シリコン太陽電池における光学構造の形成とパッシベーション膜の電気的特性の均質化による発電特性の向上

Author(s)

三和, 寛之

Report No.(Doctoral

Degree)

博士(工学) 工博甲第536号

Issue Date

2018-03-25

Type

博士論文

Version

ETD

URL

http://hdl.handle.net/20.500.12099/75263

※この資料の著作権は、各資料の著者・学協会・出版社等に帰属します。

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[2] K. Yamada, T. Inoue, K. Waki, Future Prospects of Photovoltaic Systems for

 Mitigating Global Warming, World Engineers̓ Convention 2011 in Geneva, 2011. [3] L.Stolt : presented at the 24th EU-PVSEC (2009).

3

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8

2.2 Si ⣔ኴ㝧㟁ụ

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10 ࡗࡓ≧ែࡢ㟁Ꮚࠊᮍ⤖ྜᡭ(ࢲࣥࢢࣜࣥࢢ࣎ࣥࢻ)ࡀከᩘᏑᅾࡋࠊࡇࢀࡽࡣ࢚ࢿࣝࢠ࣮ⓗ࡟ ୙Ᏻᐃ࡛㠀ᖖ࡟άᛶ࡛࠶ࡿࡓࡵࠊኴ㝧㟁ụ࡟࠾ࡅࡿᑡᩘ࢟ࣕࣜ࢔ࡢ෌⤖ྜ୰ᚰ࡜ࡋ࡚ാࡁ ࡸࡍ࠸ࠋከ⤖ᬗࢩࣜࢥࣥࡢ㧗ຠ⋡໬࡟࠾࠸࡚ࡣࠊࡇࡢ⢏⏺ࡢ୙άᛶ໬ࡣ㠀ᖖ࡟㔜せ࡞せ⣲ ࡛࠶ࡾࠊ㏻ᖖỈ⣲ᡴࡕ㎸ࡳ࡟ࡼࡿ୙άᛶ໬ࡀ⾜ࢃࢀࡿࠋᇶᮏⓗ࡟ከ⤖ᬗ Si ࢆ౑⏝ࡋࡓࢭࣝ ࡣ༢⤖ᬗࢆ౑⏝ࡋࡓࢭࣝࡼࡾኚ᥮ຠ⋡ࡣప࠸ࡀࠊࡑࡢ〇㐀᪉ἲࡸᮦᩱࡢ㐪࠸࠿ࡽ༢⤖ᬗ࡟ ẚ࡭࡚Ᏻ౯࡟〇㐀࡛ࡁࡿ฼Ⅼࡀ࠶ࡿࠋᙜ↛〇㐀᪉ἲ࡟ࡼࡗ࡚⢏ᚄࡸḞ㝗ᐦᗘ➼⤖ᬗࡢရ㉁ ࡣኚࢃࡿࡓࡵࠊࡑࢀࡽࢆ౑⏝ࡍࡿኴ㝧㟁ụࡢᛶ⬟ࡶᵝࠎ࡛࠶ࡿࠋ࢙࢘ࣁࢆษࡾฟࡋ࡚సࡽ ࢀࡓࡶࡢࡸࠊᇶᯈୖ࡟ⷧ⭷ࢆሁ✚ࡋ࡚సࡽࢀࡓࡶࡢ࡞࡝ᵝࠎ࡞ᙧែࡢኴ㝧㟁ụࡀసࡽࢀ࡚ ࠸ࡿࡀࠊ࡝ࡢሙྜ࡛࠶ࡗ࡚ࡶࠊ⤖ᬗ⣧ᗘࡸ⤖ᬗ⢏⏺ࡸ⤖ᬗࡢ᏶඲ᛶࡀኴ㝧㟁ụᛶ⬟ࢆỴᐃ ࡍࡿ㔜せ࡞ᅉᏊ࡟࡞ࡗ࡚ࡃࡿࠋ⤖ᬗ⣔ Si ࡣග྾཰ಀᩘࡀᑠࡉࡃࠊ༑ศ࡞ග྾཰࡟ᚲせ࡞ࢭ ࣝࡢཌࡳࡀ኱ࡁ࠸ࠋኚ᥮ຠ⋡ࢆ㧗ࡃࡍࡿࡓࡵ࡟ࡣࡑࡢཌࡳ⛬ᗘࡢᑡᩘ࢟ࣕࣜ࢔ᣑᩓ㛗ࢆᣢ ࡓࡏ࡞ࡅࢀࡤ࡞ࡽ࡞࠸ࠋࡋ࠿ࡋࠊከ⤖ᬗ Si ࡛ࡣ୍⯡࡟ᑡᩘ࢟ࣕࣜ࢔ᣑᩓ㛗ࡀ▷ࡃࠊຠ⋡ࡀ పࡃ࡞ࡗ࡚࠸ࡿࠋࡑࡢࡓࡵࠊከ⤖ᬗ Si ࡢప౯᱁〇㐀ࡢ฼Ⅼࢆ⏕࠿ࡋ࡚ࠊࡼࡾ኱ࡁ࡞ᑡᩘ࢟ ࣕࣜ࢔ᣑᩓ㛗ࢆᣢࡘᮦᩱ〇㐀ࡢ㛤Ⓨࡀ㐍ࡵࡽࢀ࡚࠸ࡿࠋ 2.2.4 ⷧ⭷ Si ኴ㝧㟁ụ  ⤖ᬗ࡛ࡣཎᏊࡀつ๎ṇࡋࡃ㓄ิࡋ࡚࠸ࡿࡢ࡟ᑐࡋ࡚ࠊ㓄ิࡀ஘ࢀࡓࡲࡲ࡟࡞ࡗࡓᮦᩱࢆ ࢔ࣔࣝࣇ࢓ࢫ(㠀ᬗ㉁)࡜࠸࠺ࠋࡲࡓ㛗㊥㞳⛛ᗎࢆᣢࡓ࡞࠸ࡀᩘ༑ཎᏊ⛬ᗘࡢ⤖ᬗ࡜࢔ࣔࣝ ࣇ࢓ࢫࡢΰᬗࢆᚤ⤖ᬗ࡜࠸࠺ࠋ࢔ࣔࣝࣇ࢓ࢫ Si ࡣࠊ㟁ẼⓗࠊගᏛⓗᛶ㉁ࡀ⤖ᬗ Si ࡜ࡣ኱ ࡁࡃ␗࡞ࡗ࡚࠸ࡿࠋࡇࢀࢆ⏝࠸ࡓኴ㝧㟁ụࡢኚ᥮ຠ⋡ࡣ⤖ᬗ⣔ Si ኴ㝧㟁ụ࡟ẚ࡭࡚ຎࡗ࡚ ࠸ࡿࡀࠊࢭࣝ༢఩ࡢࢥࢫࢺ࡟࠾࠸࡚ࡣᏳ౯࡛㔞⏘࡟ྥ࠸࡚࠸ࡿⅬࡀ㛗ᡤ࡛࠶ࡿࠋࡲࡓ࢔ࣔ ࣝࣇ࢓ࢫ Si ࡢග྾཰ಀᩘࡣ⤖ᬗ Si ࡟ẚ࡭࡚኱ࡁࡃࠊⷧ⭷࡛ࡶ༑ศ࡞ග྾཰ࢆ㉳ࡇࡍࡇ࡜ ࡀྍ⬟࡛࠶ࡿ୍᪉ࠊࢻ࣮ࣆࣥࢢࢆ⾜ࡗࡓ a-Si:H ࡣཎᏊᵓ㐀ࡢ஘ࢀ࡟ࡼࡗ࡚ከᩘࡢḞ㝗ࢆෆ ᅾࡍࡿࡇ࡜࠿ࡽᑡᩘ࢟ࣕࣜ࢔ࡢᣑᩓ㛗ࡀᴟࡵ࡚▷ࡃࠊpn ᥋ྜࢆᙧᡂࡋ࡚ࡶᩚὶᛶࢆ♧ࡉ࡞ ࠸ࠋࡇࢀࡽࡢཎᅉࡣḞ㝗ࢆ௓ᅾࡋࡓ෌⤖ྜ㟁ὶࡸࢺࣥࢿࣝ㟁ὶ࡟ࡼࡗ࡚࣮࣑࢜ࢵࢡ᥋ྜ࡟ ㏆࠸≧ែ࡟࡞ࡗ࡚࠸ࡿࡇ࡜࡟ࡼࡿ࡜⪃࠼ࡽࢀ࡚࠸ࡿࠋࡑࡇ࡛ࠊ࢔ࣔࣝࣇ࢓ࢫࢩࣜࢥࣥࢆ⏝ ࠸ࡓኴ㝧㟁ụ࡜ࡋ࡚ࡣࠊ✵ஈᒙ࡜ࡋ࡚ࢻ࣮ࣆࣥࢢࢆ⾜ࡗ࡚࠸࡞࠸┿ᛶ༙ᑟయᒙ(intrinsic layer)ࢆගάᛶᒙ࡜ࡍࡿ pin ᥋ྜࢆࡑࢀࡒࢀࡢⷧ⭷ࡢ✚ᒙ࡟ࡼࡗ࡚సᡂࡍࡿࠋࡲࡓ࢔ࣔࣝࣇ ࢓ࢫࢩࣜࢥࣥኴ㝧㟁ụࡣග↷ᑕ᫬࡟ගຎ໬⌧㇟[8]_{࡜࿧ࡤࢀࡿ(Stabler-Wronski ຠᯝ࡜ࡶ࿧ࡤ} ࢀࡿ)≉ᛶࡢ⤒᫬ኚ໬ࡀ㉳ࡇࡾࠊኚ᥮ຠ⋡ࡀຎ໬ࡋ᫆࠸࡜࠸࠺ḞⅬࡀ࠶ࡾࡇࡢᨵၿࡶᚲせ࡜ ࡞ࡗ࡚࠸ࡿ[1]_{ࠋᚤ⤖ᬗ Si ኴ㝧㟁ụ࡟࠾࠸࡚ࡶࡇࡢගຎ໬⌧㇟ࡣ☜ㄆࡉࢀ࡚࠾ࡾࠊࡑࡢᗘྜ} ࡣᚤ⤖ᬗࡢ⤖ᬗ໬ᗘ࡟ࡼࡿࠋ

