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室蘭工業大学学術資源アーカイブ ztk 65 12 494 497

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Academic year: 2018

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全文

(1)

C- リング試験片を用いた純銅管のアンモニア環境中

における応力腐食割れ試験

著者

境 昌宏, 木谷 光来, 入江 智芳, 八鍬 浩

雑誌名

材料と環境

65

12

ページ

494- 497

発行年

2016

U

RL

ht t p: / / hdl . handl e. net / 10258/ 00009553

(2)

C - ン 試 験 片 用 い 純 銅 管 ア ン ア

環 境 中 応 力 腐 食 割 試 験 *

境 昌 宏 * *, 木 谷 光 来 * * *

入 江 智 芳 ✝ , 八 鍬 浩 ✝ ✝

* *室 蘭 業 大 学 創 造 系 領 域

* * *室 蘭 業 大 学 生 産 テ 学 系 専 攻

✝ 荏 原 冷 熱 テ 株 式 会 社

✝ ✝ 株 式 会 社 荏 原 製 作 所

* S t r e s s C o r r o s i o n C r a c k i n g T e s t f o r P u r e C o p p e r

T u b e U s i n g C - R i n g S p e c i m e n u n d e r A m m o n i a c a l

E n v i r o n m e n t

M a s a h i r o S a k a i * * , M i t s u k i K i y a * * *

T o m o y o s h i I r i e✝ a n d H i r o s h i Y a k u w a✝ ✝

* * C o l l e g e o f D e s i g n a n d M a n u f a c t u r i n g

T e c h n o l o g y , M u r o r a n I n s t i t u t e o f T e c h n o l o g y

* * * D i v i s i o n o f P r o d u c t i o n S y s t e m E n g i n e e r i n g ,

M u r o r a n I n s t i t u t e o f T e c h n o l o g y

✝ E b a r a R e f r i g e r a t i o n E q u i p m e n t & S y s t e m

C O . , L T D .

✝ ✝ E b a r a C o r p o r a t i o n

*材 料 環 境 2 0 1 6 く , 2 0 1 6 年 発 表

* *,* * *, 〒 0 5 0 - 8 5 8 5 室 蘭 市 水 元 町 2 7 - 1 2 7 - 1

M i z u m o t o - c h o , M u r o r a n , 0 5 0 - 8 5 8 5 J a p a n

(3)

4 - 2 - 1 , H o n f u j i s a w a , F u j i s a w a , 2 5 1 - 8 5 0 2 J a p a n

1 . 言

純 銅 管 一 種 あ ン 脱 酸 銅 管 , 熱 伝

性 , 加 性 , 耐 食 性 優 , 冷 凍 空

調 機 器 熱 交 換 器 用 材 料 使 用 さ い .

耐 食 性 優 純 銅 管 あ , ア ン ア

雰 囲 気 中 い , 黄 銅 管 同 様 応 力 腐 食 割

S t r e s s C o r r o s i o n C r a c k i n g, 以 S C C 生

知 い 1 ). , 純 銅 管

S C C 感 性 黄 銅 管 比 低 い い あ ,

S C C 発 生 材 料 環 境 要 因 , び 発 生

い 詳 細 調 , 未

明 点 多 い .T h o m p s o n 2 ) ン 含 有 量

0 0 . 9 2 % 変 化 さ 銅 - ン 合 金 用

い , 湿 ア ン ア 雰 囲 気 中 一 定 応 力

負 荷 S C C 試 験 行 い , ン 含 有 量 試 料

破 断 時 間 関 係 調 い . 佐

藤 3 ) ン 0 . 0 0 3~ 0 . 1 4 5 %含 銅 合 金 作 製 , ア ン ア 雰 囲 気 中 S C C 試 験 行 い ,

ン 含 有 量 , 結 晶 粒 径 , ア ン ア 濃 度 , 湿 度

S C C 及 影 響 い 調 い .

述 T h o m p s o n や 佐 藤 S C C 再 現 用 い

試 験 片 , 延 製 作 さ 板 状

あ , S C C 試 験 装 置 バ ネ 用 い

試 験 片 負 荷 え 使 用 さ

い . 実 機 生 S C C 解 明

, 実 機 用 い 市 販 銅 管 試 験 片

用 い S C C 再 現 重 要 考

え ,市 販 銅 管 用 い S C C 試 験 行

研 究 著 者 知 限 見 当 い . ,

(4)

い 式 荷 重 試 験 機 や 引 張 試 験 機 う 大

型 試 験 機 用 い 必 要 あ , 試

験 装 置 い S C C 試 験 自 体 行 う 困

難 い う 問 題 あ .

