実験またはシミュレーション
シャープ技報 第 93 号 2005 年 12 月 Cz 1. 実験 1 1 デバイス シミュレーション Integrated Systems Engineering, Inc.ISE TCAD 図 1 表 ライフタイム評価 bulk SRV Cz eff CVD PECVD SiH /
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