11 2.2.5 ࣊ࢸࣟ᥋ྜᆺ Si ኴ㝧㟁ụ (HIT ኴ㝧㟁ụ)

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12

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16 ཧ↷ᩥ⊩

[1] Clarke, F. W.; Washington, H. S. (1924). “The composition of the earth's crust”. US. Geol. Surv. Prof. Paper: 127.

[2] ᑠ㛗஭ㄔ㸦⦅ⴭ㸧㸸ⷧ⭷ኴ㝧㟁ụࡢᇶ♏࡜ᛂ⏝ ࣮࣒࢜♫ (2001)

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J.Plasma Fusion Res.Vol.85,No.12 (2009)820-824

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19 㟁ゎ㉁ࡢ✀㢮࡟ࡼࡗ࡚ࠊᙧᡂࡉࢀࡿከᏍ㉁㓟໬⓶⭷ࡢ⭷ཌࡸᏍᚄ➼࡟㐪࠸ࡀ࠶ࡿࡀࠊᮏ◊✲ ࡟࠾࠸࡚ࡣάᛶᒙࡢࡳࡢᡂ⭷ࢆ┠ⓗ࡜ࡋ࡚࠸ࡿࡓࡵࠊࡇࡇ࡛ࡣゐࢀ࡞࠸ࠋ 3.1.2 ࣏ࢸࣥࢩ࢜ࢫࢱࢵࢺࢆ⏝࠸ࡓᐃ㟁ᅽ㝧ᴟ㓟໬  㝧ᴟ㓟໬ࡣ㏻ᖖࠊᾮ୰ࡢ㟁Ꮚᤵཷᖹ⾮≧ែ࡟࠶ࡿ㟁ᴟ࡟ᑐࡋࠊእ㒊࠿ࡽ㟁఩࠿ࡅࡿࡇ࡜࡟ ࡼࡗ࡚ᖹ⾮≧ែࢆࡎࡽࡋ㟁ὶࢆⓎ⏕ࡉࡏࡿࠋࡇࡇ࡛㔜せ࡟࡞ࡿࡢࡀ࠸࠿࡟ࡋ࡚཯ᛂࢆไᚚ ࡍࡿ࠿࡛࠶ࡿࠋ㝧ᴟ㓟໬࡟࠾࠸࡚ࡣ୍⯡ⓗ࡟ᐃ㟁ὶ㓟໬ἲ࡜ᐃ㟁ᅽ㓟໬ἲࡀ⏝࠸ࡽࢀࡿࠋᐃ 㟁ὶἲ࡟࠾࠸࡚ࡣᐇ㦂⣔ࡢྛ㒊࡟࠿࠿ࡿ㟁ᅽࢆ࠶ࡿ࡛ࣞ࣋ࣝṇ☜࡟ไᚚィ ࡋࡼ࠺࡜ࡍࡿ ࡜ࠊ㟁ὶࢆ࠿࡞ࡾ኱ࡁࡃྲྀࡽ࡞ࡅࢀࡤ࡞ࡽ࡞ࡃ࡞ࡾࠊᮏ◊✲ࡀ┠ⓗ࡜ࡍࡿࡼ࠺࡞ᩘ nm ༢఩ ࡢ㓟໬⭷ࡣᩘ⛊ࡢ࠺ࡕ࡟ᙧᡂࡉࢀࡿࡇ࡜࡜࡞ࡾࠊ⭷㉁ࡸ⭷ཌࡢไᚚࡸ෌⌧ᛶࡀⴭࡋࡃపୗ ࡍࡿࠋ୍᪉ࠊᐃ㟁ᅽἲ࡟࠾࠸࡚ࡣ┤᥋ືస㟁ᅽࢆไᚚࡍࡿࡓࡵࠊ኱㟁ὶࢆὶࡉࡎ࡜ࡶ㟁ᅽࢆ ไᚚྍ⬟࡛࠶ࡾࠊࡑࢀ࡟ࡼࡗ࡚཯ᛂࡀప㏿໬ࡍࡿࡓࡵไᚚᛶࡸ෌⌧ᛶࡀⰋ࠸ࠋᮏ◊✲࡛ࡣཌ ࡉ 10 nm ࡢ i-a-Si:H ⭷୰ࡢᵓ㐀࡟㉳ᅉࡍࡿ⤯⦕᢬ᢠࡢ㐪࠸࡟ࡼࡗ࡚཯ᛂࢆไᚚࡍࡿࡇ࡜ࢆ ┠ⓗࡢ 1 ࡘ࡜ࡋ࡚࠸ࡿࡓࡵࠊ⭷ཌࡢヲ⣽࡞ไᚚࢆ⾜࠼ࡿࡼ࠺ᐃ㟁ᅽἲ࡟ࡼࡗ࡚㝧ᴟ㓟໬ࢆ ⾜ࡗࡓࠋ(㝧ᴟ㓟໬ࡣ࢔࣐ࣝ࢖ࢺ➼ࡢᙧᡂ࡟᭱ࡶࡼࡃ⏝࠸ࡽࢀࡿࡀࠊ࢔࣐ࣝ࢖ࢺࡢᕤᴗⓗ࡞ ᙧᡂ࡟࠾࠸࡚ࡣ⭷ཌࡣ࠶ࡿ್ࡼࡾࡶཌࡅࢀࡤࡼ࠸ࢣ࣮ࢫࡀከࡃࠊ⓶⭷㠃✚ࡀ኱ࡁࡅࢀࡤ㟁 ὶᐦᗘࡀୗࡀࡿࡓࡵࠊ⿦⨨ࡀ኱ᆺ໬ࡍࢀࡤᐃ㟁ὶἲ࡛ࡶไᚚࡣྍ⬟࡛࠶ࡿࠋ)  ᅗ 3-1 ࡟ᮏ◊✲࡟࠾ࡅࡿᐇ㦂⣔ࡢᴫ␎ᅗࢆ♧ࡍࠋᕥ࠿ࡽ⿵ຓ㟁ᴟ࡛࠶ࡿࣉࣛࢳࢼࠊ୰ኸ࡟ ືస㟁ᴟ࡛࠶ࡿ i-a-Si:H ᡂ⭷ࡋࡓ⤖ᬗࢩࣜࢥࣥࠊྑ࡟ᇶ‽㟁ᴟ࡛࠶ࡿࠋཝᐦ࡞㟁఩ไᚚࡸ  ᐃࢆ⾜ࢃ࡞࠸ࡢ࡛࠶ࢀࡤࠊ⿵ຓ㟁ᴟࡣᚲせ࡛ࡣ࡞࠸ࠋࡋ࠿ࡋ⿵ຓ㟁ᴟࡢ࡞࠸ 2 ᴟ⣔ࡢሙྜࠊ ືస㟁ᴟ࡟࠶ࡿ㟁ᅽࢆ࠿ࡅ࡚ࡶࠊࡑࡢࡲࡲヨᩱ࡟㟁ᅽࡀ༳ຍࡉࢀࡿࢃࡅ࡛ࡣ࡞࠸ࠋࡑࡢ⌮⏤ ࡣ㟁ゎᾮࡀ᢬ᢠࢆᣢࡕࠊ㟁ゎᾮ୰ࢆ㟁ὶࡀὶࢀࡿ࡜ࡑࡇ࡛㟁ᅽࡀୗࡀࡿ(ࡇࢀࢆ㟁ᅽ㝆ୗ࡜ ࿧ࡪ)ࡓࡵ࡛࠶ࡿࠋ㟁఩ࢆṇࡋࡃไᚚࡍࡿ࡟ࡣ㟁఩ไᚚᅇ㊰ࡢ㟁ὶࢆᑠࡉࡃᢚ࠼ࠊ㟁ᅽ㝆ୗ ࢆࡂࡾࡂࡾࡲ࡛ῶࡽࡉ࡞ࡅࢀࡤ࡞ࡽ࡞࠸ࠋࡑࡢᙺ๭ࢆᯝࡓࡍࡢࡀ⿵ຓ㟁ᴟ࡜࣏ࢸࣥࢩ࢜ࢫ ࢱࢵࢺ(ᐃ㟁఩㟁ゎ⿦⨨)࡛࠶ࡿࠋືస㟁ᴟ࡜ᇶ‽㟁ᴟࡢ㛫࡟ὶࢀࡿ㟁ὶࢆᴟຊᢚ࠼ࠊ኱㒊ศ ࡢ㟁ὶࢆືస㟁ᴟ࡜⿵ຓ㟁ᴟࡢ㛫࡟ὶࡋࠊᇶ‽㟁ᴟࡢሷᶫࡣືస㟁ᴟࡢ㏆ࡃ࡟⨨ࡃࡇ࡜࡛ࠊ 㟁Ꮚࡀ㟁ゎᾮ୰ࢆὶࢀࡿ㊥㞳ࢆῶࡽࡋ㟁ᅽ㝆ୗࢆపࡃᢚ࠼ࡿࠋࡇࢀࡽࡢືసࢆ⮬ື࡛⾜࠺ ⿦⨨࡛࠶ࡿࠋ⿦⨨ࡢᛶ⬟࡟ࡶࡼࡿࡀࠊ୍⯡ⓗ࡞࣏ࢸࣥࢩ࢜ࢫࢱࢵࢺࢆ⏝࠸ࡿࡇ࡜࡛ࠊືస㟁 ᴟ࡟୚࠼ࡿ㟁ᅽࢆ 1 mW ࡢ༢఩࡛ไᚚ࡛ࡁࡿࠋ