著 者 , 既 報 4 ) い , 市 販

ン 脱 酸 銅 管 J I S H 3 3 0 0 C 1 2 2 0, C 1 2 0 1 無 酸 素 銅 管 J I S H 3 3 0 0 C 1 0 2 0 用 い 簡 易 的

S C C 試 験 可 能 あ C - ン 試 験 実 施 ,

有 効 性 い 検 証 . C - ン 試 験

A S T M5 )

び J I S6 ) S C C 試 験 方 法 一 種

標 準 化 さ , C - ン 形 状 加

試 験 片 一 定 量 変 形

え 腐 食 環 境 暴 露 方 法 あ . C - ン

試 験 銅 管 S C C 再 現 試 報 告

さ い い ,既 報 4 ) ,

市 販 銅 管 加 C - ン 試 験 片 用 い

純 銅 管 S C C 再 現 検 証 .

結 果 , ア ン ア 気 相 中 暴 露 試 料 粒

界 腐 食 発 生 , さ 一 部 試 料 試 験 後

手 負 荷 加 え , 裂 発 生

確 認 . 既 報 4 ) , ア ン ア 雰 囲 気 中

C - ン 試 験 , ア ン ア 濃 度 , 試 料

ン 含 有 量 び 質 変 え 行 , 付 加

応 力 弾 性 域 種 類 行 い

い . 本 研 究 , 付 加 応 力 既 報 4 )

高 い 値 低 い 値 設 定 C - ン 試 験

行 い ,付 加 応 力 銅 S C C 及 影 響 い

調 .

2 . 実 験 方 法

(5)

高 ン 脱 酸 銅 管 J I S H 3 3 0 0 C 1 2 2 0 ( C u : 9 9 . 9 7 %,

P : 0 . 0 2 3 %, 以 , 高 ン 材 ) び 低 ン 脱 酸 銅

管 J I S H 3 3 0 0 C 1 2 0 1 ( C u : 9 9 . 9 7 %, P : 0 . 0 0 7 %, 以 ,低 ン 材 ) 用 い .呼 び 径 1 5 A 基 準 外 径

1 5 . 8 8 m m, 肉 厚 0 . 8 m m 市 販 銅 管 , F i g . 1

示 う 長 さ 2 0 m m 断 後 , 中 心 角 6 0ま 弧 部 断 , 直 径 5 m m 穴 開 .

穴 M 5 テ ン 製 通

, 締 付 試

験 片 応 力 付 加 . 今 回 試 験 ,

締 付 量 0 . 7 m m 場 合 以 , 高 応 力 条 件 締 付 量 0 . 1 m m

場 合 以 , 低 応 力 条 件 条 件 試 験 行

. 既 報 4 ) 締 付 量 付 加 応 力

関 係 調 , 締 付 量 0 . 7 m m 今 回 用 い 銅 管 耐 力 2 4 0 M P a 以 , 0 . 1 m m

約 7 0 M P a 負 荷 さ .締 付

量 , 締 前 銅 管 直 径

締 付 後 直 径 引

く 求 . 銅 管 直 径 測 定 イ

タ 株 式 会 社 ヨ 製 , M D C - M X 2 5

用 い .

F i g . 2 C - ン 試 験 片 用 い ア ン ア

雰 囲 気 中 S C C 再 現 試 験 概 略 示 . 試 験 水

イ ン 交 換 水 特 級 ア ン ア 水

2 8 % N H3, 和 光 純 薬 株 式 会 社 製 所 定 量 溶

解 作 製 . 試 験 水 ア ン ア 濃

度 1, 3,9 w t % 3 水 準 .試 験 水 1 5 m L

注 い 試 験 管 び 締 付

応 力 付 加 C - ン 試 験 片 2 個 , 容 量

5 0 0 m L プ ピ ン 製 容 器 部 静 置 後 ,

容 器 ふ 締 ,室 温 2 3℃ 放 置 .

F i g . 1

(6)

定 期 的 表 面 場 観 察 行 い , 3 間 後 試

料 引 . 引 試 料 , イ ン 交

換 水 洗 浄 , 自 然 乾 燥 後 ,

外 . 高 応 力 条 件 試 料 い ,

試 料 引 乾 燥 後 , 外

前 後 試 料 直 径 イ タ 測 定 .

