小特集 産業用試験システム
3次元6自由度振動台
Th柑e-dimensionalSix-DegreeFreedomEarthquakeSimulator 地震国である我が国では,原子力発電設備などの耐震研究が特に重要視され ている。耐震研究で,これら構造物の実物あるいはモデルを,実際の地震と同 様の状態で加振する振動台が重要な役割を果たしている。3次元6自由度振動 台は,水平と垂直の直角3方向の振動と各軸方向回りの回転振動を同時に再生 することができる装置である。 本稿では,3次元6自由度振動台で特に重要な技術である加速度波の忠実な 再生技術・多次元運動を実現する継手機構,更には試験対象の影響を補償する 制御技術について紹介する。3次元6自由度振動台は,既に産業界及び国内外 の各研究機関に設置され,耐震研究に利用されている。口
緒 言 原子力発電設備,高層ビル,超大橋,ダムなどの各種構造 物が,地震時に破壊しないだけの十分な強度を持ち,正常な 機能を保持できるかどうかを確認することが社会的に強く求 められている。このため,これら構造物の実物あるいはモデ ルを地震と同様の状態で加振して,振動特性や耐震強度を試 験する必要がある。このような試験設備として振動台が使用 される。 振動試験あるいは耐震試験では,通常2次元(水平,垂直各 1軸)あるいは3次元(水平2軸,垂直1軸)といった直線方向 の加振が行われる。しかし,近年このような直線方向の加振 だけでなく,地震によって生じる構造物のねじれや液体タン クなどのスロッシング,船舶のロッキング・ピッチング特性 などの,回転運動までも含めた振動特性を試験することが可 能な振動台が強く望まれてきた。3次元6自由度振動台は, このような要望に対応するために開発された装置であり,前 後・左右・上下の3軸方向の直線運動に,各軸方向回りの回 転運動を可能とした点を特徴としている。 3次元6自由度振動台を利用することにより,過去に発生 した実際の地震と同様の状態を,水平・垂直3方向に立体的 に正確に再現するのはもちろんのこと,例えば,巨大タンク のように回転振動の影響の大きい構造物の複雑な振動を忠実 に再現することが可能となる。 以下に振動台の基本構成や性能をはじめ,地震波を精度よ く再現するためのシステム技術について紹介する。囚
耐震試験設備の状況
3次元6自由度振動台の概要を図1に示す。この振動台で は,試験対象は四角のテーブル上に搭載され,テーブルはⅩ軸 及びY軸方向を各々2台の加担機で,Z軸方向を4台の加振機 U.nC.る20.178.53.05:る24.042.7.08 平井洋武* 楯 善幸柑 矢頭順一*** 菅野正治*** 今野隆雄*** ガわり桝〝+打Zγα才 y∂5ゐか〟ゐ才7七Jg カ(乃'gcゐ∼i七z〟 〟αSα如7Ⅶ5柳乃∂ 7滋々α0 瓜)乃〃∂ で駆動される。この振動台の機構的な特徴は,テーブルと加 振機との結合部に静庄軸受継手を用いている点にある。この 継手機構により,水平・垂直及び回転方向の運動を独立に制 御することが可能となっている(4章参照)。 国内の各研究機関に設置された日立製作所が納入した主な 振動台(2次元以上)の仕様を表lに示す。これらの研究機関 では,原子力発電設備や巨大タンクを持つプラント類,更に は基礎地盤や土木構造物に対する耐震試験が活発に実施され ている。図2は,テーブル寸法4mX4m,搭載重量20tの振 動台で,高層ビルの建築構造モデルを用いた耐震試験の様子 を示したものである。田
システムの概要 標準的な振動台システムの構成を図3に示す。本システム は試験対象を搭載するテーブルを設置した機械システムと, そのテーブルを加振するための駆動力を発生する油圧システ ム,耐震試験データの収録・解析及び計算機による波形補正 制御などを行う計測装置並びにディジタル制御装置,更に加 振機のサーボ制御系の構成とディジタルシステム,油圧シス テムの起動・停止をコントロールするアナログ制御装置で構 成される。 なお,本システムは次のような基本的考え方に基づいて設 計されている。すなわち,目標振動波形を精度よく忠実に再現する制御技術及びハードウェア技術を採用するとともに,
