125
５ ナノマテリアル粒子捕集用サーマルプレシピテーターの開発 5.1 はじめに
近年、新たな機能性を持ったナノマテリアルの開発が盛んであるが、その一方でこれま でと異なる性質を持ったナノサイズの微粒子が生体へ与える悪影響が懸念されている1)-7)。 日本においても、厚生労働省、経済産業省、環境省等が安全性の評価や対策の検討を行っ
ている8), 9), 10), 11)。これらの中で、曝露する可能性のある作業者や使用者への対策の一環と
して、ナノサイズの粒子の測定が求められている。
従来の作業環境中の粉じん濃度測定では重量測定が基本であり、主に数百nmから数μm の粒子が中心として測定されており、数十nmサイズの粒子は重量に占める割合が小さい ことから重要視されてこなかった。そのため、ナノサイズの粒子を測定するためにはそれ に特化した測定機器が必要となる。しかしながら、現在市販されている100nm以下まで測 定できる機器の多くはもともと一般大気やクリーンルーム等比較的汚染の少ない環境にお いて測定することを前提としている面があり、作業環境のような汚染物質濃度の高い状況 も想定される環境での使用には向いていないことが多い様に思われる。また、作業環境中 には作業由来の粒子の他に一般大気中に存在するナノサイズの粒子も混在しているため、
それらを区別して評価する必要がある。そのため、粒子を捕集して走査型顕微鏡による形 態観察や透過型電子顕微鏡による組成分析を行うことが重要となる。
粒子の捕集方法としてはろ過捕集法や慣性力を利用した方法、静電気力を利用した方法 等もあるが、本研究では熱泳動力を利用した方法に着目した。温度勾配による粒子の運動 については、すでに19世紀にTyndall12)やAitken13)により観察されているが、粒子の捕集 に用いられたのは1935年のことである。熱泳動を利用した粒子捕集装置であるサーマルプ レシピテーターは、Whytlaw-GrayとLomaxにより開発され、GreenとWatsonにより粉 じん捕集機器としての性能が調査され、標準の粉じん捕集機器として改良された14)。その 後、粉じんや大気中エアルゾル以外にも、バイオエアロゾル15), 16)や放射性物質17)等の測定 に利用されるようになり、それを利用した報告も多数に上るため、粒子の捕集方法として は主要な1つということが出来る。近年では、ナノサイズの粒子の捕集への適用した例が 報告されている18)が、主に大気中の新粒子生成の研究等に利用されており、作業環境中へ の適用例はほとんど無いのが現状である。
サーマルプレシピテーターの利点として、ろ過捕集や静電捕集と比較して、沈着速度が 緩やかであるため、粒子の形状・凝集状態が保たれたまま捕集が可能である点が挙げられ る。環境中のナノ粒子は単分散しているとは限らず、むしろその多くは凝集していること が予想される。捕集の際に凝集状態が変化することにより、実際に浮遊している状態と異 なって観察されることを防ぐために、サーマルプレシピテーターは有効な捕集手段となり 得る。
そこで、本研究では、現場適用可能な小型でかつ安価なナノ粒子捕集装置の開発を目的 として、従来型のサーマルプレシピテーターをナノ粒子用に改良したサーマルプレシピテ
ーターを作製し、ナノ粒子を発生させ、捕集することでその捕集特性を検証した。また、
捕集されたナノ粒子の同定のため、透過電子顕微鏡を使用し組成分析を行った。さらに、
作業現場に実際に
5.2
サーマルプレシピテーターは、熱泳動という現象を利用して粉じんを捕集装置である。
熱泳動とは、温度こう配がある空間に粒子が存在するとき、その粒子は温度が低下する方 向に力を受けるために引き起こされる現象である。これは、粒子は低温側よりも高温側の 気体分子から受ける力の方が大きいために起きる。熱泳動の概念図を図
熱泳動はあまり大きな力ではないため、サーマルプレシピテーターの吸引流量はあまり 大きくできないが、小さい粒子
た特徴を持っている。そのため、サーマルプレシピテーターの用途は、光学あるいは電子 顕微鏡で観察するような少量の粒子を捕集するのに適している。
本研究で使用した装置は、柴田科学株式会社により開発されたサーマルプレシピテーター であり、この装置の外観図を図
流量は変化させることができ、さらに温度勾配（ヒートプレートと循環水との温度差）
や加熱部と採じん面（スライドガラス表面）との間隔の調整も可能となっている。サーマ ルプレシピテーターの捕集部の構造を図
ーターを作製し、ナノ粒子を発生させ、捕集することでその捕集特性を検証した。また、
捕集されたナノ粒子の同定のため、透過電子顕微鏡を使用し組成分析を行った。さらに、
作業現場に実際に
サーマルプレシピテーター
サーマルプレシピテーターは、熱泳動という現象を利用して粉じんを捕集装置である。
熱泳動とは、温度こう配がある空間に粒子が存在するとき、その粒子は温度が低下する方 向に力を受けるために引き起こされる現象である。これは、粒子は低温側よりも高温側の 気体分子から受ける力の方が大きいために起きる。熱泳動の概念図を図
熱泳動はあまり大きな力ではないため、サーマルプレシピテーターの吸引流量はあまり 大きくできないが、小さい粒子
た特徴を持っている。そのため、サーマルプレシピテーターの用途は、光学あるいは電子 顕微鏡で観察するような少量の粒子を捕集するのに適している。
本研究で使用した装置は、柴田科学株式会社により開発されたサーマルプレシピテーター であり、この装置の外観図を図
図5
温度勾配
流量は変化させることができ、さらに温度勾配（ヒートプレートと循環水との温度差）
や加熱部と採じん面（スライドガラス表面）との間隔の調整も可能となっている。サーマ ルプレシピテーターの捕集部の構造を図
ーターを作製し、ナノ粒子を発生させ、捕集することでその捕集特性を検証した。また、
捕集されたナノ粒子の同定のため、透過電子顕微鏡を使用し組成分析を行った。さらに、
作業現場に実際にサーマルプレシピテーターを導入し、現場測定を行った。
サーマルプレシピテーター
サーマルプレシピテーターは、熱泳動という現象を利用して粉じんを捕集装置である。
熱泳動とは、温度こう配がある空間に粒子が存在するとき、その粒子は温度が低下する方 向に力を受けるために引き起こされる現象である。これは、粒子は低温側よりも高温側の 気体分子から受ける力の方が大きいために起きる。熱泳動の概念図を図
熱泳動はあまり大きな力ではないため、サーマルプレシピテーターの吸引流量はあまり 大きくできないが、小さい粒子
た特徴を持っている。そのため、サーマルプレシピテーターの用途は、光学あるいは電子 顕微鏡で観察するような少量の粒子を捕集するのに適している。
