▒ 各部の名称
SmartLab全体（左：2080A211／2080B211／2080A231／2080B231 右：2080B212／2080A232
／2080B232）
①ロータリーポンプ X線発生部を真空に保つためのポンプです。
（2080A211／2080A231／2080A232）
②制御用PC SmartLabを操作するためのPCです。
本 体
SmartLab前面（左：2080A211／2080B211／2080A231／2080B231 右：2080B212／2080A232
／2080B232）
③
①
⑤
④ ③ ④
⑤
② ① ②
①
②
▒ 各部の名称
8
SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置①メインパネル SmartLabの起動、停止を行うためのパネルです。
②操作パネル 内部照明のON／OFFを行うためのパネルです。
③ドア 試料や光学素子の交換を行う場合に開閉します。
④X線発生装置の警告灯 X線が発生している場合に点灯します。
⑤ドアロックボタン ドアの施錠と解錠を行います。
SmartLab背面
⑥電源の接続 外部からの電源を接続します。
⑦制御用PCとの接続線 SmartLabを制御するためのLANケーブル取り出し口です。
⑧ロータリーポンプとの接続線 ロータリーポンプの電源を接続します。
（2080A211／2080A231／2080A232）
⑨冷却水循環装置との接続線 冷却水循環装置（ショートカットバルブ）の制御用です。
⑩冷却水配管 X線発生装置の冷却水を接続します。
⑪ロータリーポンプ配管 ロータリーポンプからのパイプを接続します。
（2080A211／2080A231／2080A232）
⑫ブレーカ 本体へ電源を供給するためのブレーカです。
⑧⑨
⑩
⑥
⑫
⑦
⑪
ゴニオメータ
ゴニオメータ
ゴニオメータ
①θsアーム X線の入射角度を制御するアームです。
②X線管球 X線の発生装置です。
③入射光学系 X線の入射条件を整える各種光学素子です。
④θdアーム 検出器の角度を制御するアームです。
⑤受光光学系 X線の受光条件を整える各種光学素子です。
⑥検出器 X線を検出するための検出器です。
⑦試料台 測定試料の位置、方位を調整します。
⑧インプレーンアーム インプレーン測定を行う際に使用するθdアームです。
（2080B212）
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
▒ 各部の名称
10
SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置θsアーム
→CBOユニット（Cuターゲット用）
→入射スリットボックス
→入射光学ユニット（標準入射光学ユニット）
θdアーム
→受光スリットボックス1
→受光光学ユニット1
→受光光学ユニット2
▒ 検出器
試料台
→▒ 試料板
→▒ アタッチメント
→▒ 試料台
・Kβフィルター
PSA 0.114 deg、Ge(220)x2など
・受光光学素子アダプタ／アナライザ
・PSA
Soller slit 5.0 deg、In-plane PSA 0.5 degなど
・受光平行スリットアダプタ
・ソーラースリット／インプレーンPSA
・シンチレーションカウンタ、D/teX ultra
／Cu用カウンタモノクロメータユニット
高さ基準試料板、4インチ試料板 など
・試料板
標準、XY-4”φ など
・アタッチメント
標準試料台、β試料台 など
・試料台
・選択スリット PB／BB／SA など
・入射長手制限スリット 10、15(mm) など
Soller slit 5.0 deg、Ge(220)x2 CBO-ｆなど
・入射平行スリットアダプタ
／モノクロメータ
X線管球
X 線管球
回転対陰極式X線管球（2080A211／2080A231／2080A232）
①冷却水の配管 X線発生装置の冷却水のパイプを接続します。
②回転ターゲット X線の発生源です。
③シャッター X線の出射を制御します。
④フィラメント交換窓 フィラメントを交換するための窓です。
⑤イオンゲージ X線発生装置の真空度を測定します。
⑥ターボ分子ポンプ（TMP） X線発生部を真空に保つためのポンプです。
封入管式X線管球（2080B211／2080B212／2080B231／2080B232）
①冷却水の配管 X線発生装置の冷却水のパイプを接続します。
②X線管球 X線の発生源です。
③シャッター X線の出射を制御します。
①
②
③
⑤
①
②
④ ③
⑥
▒ 各部の名称
12
SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置θs アーム
θsアーム
①入射コネクタボックス 各種光学素子の制御線を接続します。
②クロスビームオプティクス（CBO）ユニット
各種の光学系を切り換える光学ユニットです。
③入射光学ユニット ソーラースリット、モノクロメータなどを設置します。
④入射スリットボックス 入射側の可変スリットです。
①
② ③
④
θdアーム
θd アーム
θdアーム
①受光コネクタボックス 各種光学素子の制御線を接続します。
②受光スリットボックス1 受光側の可変スリットです。
③受光光学ユニット1 受光光学素子（アナライザ）を設置します。
④受光光学ユニット2 ソーラースリットなどを設置します。
⑤受光スリットボックス2 受光側の可変スリットです。
⑥アッテネータ X線の強度を調整します。
①
②
③ ④
⑤ ⑥
▒ 各部の名称
14
SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置検出器の取付け部
検出器の取付け部
①カウンタアダプタ 検出器を取り付けます。
②固定台 検出器を固定します。
試料台とアタッチメント
試料台とアタッチメント
①試料台 試料台本体です。
②アタッチメント 試料台に取り付けるアタッチメントです。
③試料板 試料ホルダーまたは試料を載せます。
①
②
② ③
①
制御ソフトウェア
▒ ソフトウェアの構成