機器の高信頼化と耐久性の向上を図っている。また,振動台 の設置に当たっては,十分な安全装置を備えるとともに,環 境保全対策(振動伝搬)に万全を期している。更に稼動段階で は,運転操作・データ処理の自動化を図り,全体としては安 全性,稼動率,省力化を高めたシステムを構成することに留 * 日立製作所機械研究所工学博上 ** 日立製作所機械研究所 *** 日立製作所土浦工場354 日立評論 VOL.69 No.4(198了-4) \Y 苓 \ Y軸 加娠機
ぬ
図1 3次元6自由度振動台の概要 静 庄 軸受継手 / 孝男 \ / テーブルぬ
』
襟 / Z軸 加振機 6自由度の加振が可能な振動台の概観図を示す。 表l振動台の主な設置機関 日立製作所が設置した2次元以上の振動台の主な機関と振動台の仕様を示す。 畑鵬 力 設置機関 電力中央研究所 株式会社日立製 建設省土木研究 東京大学生産技 大成建設株式会 株式会社奥村組 清水建設株式会 仕 様 土木研究所 作所機械研究所 所 術研究所 社技術研究所 筑波技術研究所 社技術研究所 試験対象最大質量(t) 10 20 40 7 20 定格20 最大60 20 テ ー ブル寸法(叫 3×3 4×4 4×4 3×3 4×4 4×4 4×4加 振 方 向 ×,Z(同時) ×,Y,Z(同時) ×,Z(同時) ×,Y,Z(同時) X,Y,Z(同時) X,Y,Z+(回転) X,Y,Z+(回転)
岩====こ=■ ̄-- ̄ ̄一■■■ ̄■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ 号燕
も図2
耐震試験状況 建築構造物の代表例である高層ビルのモデル を用いた耐震試験状況を示す。 意している。 なお,データ計測・収録・解析及びディジタル制御装置と しては,パーソナルコンピュータ,ミニコンビュータ,スー パーミニコンピュータを用いたどのシステムも完備している。 特にアプリケーションプログラムについては,(1)加振波形の 発生,(2)各種制御,(3)テし一夕計測・収録,(4)テし-タ解析,(5) データの図化・編集・表示・転送といった非常に広範囲にわ たるソフトウェアが完備され,しかもそれぞれ豊富な機能が 用意されている。田
継手機構
振動台では,テーブルと加振機の間の結合方法である継手 機構が重要な技術課題となる。この継手機構は,加振機の出 力をテーブルへ忠実に伝達し,また加振機に対して直角方向 にテーブルが運動するとき,その運動を拘束しないような機3次元6自由度振動台 355 注 データ ⊂::=====:::::::::コ制御信号 ---■一■電力 オイル ■■■■冷却水 クーリングタワー
団
水ポンプ』塾聖
クーリングユニット櫛
□ ___立_ オイルタンク ロロロ ロ ロ ロ ロ ロ ⊂⊃⊂コ ロロ ロ 接続盤 接続盤 ⊂:::::::::::コ llll…卜 …ltll卜 こIllll…こ 計測装置澗
‡フ ※ クご 振動台 アクチュエータから ドレーンから アクチュエータヘ 静庄継手 ロ ロ ドレーンポンプ盛
口 □ ⊂コ[コ【=】⊂コ=コ ロ ロ 「 □三≡。土車重圭≡三≡
ディジタル制御装置愚励閻
巨∃
◎ 壷 アナログ制御装置 「 ̄ ̄司 d 町 [≡∃ ⊂==二〕 [コ 亡コ・ ] 起動盤 シーケンス制御盤匡盟
凸ロロロロロロロq 主油圧ポンプユニット胸囲
頗団
副油圧ポンプ回
