▒ 検出器
70
SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置▒ 試料台
ゴニオメータには、試料面を上下させるためのZ軸が取り付けられています。この機構により各種試料台またはア タッチメントを使用した際の、試料面の調整を行うことができます。
試料上下調整部
各種試料台は、この試料上下調整部に取り付けることができます。下の図のようにレールの部分を合わせて上から 下にスライドして取り付けます。水平状態になったことを確認後、レールの左側にある芋ねじを専用工具で絞めて 固定してください。
ダイレクトビームストッパ（オプション：5741A300に付属）およびナイフエッジ（オプション：2431G101）
を取り付けることができます。D/teX Ultraによる高速測定でのバックグラウンドの低減の効果があります。
ダイレクトビームストッパ
▒ 試料台
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SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置標準試料台
各種アタッチメントを組み合わせて使用することができます。
標準試料台
β試料台（オプション：2430B101）
各種アタッチメントを組み合わせて使用することができます。
試料面内の回転軸（β軸）により、選択配向低減のため、回転させながら測定を行うことができます。
β試料台
オートサンプルチェンジャ：ASC-6（オプション：2430H101）
オートサンプルチェンジャ：ASC-6（オプション：2430H101）
ターンテーブルに取り付けた6個のサンプルを切り替えながら連続測定ができます。
面内回転軸（β軸）により、選択配向低減のため、回転させながら測定を行うことができます。
オートサンプルチェンジャ 垂直透過測定（オプション：2455H104）
CBO-Eを使った、集光光学系と組み合わせることで、垂直透過測定を行うことができます。この際には、フィ
ルム透過試料板（2455E463）が必要になります。
左下にあるレバーを緩めることでテーブルが回転できるようになります。反時計回りに 180°回転することで 垂直透過測定ができる状態になります。
垂直透過配置への変更
ナイフエッジ
ナイフエッジ
ダイレクトビームストッパ 散乱防止スリット
ナイフエッジ
▒ 試料台
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SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置AntonPaar 製の試料台の使用
HTK1200N、HTK16、HTK2000、XRK900、TTK450、CHC のAntonPaar社製の温度調整機構付き試料台
を使った測定ができます。それぞれの試料台の取扱いや配管については、それぞれの取扱説明書を参照してくだ さい。
AntonPaar用取付アダプタ
各種AntonPaar社製試料台の取り付け例
HTK16 CHC
▒ アタッチメント
各種の調整軸を持つアタッチメントを、測定の目的に合わせて交換し、使用することができます。
アタッチメントの取付け方法を以下に説明します。
1
［制御］メニューの［マニュアル制御］をクリックし、χ軸を0°、φ軸を0°に移動します。2
フックを外します。3
左右の止め金具を開いて、アタッチメントを取り外します。4
左右の止め金具が開いているのを確認します。5
手前のピンにアタッチメントの溝を合わせて、アタッチメントを取り付けます。6
止め金具を閉じて、フックをかけます。ピン
フック 止め金具
▒ アタッチメント
76
SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置表16 アタッチメントの種類
名 称 説 明 図
標準アタッチメント 移動軸のないアタッチメントです。
反射率や粉末･バルク状の試料の測定 に使用されます。
RxRyアタッチメント
（オプション：2680A213）
直行する2軸のあおり方向を調整する Rx軸、Ry軸を持つアタッチメントで す。
逆格子マップ測定、各種のインプレー ン測定に使用されます。
XY-20アタッチメント
（オプション：2680A211）
直行する2軸の移動方向を調整するX 軸、Y軸を持つアタッチメントです。
微小領域の測定の際の測定位置調整に 使用されます。
ただし、8インチウェーハ試料板は使 用することができません。
XY-4“φアタッチメント
（オプション：2680A212）
直行する2軸の移動方向を調整するX 軸、Y軸を持つアタッチメントです。
4インチウェーハのフルマップ測定に 使用されます。
4インチXYマッピング試料板以外の 試料板は使用することができません。
キャピラリ回転 アタッチメント
（オプション：2430C101）
キャピラリに詰めたサンプルを、回転 させながら測定することができます。
取り付けられているアタッチメントの種類は、SmartLab Guidanceから判別することができます。高さ基準試料板
▒ 試料板
試料に合わせて、試料板を選択します。
高さ基準試料板
ガラス試料ホルダーまたはアルミ試料ホルダーを挿入して使用します。
高さ基準試料板は、アタッチメントに直接載せて使用します。
