せを容 易に選 定す る ことが 可能で ある こ とを示 した ．また ，表面の 起伏欠 陥を 検出す る手法 はい く つか提 案され てい る が，欠 陥の 形状に 適 した方 式の選 定に 関する 指針は 明確 で なかっ た．本手法 を 用いる ことに より ，欠陥の 見え方 を簡 便に評 価する こと が 可能に なり， 検出 手 法の選 定が容 易と な ること を述 べ た ．
５．低 コン トラス ト 欠陥の もう一 つの 形 態であ る反射 防止 膜 に生じ る色む ら欠 陥を対 象に ，欠陥 発 生のメ カニズ ムお よ び欠陥 検査方 法を 検 討した ．色 むら欠 陥が反 射防止 膜の 膜 厚変動 によっ て生 じ ること を明ら かに し ，どの 程度 の膜厚 変動量 が欠陥 とし て 知覚さ れるか を示 し た．反 射防 止膜の 代 表的な 膜厚を 示す
「等価 膜厚 」とい う 指標を 定義し ，膜 表 面を撮 影した カラ ー 画像を 基に等 価膜 厚を計 測する こと に より反 射防止 膜の 品 質を評 価する 手法 を 提案し た．
６．色 むら 欠陥を 定 量的に 判定す るた め ，人間 の色 判別特 性 と欠陥 によっ て生 じる色 差とを 比較 し た．反 射防 止膜の 設 計膜厚 および 観測 条 件の違 いによ り同 一 の 膜 厚 変 動 で あ っ て も 色 む ら の 見 え 方 が 様 々 に 変 化 す る こ と を シ ミ ュ レ ー ション および 実験 よ り明ら かにし た．こ れらの 結果か ら，色 むらを 目立ち にく くする 膜厚設 定方 法 を提案 した ．また ，人間の 色判別 特性 に 基づい た欠陥 判定 法を提 案した ．こ れ らによ り従来 ，感 覚 に頼ら ざるを 得な か った色 むら検 査の 定量化 が可能 とな っ た．
７．む ら欠 陥の官 能 検査の 自動化 手法 に ついて 述べた ．個 々 のむら の強度 を定 量評 価す るだ けで は なく ，被 検査 領域 全 体に わた って むら の 特徴 量を 計測 し ， その度 数分布 に基 づ いて良 否判定 を行 う 特徴頻 度法を 提案 し た．本 手法 による と，従 来検 査員の 主 観に頼 らざる を得 な かった むら欠 陥の 合 否判定 を自動 化で きるこ とを示 した ．本手法 を，反射防 止 膜の色 むら欠 陥と 格 子構造 フィル ムの 濃淡む ら欠陥 とい う 発生原 理の異 なる む ら欠陥 に適用 し，そ れぞれ 目視検 査と 良く一 致する 判定 結 果を得 た．
以上 ，各 章の結 論 をまと めた ．本研 究 で対象 とした 低コ ン トラス ト欠陥 は検 査の自 動化あ るい は 省力化 が非常 に困 難 な欠陥 であり ，本 研 究の成 果によ りこ れらの 自動検 出お よ び定量 評価に 目処 を 得るこ とがで きた ．
本論 文の冒 頭に お いて ，本研 究の 目的 は「 ディス プレ イの 品質向 上」であ る ことを 述べた ．一般 に，製品の 外観 検査 そのも のは付 加価 値 を生じ ない ．外 観 検 査 技 術 の 真 の 目 的 は 検 査 結 果 に 基 づ い て 生 産 技 術 を 高 度 化 し 製 品 の 品 質 を 向上す ること にあ る ．本研 究で は欠陥 情 報を次 のよう に活 用 し，製 造の 改善を 実現し た．
(1)
欠陥 の分析 と製 造条件 の改善本研 究によ って ，微小起 伏欠陥 の高 さ ，およ び色 むら欠 陥 の原因 となる 膜厚 変動の おおよ その 大 きさを 推定で きる よ うにな った ．これ ら の欠陥 情報と 製造 条件と を合わ せて 解 析する ことに より ，欠陥を 低減す るた め の製造 条件を 確立 するこ とが可 能と な った．
(2)
製造 ライン の改 善欠 陥 発 生 状 況 を 製 造 ラ イ ン に リ ア ル タ イ ム に フ ィ ー ド バ ッ ク す る こ と に よ り，ラ イン の異常 に 対し迅 速に対 応す る ことが 可能と なっ た ．これ によ り製造 条件の 一時的 な変 動 による 製品収 率低 下 を最小 限に抑 える こ とがで きる．
8.2 今後の展望
パタ ーン照 明を 利 用した 微小起 伏欠 陥 の検出 手法は ，光 学 機能シ ートだ けで なく自 動車や 各種 製 品のボ ディ等 の検 査 に適用 されて いる 技 術であ る．しかし ， 欠 陥 に 適 し た 光 学 系 あ る い は 画 像 処 理 ア ル ゴ リ ズ ム の 選 定 に つ い て の 指 針 が なく，また 光学系 が 大掛か りにな るこ と が多い ため ，柔軟 性 のある システ ムを 構築す ること が困 難 であっ た．このこ と は検査 対象が 時々 刻 々変化 する外 観検 査の現 場では 大き な 弊害で あり ，その た め本技 術が適 用で き る製造 現場は 限ら れたも のであ った ．本研究 の成果 によ り ，ニー ズの 変化へ の 対応が 容易な 検査 システ ムの構 築が 可 能にな り，従来コ ス ト面か ら困難 であ っ たライ ンへも 自動 技術の 適用拡 大が 期 待でき る．
むら 欠陥の 検査 に ついて は，従来検 査 員の判 断に頼 らざ る を得な かった 合否 判定の 自動化 技術 を 確立し たこと によ り ，実際 の製 造にお い て大き な効果 が期 待でき る．しかし ，本手法 はあく まで も 目視官 能検査 とよ く 一致す る合否 判定 法の提 案であ って ，感性評 価を行 う手 法 ではな い．一方 ，官 能検査 の自動 化に 関する 研究分 野で は ，感性 情報
(
美しい，見苦し い，派手で あ る，地 味で ある，安定感 がある ，不 安 定など といっ た感 覚 的な情 報
)
の定量 評 価が重 要な課 題と なって おり，近 年，盛んに 研究が 行わ れ ている．これら をみ ると，現 状はま だ 個々の 検査ニ ーズ に 対する 個別検 討の 段 階であ ると考 えて い る．今 後こ の分野 におい ては ，これ ら 個々の 研究成 果を 融 合し，汎用 的な感 性 情報の 定量化 技術 が整備 される 段階 へ と移行 してい くも の と考え られる ．本 研 究は合 否判定 のみを目的 とした が，今 後は外 観検査 にお い ても感 性情報 を取 り 入れた 品質評 価が 必要と なる可 能性 が 高い．本研 究の成 果 を発展 させ ，今後 そ のよう な研究 の一 端を担 うこと がで き れば幸 甚であ る．