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... 明 の 実 施 の 形 態 に よ る 、 ガ ス 吹 き 流 し 型 誘 導 結 合 型 マ イ ク ロ プ ラ ズ マ 源 で の 浮 遊 電 極 を シ ー ル ド す る 効 果 を 検 証 し た 比 較 結 果 で あ る 。 放 電 ガ ス で あ る ヘ リ ウ ム 流 量 は ０ ． ５ Ｌ ／ 分 、 ガ ス 流 路 お よ び 鋭 角 三 角 形 （ 先 端 角 度 １ ０ ...
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... の プ ラ ズ マ 領 域 が 形 成 さ れ る 典 型 的 な 様 子 で あ る 。 （ ａ ） １ ８ Ｗ 、 （ ｂ ） ２ ５ Ｗ 、 （ ｃ ） ３ ５ Ｗ の 順 に 、 誘 導 結 合 型 プ ラ ズ マ 発 生 コ イ ル ３ へ の 入 力 電 力 を 増 加 し て い る 。 （ ｃ ） と （ ｄ ） で は 、 入 力 電 力 は ３ ５ Ｗ と 同 ...
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... 車 の 場 合 、 そ の 四 輪 車 が 、 ど の 方 向 か ら 撮 影 さ れ た か に 応 じ て 、 画 像 に 映 し 出 さ れ る 四 輪 車 の 形 態 は 大 き く 異 な る 。 一 例 と し て 、 図 ３ に 示 す よ う に 、 四 輪 車 が 、 前 方 か ら 撮 影 さ れ た 場 合 、 後 方 か ら 撮 影 さ れ た ...
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... このようにしてほぼ均一な厚さの被膜を形成した後、例えば基板１の凹部に貫通電極用 のホールを形成したい場合には、凹部２に形成された被膜１１の一部を選択的露光し、塗 布液６がポジ型レジスト液であった場合には、続くアルカリ水溶液（例えば２．３８質量 ％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液）による現像工程で光が当たったところ ...
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... 状 の 溝 部 ５ ａ の 内 部 に 挿 入 さ れ て い る 。 な お 、 本 実 施 形 態 に お い て 、 電 磁 コ イ ル 軸 は 、 上 記 カ ー エ ア コ ン 用 コ ン プ レ ッ サ ２ の 回 転 軸 ３ と 略 同 じ で あ る 。 電 磁 コ イ ル １ ０ は 、 例 え ば 、 ポ リ エ チ レ ン 樹 脂 等 の 絶 縁 ...
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... 本実施形態では、光ファイバ裸線１０ｐに照射するパルスレーザ光ＣＬの焦点を、集光 レンズ７２を進出あるいは後退させることで、コア２の軸近傍（コア２を含む）にした。 【００５５】 線引き中の光ファイバ裸線１０ｐへ局所的に高出力熱エネルギーを与えると、光ファイ バ裸線１０ｐはその部分にて急激に加熱されて溶融し、軟らかくなる（軟化する）。これ ...
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... フロントページの続き 特許法第３０条第１項適用申請有り ▲１▼２００８年（平成２０年）秋季 第６９回応用物理学会学術講演会 にて発表 刊行物名：２００８年（平成２０年）秋季 第６９回応用物理学会学術講演会講演予稿集 第１分冊 発行所 ：社団法人 応用物理学会 開催日 ：２００８年９月２日（火）～５日（金） 発表日 ：２００ ８年９月２日（火） 講演番号：２ｐ－ＺＤ－１６ 講演予稿集発行日：２００８年９月２日 ...
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... 【００４７】 ＜機械撹拌における粒状α－Ａｌ相の晶出＞ 本来過共晶Ａｌ－Ｓｉ合金には晶出しない非平衡α－Ａｌ粒が、共晶凝固の進行ととも にその数を増加している。しかしながら、ソノ凝固試料中央部の組織観察からは、共晶温 度に到達する前から非平衡α－Ａｌ相が晶出したか否かは明確ではなかった。類似の凝固 ...
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... 別 の 露 光 量 （ I に 相 当 ） と し た い 場 合 に は 、 あ る 減 衰 係 数 を 設 定 す る こ と で 、 両 者 を 満 足 で き る 。 【 ０ ０ １ ８ 】 立 体 サ ン プ ル の 形 状 や ア ス ペ ク ト 比 は 、 応 用 に よ っ て 変 わ る た め 、 上 部 と 底 部 の 膜 厚 比 、 ま た は 最 適 露 光 量 ...
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... 施 の 形 態 に 係 る 制 御 装 置 ７ の ア シ ス ト 制 御 を 実 行 し た 場 合 、 図 ７ （ ｂ ） の ア シ ス ト 制 御 を 実 行 し な か っ た 場 合 と 比 較 し て 、 Ｆ Ｃ Ｒ 筋 と Ｅ Ｃ Ｒ 筋 の 筋 力 差 の 変 動 が 小 さ く 抑 え ら れ て い る こ と が 分 か る 。 ...
