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基礎から学ぶ光物性 第

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Academic year: 2021

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(1)

基礎から学ぶ光物性

第 4 回 集光したとき光

スポットはどこまで小さ

く絞れるか

(2)

第 4 回講義で学ぶこと

この講義では、はじめに、方形お よび円形の開口による回折像につ いてのべ、その応用として結像系 による集光の回折現象を論じ、分

解能の式を導きます。

これから、顕微鏡で液浸レ ンズを使うと分解能がなぜ 上がるかについて述べます。

また、ブルーレイディスク がDVDに比べ高密度に記 録できる密度が高くなる訳

を教えます。

(3)

矩形開口による

フラウンホーファー回折

2

辺の長さが

2a

および

2b

であるような長方形の開口を考 えた場合の遠隔点

P

における回折強度の式はフレネル・

キルヒホッフの理論式を適用することにより

で与えられます。ここに

I

0はパターンの中心位置での光 強度です。関数

y=(sinx/x)

2は、右の図に示すようなフラ ウンホーファー型の回折パターンとなります。

ξ η

0 2a 2b

Born: Principles of Optics Chapter 8,Section 8.5

𝐼𝐼(𝑃𝑃) = sin 𝑘𝑘 𝑝𝑝𝑝𝑝 𝑘𝑘𝑝𝑝𝑝𝑝

2

sin 𝑘𝑘 𝑝𝑝𝑝𝑝 𝑘𝑘𝑝𝑝𝑝𝑝

2

𝐼𝐼

0

P

0

P

(4)

円形開口による

フラウンホーファー回折

半径

a

の円形の開口を考えた場合の遠隔点

P

における回 折強度の式は

で与えられます。関数

y=(2J

1

(x)/x)

2は、右の図に示すよ うな幅が矩形の場合よりすこし広がった回折パターン となります。

Born: Principles of Optics Chapter 8,Section 8.5

𝐼𝐼(𝑃𝑃 ) = 2𝐽𝐽

1

𝑘𝑘𝑝𝑝𝑘𝑘 𝑘𝑘𝑝𝑝𝑘𝑘

2

𝐼𝐼

0

P

0

P

(5)

回折リング

 回折像は、中心に明るい円盤があ り、その周りを同心円状にいくつ もの明るいリングと暗いリングが 取り巻く構造になっています。

 暗いリングの半径は、 w=0.61 λ /a, 1.116 λ /a, 1.619 λ /a ・・の位置に現 れます。

w

Born: Principles of Optics Chapter 8,Section 8.5

(6)

結像系の分解能

フラウンホーファーの回折式は光学系の分解能に応 用できます。結像系の分解能とは、2つの隣接する 対象点の像を分離して観測できる能力を指します。

収差のない系であっても回折のため点はフラウン ホーファーパターンで表されるような広がりを持っ たものになるため、

2

点のパターンが重畳すると分離 して見るのが困難になります。

Born: Principles of Optics Chapter 8,Section 8.6

(7)

望遠鏡の分解能:レイリーの判定条件

遠距離にある天体に対して、対物レンズの開口半 径を

a

とすると、中心から最初の暗いリングの極小 点までの距離は

w=0.61 λ /a

で与えられます。ここで

w

は天体を見込む角

φ

sin

で表されるので「2つの 星を見分けることができる角度分解能は

0.61 λ /a

ある」というレイリーの判定条件が得られます。

Born: Principles of Optics Chapter 8,Section 8.6

(8)

回折と分解能

1つのスポットの回折像の第

2

ピーク位置と隣のスポットのピー ク位置が一致すれば完全に分解します。

しかし、1つのスポットの回折像の第

1

極小の位置と隣のスポッ トのピーク位置が一致すれば一応分解しているとされます。これ がレーリーの判定基準です。

http://hyperphysics.phy-astr.gsu.edu/Hbase/phyopt/Raylei.html

(9)

顕微鏡の分解能

点光源

P

が軸上にあり、もう1つの点光源

Q

が物体面上

P

から

γ

離れた 位置にあるとします。これらの像を

P’,Q’

とします。

P

がレンズを見込 む角を

θ

P’

が見込む角を

θ ’とします。

後焦点面における

P’

に結像する光線の半径を

a’

とし焦点面と結像面の 距離

D’

とすると、

θ =a’/D’

で表されます。

一方、

Q’

P’

が分解できる角度をとすると

γ’=wD’

と表されます。

ここで

w=0.61 λ ’/a’

を使うと

γ’=0.61 λ ’D’/a’=0.61 λ ’/ θ

=0.61 λ /n’ θ

nγsin θ =-n’ γ’sin θ

を考慮して

|γ|

0.61 λ /nsin θ = 0.61 λ /NA

Born: Principles of Optics Chapter 8,Section 8.6

(10)

レンズで絞れる最小スポット サイズは?

レンズの絞り込み角

α

、媒質の屈折率を

n

とす ると、レンズの開口数

NA

NA=nsin α

で定義さ れます。

波長

λ

の光を開口数

NA

のレンズで集光したと きのスポットの半径

w

0

で表されます。

𝑘𝑘

0

= 1.22𝑓𝑓𝑓𝑓 𝑛𝑛𝑛𝑛 ≈

0.61𝑓𝑓 𝑁𝑁𝑁𝑁 NA=nsin α

nD/2f

α

2w

0

NA=nsin α

D

f/n

(11)

液浸レンズ

 w

0

=0.61λ/NA

ですから、分解能を高めるには波

λ

を短くするか、

NA

を大きくすればよいので す。

顕微鏡の対物レンズを空気中で用いたときの

NA=0.6

くらいですが、

n=2

の液体に浸して用い ると

NA

1.2

以上の値となり分解能が向上しま す。

半導体工業でもリソグラフィ用に用いられて います。

2w

0

NA=sin α 2w

0

NA=2sin α ’

リソグラフィでは純水を液体として用いる

http://www.canon.com/about/business/ind

ustry.html

(12)

光ディスクのレーザスポット

光ディスクでは、レーザを集光して小さなスポットに して、データの読み書きをしています。

従来の

DVD

では、

NA=0.65

のレンズを用い、赤色の光

(波長

650nm)

を用いています。

最近のブルーレイディスクでは、

NA=0.85

のレンズを 用い、青紫の光(波長

405nm)

を用います。

(13)

記録密度を決めるのは光スポットサイズ

光ディスクの読み出しは、レーザー光を 絞ったときに回折限界で決まるスポット 半径

w 0 =0.6λ/NA

で制限されます。

現行

CD-ROM: NA=0.65

CD-ROM: λ=780nm→w 0 =720nm DVD: NA=0.65

λ=650nm→w 0 =600nm BD: NA=0.85

青紫

λ=405nm→w 0 =285nm

スポット径

2w

0

BD

のスポットの半径は

DVD

の約

1/2,

従って面

積は約

1/4

なので記録密度は

4

倍になります。

(14)

演習

 空気中で、 NA=0.65 のレンズを波長 λ =650nm の光 を使ったときに得られる分解能はいくらか

 空気中で、 NA=0.85 のレンズで波長 λ =500nm の光 を使ったときに得られる分解能はいくらか

NA=0.85 のレンズを n=1.8 の液体に浸漬したとき

に波長 λ =500nm で得られる分解能はいくらか

参照

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