本研究で使用した装置は、柴田科学株式会社により開発されたサーマルプレシピテーター であり、この装置の外観図を図
5.1 熱泳動の概念図 表5 電源 温度勾配
大きさ 重量
流量は変化させることができ、さらに温度勾配（ヒートプレートと循環水との温度差）
や加熱部と採じん面（スライドガラス表面）との間隔の調整も可能となっている。サーマ ルプレシピテーターの捕集部の構造を図
ーターを作製し、ナノ粒子を発生させ、捕集することでその捕集特性を検証した。また、
捕集されたナノ粒子の同定のため、透過電子顕微鏡を使用し組成分析を行った。さらに、
サーマルプレシピテーターを導入し、現場測定を行った。
サーマルプレシピテーター
サーマルプレシピテーターは、熱泳動という現象を利用して粉じんを捕集装置である。
熱泳動とは、温度こう配がある空間に粒子が存在するとき、その粒子は温度が低下する方 向に力を受けるために引き起こされる現象である。これは、粒子は低温側よりも高温側の 気体分子から受ける力の方が大きいために起きる。熱泳動の概念図を図
熱泳動はあまり大きな力ではないため、サーマルプレシピテーターの吸引流量はあまり 大きくできないが、小さい粒子(10μm
た特徴を持っている。そのため、サーマルプレシピテーターの用途は、光学あるいは電子 顕微鏡で観察するような少量の粒子を捕集するのに適している。
本研究で使用した装置は、柴田科学株式会社により開発されたサーマルプレシピテーター であり、この装置の外観図を図5.2、その仕様を表
熱泳動の概念図
5.1 サーマルプレシピテーターの仕様 循環水との温度差：
ヒートプレートと採じん面の間隔：可変 約
流量は変化させることができ、さらに温度勾配（ヒートプレートと循環水との温度差）
や加熱部と採じん面（スライドガラス表面）との間隔の調整も可能となっている。サーマ ルプレシピテーターの捕集部の構造を図
126
ーターを作製し、ナノ粒子を発生させ、捕集することでその捕集特性を検証した。また、
捕集されたナノ粒子の同定のため、透過電子顕微鏡を使用し組成分析を行った。さらに、
サーマルプレシピテーターを導入し、現場測定を行った。
サーマルプレシピテーターは、熱泳動という現象を利用して粉じんを捕集装置である。
熱泳動とは、温度こう配がある空間に粒子が存在するとき、その粒子は温度が低下する方 向に力を受けるために引き起こされる現象である。これは、粒子は低温側よりも高温側の 気体分子から受ける力の方が大きいために起きる。熱泳動の概念図を図
熱泳動はあまり大きな力ではないため、サーマルプレシピテーターの吸引流量はあまり m以下)であればほぼ
た特徴を持っている。そのため、サーマルプレシピテーターの用途は、光学あるいは電子 顕微鏡で観察するような少量の粒子を捕集するのに適している。
本研究で使用した装置は、柴田科学株式会社により開発されたサーマルプレシピテーター
、その仕様を表
図
サーマルプレシピテーターの仕様 交流 100[V]
循環水との温度差：
ヒートプレートと採じん面の間隔：可変 約210(D)×320(W)
流量は変化させることができ、さらに温度勾配（ヒートプレートと循環水との温度差）
や加熱部と採じん面（スライドガラス表面）との間隔の調整も可能となっている。サーマ ルプレシピテーターの捕集部の構造を図5.3に示す。
ーターを作製し、ナノ粒子を発生させ、捕集することでその捕集特性を検証した。また、
捕集されたナノ粒子の同定のため、透過電子顕微鏡を使用し組成分析を行った。さらに、
サーマルプレシピテーターを導入し、現場測定を行った。
サーマルプレシピテーターは、熱泳動という現象を利用して粉じんを捕集装置である。
熱泳動とは、温度こう配がある空間に粒子が存在するとき、その粒子は温度が低下する方 向に力を受けるために引き起こされる現象である。これは、粒子は低温側よりも高温側の 気体分子から受ける力の方が大きいために起きる。熱泳動の概念図を図
熱泳動はあまり大きな力ではないため、サーマルプレシピテーターの吸引流量はあまり であればほぼ100%
た特徴を持っている。そのため、サーマルプレシピテーターの用途は、光学あるいは電子 顕微鏡で観察するような少量の粒子を捕集するのに適している。
本研究で使用した装置は、柴田科学株式会社により開発されたサーマルプレシピテーター
、その仕様を表5.1に示す。
図5.2 サーマルプ サーマルプレシピテーターの仕様 100[V] 約100[W]
循環水との温度差：0〜250 [
ヒートプレートと採じん面の間隔：可変 320(W)×330(H) [mm]
10 [kg]
流量は変化させることができ、さらに温度勾配（ヒートプレートと循環水との温度差）
や加熱部と採じん面（スライドガラス表面）との間隔の調整も可能となっている。サーマ に示す。
ーターを作製し、ナノ粒子を発生させ、捕集することでその捕集特性を検証した。また、
捕集されたナノ粒子の同定のため、透過電子顕微鏡を使用し組成分析を行った。さらに、
サーマルプレシピテーターを導入し、現場測定を行った。
サーマルプレシピテーターは、熱泳動という現象を利用して粉じんを捕集装置である。
熱泳動とは、温度こう配がある空間に粒子が存在するとき、その粒子は温度が低下する方 向に力を受けるために引き起こされる現象である。これは、粒子は低温側よりも高温側の 気体分子から受ける力の方が大きいために起きる。熱泳動の概念図を図5.1
熱泳動はあまり大きな力ではないため、サーマルプレシピテーターの吸引流量はあまり 100%の捕集効果を持つ、といっ た特徴を持っている。そのため、サーマルプレシピテーターの用途は、光学あるいは電子 顕微鏡で観察するような少量の粒子を捕集するのに適している。
本研究で使用した装置は、柴田科学株式会社により開発されたサーマルプレシピテーター に示す。
サーマルプレシピテーター サーマルプレシピテーターの仕様
100[W]
250 [℃]
ヒートプレートと採じん面の間隔：可変 330(H) [mm]
流量は変化させることができ、さらに温度勾配（ヒートプレートと循環水との温度差）
や加熱部と採じん面（スライドガラス表面）との間隔の調整も可能となっている。サーマ ーターを作製し、ナノ粒子を発生させ、捕集することでその捕集特性を検証した。また、
捕集されたナノ粒子の同定のため、透過電子顕微鏡を使用し組成分析を行った。さらに、
サーマルプレシピテーターを導入し、現場測定を行った。
サーマルプレシピテーターは、熱泳動という現象を利用して粉じんを捕集装置である。