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21     _{Si 㸩 4OH}㸫_{ Ѝ Si(OH)}

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22 11. ᇶᯈࢆྲྀฟࡋ஝⇱ ࡲࡓᮏ◊✲࡛౑⏝ࡍࡿ࢚ࢵࢳࣥࢢᾮࡣཎᾮࡢ≧ែࡢࡲࡲ࡛౑⏝ࡋ࡚࠸࡞࠸ࠋྛ࢚ࢵࢳࣥ ࢢᾮࡣୗグ࡟♧ࡍࡼ࠺࡟౑⏝ࡋࡓࠋ  ە_SUN-X    ձ _{SUN-X㸸⵨␃Ỉ㸻1㸸2 ࡢ๭ྜ࡛ᕼ㔘}    ղ ᕼ㔘ࡋࡓ⁐ᾮࢆ_{80[Υ]࡟ຍ⇕ࡋ 80[Υ]࡟ಖࡗࡓ≧ែ࡛౑⏝}    ճ ཯ᛂ୰࡟⃰ᗘ࣒ࣛࡀ࡛࡞࠸ࡼ࠺࡟ᨩᢾࡉࡏ࡞ࡀࡽࠊ_{25 ศ㛫ᾐₕ}  ە_TMAH    ձ _{80[Υ]࡟ຍ⇕ࡋ 80[Υ]࡟ಖࡗࡓ≧ែ࡛౑⏝}    ճ ཯ᛂ୰࡟⃰ᗘ࣒ࣛࡀ࡛࡞࠸ࡼ࠺࡟ᨩᢾࡋ࡞ࡀࡽ௵ពࡢ᫬㛫ᾐₕ ࢭ࣑ࢥࢡ࣮ࣜࣥ 23 ࡸࣇࣟࣥࢸ࢕࢔ࢡ࣮ࣜࢼ࣮A01 ࡣ୍⯡ⓗ࡞༙ᑟయὙίᾮ࡛࠶ࡿࡓࡵࠊࡇ ࡇ࡛ࡣヲ⣽࡞ㄝ᫂ࡣ┬ࡃࠋ