l l l l l l ■-1■■■ 図3 振動台の基本システム 振動台が機税 制軌 油凪 データ処理ディジタル制御の四つのシステムによって構成されていることを示す。 構でなければならない。これまでに実用化されている方式と しては,リンク機構と静庄軸受継手機構1)の二つがあるが,日 立製作所では静庄継手方式を採用している。 この方式は図1の概念図で示すように,加振機とテーブル の間に静庄軸受継手機構を用いた方式である。この継手機構 は,図4に示すようにテーブルに固定されたコの字形部分と 加振機の先端に固定されたロの字形部分から成り立っており, それらは同図(a)のように組み合わされている。同図(b)はその 断面を示しており,コの字形の中央部はロの字形部分で挟ま れ,両面が対向形の軸受になっている。また,軸受面には油 圧ユニットから供給された圧油によF),高い剛性を持った油 膜が形成され,コの字形・ロの字形両部材のしゅう(摺)動で は,摩擦力のほとんど発生しない極めて高精度な静圧軸受と なっている。 なお,この継手機構のもう一つの特徴は,図4(b)に示した ようにテーブルの回転運動を可能とするため,軸受面を持つ 軸受パッドの後方を球面座として,軸受パッドがロの字形部 材の中で回転可能な構造としたことにある。参考のために, テーブルの回転に伴い,継手のコの字形部材と軸受パッドが 回転動作をする様子を図5に示す。 コの字形部分 (テーブルに固定) コの字形部分 口の字形部分 (断面) (a) (b) 口の字形部分 (加操機先端に固定) 軸受面 球面座 給油口 図4 静庄軸受式継手の構造 振動台と,その振動台を動かすため の加振機の間を結合する継手の構造を示す。356 日立評論 VOL.69 No.4‥987-4) テーブル 水平加振枚 静圧軸受式継手 コの字形部分 口の字形部分■ 垂直加振機 図5 振動台の回転運動 振動台が回転した場合の継手機構の様子 を示す。
白
加振制御系
ここでは,加速度波形ひずみの補正技術として開発された 加速度制御技術2)と,学習制御技術3),振動台の6自由度制御 を可能とした回転制御技術,及び試験対象の共振現象によっ て生じる大きな転倒モーメントの発生を防止する回転抑止制 御技術について紹介する。 5.1加速度制御技術 加速度波を忠実に再生するための電気油圧サーボ系の構成 を図6(a)に示す。この電気油圧サーボ系の特徴は,加速度信 号を直接入力としていることで,加速度の正弦波,ランダム 波及び地震波を入力とした試験が簡単に実施できる点にある。 テーブルの応答目標に相当する加速度信号が応答モデル回路 に入力されると,応答モデル回路からは,加速度のほかにそ の速度と変位の三つの波形が出力され,サーボ増幅器に入力 される。一方,実際のテーブルの加速度,速度及び変位は, それぞれのセンサによって検出され,その検出信号もまたサ ーボ増幅器にフィードバックされる。そしてサーボ増幅器に 入力されたそれぞれ三つの入力信号から偏差信号が出力され サーボ弁に印加される。サーボ弁は加振機に供給される庄油 の流量と方向を制御し,テーブルを偏差信号が小さくなる方 向に動かす。つまり偏差信号が常にゼロになるようにサーボ 系が動作すると,加速度目標値とテーブルの応答が一致し, 加速度波が忠実に再現される。同図(b)は各種入力信号のうち ランダム波入力に対する応答の例である。同図(b)で,各信号 の波形は上から水平方向の入力加速度,水平方向のテーブル 加速度,垂直方向の入力加速度,及び垂直方向のテーブル加 速度を示す。いずれも精度よくランダム波形が再現されてい る。 5.2 学習制御技術 ここでは,ディジタル計算機を利用して振動台の加速度波 形ひずみを補正する学習制御技術を紹介する。 油圧源 テーブル 変位フィード バック 加速度 目標値 応 答 モデル回路 加速度波 速度波 変位波 水平方向 入力加速度 水平方向 テーブル加速度 垂直方向 入力加速度 垂直方向 テーブル加速度 サーボ 増幅器 サーボ弁 加掟機 変位検出器 速度フィードバック 加速度フィードバック 加速度検出器 積分器 (a)加速度制御系の構成 0.1s -一十1 トー (b)振動台応答波形(ランダム波)⊥
200Gal T⊥
200GalT
図6 加速度制御系の構成とその効果 (a)は加速度浪を忠実に再生するための加速度制御系の構成を示し, (b)はその制御系での振動台の応答波形結果である。3次元6自由度振動台 357 目標信号 加振信号 目標信号 発 生 部 250 -250 d (⊃ 世
璧