熱泳動とは、温度こう配がある空間に粒子が存在するとき、その粒子は温度が低下する方 向に力を受けるために引き起こされる現象である。これは、粒子は低温側よりも高温側の
.1に示す。
熱泳動はあまり大きな力ではないため、サーマルプレシピテーターの吸引流量はあまり の捕集効果を持つ、といっ た特徴を持っている。そのため、サーマルプレシピテーターの用途は、光学あるいは電子
本研究で使用した装置は、柴田科学株式会社により開発されたサーマルプレシピテーター
レシピテーター
ヒートプレートと採じん面の間隔：可変
流量は変化させることができ、さらに温度勾配（ヒートプレートと循環水との温度差）
や加熱部と採じん面（スライドガラス表面）との間隔の調整も可能となっている。サーマ ーターを作製し、ナノ粒子を発生させ、捕集することでその捕集特性を検証した。また、
捕集されたナノ粒子の同定のため、透過電子顕微鏡を使用し組成分析を行った。さらに、
サーマルプレシピテーターは、熱泳動という現象を利用して粉じんを捕集装置である。
熱泳動とは、温度こう配がある空間に粒子が存在するとき、その粒子は温度が低下する方 向に力を受けるために引き起こされる現象である。これは、粒子は低温側よりも高温側の
熱泳動はあまり大きな力ではないため、サーマルプレシピテーターの吸引流量はあまり の捕集効果を持つ、といっ た特徴を持っている。そのため、サーマルプレシピテーターの用途は、光学あるいは電子
本研究で使用した装置は、柴田科学株式会社により開発されたサーマルプレシピテーター
流量は変化させることができ、さらに温度勾配（ヒートプレートと循環水との温度差）
や加熱部と採じん面（スライドガラス表面）との間隔の調整も可能となっている。サーマ
装置には平板状で円形の加熱部（ヒートプレート）があり、この加熱部と周辺温度と同 じ温度の表面（スライドガラス）との間へサンプリングした空気を通す。なお、ヒートプ レートによりスライドガラスが加熱されないように、下に冷却用循環水が流れるようにな っている。そして、ヒートプレートとスライドガラスの間を通る時、サンプリングした粒 子に、加熱部から採じん面の方向に熱泳動力が働き、スライドガラス上に粒子が沈着する。
このようにして粉じんが捕集される の間の間隔を、平板間隔と呼ぶ。
5.3
前項の検討では調整された標準粒子を使用して行ったが、実際に使用されているナノ粒 子に対してもこの条件で捕集が可能か、捕集特性に変化がないか検討した。
5.3.1
ナノ粒子捕集実験の実験系は、送気、発生、捕集、観察の いる。送気、発生は
大気の空気をフィルターに通して清浄空気として発生部に導入し、破裂分散にて実験対称 のナノ粒子を含んだミストを発生させる。発生部では、発生させたミストは水分を加熱除 湿し、目的のナノ粒子を発生させる。その後、ナノ粒子を含んだ空気を送り出し、サーマ ルプレシピテーターで捕集する。サーマルプレシピテーターのバックアップとして、
プンフェイスサンプラー
で捕集し切れなかったナノ粒子を回収した。使用した試料を表 示す。このようにして捕集されたナノ粒子を、
の粒度分布を めに
１）捕集条件
サーマルプレシピテーターの平板間隔は 0.3L/min
装置には平板状で円形の加熱部（ヒートプレート）があり、この加熱部と周辺温度と同 じ温度の表面（スライドガラス）との間へサンプリングした空気を通す。なお、ヒートプ レートによりスライドガラスが加熱されないように、下に冷却用循環水が流れるようにな っている。そして、ヒートプレートとスライドガラスの間を通る時、サンプリングした粒 子に、加熱部から採じん面の方向に熱泳動力が働き、スライドガラス上に粒子が沈着する。
このようにして粉じんが捕集される の間の間隔を、平板間隔と呼ぶ。
サーマルプレシピテーターのナノ粒子捕集条件の検証
前項の検討では調整された標準粒子を使用して行ったが、実際に使用されているナノ粒 子に対してもこの条件で捕集が可能か、捕集特性に変化がないか検討した。
5.3.1 実験方法
ナノ粒子捕集実験の実験系は、送気、発生、捕集、観察の いる。送気、発生は
大気の空気をフィルターに通して清浄空気として発生部に導入し、破裂分散にて実験対称 のナノ粒子を含んだミストを発生させる。発生部では、発生させたミストは水分を加熱除 湿し、目的のナノ粒子を発生させる。その後、ナノ粒子を含んだ空気を送り出し、サーマ ルプレシピテーターで捕集する。サーマルプレシピテーターのバックアップとして、
プンフェイスサンプラー
で捕集し切れなかったナノ粒子を回収した。使用した試料を表 示す。このようにして捕集されたナノ粒子を、
の粒度分布をWPS
めにWPSの装置内部を短絡させ、故障の原因となるため、粒度分布は測定しなかった。
捕集条件
サーマルプレシピテーターの平板間隔は
0.3L/minとした。使用した捕集板は図
(a) 概略図 図2.2.3
装置には平板状で円形の加熱部（ヒートプレート）があり、この加熱部と周辺温度と同 じ温度の表面（スライドガラス）との間へサンプリングした空気を通す。なお、ヒートプ レートによりスライドガラスが加熱されないように、下に冷却用循環水が流れるようにな っている。そして、ヒートプレートとスライドガラスの間を通る時、サンプリングした粒 子に、加熱部から採じん面の方向に熱泳動力が働き、スライドガラス上に粒子が沈着する。
このようにして粉じんが捕集される の間の間隔を、平板間隔と呼ぶ。
サーマルプレシピテーターのナノ粒子捕集条件の検証
前項の検討では調整された標準粒子を使用して行ったが、実際に使用されているナノ粒 子に対してもこの条件で捕集が可能か、捕集特性に変化がないか検討した。
ナノ粒子捕集実験の実験系は、送気、発生、捕集、観察の いる。送気、発生はNANO AEROSOL GENERATOR
大気の空気をフィルターに通して清浄空気として発生部に導入し、破裂分散にて実験対称 のナノ粒子を含んだミストを発生させる。発生部では、発生させたミストは水分を加熱除 湿し、目的のナノ粒子を発生させる。その後、ナノ粒子を含んだ空気を送り出し、サーマ ルプレシピテーターで捕集する。サーマルプレシピテーターのバックアップとして、
プンフェイスサンプラーにニュークリポアフィルターを挟み、サーマルプレシピテーター で捕集し切れなかったナノ粒子を回収した。使用した試料を表
示す。このようにして捕集されたナノ粒子を、
WPSを用いて測定した。なお
の装置内部を短絡させ、故障の原因となるため、粒度分布は測定しなかった。
サーマルプレシピテーターの平板間隔は とした。使用した捕集板は図
概略図
2.2.3 サーマルプレシピテーター捕集部
装置には平板状で円形の加熱部（ヒートプレート）があり、この加熱部と周辺温度と同 じ温度の表面（スライドガラス）との間へサンプリングした空気を通す。なお、ヒートプ レートによりスライドガラスが加熱されないように、下に冷却用循環水が流れるようにな っている。そして、ヒートプレートとスライドガラスの間を通る時、サンプリングした粒 子に、加熱部から採じん面の方向に熱泳動力が働き、スライドガラス上に粒子が沈着する。
このようにして粉じんが捕集される。また、このときのヒートプレートとスライドガラス の間の間隔を、平板間隔と呼ぶ。
サーマルプレシピテーターのナノ粒子捕集条件の検証
前項の検討では調整された標準粒子を使用して行ったが、実際に使用されているナノ粒 子に対してもこの条件で捕集が可能か、捕集特性に変化がないか検討した。
ナノ粒子捕集実験の実験系は、送気、発生、捕集、観察の NANO AEROSOL GENERATOR
大気の空気をフィルターに通して清浄空気として発生部に導入し、破裂分散にて実験対称 のナノ粒子を含んだミストを発生させる。発生部では、発生させたミストは水分を加熱除 湿し、目的のナノ粒子を発生させる。その後、ナノ粒子を含んだ空気を送り出し、サーマ ルプレシピテーターで捕集する。サーマルプレシピテーターのバックアップとして、
にニュークリポアフィルターを挟み、サーマルプレシピテーター で捕集し切れなかったナノ粒子を回収した。使用した試料を表
示す。このようにして捕集されたナノ粒子を、
を用いて測定した。なお
の装置内部を短絡させ、故障の原因となるため、粒度分布は測定しなかった。
サーマルプレシピテーターの平板間隔は とした。使用した捕集板は図
127
サーマルプレシピテーター捕集部
装置には平板状で円形の加熱部（ヒートプレート）があり、この加熱部と周辺温度と同 じ温度の表面（スライドガラス）との間へサンプリングした空気を通す。なお、ヒートプ レートによりスライドガラスが加熱されないように、下に冷却用循環水が流れるようにな っている。そして、ヒートプレートとスライドガラスの間を通る時、サンプリングした粒 子に、加熱部から採じん面の方向に熱泳動力が働き、スライドガラス上に粒子が沈着する。
。また、このときのヒートプレートとスライドガラス
サーマルプレシピテーターのナノ粒子捕集条件の検証
前項の検討では調整された標準粒子を使用して行ったが、実際に使用されているナノ粒 子に対してもこの条件で捕集が可能か、捕集特性に変化がないか検討した。
ナノ粒子捕集実験の実験系は、送気、発生、捕集、観察の NANO AEROSOL GENERATOR
大気の空気をフィルターに通して清浄空気として発生部に導入し、破裂分散にて実験対称 のナノ粒子を含んだミストを発生させる。発生部では、発生させたミストは水分を加熱除 湿し、目的のナノ粒子を発生させる。その後、ナノ粒子を含んだ空気を送り出し、サーマ ルプレシピテーターで捕集する。サーマルプレシピテーターのバックアップとして、
にニュークリポアフィルターを挟み、サーマルプレシピテーター で捕集し切れなかったナノ粒子を回収した。使用した試料を表
示す。このようにして捕集されたナノ粒子を、FE- を用いて測定した。なおMWCNT
の装置内部を短絡させ、故障の原因となるため、粒度分布は測定しなかった。
サーマルプレシピテーターの平板間隔は0.3cm、平板間の温度差は
とした。使用した捕集板は図5.5に示すような、表面にアルマイト処理を施した サーマルプレシピテーター捕集部
装置には平板状で円形の加熱部（ヒートプレート）があり、この加熱部と周辺温度と同 じ温度の表面（スライドガラス）との間へサンプリングした空気を通す。なお、ヒートプ レートによりスライドガラスが加熱されないように、下に冷却用循環水が流れるようにな っている。そして、ヒートプレートとスライドガラスの間を通る時、サンプリングした粒 子に、加熱部から採じん面の方向に熱泳動力が働き、スライドガラス上に粒子が沈着する。
。また、このときのヒートプレートとスライドガラス
サーマルプレシピテーターのナノ粒子捕集条件の検証
前項の検討では調整された標準粒子を使用して行ったが、実際に使用されているナノ粒 子に対してもこの条件で捕集が可能か、捕集特性に変化がないか検討した。
ナノ粒子捕集実験の実験系は、送気、発生、捕集、観察の4
NANO AEROSOL GENERATORを用いて行った。送気部分では室内
大気の空気をフィルターに通して清浄空気として発生部に導入し、破裂分散にて実験対称 のナノ粒子を含んだミストを発生させる。発生部では、発生させたミストは水分を加熱除 湿し、目的のナノ粒子を発生させる。その後、ナノ粒子を含んだ空気を送り出し、サーマ ルプレシピテーターで捕集する。サーマルプレシピテーターのバックアップとして、
にニュークリポアフィルターを挟み、サーマルプレシピテーター で捕集し切れなかったナノ粒子を回収した。使用した試料を表
-SEMを用いて観察した。また発生粒子
MWCNTについては、繊維状の形状であるた
の装置内部を短絡させ、故障の原因となるため、粒度分布は測定しなかった。
、平板間の温度差は
に示すような、表面にアルマイト処理を施した (b) 外観
サーマルプレシピテーター捕集部
装置には平板状で円形の加熱部（ヒートプレート）があり、この加熱部と周辺温度と同 じ温度の表面（スライドガラス）との間へサンプリングした空気を通す。なお、ヒートプ レートによりスライドガラスが加熱されないように、下に冷却用循環水が流れるようにな っている。そして、ヒートプレートとスライドガラスの間を通る時、サンプリングした粒 子に、加熱部から採じん面の方向に熱泳動力が働き、スライドガラス上に粒子が沈着する。
。また、このときのヒートプレートとスライドガラス
前項の検討では調整された標準粒子を使用して行ったが、実際に使用されているナノ粒 子に対してもこの条件で捕集が可能か、捕集特性に変化がないか検討した。
4つの段階により構成されて を用いて行った。送気部分では室内 大気の空気をフィルターに通して清浄空気として発生部に導入し、破裂分散にて実験対称 のナノ粒子を含んだミストを発生させる。発生部では、発生させたミストは水分を加熱除 湿し、目的のナノ粒子を発生させる。その後、ナノ粒子を含んだ空気を送り出し、サーマ ルプレシピテーターで捕集する。サーマルプレシピテーターのバックアップとして、
にニュークリポアフィルターを挟み、サーマルプレシピテーター で捕集し切れなかったナノ粒子を回収した。使用した試料を表5.2に、実験状況を図
