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精密真空制御レギュレーター FAIRCHILD precision pneumatic & motion control

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Academic year: 2021

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(1)

精密真空制御レギュレーター

FAIRCHILD

precision pneumatic & motion control

(2)

Model 16

特徴

• モデル16真空レギュレーターは大気圧以上/以下の 圧力制御用としてデザインされています。 • 12.7mm水柱の制御感度を持ち、精密 用例用に適しています。 • バランス式サプライバルブが供給圧力変動の影 響を最少化します。 •アスピレーターチューブは二次側開状態における 圧力降下の減少に機能します。 • 分離したコントロールチャンバーがダイアフラムをハウンチング や動乱音を排除するために主流から隔離し ています。 • 配管から取り外すことなく保守作業ができる 構造です。 • 取付け用ブラケットあり。

• Canadian Registration Number (CRN)認証 取得

作動原理

設定用スクリューで設定値に調整すると、レンジ スプリングはシグナルダイアフラムの上面に下向きの力 を発生します。 これに対し負バイアススプリングはシグナルダイアフラム の下面に上向きの力を発生しています。 この上向きの力がリリーフバルブ(真空サプライ)を開 き、出口から排気口へ真空流を導きます。 設定値に達すると圧力減少によりダイアフラムアッ センブリは下向きに動き、リリーフバルブ(真空サプ ライ)を閉じます。 真空度が設定値より上がるとダイアフラムアッセンブ リは下向きに動き、出力圧力を維持するため にシステムへ正圧を導くためにサプライバルブを開 きます。 作動の理解の為、このカタログに掲載の断面図 を参照して下さい。 出力圧力は結果としてダイアフラムアッセンブリの上 下面に働く力の均衡となります。

A

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acuum

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Model 16 0 13.8 27.6 41.4 55.2 69.0 82.8 96.6 110.4 124.2 138.0 0 56 113 170 226 283 340 配管接続は形態1 出口側に真空源接続、排気口 は閉止栓取付、入口側は大気 開放 大気圧 流量 L/分 ntp 出力 kPaA 流量特性 Fairchild Model 16222 入口:大気

Model 16 レギュレーターキット/アクセサリー

マウンティングブラケット . . . 09921 (別売り)

仕様

供給圧力 1.7MPa最大 正圧容量 1090L/分 ntp @ 0.7MPa供給圧力/0.15MPa設定 負圧容量 70L/分 ntp @ 736 torr/排気ポートに真空ポンプ接続 1090L/分 ntp @ 0.7MPa/入口側に正圧接続 供給圧力の影響 0.7kPa以下、0.7MPa変動時 感度 12.7mm水柱 周囲温度 -40℃~ +93.3℃ 材質 ボディ、ハウジング . . . .アルミニューム トリム . . . ...ステンレススチール、真鍮、亜鉛メッキ鉄 ダイアフラム. . . ダクロン基布/ブナ-N 危険場所における使用 Catalog Number 1 6

設定レンジ

接続口径

1/4" NPT . . . . 3/8" NPT . . . . 1/2" NPT .. . . .

オプション

1 シリコンエラストマー . . . . 2 . . . . . . . . . . . . . . . . BSPP(並行ネジ. . . . 保護キャップ付. . . . バイトンエラストマー... 感度増強型 . . . ... BSPT(Rc) . . . ... . . . . 黄銅材非使用 3 . . . . 1 2 3 最大供給圧力- 0.5MPa BSPPネジは入出口のみ、他はBSPT J オプションと併用 psig Vacuum - 2 Vacuum - 10 Vacuum - 30 Vacuum - 100 Vacuum - 150 [BAR] [Vacuum -0.15] [Vacuum -0.7] [Vacuum -2.0] [Vacuum -7.0] [Vacuum - 10] (kPa) (Vacuum - 15) (Vacuum - 70) (Vacuum - 200) (Vacuum - 700) (Vacuum - 1000) 21 22 23 25 26 A H T J L U Y 2 3 4

取付

Fairchild モデル16シンクウレギュレーター取説 IS-10000016を参照。

Technical Information

Catalog Information

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A

Model 17

特徴

• モデル17真空レギュレーターは 完全真空までの 真空制御専用製品です。 • 制御感度は12.7mm水柱で、精密用例 に対応致します。 • 高容量 • バランス式真空バルブが真空変動の影響を最 少化します。 • アスピレーターチューブが流路開状態での真空 降下に対応致します。 • 分離したコントロールチャンバーが主流からハウンチング や動乱音を排除する為にダイアフラムを隔離し ています。 • 配管から取り外すことなく保守ができます。 • マウンティングブラケットあり。