制御ソフトウェア
SmartLab Guidance SmartLabの制御および測定を行います。
データ処理ソフトウェア
標準データ処理 平滑化、バックグランド除去などの基本的なデータ処理を行い ます。
PDXL 基本的なデータ処理を行います。
データ表示ソフトウェア（オプション）
薄膜データ処理(9240H162) 反射率やロッキングカーブの簡易的な解析を行います。
多重記録(9240H162) 複数の測定データを重ねて表示します。
3D Explore ST1(9240H403） 逆格子マップ測定、極点測定などの2次元データの表示と簡単 なデータ処理を行います。
解析ソフトウェア（オプション）
PDXL（9240J702、9240J703、
9240J710）
追加機能で、定性分析、定量分析、リートベルト解析などを行 うこともできます。
GlobalFit反射率(9240H155) 反射率解析を行います。
NANO-Solver（9289H901） 粒径空孔径分布解析を行います。
Poreサイズ解析(9240H231) 表面界面散乱を考慮して、薄膜中の粒径空孔径分布解析を行い ます。
GlobalFit ロ ッ キ ン グ カ ー ブ (9240H145)
ロッキングカーブのシミュレーションおよび解析を行います。
QA-Tex(9240H601) 試料の配向度を定量的に解析します。
CSDA(9240H651) 結晶子サイズ分布解析を行います。
管電圧・管電流
特性X線の強度は管電圧と最低励起電圧（その特性X線を得るために必要な最低電圧）の差のn乗に比例し、また、管電 流に比例します。管電圧が小さい場合、nは2に近く、管電圧が大きくなるに従って小さくなります。一方、Kβフィルタ ー法でバックグラウンドとして観測される連続X線の強度は、管電圧の2乗に比例し、管電流に比例します。したがって、
管電圧は、それぞれのターゲットに対して測定に最適な値が決まっています。下記の表は、ターゲット別の最適電圧を示 したものです。Kβフィルター法で測定を行う場合は、P/B比（ピークバックグラウンド比）が最大になるように管電圧を 設定するのもよい方法です。
最適電圧（同一負荷）(kV) ターゲット 最低励起電圧
(kV)
強度最大 P/B比最大 Cu 8.86 40～55 25～35
Co 7.71 35～50 25～35
Fe 7.10 35～45 25～35
Cr 5.98 30～40 20～30
SmartLabを起動する
▒ SmartLab の起動と停止
SmartLabの起動および停止の手順を以下に説明します。
SmartLab を起動する
1
メインパネルのHV ENABLEキーが解除された状態（水平）であることを確認してください。ロックされている（垂直）場合は、キーを右にまわし、ロックを解除してください。
メインパネル
2
ONボタン“｜”を押します。3
ONボタン“｜”が点灯していることを確認します。4
OPERATEランプが緑色で点灯していることを確認します。
OPEARATEランプは、SmartLabの起動中またはエラーが発生したときに点滅します。詳細につい ては、OPERATEランプの動作についてを参照してください。SmartLab Guidance を起動する
1
［スタート］メニューの［すべてのプログラム］－［Rigaku］－［SmartLab Guidance］－［SmartLab Guidance］をクリックし、SmartLab Guidanceを起動します。2
ログイン画面が表示されます。［ログイン名］と［パスワード］に登録されているユーザー名とパスワー ドを入力して［OK］をクリックします（初回起動時は［ログイン名］に“administrator”を入力して、パスワードは入力せずに［OK］をクリックします）。
3
起動後、制御軸の初期化を行います。
初期化の詳細については、「SmartLab Guidance レファレンスマニュアル（MJ13365A）」の第 14章を参照してください。解除されている ことを確認
▒ SmartLabの起動と停止
18
SmartLab 全自動多目的水平型X線回折装置X 線を ON にする（スタートアップ）
［タスク］メニューの［パッケージ測定］をクリックし、表示された［パッケージ測定］フローバーの［スター トアップ］をクリックします。
スタートアップ
スタートアップの手順については、SmartLab Guidanceオンラインヘルプの「メンテナンスパッ ケージ測定」の2.1節を参照してください。注意： 冷却水循環装置を使用していない場合は、冷却水が流れていることを確認してください。
冷却水が流れていない場合や、水量、水圧が適切でない場合は、スタートアップ実行後、
3分間アラーム音が鳴ります。3分以内にアラーム音が消えるように水量を調節し、再度、
スタートアップを実行してください。水量の調節については、冷却水循環装置の取扱説明 書を参照してください。
X線をOFFにする（シャットダウン）
X 線を OFF にする（シャットダウン）
［タスク］メニューの［パッケージ測定］をクリックし、表示された［パッケージ測定］フローバーの［シャッ トダウン］をクリックします。
シャットダウン
シャットダウンの手順については、SmartLab Guidanceオンラインヘルプの「メンテナンスパッ ケージ測定」の2.6節を参照してください。
SmartLabを使用しない時は、通常、排気制御を停止せずに、X線のみOFFにしておきます。こ の場合、コントローラには通電されているので、SmartLab Guidanceからの起動（エージングな ど）が可能な状態になっています。SmartLabを長期間（年末年始など）使用しない場合は、メイ ンパネルのOFFボタン“○”を押し、SmartLabの電源をOFFにしておいてください。(2080A211)注意： 冷却水循環装置を使用していない場合は、シャットダウン後、SmartLabの上部にある警 告灯の黄色いランプが消えた後、3分以上経過してから、冷却水を止めてください（3分 以内に冷却水を止めると、SmartLabにダメージを与える場合があります）。