を用いて観察した。また発生粒子 については、繊維状の形状であるた の装置内部を短絡させ、故障の原因となるため、粒度分布は測定しなかった。
、平板間の温度差は200
に示すような、表面にアルマイト処理を施した 外観
装置には平板状で円形の加熱部（ヒートプレート）があり、この加熱部と周辺温度と同 じ温度の表面（スライドガラス）との間へサンプリングした空気を通す。なお、ヒートプ レートによりスライドガラスが加熱されないように、下に冷却用循環水が流れるようにな っている。そして、ヒートプレートとスライドガラスの間を通る時、サンプリングした粒 子に、加熱部から採じん面の方向に熱泳動力が働き、スライドガラス上に粒子が沈着する。
。また、このときのヒートプレートとスライドガラス
前項の検討では調整された標準粒子を使用して行ったが、実際に使用されているナノ粒 子に対してもこの条件で捕集が可能か、捕集特性に変化がないか検討した。
つの段階により構成されて を用いて行った。送気部分では室内 大気の空気をフィルターに通して清浄空気として発生部に導入し、破裂分散にて実験対称 のナノ粒子を含んだミストを発生させる。発生部では、発生させたミストは水分を加熱除 湿し、目的のナノ粒子を発生させる。その後、ナノ粒子を含んだ空気を送り出し、サーマ ルプレシピテーターで捕集する。サーマルプレシピテーターのバックアップとして、
にニュークリポアフィルターを挟み、サーマルプレシピテーター に、実験状況を図5 を用いて観察した。また発生粒子 については、繊維状の形状であるた の装置内部を短絡させ、故障の原因となるため、粒度分布は測定しなかった。
200℃、流量は に示すような、表面にアルマイト処理を施した 装置には平板状で円形の加熱部（ヒートプレート）があり、この加熱部と周辺温度と同 じ温度の表面（スライドガラス）との間へサンプリングした空気を通す。なお、ヒートプ レートによりスライドガラスが加熱されないように、下に冷却用循環水が流れるようにな っている。そして、ヒートプレートとスライドガラスの間を通る時、サンプリングした粒 子に、加熱部から採じん面の方向に熱泳動力が働き、スライドガラス上に粒子が沈着する。
。また、このときのヒートプレートとスライドガラス
前項の検討では調整された標準粒子を使用して行ったが、実際に使用されているナノ粒
つの段階により構成されて を用いて行った。送気部分では室内 大気の空気をフィルターに通して清浄空気として発生部に導入し、破裂分散にて実験対称 のナノ粒子を含んだミストを発生させる。発生部では、発生させたミストは水分を加熱除 湿し、目的のナノ粒子を発生させる。その後、ナノ粒子を含んだ空気を送り出し、サーマ ルプレシピテーターで捕集する。サーマルプレシピテーターのバックアップとして、オー にニュークリポアフィルターを挟み、サーマルプレシピテーター 5.4に を用いて観察した。また発生粒子 については、繊維状の形状であるた の装置内部を短絡させ、故障の原因となるため、粒度分布は測定しなかった。
に示すような、表面にアルマイト処理を施した
アルミ板で、寸法は
リッドをサーマルプレシピテーターに装着することにより固定した。
２）観察方法
捕集したアルミ板を
ュークリポアフィルターも同時に観察し、サーマルプレシピテーターからの捕集漏れの確 認を行った。
5.3.2
各種ナノ粒子の粒度分布及び
瞭な観察画像を得ることは困難であるが、
察が可能となった。この観察の結果、使用したすべての粒子で捕集が確認された。またサ ーマルプレシピテーターによる捕集の漏れとして、バックアップに使用したニュークリポ アフィルター上に存在する粒子については、二酸化チタン、
が、ごく少量の漏れであった。
アルミ板で、寸法は
リッドをサーマルプレシピテーターに装着することにより固定した。
観察方法
捕集したアルミ板を
ュークリポアフィルターも同時に観察し、サーマルプレシピテーターからの捕集漏れの確 認を行った。
二酸化チタン ヒュームドシリカ
5.3.2 実験結果
各種ナノ粒子の粒度分布及び
瞭な観察画像を得ることは困難であるが、
察が可能となった。この観察の結果、使用したすべての粒子で捕集が確認された。またサ ーマルプレシピテーターによる捕集の漏れとして、バックアップに使用したニュークリポ アフィルター上に存在する粒子については、二酸化チタン、
が、ごく少量の漏れであった。
アルミ板で、寸法は17mm×
リッドをサーマルプレシピテーターに装着することにより固定した。
捕集したアルミ板をFE-SEM
ュークリポアフィルターも同時に観察し、サーマルプレシピテーターからの捕集漏れの確
試料名 二酸化チタン
炭化ケイ素 ヒュームドシリカ
銀 MWCNT
図5.4
各種ナノ粒子の粒度分布及び
瞭な観察画像を得ることは困難であるが、
察が可能となった。この観察の結果、使用したすべての粒子で捕集が確認された。またサ ーマルプレシピテーターによる捕集の漏れとして、バックアップに使用したニュークリポ アフィルター上に存在する粒子については、二酸化チタン、
が、ごく少量の漏れであった。
図5.6
0 100000 200000 300000 400000 500000 600000
dN/dlogDp
×17mmである。アルミニウム板をグリッドの上 リッドをサーマルプレシピテーターに装着することにより固定した。
SEMにより観察した。加速電圧は
ュークリポアフィルターも同時に観察し、サーマルプレシピテーターからの捕集漏れの確 表
一次粒子径 二酸化チタン 50nm
炭化ケイ素 50nm ヒュームドシリカ 30nm
<100nm 110-
実験状況
各種ナノ粒子の粒度分布及びFE-SEM 瞭な観察画像を得ることは困難であるが、
察が可能となった。この観察の結果、使用したすべての粒子で捕集が確認された。またサ ーマルプレシピテーターによる捕集の漏れとして、バックアップに使用したニュークリポ アフィルター上に存在する粒子については、二酸化チタン、
が、ごく少量の漏れであった。
5.6 二酸化チタン発生粒子の粒度分布
0 100000 200000 300000 400000 500000 600000
10
128
である。アルミニウム板をグリッドの上 リッドをサーマルプレシピテーターに装着することにより固定した。
により観察した。加速電圧は
ュークリポアフィルターも同時に観察し、サーマルプレシピテーターからの捕集漏れの確 表5.2 実験試料
一次粒子径 50nm 50nm 30nm
<100nm -170nm
SEM像を図5.6 瞭な観察画像を得ることは困難であるが、FE-SEM