• Canadian Registration Number (CRN)認証取得

作動原理

モデル17は真空源と非制御系の間に設置し使 用する真空制御専用製品です。 モデル17は力均衡方式によりメインバルブの動き を制御します。真空レギュレーターが大気圧下で 操作する場合、大気圧は真空レギュレーターを機 能させる動作力となります。 ダイアフラム上部の調整ノブを時計回りに回す と、レンジスプリングを上方へ圧縮し、下部の スプリングシートを引上げます。 ダイアフラムアッセンブリと接続した上部スプリングシート は、結果として直接上方へ引き上げられま す。上方へ引き上げられたダイアフラムアッセンブリ はサプライバルブを開き、出口を真空源に開通 します。 真空度が上昇すると、ダイアフラムアッセンブリは下 方向に引き下げられ、設定値に達するとサプ ライバルブを閉じます。真空設定値を越した場 合はダイアフラムアッセンブリは継続して引下げら れ、リリーフバルブが開き大気圧を真空系に導入 し、設定値まで真空度を減じます。 1.02 0.04 BOSS 123.60 4.87 146.20 5.76 MODEL 17 WITH "T" OPTION 3/4" HEX 1 7/8"KNOB 6" 124.61 4.906 1.02 0.04 BOSS 24.62 0.97 BOSS 67.51 2.66 PORT

GAGE PORT, PLUGGED TYP (2) 1/4-18 NPTF TAP OPTIONS U & H ONLY 1/4-19 BSPT TAP 76.27 3.00 MODEL 17 WITH "K" OPTION KNOB 25.40 1.00 81.84 3.22 VENT

INLET & OUTLET PORTS OPTION N 1/4-18 NPTF 3/8-18 NPTF 1/2-14 NPTF OPTION U 1/4-19 BSPT 3/8-19 BSPT 1/2-14 BSPT OPTION H 1/4-19 BSPP 3/8-19 BSPP 1/2-14 BSPP

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Model 17

Model 17レギュレーターキット、アクセサリー

マウンティングブラケット . . . .09921 (sold separately)

仕様

最大真空 -102kPa 流量 340L/分 ntp リリーフ流量 56L/分 ntp 真空源変動の影響 0.1 %以下 周囲温度 -40oC ~93.3oC Catalog Number 171

設定レンジ

in Hg [Torr] (kPa) 0-5 [127] (17) 1 0-15 [381] (51) 2 0-30 [762] (102) 3

接続口径

1/4” NPT . . . 2 3/8” NPT . . . 3 1/2” NPT . . . 4

ネジ規格

NPT . . . . . . N BSPP . . . . . . H BSPT . . . . . . U

エラストマー

ブナ-N . . . . バイトン . . . ...

アクチュエーター

設定ノブ... . . . . 保護キャップ付 . . . T

リリーフ機構

あり . . . . なし... . . . . N J K R N -102 -82 -61 -41 -20 0 0 2.8 5.6 8.4 11.2 14.0 16.8

Fischer LAV 3 Vacuum Pump

出力-kPa

流量特性 Fairchild 17134NNTN Vacuum Regulator

Technical Information

Catalog Information

A

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危険場所における使用 ガス雰囲気Zones 1と2、グループIIAとIIB、及び塵埃雰囲気 Zones 21と22における使用を許容 材質 ボディ、ハウジング . . . .アルミニューム トリム . . . ...ステンレススチール、亜鉛メッキ鉄 ダイアフラム. . . ダクロン基布/ブナ-N L/分 ntp

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Model 18

特徴

• モデル18は高精密真空リリーフレギュレーターで、 狭い設定範囲内で極めて高精度な真空 制御を行います。 この製品は広範な精密用例に対応致し ます。 • 制御感度3mm水柱で、精密用例に適合。

分離型制御チャンバーとアスピレーターチューブが主流系 からハウンチングや擾乱を避ける為にダイァフラム を隔離しています。 • 配管系から取り外すことなく整備が可能。

取付ブラケットあり。

• Canadian Registration Number (CRN)認証

作動原理

モデル18真空リリーフバルブは力平衡式で、設定 値を超える真空レベルになると、リリーフバルブ を開き大気を導入します。 真空はM18のダイアフラム上面に作用し、 ダイアフラムを上方に引上げます。所望の設定値 に調整する場合、正バイアススプリングが圧縮し ダイアフラムアッセンブリー上面に下向きの力を生じま す。 ダイアフラムアッセンブリーに生じている真空力がダ イアフラムアッセンブリー上面のスプリング力よりも小さ い場合、リリーフバルブは閉じています。 真空が設定値よりも増大すると、アッセンブリー は上方に引き上がり、リリーフバルブがシートから 離れ、大気を導入しシステムの真空レベルを下げ ます。 真空度が設定値よりも降下するとアッセンブリー は下方へ動きリリーフバルブを閉じます。 VACUUM ATMOSPHERE

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Model 18 レギュレーターキット、アクセサリー

マウンティングブラケットキット... . . . 09921 (別売り)

仕様

最大真空 -100 kPa 流量 1133L/分 ntp @ -100kPa 感度 3.2mm水柱 周囲温度 -40oC ~ 93o C 材質 ボディ、ハウジング...アルミニューム ダイアフラム ...ダクロン基布、ブナ-N トリム...亜鉛メッキ鉄、真鍮 -82.8 -69 -55.2 -41.4 -27.6 -13.8 0 0 56.6 113.2 169.8 226.48 283 流量(L/分ntp) 設定値 (kPa ) 流量特性 Fairchild Model 18134NNK N A J 181 Catalog Number

設定レンジ

in Hg [mbar] (kPa) 4 [140] (14) 1 20 [700] (70) 2 30 [1000] (100) 3

接続口径

1/4” .. . . 2 3/8” ... . . 3 1/2” ... . . 4

ネジ規格

NPTF . . . N BSPP . . . . . . H BSPT . . . . . . U

エラストマー

ブナ-N. . . シリコン. . . バイトン.. . .

アクチュエーター

設定ノブ........................ K 保護キャップ付  . . . T Vacuum Pump Process IN OUT Flow Valve* Atmosphere

Model 18 配管

Model 18

Technical Information

Catalog Information

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Model 1600A

特徴

• モデル1600A真空レギュレーターは高容量システム の正・負圧制御用です。 • 真空・正圧の何れも制御可能。 • 制御感度は25.4mm水柱で、精密用例 に適合。 • 大型の供給・排気バルブが大容量に対応。 • ソフトバルブシートが空気消費量を最少化。 •バランス式供給バルブは供給圧変動の影響 を最少化。 •アスピレーターチューブが二次側開状態での圧力降 下を補正。 • 分離型制御チャンバーがダイアフラムを主流系の ハウンチングや擾乱を避けるために隔離。 • 配管から取り外すことなく保守が可能。

作動原理

所望の設定値に調整すると、レンジスプリングが シグナルダイアフラムの上面に下向きの力を発生し ます。 負バイアススプリングはシグナルダイアフラムの下面に上 向きの力を掛けています。上方への力がリリー フバルブ(真空供給)を開き、出力口とアスピレーター チューブを経由して制御チャンバーへ真空流を導入 します。 設定値に達すると圧力が降下し、リリーフバルブ (真空供給)を閉じるべくダイアフラムアッセンブリーを 下方へ動かします。 真空が設定値よりも高くなるとダイアフラムアッ センブリーは出力圧を維持するために下方へ動 き、供給バルブ(正圧)を開きます。 3/4-14 NPT Vacuum Port

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Model 1600A

取付

取付に関しては取説 IS-1001600Aを参照。 -83.5 -66.8 -50.1 -33.4 -16.7 0 16.7 33.4 0 141 283 424 566 配管は形態1、出口側に真空源を接続 し、排気口はプラグを挿入、入口側は 大気に開放 大気圧 流量 L/分 ntp 設定値 kPa 流量特性 Fairchild M odel 1623 A 供給圧 = 0MPa

仕様

供給圧力 1.7MPa最大 流量(L/分 ntp) 800L @ -100kPa、入口側大気開放時 4250L @ 0.7MPa供給、及び0.15MPa設定時 排気流量 566L/分 ntp、設定値0.15MPaよりも0.035MPa高い場合 供給圧変動の影響 0.7kPa以下、供給圧0.7MPa変動時 感度 25.4mm水柱 周囲温度 -40℃~93℃ 材質 ボディ、ハウジング ...アルミニューム トリム ...亜鉛メッキ鉄、真鍮 ダイアフラム ...ダクロン基布、ブナ-N 1BSPP ネジは入口・出口のみ、他はBSPT。 Catalog Number 1 6 A

設定レンジ

. 2 . 3

psig [BAR] (kPa)

Vacuum - 10 [Vacuum -0.7] (Vacuum - 70) . . . Vacuum - 30 [Vacuum -2.0] (Vacuum - 200) . . Vacuum - 150 [Vacuum - 10] (Vacuum - 1000) . . 6

接続口径

3/8"NPT. . . 3 1/2" NPT . . . 4 3/4" NPT . . . 6

オプション

BSPP (並行ネジ)1. . . . H バイトン . . . J 保護キャップ付 . . . T BSPT (Rc) . . . U

Model 1600A マウンティングブラケットキット P/N

20555-1 亜鉛メッキ (別売り)

Technical Information

Catalog Information

A

V

(10)

oto

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Keeping the World Flowing

Rotork is a corporate member of the Institute

of Asset Management

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大阪営業所 〒541-0046 大阪市中央区平野町2丁目2番8号(イシモトビル) TEL(06)6231-0054(代) FAX (06)6227-0205 名古屋営業所 〒465-0025 名古屋市名東区上社1丁目1204番地(ロール社東) TEL (052)778-5300(代) FAX (052)778-5301 日本総代理店 本社 〒107-0052 東京都港区赤坂1丁目7番19号(キャピタル赤坂ビル 7F) TEL (03)3584-4251(代) FAX (03)3585-9603 E-mail [email protected] URL http://www.jcct.co.jp

参照

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