, 外 前 後 試 料

直 径 用 い , C - ン 試 料 直 径 回 復 率

d i a m e t e r r e c o v e r y r a t e, 以 D R 以

う 定 義 .

DR =���−���

∆ ( 1 )

式 ( 1 )中 , O Dr 試 験 後 , 外

後 C - ン 直 径 , O Df 試 験 後 ,

外 前 C - ン 直 径 , Δ 締 付

量 あ , 今 回 高 応 力 条 件 Δ = 0 . 7 m m

あ . 高 応 力 条 件 C - ン 直 径 0 . 7 m m

縮 い , 仮 試 験 後 C - ン 試 験 片

弾 性 完 全 有 い , 試 験 後

外 際 ,縮 0 . 7 m m 完 全

回 復 , 締 付 前 直 径 戻 あ

. わ , 式 ( 1 ) D R 1 0 0 % . 逆

締 付 前 直 径 戻 い あ ,

式 ( 1 )中 D R < 1 0 0 % , 塑 性 変 形 試 料

生 断 . , D R 試 料

程 度 塑 性 変 形 生 指 標 用

い .

直 径 測 定 後 試 料 , 光 学 顕 微 鏡 表 面 観 察

行 い ,腐 食 生 成 物 発 生 状 況 調 . 後 ,

試 料 希 硫 酸 中 超 音 波 洗 浄 , 腐 食 生 成 物

除 去 後 ,再 び 光 学 顕 微 鏡 表 面 観 察 行 い ,

(7)

樹 脂 埋 込 , 試 料 断 面 研 磨 後 光 学 顕 微 鏡

断 面 観 察 行 .

3 . 実 験 結 果 び 考 察

F i g . 3 高 応 力 条 件 C - ン 試 験 片 直 径 回

復 率 示 . , F i g . 3 中 B L A N K 高 ン

材 試 料 ア ン ア 含 い 大 気 中 間

放 置 際 直 径 回 復 率 あ .B L A N K 試 料

,7 0 % 直 径 回 復 い .

, B L A N K 試 料 い 直 径 1 0 0 % 回 復 い , 今 回 締 付 量 0 . 7 m m

大 く , 使 用 銅 管 耐 力 越 え , 管

一 部 塑 性 変 形 い あ . F i g . 3

, ア ン ア 雰 囲 気 暴 露 C - ン 試

験 片 直 径 回 復 率 い B L A N K 試 料

さ い . 低 ン 材 あ C 1 2 0 1

直 径 回 復 率 , ア ン ア 濃 度 1,3,9 %

, 5 9, 2 4, 3 3 % . 一 方 , 高

ン 材 あ C 1 2 2 0 直 径 回 復 率 , ア ン

ア 濃 度 1,3, 9 % , 2 7, 0 . 5, 7 %

, 低 ン 材 比 い ア ン

ア 濃 度 い さ く . ,

高 ン 材 方 低 ン 材 , 多 く 塑 性

変 形 い 思 わ .

F i g . 4 3,9 %ア ン ア 水 暴 露 行 高

ン 材 高 応 力 条 件 試 験 後 試 料 表 面 示 .

F i g . 4 段 容 器 出 乾 燥 後 未 洗

浄 試 料 , 段 段 示 試 料 希 硫 酸 中 超

音 波 洗 浄 腐 食 生 成 物 除 去 表 面 拡 大

観 察 結 果 あ . 未 洗 浄 試 料 , 3, 9 %ア ン

ア い 場 合 , 表 面 黒 色 変 色

(8)

青 発 生 い .特 3 %ア ン ア

場 合 青 発 生 顕 著 あ , 試 験 片 全 体

青 覆 い .9 %ア ン ア 方 , 洗 浄

前 表 面 裂 管 長 手 方 向 沿 発 生

い 様 子 観 察 さ , 青 発 生 裂

周 辺 多 く 存 い . 腐 食 生 成 物 除 去

, ア ン ア 濃 度 3, 9 %い 場 合

,F i g . 4 段 示 う , 裂 管 長 手 方 向

発 生 い 確 認 さ .特 9 %ア ン

ア 明 瞭 割 観 察 さ . 既 報 4 )

, 高 ン 1 / 2 H 材 ア ン ア 濃 度 3 %

, 試 験 後 手 負 荷 加 え 裂 発

生 . 今 回 試 験 後 手 負 荷 加 え く

裂 発 生 , C - ン 試 験 片 締

付 量 適 設 定 , 純 銅 管 S C C

発 生 .