察が可能となった。この観察の結果、使用したすべての粒子で捕集が確認された。またサ ーマルプレシピテーターによる捕集の漏れとして、バックアップに使用したニュークリポ アフィルター上に存在する粒子については、二酸化チタン、
二酸化チタン発生粒子の粒度分布
100
粒径 nm
である。アルミニウム板をグリッドの上 リッドをサーマルプレシピテーターに装着することにより固定した。
により観察した。加速電圧は
ュークリポアフィルターも同時に観察し、サーマルプレシピテーターからの捕集漏れの確 実験試料
メーカー 日本エアロジル
現場より 現場より シグマアルドリッチ シグマアルドリッチ
図5.5
5.6〜図5.14に示す。通常の
SEMを用いることにより各種ナノ粒子の観 察が可能となった。この観察の結果、使用したすべての粒子で捕集が確認された。またサ ーマルプレシピテーターによる捕集の漏れとして、バックアップに使用したニュークリポ アフィルター上に存在する粒子については、二酸化チタン、MWCNT
二酸化チタン発生粒子の粒度分布
である。アルミニウム板をグリッドの上 リッドをサーマルプレシピテーターに装着することにより固定した。
により観察した。加速電圧は5〜15kVとした。また、ニ ュークリポアフィルターも同時に観察し、サーマルプレシピテーターからの捕集漏れの確
メーカー 日本エアロジル
現場より 現場より シグマアルドリッチ シグマアルドリッチ
捕集板
に示す。通常の
を用いることにより各種ナノ粒子の観 察が可能となった。この観察の結果、使用したすべての粒子で捕集が確認された。またサ ーマルプレシピテーターによる捕集の漏れとして、バックアップに使用したニュークリポ
MWCNTについて確認された
二酸化チタン発生粒子の粒度分布
1000
である。アルミニウム板をグリッドの上に装着し、グ
とした。また、ニ ュークリポアフィルターも同時に観察し、サーマルプレシピテーターからの捕集漏れの確
シグマアルドリッチ シグマアルドリッチ
に示す。通常のSEMでは明 を用いることにより各種ナノ粒子の観 察が可能となった。この観察の結果、使用したすべての粒子で捕集が確認された。またサ ーマルプレシピテーターによる捕集の漏れとして、バックアップに使用したニュークリポ について確認された
に装着し、グ
とした。また、ニ ュークリポアフィルターも同時に観察し、サーマルプレシピテーターからの捕集漏れの確
では明 を用いることにより各種ナノ粒子の観 察が可能となった。この観察の結果、使用したすべての粒子で捕集が確認された。またサ ーマルプレシピテーターによる捕集の漏れとして、バックアップに使用したニュークリポ について確認された
アルミ板上
アルミ板上
アルミ板上(×100,000) 図
図
アルミ板上 (×100,000)
図5.10 100,000)
図5.7 捕集された二酸化チタン粒子
図5.8 炭化ケイ素発生粒子の粒度分布
100,000)
図5.9 捕集された炭化ケイ素
5.10 ヒュームドシリカ発生粒子の粒度分布
129
ニュークリポアフィルター 捕集された二酸化チタン粒子
炭化ケイ素発生粒子の粒度分布
ニュークリポアフィルター 捕集された炭化ケイ素
ヒュームドシリカ発生粒子の粒度分布 ニュークリポアフィルター 捕集された二酸化チタン粒子
炭化ケイ素発生粒子の粒度分布
ニュークリポアフィルター 捕集された炭化ケイ素
ヒュームドシリカ発生粒子の粒度分布 ニュークリポアフィルター 捕集された二酸化チタン粒子
炭化ケイ素発生粒子の粒度分布
ニュークリポアフィルター
ヒュームドシリカ発生粒子の粒度分布
ニュークリポアフィルター(×50,000)
ニュークリポアフィルター (×10,000) 50,000)
10,000)
アルミ板上
アルミ板上
アルミ板上
アルミ板上(×100,000) 図5.11
アルミ板上 (×100,000)
アルミ板上(×10,000) 100,000)
5.11 捕集されたヒュームドシリカ粒子
図5.12
100,000) 図5.13
10,000) 図5.14
130
ニュークリポアフィルター 捕集されたヒュームドシリカ粒子
銀粒子の粒度分布
ニュークリポアフィルター 捕集された銀粒子
ニュークリポアフィルター 捕集された
ニュークリポアフィルター 捕集されたヒュームドシリカ粒子
銀粒子の粒度分布
ニュークリポアフィルター 捕集された銀粒子
ニュークリポアフィルター 捕集されたMWCNT
ニュークリポアフィルター 捕集されたヒュームドシリカ粒子
ニュークリポアフィルター
ニュークリポアフィルター
ニュークリポアフィルター(×10,000)
ニュークリポアフィルター(×10,000)
ニュークリポアフィルター(×20,000) 10,000)
10,000)
20,000)
5.4
いくつかの粒子に対しては捕集漏れが確認されたがきわめて たすべての粒子で捕集が確認されたことから、
粒子だけでなく、実際に使用されているナノ粒子に対しても られた
5.5 5.5.1
サーマルプレシピテーターの利点として、ナノ粒子が 凝集することにより、粗大粒子となったものと、単分散 体のようなナノオーダーの粒子が同時に捕集できると いう利点がある。粗大粒子は、慣性力により中央にイン パクトされ、ナノオーダーの粒子は内部の気流の流れに 沿って沈着する。すなわち中心にはインパクトされた凝 集体が、端にはナノ粒子が捕集されることが予想される。
このときの予想図を図
ことに大変有効である。そのため、粒子を発生させ、サーマルプレシピテーターで捕集す ることにより検証実験を行った。
一般大気中粒子と、
を用いて粒子を発生させ、グリッドを取り外し、アルミ ニウム板を中心から端に向かって並べ、
することにより、比較した。このとき、粒子はサーマル プレシピテーター内で同心円状に拡散していくため、片 側半面のみアルミニウム板を設置することとした。使用 した試料を表
5.5.2
実験前の予想通り、中心付近にはナノ粒子の凝集体が、端側にはナノオーダーの粒子の 捕集が確認された。実験結果を図
考察
いくつかの粒子に対しては捕集漏れが確認されたがきわめて たすべての粒子で捕集が確認されたことから、
粒子だけでなく、実際に使用されているナノ粒子に対しても られた。
サーマルプレシピテーター捕集特性検証実験 5.5.1 実験方法
サーマルプレシピテーターの利点として、ナノ粒子が 凝集することにより、粗大粒子となったものと、単分散 体のようなナノオーダーの粒子が同時に捕集できると いう利点がある。粗大粒子は、慣性力により中央にイン パクトされ、ナノオーダーの粒子は内部の気流の流れに 沿って沈着する。すなわち中心にはインパクトされた凝 集体が、端にはナノ粒子が捕集されることが予想される。
