレベルに提供します。：オペレーター、ツールセッター

Allegro

®

_LaserScriber

_{は製造工程において生じたガラスの形状変化に対応できます。熱による歪や反りを補正します。} これによってレーザースクライビングする前の時間と費用の掛かる基板の調整工程を省くことができます。

動的パストラッキング

P2

と

P3

のステップで動的に追跡する事によって、個々のスク ライビングトラック間のスペースを最小化します。スクライビ ング時は1つのセンサーが前のトラックの位置を調べ、スクラ イビングヘッド内の全てのビームを補正します。加工ヘッド内 のレーザービームの間隔を狭くする事によって、1つのセンサ ーのみを使った正確なスクライブが前のトラックの位置確認 を可能にしています。動的パストラッキング機能によって、安 全の為に必要なクリアランスを小さくする事が出来、最小限 の技術的負担でモジュールの効率を最大化しています。

動的フォーカストラッキング

熱処理で基板が波打っているか又はプロセスウインドウが 小さい場合、モジュールの効率と、プロセスの安定性が損な われ、レーザースクライビングの結果に悪影響を及ぼします。 動的フォーカストラッキング機能によって、スクライビングし ている間、個々のレーザービームがモジュール上の焦点面に 保持されます。その結果、システムを複雑にする事なく、熱処 理で基板が波打っていてもプロセス ウィンドウが小さい場 合でも、最適な結果が得られます。

アプリケーションの開発

LPKF SolarQuipment GmbH

の専門チームは、費用効率と技術プロセスを考慮し、

_CdTE

、

_aSi

、/

µSi

、

_CIS

、

_CIGS

の技術における全てのスクライビング作業の為のプロセス開発とパラメーターの

最適化を行っています。アプリケーションラボではお客様のご要望を実現するため、様々なレー

ザー光源、

_SEM

やレーザー走査顕微鏡といった生産に近いシステム技術や分析システムに重点を

適用例

aSi/µSi

における酸化亜鉛の紫外線加工：トラック幅が約

30 µm

でトラック端のバリやガラスの破損なし。

CdTe P3

における

532 nm

での選択吸収とバック接点の除 去：

_TCO

の破損なし。

aSi/µSi

におけるP2スクライビング工程時

532 nm

での選択 吸収除去：剥離なし、

_TCO

の破損なし。 パルス持続時間を最適化したモリブデン処理、

CIGS P1

：ガ ラスの損傷なし、ガラスとモリブデンに亀裂なし、トラック端 のバリなし。

F A G , 1 00 05 54 1-16 09 11 -J P Ph ot os m ay a ls o s ho w o pt io na l a cc es so ri es . w w w .je nk o-st er nb er g. de

LPKF SolarQuipment GmbH

は高度に洗練された技術を提供します。レーザー技術における専門的スキルやレーザーによる精 密機械材料加工における幅広い経験を持った制御そして駆動技術を兼ね備えています。

LPKF SolarQuipment GmbH

は世界中に支店と代理店を持つ

_LPKF

ネットワークに属しています。ヨーロッパに4つの生産工 場があり、米国、中国、香港、日本に子会社をもち、有能なパートナーによって世界中様々な国々においてお客様に技術支援をワ ールドワイドで提供する事ができます。

Technical Data: LPKF Allegro Series

薄膜加工技術

CdTe,（aSi,（aSi/µSi,（CIGS

レーザー波長

1064 nm, 532 nm, 355 nm

レーザーパルス長 ピコ秒 ～ ナノ秒 スクライブ幅

_{30 µm}

～

70 µm

（波長と光学的構成による） ライン間隔 モーター駆動、自己較正機能 処理 ガラスフィルム側または反対側から 処理ビーム お客様のご要望に応じてマルチ 基板の寸法 お客様のご要望に応じて製作 基板の厚さ

_{2 mm}

～

6 mm

加工材料 フロートガラス 粒子の抽出

LPKF

高真空

500*

CAM

ソフトウェア

LPKF SolarMaster

その他の特徴 品質検査機能を統合した処理 動的パストラッキング機能 動的フォーカストラッキング機能 * 高真空フィルター洗浄濾過システム、バレル集塵機能、有害粉塵用に最適化されたフィルターとバレル交換機能、HEPAフィルター(オプション) LPKF SolarQuipment GmbH

Mittelbergstraße 17 98527 Suhl Germany

ドイツ　電話 +49 (0) 3681-8924-0 ファックス +49 (0) 3681-8924-44 info.solar@lpkf.com www.lpkf-solarquipment.com