F i g . 5 1 %ア ン ア 水 用 い 間 暴 露

行 試 料 断 面 観 察 結 果 示 . 高 応 力 ,

低 応 力 い 条 件 い , 高 ン 材 , 低

ン 材 , 軽 微 あ 試 料 表 面 全 体

粒 界 腐 食 発 生 確 認 さ . , い

試 料 い 粒 界 腐 食 肉 厚 方 向 展

確 認 さ .

F i g . 6 3 %ア ン ア 水 断 面 観 察 結 果

示 . い 応 力 条 件 試 料 い , 表

面 付 近 明 瞭 粒 界 腐 食 発 生 い .

高 応 力 , 高 ン 材 場 合 , 管 表 面 肉

厚 方 向 展 割 発 生 ,

S C C 発 生 断 さ . 高 応 力 , 低

ン 材 場 合 一 部 割 発 生 い ,

高 ン 材 比 明 瞭 あ . 低 応 力 条

件 , 肉 厚 方 向 割 展 見 ,

(9)

表 面 付 近 激 く 粒 界 腐 食 い 様 子 確 認

さ . 特 高 ン 材 粒 界 腐 食 , 表

面 近 傍 結 晶 粒 一 部 脱 落 い 様 子 確

認 さ .

F i g . 7 9 %ア ン ア 水 断 面 観 察 結 果

示 .3 %ア ン ア 水 同 様 , い

応 力 条 件 試 料 い , 粒 界 腐 食 表 面

発 生 い . う , 高 応 力 , 高 ン 材

, 粒 界 沿 割 肉 厚 方 向 深 く 展

い 様 子 確 認 さ .

F i g . 5~ 7 示 断 面 観 察 結 果 , 明 瞭

S C C 発 生 試 料 , 3 % び 9 %ア ン

ア 水 用 い 高 応 力 条 件 高 ン 材 あ .

ア ン ア 濃 度 1 % ,い 試 料 い

S C C 発 生 い い ,S C C 発 生

ア ン ア 濃 度 い 値 存

. ,応 力 条 件 ,高 応 力 S C C

発 生 , 低 応 力 粒 界 腐 食 観 察 さ

. 耐 力 越 え 応 力 付 加 C - ン

試 料 S C C 再 現 明 .

, 同 高 応 力 付 加 場 合 低 ン

材 割 発 生 , 高 ン 材 割

発 生 , ン 含 有 量 多 い S C C

感 性 高 く 推 察 さ .

次 F i g . 3 示 直 径 回 復 率 S C C 発 生 関 係 述 .F i g . 3 ,低 ン 材 C 1 2 0 1

比 高 ン 材 C 1 2 2 0 直 径 回 復 率 低

く , 特 3, 9 %ア ン ア 高 ン 材 直 径 回

復 率 0 . 5, 7 % 特 低 い . 直 径 回 復 率 低 い 試 料 , F i g . 6,7

段 示 う 明 瞭 粒 界 割 S C C 発 生 試 料 あ . S C C 発 生 , 材 料

(10)

弾 性 失 わ , 試 験 後

外 , 外 部 え 変 形

回 復 い . , 今 回 S C C 発 生 試

料 直 径 回 復 率 特 さ く 思 わ

. 以 考 察 , C - ン 試 験

直 径 回 復 率 , S C C 発 生 指 標 一 得

示 唆 さ .

4 . 結 言

既 報 4 ) 引 続 , C - ン 試 験 片 用 い

純 銅 管 S C C 再 現 試 験 行 . 既 報 4 ) 弾

性 域 応 力 付 加 , 今 回 C - ン 試

験 片 締 付 量 変 え , 既 報 4 ) 応 力

高 い 応 力 低 い 応 力 条 件 試 験

実 施 .

結 果 , 耐 力 越 え 応 力 付 加 高 応

力 条 件 い , 3, 9 %ア ン ア 水 試 験

水 用 い 場 合 , S C C 思 わ

肉 厚 方 向 展 割 再 現

. , S C C 高 ン 材 発 生 , 低 ン 材 S C C 発 生 粒 界 腐 食

発 生 .S C C 発 生 C - ン 試 験 片 試 験 後 直 径 回 復 率 , S C C 発 生 い い 試 験

片 直 径 回 復 率 比 さ く

参 考 文 献

1) K . N a g a t a a n d K . K a w a n o , J o u r n a l o f t h e

J C B R A, 3 3 , 7 ( 1 9 9 4 ) .