調整時には、センタースリット、Si粉末調整用試料を挿入して使用します。
高さ基準試料板
透過小角用試料板（オプション：2680J111）
透過小角用試料ホルダーを挿入して使用します。
透過小角用試料板は、アタッチメントに直接載せて使用します。
透過小角用試料板
・ 高さ標準試料板、透過小角用試料板は、原則として標準アタッチメントに載せて使用します。標準アタッチメント以外のアタッチメントに載せて使用する場合は、それぞれのアタッチメン トの軸の位置を原点（0°または0 mm）に設定して使用します。
・ 各試料板の取付け・取外しについては、ウェーハ試料板の取付け・取外しを参照してください。
▒ 試料板
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SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置キャピラリ回転（オプション：2430C101）
キャピラリに詰めた試料による測定に使用します。回転軸（ωc）によって、キャピラリを回転させながら測定 することができます。キャピラリを専用ホルダーに取り付け、ホルダーをキャピラリ回転試料台に取り付けます。
キャピラリホルダーはφ1.0 mm、φ0.7 mm等各種のサイズを用意しています。使用するキャピラリのサイズ に合わせて使用してください。
キャピラリ回転試料台とキャピラリホルダー
ウェーハ試料板と試料厚調整板
ウェーハ状の試料を載せて測定する試料板です。アタッチメントに試料厚調整板を載せ、その上に各試料板を載 せて使用します。測定する試料の大きさによって、4インチ用、6インチ用、8インチ用が用意されています。
ウェーハ試料板と試料厚調整板
注意： 試料板のサイズより大きい試料を載せると、測定中に試料が破損する場合があります。
ウェーハ試料板と試料厚調整板
試料の固定には、基本的にマグネットを使用すると便利です。試料の取付け方法については、ウェーハ状試料を 参照してください。
試料固定用マグネット
試料固定用マグネットは、3 mm程度以下の試料で使用できます。Z軸によって、試料の表面をX線の中心に調整します。Z軸で調整できる試料の厚みは3 mmのため、測定す る試料の厚みによって、試料厚調整板を切り換えて使用します。
表17 試料厚調整板
測定可能な試料厚 略 記 図
0～3 mm
（オプション：2680A406）
0-3 mm
3～6 mm
（オプション：2680A405）
3-6 mm
6～9 mm
（オプション：2680A404）
6-9 mm
9～12 mm
（オプション：2680A403）
9-12 mm 0-3 mm(青い刻印)
12～15 mm
（オプション：2640A402）
0～3 mm(*1)
12-15mm 0-3 mm(青い刻印)
15 mm～18 mm
（オプション：2680A401）
3～6 mm(*1)
15-18mm 3-6 mm(青い刻印)
*1：XY-4“φアタッチメントを使用する場合の試料厚です。青い刻印で確認してください。
▒ 試料板
80
SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置表18 ウェーハ試料板
名 称 図
4インチウェーハ試料板
（オプション：2680A301）
6インチウェーハ試料板
（オプション：2680A302）
8インチウェーハ試料板
（オプション：2680A303）
4インチウェーハ試料板
（18-21 mm用）
（オプション：2680A301）
4インチXYマッピング試料板 XY-4"φアタッチメントに付属 4インチXYマッピング試料板
（6-9 mm用）
（オプション）
表19 アタッチメントと試料厚調整板、試料板の組み合わせ一覧
アタッチメント 試料厚調整板 試料板 測定可能な試料厚 0-3 mm
3-6 mm 6-9 mm 9-12 mm 12-15 mm 15-18 ｍｍ
（黒い刻印）
4インチウェーハ試料板 6インチウェーハ試料板(*1) 8インチウェーハ試料板(*1)
0-3 mm 3-6 mm 6-9 mm 9-12 mm 12-15 mm 15-18 ｍｍ
4インチウェーハ試料板（18-21 mm用） 18-21 mm 4インチウェーハ試料板
6インチウェーハ試料板(*1) 標準アタッチメント
RxRyアタッチメント XY-20 mmアタッチメント
8インチウェーハ試料板(*1)
21-24 mm
0-3mm 3-6 mm
（青い刻印）(*2)
4インチXYマッピング試料板 0-3 mm 3-6 mm
4インチXYマッピング試料板（6-9mm用） 6-9 mm XY-4"φアタッチメント
4インチXYマッピング試料板 9-12 mm
*1：XY-20 mmアタッチメントに載せる場合、X＝0 mm、Y＝0 mmのみでの使用になります。
*2：XY-4"φアタッチメントを使用する場合、測定可能な試料の厚さは、各調整板の青い刻印で確認してください。
ウェーハ試料板と試料厚調整板
試料厚調整板の取付け・取外し
試料厚調整板をアタッチメントに載せる場合は、以下の図のように矢印の部分を合わせて載せ、試料厚調整板を 時計回りに回して固定します。
アタッチメントへの取付け
試料厚調整板をアタッチメントから取り外す場合は、以下の図の矢印で示したバーを押しながら、試料厚調整板 を反時計回りに回転させます。
アタッチメントからの取外し