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... 50 とで特定波長の赤外線を選択している。 【００１５】 また、特許文献２には、波長選択性の赤外線放射を、電子機器の放熱に応用するもので あり、樹脂材料で覆われていてもこの樹脂材料を透過し易い赤外線として放熱することで 、電子機器の放熱効率を向上させることが記載されている。特許文献３には、加熱により ...
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... 状 の パ イ プ 、 ガ ス 流 路 は マ イ ク ロ 溝 加 工 に よ り 製 作 し た 流 路 に よ り 形 成 し た 例 で あ る 。 例 え ば 、 シ リ コ ン 微 細 加 工 に よ り 蛇 行 し た 流 路 の 形 成 が 可 能 で あ る 。 浮 遊 電 極 の 形 状 は 、 鋭 角 三 角 形 で あ る 。 こ の 浮 遊 電 極 は 、 ...
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... そ の 例 と し て は 、 ポ リ テ ト ラ メ チ レ ン ア ジ パ ミ ド 、 ポ リ カ プ ロ ラ ク タ ム 、 ポ リ ヘ キ サ メ チ レ ン ア ジ パ ミ ド 、 ポ リ ヘ キ サ メ チ レ ン セ バ カ ミ ド 、 ポ リ ヘ キ サ メ チ レ ン ド デ カ ミ ド 、 ポ リ ウ ン デ カ ノ ラ ク タ ム 、 ポ リ ド デ カ ノ ラ ク タ ム 、 テ レ フ タ ル 酸 ...
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... 【図９】図５のショットブラスト面を拡大した像である。 【図１０】比較例１に係る試料のＳＥＭによる二次電子像である。 【図１１】比較例１に係る試料のＥＤＳマッピング結果を示す図である。 【図１２】比較例２に係る試料のＳＥＭによる二次電子像である。 【図１３】比較例２に係る試料のＥＤＳマッピング結果を示す図である。 ...
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... からの噴射を間欠的に行わせる間欠噴射制御手段として のオンオフバルブ３とで構成される加工ヘッド部４と、 レーザ光を発生するレーザ発生装置５及び液体を加圧す る高圧水発生装置６とから主に構成されている。 【００１６】レーザ発生装置５で出力されたレーザ光 は、光ファイバ７を介して被加工物１０に対して垂直に 配置させたレーザヘッド１に送られ、レーザヘッド１内 ...
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... 【００２０】 前記放電室１２内の端部にはカソード１９が配置されるとともに、そのカソード１９に 対向するように予備アノード２０が配置され、カソード１９と予備アノード２０との間に 放電形成領域が形成され、その放電形成領域で放電を生じさせて不活性ガスのプラズマと して例えばアルゴンプラズマ２１を発生させるようになっている。予備アノード２０の中 ...
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... 等 の 材 料 ２ ３ を 載 置 す る 。 一 方 、 大 気 圧 プ ラ ズ マ ジ ェ ッ ト 発 生 装 置 １ １ の 外 部 電 極 １ ２ と 内 部 電 極 １ ４ と の 間 に は 、 例 え ば 電 力 が ０ ． ３ ｋ Ｗ と な る よ う に パ ル ス 電 圧 を 印 加 す る 。 そ の 状 態 で 、 原 料 ガ ス １ ７ ...
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... より電子を引き出して電子ビームを生成し、この電子ビームを反応室３内に放出した。こ のときの電子ビームエネルギーは、直流電源２３の電圧より制御した。反応室３内に放出 された電子ビームは、ポート３ａから供給されて石英チャンバ３１中に導入された窒素ガ スと衝突して、窒素プラズマを生成した。石英チャンバ３１内の圧力は、排気口３ｂから ...
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... 型 の 電 極 半 導 体 層 お よ び 第 ２ 導 電 型 の 電 極 半 導 体 層 が 、 積 層 体 の 最 も バ ン ド ギ ャ ッ プ が 狭 い 層 と 同 じ 材 料 に よ っ て 単 一 の 半 導 体 層 と し て 形 成 さ れ て い て も よ い 。 【 ０ ０ １ ８ 】 本 明 細 書 は ま た 、 上 記 の 第 １ ...
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... 動 の あ る 時 に ユ ー ザ の 左 手 首 の 屈 曲 運 動 を 促 す 。 具 体 的 に は 、 タ ー ゲ ッ ト コ ン ピ ュ ー タ ３ １ は 、 Ｃ Ｐ Ｕ 及 び 記 憶 装 置 （ 図 示 せ ず ） を 有 す る Ｐ Ｃ で あ り 、 Ｃ Ｐ Ｕ に よ っ て 記 憶 装 置 に 格 納 さ れ た プ ロ グ ラ ム を 実 行 す る こ と で 、 後 ...
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