2) D . H . T h o m p s o n a n d A . W . T r a c y , J o u r n a l o f

M e t a l s / M e t a l l u r g i c a l S o c i e t y o f A I M E, 1 ,

(11)

3) S . S a t o a n d K . N a g a t a , J o u r n a l o f t h e J C B R A,

1 7 , 2 0 2 ( 1 9 7 8 ) .

4) M . S a k a i , M . K i y a , T . I r i e a n d H . Y a k u w a ,

Za i r y o - t o - K a n k y o, 6 5 , 1 3 8 ( 2 0 1 6 ) .

5) A S T M G 3 8 , “ S t a n d a r d P r a c t i c e f o r M a k i n g a n d

U s i n g C - R i n g S t r e s s - C o r r o s i o n T e s t

Sp e c i m e n s ” , ( 1 9 9 5 ) .

6) J I S H 8 7 1 1 , “ T e s t m e t h o d s f o r s t r e s s c o r r o s i o n

(12)

F i g . 1 S c h e m a t i c d i a g r a m o f C - r i n g s p e c i m e n

s a m p l e d f r o m c o m m e r c i a l c o p p e r t u b e ( u n i t ; m m ) .

F i g . 2 S c h e m a t i c d i a g r a m o f e x p o s u r e t e s t f o r C -

r i n g s p e c i m e n s t o r e p r o d u c e s t r e s s c o r r o s i o n

c r a c k i n g i n a m m o n i a c a l e n v i r o n m e n t .

F i g . 3 D i a m e t e r r e c o v e r y r a t e o f C - r i n g s p e c i m e n s

e x p o s e d t o g a s - p h a s e a m m o n i a d e r i v e d f r o m 1 , 3 ,

9 % N H3 s o l u t i o n f o r 3 w e e k s .

F i g . 4 S p e c i m e n s u r f a c e o f h i g h l y s t r e s s e d C 1 2 2 0

c o p p e r t u b e s e x p o s e d t o g a s - p h a s e a m m o n i a d e r i v e d

f r o m 3 a n d 9 % N H3 s o l u t i o n ; ( t o p ) b e f o r e u l t r a s o n i c

c l e a n i n g , ( b o t t o m ) a f t e r u l t r a s o n i c c l e a n i n g i n

d i l u t e s u l f u r i c a c i d s o l u t i o n t o r e m o v e c o r r o s i o n

p r o d u c t s .

F i g . 5 C r o s s - s e c t i o n a l o p t i c a l m i c r o g r a p h s o f

s p e c i m e n s e x p o s e d t o g a s - p h a s e a m m o n i a

d e r i v e d f r o m 1 % N H3 s o l u t i o n f o r 3 w e e k s .

F i g . 6 C r o s s - s e c t i o n a l o p t i c a l m i c r o g r a p h s o f

s p e c i m e n s e x p o s e d t o g a s - p h a s e a m m o n i a

d e r i v e d f r o m 3 % N H3 s o l u t i o n f o r 3 w e e k s .

F i g . 7 C r o s s - s e c t i o n a l o p t i c a l m i c r o g r a p h s o f

s p e c i m e n s e x p o s e d t o g a s - p h a s e a m m o n i a

(13)

A b s t r a c t

A 3 - w e e k e x p o s u r e t e s t o f t h e C - r i n g s p e c i m e n

s a m p l e d f r o m a c o m m e r c i a l p h o s p h o r o u s

d e o x i d i z e d c o p p e r t u b e i n a m m o n i a c a l

e n v i r o n m e n t w e r e c a r r i e d o u t t o i n v e s t i g a t e s t r e s s

c o r r o s i o n c r a c k i n g o f a p u r e c o p p e r t u b e . C - r i n g

s p e c i m e n s w e r e a p p l i e d h i g h a n d l o w s t r e s s e s ; a

h i g h s t r e s s w a s o v e r a p r o o f s t r e s s , w h e r e a s a l o w

s t r e s s w a s w i t h i n a n e l a s t i c r e g i o n . S t r e s s

c o r r o s i o n c r a c k i n g o c c u r r e d i n t h e h i g h l y s t r e s s e d

C - r i n g s p e c i m e n a f t e r t h e 3 - w e e k e x p o s u r e t e s t i n

g a s - p h a s e a m m o n i a d e r i v e d f r o m 3 a n d 9 w t %

a m m o n i a w a t e r . O n t h e o t h e r h a n d , i n t e r g r a n u l a r

c o r r o s i o n w a s o b s e r v e d i n t h e C - r i n g s p e c i m e n s

u n d e r l o w s t r e s s . A d i a m e t e r r e c o v e r y r a t e o f

C - r i n g s p e c i m e n f o r w h i c h s t r e s s c o r r o s i o n

c r a c k i n g d e v e l o p e d w a s s m a l l e r t h a n t h a t o f

C - r i n g s p e c i m e n w i t h o u t s t r e s s c o r r o s i o n

c r a c k i n g .