このときの予想図を図
ことに大変有効である。そのため、粒子を発生させ、サーマルプレシピテーターで捕集す ることにより検証実験を行った。
一般大気中粒子と、
を用いて粒子を発生させ、グリッドを取り外し、アルミ ニウム板を中心から端に向かって並べ、
することにより、比較した。このとき、粒子はサーマル プレシピテーター内で同心円状に拡散していくため、片 側半面のみアルミニウム板を設置することとした。使用 した試料を表5.3
試料名 二酸化チタン
銀
5.5.2 実験結果
実験前の予想通り、中心付近にはナノ粒子の凝集体が、端側にはナノオーダーの粒子の 捕集が確認された。実験結果を図
いくつかの粒子に対しては捕集漏れが確認されたがきわめて たすべての粒子で捕集が確認されたことから、
粒子だけでなく、実際に使用されているナノ粒子に対しても
サーマルプレシピテーター捕集特性検証実験
サーマルプレシピテーターの利点として、ナノ粒子が 凝集することにより、粗大粒子となったものと、単分散 体のようなナノオーダーの粒子が同時に捕集できると いう利点がある。粗大粒子は、慣性力により中央にイン パクトされ、ナノオーダーの粒子は内部の気流の流れに 沿って沈着する。すなわち中心にはインパクトされた凝 集体が、端にはナノ粒子が捕集されることが予想される。
このときの予想図を図5.15
ことに大変有効である。そのため、粒子を発生させ、サーマルプレシピテーターで捕集す ることにより検証実験を行った。
一般大気中粒子と、NANO AEROSOL GENERATOR を用いて粒子を発生させ、グリッドを取り外し、アルミ ニウム板を中心から端に向かって並べ、
することにより、比較した。このとき、粒子はサーマル プレシピテーター内で同心円状に拡散していくため、片 側半面のみアルミニウム板を設置することとした。使用
5.3に示し、実験状況を図 表
試料名 二酸化チタン
銀 <100nm
実験前の予想通り、中心付近にはナノ粒子の凝集体が、端側にはナノオーダーの粒子の 捕集が確認された。実験結果を図
いくつかの粒子に対しては捕集漏れが確認されたがきわめて たすべての粒子で捕集が確認されたことから、
粒子だけでなく、実際に使用されているナノ粒子に対しても
サーマルプレシピテーター捕集特性検証実験
サーマルプレシピテーターの利点として、ナノ粒子が 凝集することにより、粗大粒子となったものと、単分散 体のようなナノオーダーの粒子が同時に捕集できると いう利点がある。粗大粒子は、慣性力により中央にイン パクトされ、ナノオーダーの粒子は内部の気流の流れに 沿って沈着する。すなわち中心にはインパクトされた凝 集体が、端にはナノ粒子が捕集されることが予想される。
5.15に示す。このことは現場で飛散している粒子の動態を解析する ことに大変有効である。そのため、粒子を発生させ、サーマルプレシピテーターで捕集す ることにより検証実験を行った。
NANO AEROSOL GENERATOR を用いて粒子を発生させ、グリッドを取り外し、アルミ ニウム板を中心から端に向かって並べ、
することにより、比較した。このとき、粒子はサーマル プレシピテーター内で同心円状に拡散していくため、片 側半面のみアルミニウム板を設置することとした。使用
に示し、実験状況を図 表5.3 実験試料
粒子径 50nm
<100nm
実験前の予想通り、中心付近にはナノ粒子の凝集体が、端側にはナノオーダーの粒子の 捕集が確認された。実験結果を図5.17〜
131
いくつかの粒子に対しては捕集漏れが確認されたがきわめて
たすべての粒子で捕集が確認されたことから、前章の結果から導いた最適捕集条件は 粒子だけでなく、実際に使用されているナノ粒子に対しても
サーマルプレシピテーター捕集特性検証実験
サーマルプレシピテーターの利点として、ナノ粒子が 凝集することにより、粗大粒子となったものと、単分散 体のようなナノオーダーの粒子が同時に捕集できると いう利点がある。粗大粒子は、慣性力により中央にイン パクトされ、ナノオーダーの粒子は内部の気流の流れに 沿って沈着する。すなわち中心にはインパクトされた凝 集体が、端にはナノ粒子が捕集されることが予想される。
に示す。このことは現場で飛散している粒子の動態を解析する ことに大変有効である。そのため、粒子を発生させ、サーマルプレシピテーターで捕集す
NANO AEROSOL GENERATOR を用いて粒子を発生させ、グリッドを取り外し、アルミ ニウム板を中心から端に向かって並べ、FE-SEMで観察 することにより、比較した。このとき、粒子はサーマル プレシピテーター内で同心円状に拡散していくため、片 側半面のみアルミニウム板を設置することとした。使用 に示し、実験状況を図5.16に示す。
実験試料
メーカー 日本エアロジル シグマアルドリッチ
実験前の予想通り、中心付近にはナノ粒子の凝集体が、端側にはナノオーダーの粒子の
〜図5.22に示す。
いくつかの粒子に対しては捕集漏れが確認されたがきわめて
前章の結果から導いた最適捕集条件は 粒子だけでなく、実際に使用されているナノ粒子に対しても適用
サーマルプレシピテーターの利点として、ナノ粒子が 凝集することにより、粗大粒子となったものと、単分散 体のようなナノオーダーの粒子が同時に捕集できると いう利点がある。粗大粒子は、慣性力により中央にイン パクトされ、ナノオーダーの粒子は内部の気流の流れに 沿って沈着する。すなわち中心にはインパクトされた凝 集体が、端にはナノ粒子が捕集されることが予想される。
に示す。このことは現場で飛散している粒子の動態を解析する ことに大変有効である。そのため、粒子を発生させ、サーマルプレシピテーターで捕集す
NANO AEROSOL GENERATOR を用いて粒子を発生させ、グリッドを取り外し、アルミ で観察 することにより、比較した。このとき、粒子はサーマル プレシピテーター内で同心円状に拡散していくため、片 側半面のみアルミニウム板を設置することとした。使用 に示す。
メーカー 日本エアロジル シグマアルドリッチ
実験前の予想通り、中心付近にはナノ粒子の凝集体が、端側にはナノオーダーの粒子の に示す。
図5.15
ター内粒子捕集状況の予想 いくつかの粒子に対しては捕集漏れが確認されたがきわめて少量の漏れであ
前章の結果から導いた最適捕集条件は 適用できる条件である
に示す。このことは現場で飛散している粒子の動態を解析する ことに大変有効である。そのため、粒子を発生させ、サーマルプレシピテーターで捕集す
図5.16