・R スペクトル 月(J(り) スペクトル 比 較 部 応答信号 スペクトル C(ノu) フ ーリ エ 変 換 部 補正前 加振信号 補 正 部 スペクトル 〟(ノ仙) 逆フーリエ 変 換 部 (a)振動台の学習制御系の構成 250 招 じ◆垂。
-R 0 0.384 時 間(s) 0.768 -250 D-A 変 換 部 A-D 変 換 部 補正後 加娠信号 m(り テーブル 応答信号C(り 0 0.384 0.768 時 間(s) (b)正弦波ひずみ低減例 図7 学習制御系の構成とその効果 (a)ディジタル計算機を利用した学習制御系の構成を示す。(b)は学習制御補正の効果の一例を示すもので, 正弦波ひずみの低減例である。 振動台の応答波形ひずみは,目標信号の周波数及び振幅に よってその現れ方が異なるため,あらかじめ補正信号を作る ことはできない。そのために,振動台の応答波形を評価しな がら,その精度が許容値内に収束するまで加振信号の補正を 繰り返す。 図7(a)は,補正機能を実現する学習制御系の構成を示した ものである。同図で,テーブルの応答信号を取り込むA-D変 換部から加振信号を出力するD-A変換部までが,ディジタル計 算機で処理する機能である。 テーブルからの応答信号スペクトルと目標信号発生部から の目標信号スペクトルにより,テーブルの応答波形精度の評 価を行い,その精度が許容値内に収束するまで加振信号補正 を加えた加振信号スペクトルを発生し,補正を繰り返すもの である。 この学習制御技術を,正弦波ひずみの低減に適用した場合 の結果の一例を図7(b)に示す。左側が補正前の応答波形,右 側が補正後の応答波形である。ひずみが低減され精度の良い 正弦波に補正されている。 更に試験結果の代表例として,ディジタル計算機で波形補 正制御を加えた場合の,加速度波形ひずみ率を図8に示す。 このデータは,20t負荷に対して,周波数と加速度レベルを変 えたいずれの測定点でも,補正後は良好な応答が得られている。同図中の○印の上段の数値は,ひずみ補正後の,下段の
数値は補正前の加速度波形ひずみ率を示す。 5.3 回転制御技術 回転運動を実現するための加振機構については,前章で述 べたとおりである。ここでは,回転制御系の構成を紹介する。 図9及び図川は,直線運動と回転運動とを組み合わせて加振 できる制御系の全体システム構成図である。本システムは, 大別すると8台の加振機のアナログサーボ制御をつかさどる アナログ制御装置と,アナログ制御系の特性を補正し制御精 度の向上を図るディジタル制御装置の二つのシステムによっ て構成されている。このうちアナログ制御装置は,各加振機 のサーボループを構成するサーボ制御部,そのサーボ制御系 に与える目標信号を演算し出力する直線入力演算部及び回転 入力演算部,並びにテーブルの動きの状態を表す状態量を求 める状態量演算部の三つの部分から構成されている。また, ディジタル制御装置は,振動台の目標信号に相当する電圧を 出力するD-A変換器と,振動台の目標信号に対応する状態量 を取り込むA-D変換器とを備え,閉ループでの補正制御を可 能としている。 回転制御に関する本システムの特長は,回転制御に必要と なる回転入力演算部と状態量演算部とをハードウェア化し, 演算速度の高速化とソフトウェア依存度の軽減を図った点に ある。358 日立評論 VOL.69 No.4(1987-4) 10,000 1,000 0 0 0 0 0 0 0 5 2 1 3 (一男U)世僧⊂乍 ±0.8G(20t時)
㊤㊤㊤㊤㊤㊤
㊤㊤㊤0
(せ㊤㊤(▽
0㊤㊤㊤
㊤㊤㊤㊤
㊤㊤㊤㊤
㊤㊤㊤㊤
補正後 無補正 0,10.2 0.5 1 2 5 10 20 50 100 周波数(Hz) 10,000 1,000 0 0 0 0 0 0 0 5 2 1 3 1 (一月U)世糊口只 補正後 無補正 斗 ±0.8G(20t時)㊤㊤㊤㊤
㊤㊤㊤㊤
㊤㊤00
㊤㊤㊤㊤
㊤㊤㊤0
㊤㊤0㊤
㊤(ロ㊤(》