K e y w o r d s : s t r e s s c o r r o s i o n c r a c k i n g , p u r e c o p p e r

t u b e , p h o s p h o r o u s d e o x i d i z e d c o p p e r t u b e ,

a m m o n i a , C - r i n g s p e c i m e n , e x p o s u r e t e s t ,

(14)

要 旨

純 銅 管 応 力 腐 食 割 調 , 市 販

ン 脱 酸 銅 管 製 作 C - ン 試 験 片

用 い ア ン ア 雰 囲 気 中 3 間 暴 露 試 験

行 . C - ン 試 験 片 , 耐 力 越 え

高 応 力 弾 性 域 低 応 力 付 加 . 3, 9 %

ア ン ア 水 生 気 相 ア ン ア 中 試

料 3 間 暴 露 , 高 応 力 付 加 さ 試

料 応 力 腐 食 割 発 生 . 一 方 , 低 応 力 付

加 試 料 粒 界 腐 食 発 生 . S C C

発 生 試 料 C - ン 試 験 片 直 径 回 復 率

, S C C 発 生 試 料 直 径 回 復 率

比 さ く .

キ ワ 応 力 腐 食 割 , 純 銅 管 , ン 脱 酸

銅 管 ,ア ン ア ,C - ン 試 験 片 ,暴 露 試 験 ,

(15)
(16)

Fig.2 Schematic diagram of exposure test for C- ring specimens to reproduce stress corrosion cracking in ammoniacal environment.

500mL PP bottle

test tube

C-ring

specimens

test solution

(17)

0

10

20

30

40

50

60

70

80

BLANK(air)

1%NH3

3%NH3

9%NH3

D

iam

et

er Reco

v

ery

(%

)

C1201

C1220

(18)

Fig.4 Specimen surface of highly stressed C1220 copper tubes exposed to gas-phase

ammonia derived from 3 and 9% NH3solution; (top) before ultrasonic cleaning, (bottom) after ultrasonic cleaning in dilute sulfuric acid solution to remove corrosion products.

5mm

4

00μm

3% NH

3

9% NH

3

Be

fore

cl

ea

ni

ng

After

cl

ea

ning

(19)

Fig.5 Cross-sectional optical micrographs of specimens exposed to gas-phase ammonia derived from 1% NH3solution for 3 weeks.

50μm

HP 0.023%P

LP 0.007%P

high

stress

low

(20)

Fig.6 Cross-sectional optical micrographs of specimens exposed to gas-phase ammonia derived from 3% NH3solution for 3 weeks.

100μm

50μm

HP 0.023%P

LP 0.007%P

high

stress

low

(21)

Fig.7 Cross-sectional optical micrographs of specimens exposed to gas-phase ammonia derived from 9% NH3solution for 3 weeks.

100μm

50μm

HP 0.023%P

LP 0.007%P

high

stress

low

表 面 付 近 激 く 粒 界 腐 食 い 様 子 確 認 さ . 特 高 ン 材 粒 界 腐 食 , 表 面 近 傍 結 晶 粒 一 部 脱 落 い 様 子 確 認 さ . F i g

参照

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(文献資料との対比として,“非文献資 料”)は,膨大かつ多種多様である.これ

会員 工博 金沢大学教授 工学部土木建 設工学科 会員Ph .D金 沢大学教授 工学部土木建 設工学科 会員 工修 三井造船株式会社 会員

会 員 工修 福井 高専助教授 環境都市工学 科 会員 工博 金沢大学教授 工学部土木建設工学科 会員Ph .D.金 沢大学教授 工学部土木建設 工学科 会員

Fig.12 Variation of temperature and stress intensity factor with time in cleaving of Si wafer with pulsed laser P=567W, 2=3.0ms, L=lmm.. Fig.13 Relation between pulse duration

東京工業大学

東京工業大学

情報理工学研究科 情報・通信工学専攻. 2012/7/12

学識経験者 小玉 祐一郎 神戸芸術工科大学 教授 学識経験者 小玉 祐 郎   神戸芸術工科大学  教授. 東京都