実験前の予想通り、中心付近にはナノ粒子の凝集体が、端側にはナノオーダーの粒子の 5.15 サーマルプレシピテー ター内粒子捕集状況の予想
少量の漏れであり、使用し 前章の結果から導いた最適捕集条件は
できる条件であると考え
に示す。このことは現場で飛散している粒子の動態を解析する ことに大変有効である。そのため、粒子を発生させ、サーマルプレシピテーターで捕集す
実験状況
実験前の予想通り、中心付近にはナノ粒子の凝集体が、端側にはナノオーダーの粒子の サーマルプレシピテー ター内粒子捕集状況の予想
、使用し 前章の結果から導いた最適捕集条件は標準 と考え
に示す。このことは現場で飛散している粒子の動態を解析する ことに大変有効である。そのため、粒子を発生させ、サーマルプレシピテーターで捕集す
実験前の予想通り、中心付近にはナノ粒子の凝集体が、端側にはナノオーダーの粒子の サーマルプレシピテー ター内粒子捕集状況の予想図
図
5.5.3 20
はナノオーダーの粒子が確認された。このことから、ナノ粒子の凝集体と単分散体が混在 している作業現場においても、同時に捕集でき、観察が可能であると推測される。しかし、
FE-SEM た場合、
可能な粒子サイ とが分かる
よる分析は必須といえる。
能であることを報告してある。
図5.17 一般大気中粒子 (中央) (×
図5.20 二酸化チタン (端側) (×
5.5.3 考察
20視野以上観察したところ、予想していた通り、中心にはナノ粒子の凝集体が、端側に はナノオーダーの粒子が確認された。このことから、ナノ粒子の凝集体と単分散体が混在 している作業現場においても、同時に捕集でき、観察が可能であると推測される。しかし、
SEMでの観察ではナノ粒子の存在は確認できるものの、そのナノ粒子が既知でなかっ た場合、EDXでは分析できないという欠点がある。
可能な粒子サイズがあり、ナノオーダーの分析には
とが分かる3)。作業環境において飛散している粒子の確認・同定のためには、
よる分析は必須といえる。
能であることを報告してある。
一般大気中粒子
×80,000)
二酸化チタン
×80,000)
視野以上観察したところ、予想していた通り、中心にはナノ粒子の凝集体が、端側に はナノオーダーの粒子が確認された。このことから、ナノ粒子の凝集体と単分散体が混在 している作業現場においても、同時に捕集でき、観察が可能であると推測される。しかし、
での観察ではナノ粒子の存在は確認できるものの、そのナノ粒子が既知でなかっ では分析できないという欠点がある。
ズがあり、ナノオーダーの分析には
。作業環境において飛散している粒子の確認・同定のためには、
よる分析は必須といえる。それに関しては、
能であることを報告してある。
装置 FE-SEM
FE-AES FE-TEM
図5.18 (端側
図
視野以上観察したところ、予想していた通り、中心にはナノ粒子の凝集体が、端側に はナノオーダーの粒子が確認された。このことから、ナノ粒子の凝集体と単分散体が混在 している作業現場においても、同時に捕集でき、観察が可能であると推測される。しかし、
での観察ではナノ粒子の存在は確認できるものの、そのナノ粒子が既知でなかっ では分析できないという欠点がある。
ズがあり、ナノオーダーの分析には
。作業環境において飛散している粒子の確認・同定のためには、
それに関しては、
能であることを報告してある。
表5.4 分析の空間分解能の比較
SEM AES
TEM EDX
132
5.18 一般大気中粒子 端側) (×100,000)
図5.21 銀(中心 (×80,000)
視野以上観察したところ、予想していた通り、中心にはナノ粒子の凝集体が、端側に はナノオーダーの粒子が確認された。このことから、ナノ粒子の凝集体と単分散体が混在 している作業現場においても、同時に捕集でき、観察が可能であると推測される。しかし、
での観察ではナノ粒子の存在は確認できるものの、そのナノ粒子が既知でなかっ では分析できないという欠点がある。
ズがあり、ナノオーダーの分析には
。作業環境において飛散している粒子の確認・同定のためには、
それに関しては、23年度の報告書で 分析の空間分解能の比較
分析手法 EDX
AES EDX、EELS
一般大気中粒子 100,000)
中心) 80,000)
視野以上観察したところ、予想していた通り、中心にはナノ粒子の凝集体が、端側に はナノオーダーの粒子が確認された。このことから、ナノ粒子の凝集体と単分散体が混在 している作業現場においても、同時に捕集でき、観察が可能であると推測される。しかし、
での観察ではナノ粒子の存在は確認できるものの、そのナノ粒子が既知でなかっ では分析できないという欠点がある。SEM-EDX
ズがあり、ナノオーダーの分析にはSEM-EDX
。作業環境において飛散している粒子の確認・同定のためには、
年度の報告書で 分析の空間分解能の比較3)
分析分解能
EELS
図5.19 二酸化チタン (中心) (
図5.22
(×100,000)
視野以上観察したところ、予想していた通り、中心にはナノ粒子の凝集体が、端側に はナノオーダーの粒子が確認された。このことから、ナノ粒子の凝集体と単分散体が混在 している作業現場においても、同時に捕集でき、観察が可能であると推測される。しかし、
での観察ではナノ粒子の存在は確認できるものの、そのナノ粒子が既知でなかっ EDXでは表5.4
EDXが適応可能範囲外であるこ
。作業環境において飛散している粒子の確認・同定のためには、
年度の報告書でTEM-EDX
3)
分析分解能 1-3μm
30nm 1nm
二酸化チタン ) (×80,000)
5.22 銀(端側) 100,000)
視野以上観察したところ、予想していた通り、中心にはナノ粒子の凝集体が、端側に はナノオーダーの粒子が確認された。このことから、ナノ粒子の凝集体と単分散体が混在 している作業現場においても、同時に捕集でき、観察が可能であると推測される。しかし、
での観察ではナノ粒子の存在は確認できるものの、そのナノ粒子が既知でなかっ 4のように、分析 が適応可能範囲外であるこ
。作業環境において飛散している粒子の確認・同定のためには、TEM-EDX EDXの定性分析が可
二酸化チタン
視野以上観察したところ、予想していた通り、中心にはナノ粒子の凝集体が、端側に はナノオーダーの粒子が確認された。このことから、ナノ粒子の凝集体と単分散体が混在 している作業現場においても、同時に捕集でき、観察が可能であると推測される。しかし、
での観察ではナノ粒子の存在は確認できるものの、そのナノ粒子が既知でなかっ のように、分析 が適応可能範囲外であるこ EDXに の定性分析が可