0.2 0.5 1 2 5 10 20 50 100 周波数(Hz) ×軸 Z軸 図8 加速度波形ひずみ率(20t負荷) 測定点で求めた。 「---ディジタル制御装置-lディスケット 】1・26Mバイト l 1 1 】 +__ 図9 グラフィック ディスプレイ DISK 15Mバイト ASYNC 】/F (⊃ S/140 256kバイト ディジタル制御装置で補正制御を加えた場合の加速度波形ひずみ率を,周波数と加速度レベルを変えた  ̄ ̄「 プログラム フィルタ 「 FP] D-A 変換器 マ イ タ 川棚 B 一 P G Pl-0 注:略語説明 ASYNC けF(Asynchronous仙erface) GP-1B(Ge[eralPurpose-1nterねceB]S) Pト0(Programmablelnput-0]tPUt) ム ■7タ グル ロ イ プフ ●■一一-+ 一 直線入力 演算部 力郡 玖算 +申丁 回演 ド部 一御 モ制 ーーーーーアナログ制御装置--「 サーボ制御部 「 ×1サーボ制御系 入 力 選択部 X2 サーボ制御系 Ylサーボ制御系 Y2サーボ制御系 Zlサーボ制御系 Z2サーボ制御系 Z3サーボ制御系 Z4サーボ制御系 状 態 量 演 算 部 L________ 振動台制御系の全体システム構成図 娠動台の回転制御を実現する制御系の全体システム構成を示す。 ■「 _-_+3次元6自由度振動台 359 状態量演算 回転入力演算 ●ヨーイング加栃指令 ズ1=U∬+(c+Uy)t鮎 ズ2=Uェー(仁一Uy)tβz yl=Uy+(c-UJ)・βz y2=Uダー(c+U∬)・βz ●ピッチング加振指令 ズ12=U∬-(ん3+Uz)・軸 Z13=Uz+=1+U∬ト軸 Z24=U才一=1一打∬)・βg ●ローリング加振指令 y12=Uy+(ん3+U之)・鮎 Z12=Uz一=1+U訂)・鮎 Z34=Uz+り1-Uy)・βズ
βz鞄
鮎(ヨーイング) βy(ピッチング) 鮎(ローリング) 座標の定義 状 態 演 算 式 検出信号 ヨーイング βヱ=す㌧・仏+yl-ズ2-γ2) ズ1=Uェ+ぐ・β∼ 古z=。壬。・仙+シ1-ズ2-r2) ズ2=U∫-r・βz jj∫=‡・(ガ1+宮2) yl=Uy十亡・β∼ 1 Uy=す・(yl+r2) γ2=U甘-ぐ・鮎 ピッチング 1 βy=寸TT・(Zl+ZコーZ2-Z一) 方Ⅰ=∫z=Lけ一人3・恥 1 βy=41Jl-・(Zl十Z3-Z2-Z一) Zl=Z3=U∼+Jl・軸 臼エ=紳十ね+。空3′1・(gl+gユー22-Z`)Z2=Zl=Jノ∼-J】・β甘 iノヱ=il吉】+g2十23+21) ローリング 1 鮎=り1・(Z汁Z◆-Z--∠2) yl=y2=りy+人3・β∫ ∠1=Z2=U∼-‖・∂∫ ∠3=Zl=Uヱ+=・仇r 1 古エ=4・Jl・(Z3+2一一宮l-Z2) 【′甘=首・(yl・ジ2ト4空3′】・(g汁24-gl-gZ)1 主/ぞ=‡(Zl十22+方汁Z一) ■ム1 α d l 【ヨ Q ・・Q ズ2 ll ll U㊤
ll ll ll α= ム= C= ん1= ん3= Jl= J2= U bz ノ Z2 叫 y2 .yl C_C ん3 ぺ .J「l ■、t+ ′ 軸 ・-1ミ Jl Jl l 2,000mm 740mm l,250mm l,200mm 800mm l,250mm 760mm 図10 振動台制御の回転入力演算,状態量演算式 図11の回転入力演算部と状態量演算部の計算式及び振動台座標の定義を示す。 5.4 回転抑止制御技術 テーブル上に弾性的な試験対象を載せて水平加振を行うと, 試験対象の共振現象によって,大きな転倒モーメントが発生 する。これに対して加振機サーボ系の剛性は有限であるため, 上下方向の加振機に強制力による上下振動が発生し,テーブ ルに不必要な回転運動(ピッチング)が発生する。この現象が 発生すると入力波形に対する追従性が悪くなり,地震波を正 しく再現することが不可能となる。回転抑止制御技術は,こ の試験対象の共振現象からテーブルのピッチングを防止する ための技術である。