3.3 ගᏛᵓ㐀ࡢᙧᡂ

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23

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24

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25

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26 ᅗ 3.4 㸦a㸧㉸㡢Ἴ◚○ᶵࡢᴫ␎ᅗࠊ࠾ࡼࡧ㸦b㸧⁐፹୰࡟Ⓨ⏕ࡍࡿ࢟ࣕࣅࢸ࣮ࢩࣙࣥ ࡞࠾ࠊᮏ◊✲࡟࠾࠸࡚ࡣࠊᆒ୍࡞ᚤ⢏Ꮚࡢศᩓฎ⌮ࢆ⾜࠺ࡓࡵ࡟ࠊ᧠ᢾᏊࢆ⏝࠸ࡓศᩓ⁐ ፹ࡢ᧠ᢾࢆ⾜ࡗࡓࠋࡲࡓࠊ㉸㡢Ἴ◚○᫬࡟࠾࠸࡚Ⓨ⏕ࡍࡿ⇕࡟ࡼࡗ࡚⁐፹ࡀ᥹Ⓨࡍࡿࡇ࡜ࢆ 㜵ࡄࡓࡵࠊ⁐፹ࡢධࡗ࡚࠸ࡿᐜჾࡣịỈ࡟ࡼࡾᖖ࡟෭༷ࡉࢀ࡚࠸ࡿ≧ែ࡛㉸㡢Ἴ◚○ฎ⌮ ࢆ⾜ࡗࡓࠋࡍ࡭࡚ࡢ◚○ฎ⌮ࡣ㜵㡢࣎ࢵࢡࢫෆ࡟࡚⾜࠸ࠊ࿘ᅖ࡬ࡢ㦁㡢⿕ᐖ࠾ࡼࡧศᩓ⁐፹ ࡜⢏Ꮚࡢ࿘ᅖ࡬ࡢ㣕ᩓࢆ㜵Ṇࡋࡓࠋ 3.3.2 ࢫࣆࣥࢥ࣮ࢺἲ࡟ࡼࡿⷧ⭷ᙧᡂ  ᮏ◊✲࡛ࡣࠊᨭᣢᇶᯈୖ࡟࠾ࡅࡿᚤ⢏Ꮚศᩓ⁐፹ࡸᾮయ࢞ࣛࢫ➼ࡢᾮయヨᩱࡢሬᕸᡭἲ ࡜ࡋ࡚ࢫࣆࣥࢥ࣮ࢺἲࢆ⏝࠸ࡓࠋࢫࣆࣥࢥ࣮ࢺἲ࡜ࡣࠊⷧ⭷ࡢᙧᡂࡀ⾜ࢃࢀࡿᨭᣢᇶᯈࢆᅇ ㌿ࡉࡏࠊᇶᯈୖ࡬࡜⁲ୗࡋࡓᾮయヨᩱࢆᅇ㌿ࡢ㐲ᚰຊ࡟ࡼࡗ࡚ᇶᯈ඲㠃࡬࡜ሬᕸࡍࡿᡭἲ ࡛࠶ࡿࠋࢫࣆࣥࢥ࣮ࢺἲࡣᇶᯈࡢᅇ㌿㏿ᗘࡸ⁐ᾮࡢ⢓ᗘࠊ⁐ᾮ࡜ᇶᯈࡢ⃿ࢀᛶࠊ⁐ᾮࡢ⵨Ⓨ ࡢࡋࡸࡍࡉ➼ࢆࣃ࣓࣮ࣛࢱ࡟ࡋ࡚㠃ෆࡢ⭷ཌࡸ⭷㉁ࡀኚ໬ࡋ࠺ࡿ[14][15][16]_{ࡀࠊᇶᮏⓗ࡟(≉࡟} ᑠ㠃✚࡟ࡘ࠸࡚ࡣ)ࡑࡢᕪࡣ㠀ᖖ࡟ᑠࡉࡃࠊࡼࡃㄪᩚࡉࢀࡓ᮲௳࡟࠾࠸࡚ࡣ༑ศ࡞ᆒ୍ᛶࢆ ᣢࡘࠋ ࢫࣆࣥࢥ࣮ࢺἲࡢ≉ᚩ࡜ࡋ࡚ࡣࠊ⿦⨨ᵓᡂࡀ༢⣧࡛࠶ࡾࠊᾮయヨᩱࢆ෌⌧ᛶ㧗ࡃᇶᯈୖ࡟ሬ ᕸ࡛ࡁࡿࡇ࡜࠿ࡽࠊᑠ㹼୰㠃✚ヨᩱࡢస〇࡟᭷ຠ࡛࠶ࡿ࡜࠸࠺Ⅼࡀᣲࡆࡽࢀࡿࠋ ᅗ 3.5 ࡟ࢫࣆࣥࢥ࣮ࢺἲࡢᴫ␎ᅗࢆ♧ࡍࠋᮏ◊✲࡟࡚౑⏝ࡋࡓࢫࣆࣥࢥ࣮ࢺ⿦⨨ࡢᵓᡂ ࡣࠊ⿦⨨ᮏయ࠾ࡼࡧᇶᯈࡢ྾╔࡟౑⏝ࡍࡿࢲ࢖࢔ࣇ࣒࣏ࣛࣥࣉ࠿ࡽ࡞ࡿࠋ⿦⨨୰ኸ㒊࡟ࡣヨ ᩱࢆ㍕ࡏࡿヨᩱྎࡀ㓄⨨ࡉࢀ࡚࠾ࡾࠊヨᩱྎࡢ୰ኸ㒊࡟ࡣࢲ࢖࢔ࣇ࣒࣏ࣛࣥࣉ࡟┤⤖ࡋࡓ ྾Ẽཱྀࡀタࡅࡽࢀ࡚࠸ࡿࠋᇶᯈࡢᅇ㌿᫬ࠊࡇࡢ྾Ẽཱྀ࠿ࡽ࣏ࣥࣉࢆ⏝࠸࡚ᇶᯈࡢ྾ᘬࢆ⾜࠺ ࡇ࡜࡟ࡼࡾࠊᅇ㌿᫬࡟Ⓨ⏕ࡍࡿ㐲ᚰຊ࡟ࡼࡿᇶᯈࡢ఩⨨ࡎࢀࢆ㜵Ṇࡍࡿࠋᇶᯈࡢᅇ㌿㏿ᗘ࠾