ピッチングを抑制するためには,上下方 向の各加振機の応答を測定し,この振動を打ち消すような信 号を目標信号に加える必要がある。なおピッチングは,加振 信号の周波数及び振幅によりその現れ方が異なるために,あ らかじめ補正信号を作ることはできないので,5.2節で述べた 学習制御機能が必要となる。 図‖に回転抑止制御系の概念図を示す。基本的にはテーブ ルから得られる加速度の状態量を補正演算部となるディジタ ル制御装置に取り込み,その信号を基に回転抑止制御のアル ゴリズムを演算する。そして,その結果を補正を加えた加速 度入力信号として計算機から出力し,アナログ制御装置に入 力し,テーブルを制御するものである。 この回転抑止制御技術を用いて共振現象を補正した例を 国12に示す。同図で(a)は補正がない場合の,(b)は補正を加え た場合のⅩ軸方向のテーブルの周波数特性である。同図(a)に示 すように,補正がない場合の5Hz付近の共振が,補正をする ことによって同図(b)に示すように非常によく抑制されている。8
結 言 日立製作所では,昭和41年に1次元振動台を開発・製品化し て以来,静庄軸受継手技術の開発による振動台の多次元化(2 次元,3次元)を経て,20年後の現在では,実際の地震を忠実 に再現する上で最適な3次元6自由度振動台を実用化した。 現在国内の研究機関で,耐震研究設備として有効に活用され ている。360 日立評論 VOL.69 No.4(1987-4) 補正演算部 +(ご(ん)
帥=[≡三…≡三…≡三≡]
肝 ̄FT FFT 〃∬i+1 肘∼j+1 〟βJ+1 C∫i C∼メ C♂i 図Il回転抑止制御の概念図 0 0 0 0 8 181.(仙卓望垂■
【h) 0 局000「×璧よ柴 加速度 入 力 Uェ U∼ βy 安 Z βy 入力 積分 回路 入力 積分 回路 入力 積分 回路 状態量 演 算 回 路 加速度濾 速度 波 変位i皮 加速度波 速 度 三皮 変位波 加速度波 速度)虔 変位三度 転力廿昇格 回入演回 ガ1 ズ1 サーボ 増幅器 丸 女1 Zl,Z3 変位検出器 速度検出器 サーボ 増幅器 Zl,Z3 Zl,Z3 Zl,Z3 サーボ弁 加 娠 機 加速度検出器 サーボ弁 加娠機 加娠機 テーブル サーボ弁 変位検出器 速度検出器 Z2,Z4 注:略語説明IFFT(ln〉erSeFirsIFourier Transform)
FFT(First Fourier Transform)
サーボ 増幅器 加速度検出器 Z2,Z4 変位検出器 Z2,Z4 速度検出器 Z2,Z4 試験体の共振現象によって生じる振動台の回転を防止する回転抑止制御系の構成を示す。 5 周波数(Hz) (a)補正なし 芯 柑O q) ■て:) 讐 0 せ -180 1.0 5 0 0 一向ロ00【×煙七柴 加速度検出器 5 10 周波数(Hz) (b)補正あり 図12 回転抑止制御の効果 回章云抑止制御により,試験対象の共振現象を補正Lた場合の効果の一例を示す。 このような振動台の変遷では,ディジタル計算機やサーボ 系の各構成要素の技術進歩による面もあるが,基本的には, (1)加速度彼の忠実な再生技術の確立 (2)多次元加振機構の開発 (3)試験対象の影響補償の確立 といった技術課贋を解決し,実用化したことが大きな要因で あると考える。 また,初期のころの振動台の設置目的は,主に振動特性を 試験するものであったが,最近はしだいに原子力発電所やビ ル,ダムといった土木建築物などの重要施設に関する実証試 験設備としての要求が高まっている。 したがって,今後は振動・解析技術の進歩とあいまって, 3次元6自由度振動台の設置も着実に増大し,多くの研究機 関で高度化・多様化した耐震研究が活発に展開されるものと 期待される。 参考文献 1)浜野,外:油圧式2次元振動試験機,油圧と空気圧,11-2,77 (昭55-3) 2)松崎,外:電気油圧式振動試験機に関する研究,機械学会論文 集,42-353,146(昭5ト1)(関連論文2報) 3)平井:地震シミュレータの加振制御,精密工学会,第124回講 習会,69(昭61-1)