27 ࡼࡧᅇ㌿᫬㛫ࡣ⿦⨨๓㠃࡟タࡅࡽࢀࡓ᧯సࣃࢿࣝ࡟࡚タᐃྍ⬟࡛࠶ࡾࠊᮏ⿦⨨࡛ࡣ 0–8000 [rpm]ࡢᅇ㌿㏿ᗘ࡟࡚ᾮయヨᩱࡢሬᕸ࣭〇⭷ࢆ⾜࠺ࡇ࡜ࡀྍ⬟࡜࡞ࡗ࡚࠸ࡿࠋ ᇶᯈᅇ㌿᫬ࠊᇶᯈୖ࡬࡜ሬᕸࡉࢀࡓᾮయヨᩱࡣᇶᯈࡢእ࿘࡬࡜ྥࡅࡓ㐲ᚰຊࡢᙳ㡪ࢆཷ ࡅࡿࠋࡇࡢ㐲ᚰຊ࡟ࡼࡾࠊᾮయヨᩱࡣᇶᯈୖ࡟ᗈࡀࡗ࡚࠸ࡁࠊヨᩱࡢሬᕸࡀ⾜ࢃࢀࡿࠋᇶᯈ ࡢ୰ᚰⅬ࡟ࡣ㐲ᚰຊࡣస⏝ࡋ࡞࠸ࡀࠊ㐃⥆ࡍࡿࡍࡄ㏆ഐࡢ㐲ᚰຊࢆཷࡅ࡚࠸ࡿ㡿ᇦ࡟ᘬࡗ ᙇࡽࢀࡿᙧ࡛୰ᚰࡢᾮࡶᇶᯈࡓࢇ࡟ྥࡅ࡚⛣ືࡍࡿࠋࡲࡓࠊ㐲ᚰຊࡣᅇ㌿㏿ᗘ࡟ࡼࡾኚ໬ࡍ ࡿࡓࡵࠊᅇ㌿㏿ᗘࡀ኱ࡁ࠸࡯࡝ᾮయヨᩱ࡟࠿࠿ࡿ㐲ᚰຊࡣ኱ࡁࡃ࡞ࡾࠊᇶᯈୖ࡟ᙧᡂࡉࢀࡿ ᒙࡢཌࡳࡣⷧࡃ࡞ࡿࠋࡑࡢࡓࡵࠊᇶᯈࡢᅇ㌿㏿ᗘࢆኚ࠼ࡿࡇ࡜࡟ࡼࡗ࡚ẚ㍑ⓗ௵ព࡞⭷ཌࢆ ᭷ࡍࡿᾮ≧ࡢⷧ⭷ᒙࢆᇶᯈୖ࡬ᙧᡂࡍࡿࡇ࡜ࡀྍ⬟࡛࠶ࡿࠋ ᅗ 3.5 ࢫࣆࣥࢥ࣮ࢺἲࡢᴫ␎ᅗ ᇶᯈୖ࡬࡜ሬᕸࡉࢀࡓヨᩱࡣࠊෆ㒊࡟Ꮡᅾࡍࡿ⁐፹ࡢ㝖ཤࠊ࠾ࡼࡧᙧᡂࡉࢀࡓගᏛᒙࡢ⭷ ㉁ྥୖࢆ⾜࠺ࡓࡵࠊ኱Ẽ୰࡟࠾ࡅࡿሬᕸᇶᯈࡢ஝⇱࠾ࡼࡧ↝ᡂฎ⌮ࢆ⾜࠺ࠋ஝⇱ฎ⌮࡟ࡣ㧗  ஝⇱⿦⨨ࢆ⏝࠸ࠊ70qC ࡢ㞺ᅖẼୗ࡟࠾࠸࡚௵ពࡢ᫬㛫஝⇱ฎ⌮ࢆ⾜ࡗࡓࠋࡑࡢᚋࠊࢭࣛ ࣑ࢵࢡࢫᯈୖ࡟ヨᩱࢆ㍕ࡏࠊ㟁Ẽ⅔࡟ࡼࡾ 200–650qC ࡢ㧗 ᮲௳࡟࡚௵ពࡢ᫬㛫↝ᡂฎ⌮ ࢆ⾜ࡗࡓࠋࡲࡓヨᩱ࡟ࡼࡗ࡚ࡣ஝⇱ฎ⌮ࢆ⾜ࢃࡎࠊሬᕸᚋ┤ࡕ࡟㟁Ẽ⅔࡟࡚↝ᡂฎ⌮ࢆ⾜ࡗ ࡓࠋ

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