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0 5 10 15 20
0 0.2 0.4 0.6 0.8 1
Current density [mA/cm2 ]
Voltage [V]
w/ LG layer
w/o LG layer
151 ᅗ
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nSi ( OC2H5 ) + 2nH2O Ѝ nSiO2 + 4nC2H5OH (6-18㸧 0
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300 400 500 600 700 800
EQE [%]
Wavelength [nm]
100-R w/ LG layer
w/o LG layer
152
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167 ᅗ
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㍑
Substrate Thickness [nm]
SiO2
ratio
void ratio
Refractive Index
w/o water in 2015 111 0.35 0.23 1.398
↝ᡂሙᡤ㻌 1 117 0.1 0.35 1.354
↝ᡂሙᡤ㻌 2 115 0.09 0.35 1.354
↝ᡂሙᡤ㻌 3 121 0.45 0.27 1.375
↝ᡂሙᡤ㻌 4 106 0.38 0.28 1.374
↝ᡂሙᡤ㻌 5 85 0.98 0.115 1.414
↝ᡂሙᡤ㻌 6 55 0.7 0.08 1.443
6.6.3 ↝ᡂሙᡤ
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168
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࡞⤖ᯝࡀᚓࡽࢀࡓࠋ
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ᅗ
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169 ᅗ
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Ꮝ⋡ࠊᒅᢡ⋡ࡢẚ㍑
Substrate Thickness [nm]
SiO2
ratio
void ratio
Refractive Index
w/o water in 2015 111 0.35 0.23 1.398
↝ᡂሙᡤ㻌 1 136 0.22 0.32 1.363
↝ᡂሙᡤ㻌 2 130 0.23 0.32 1.362
↝ᡂሙᡤ㻌 3 129 0.32 0.31 1.363
↝ᡂሙᡤ㻌 4 125 0.39 0.3 1.364
↝ᡂሙᡤ㻌 5 77 0.3 0.15 1.435
↝ᡂሙᡤ㻌 6 80 0.9 0.14 1.408
6.6.4 ↝ᡂ㡰
ᮏ㡯࡛ࡣࠊ6.6.2.2㡯࠾ࡼࡧ6.6.2.3㡯ࡢ⤖ᯝࡽࠊᾮయ࢞ࣛࢫ⁐፹ࡢሬᕸᚋࡽ↝ᡂฎ⌮
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6.6.4.1 ᾮయ࢞ࣛࢫ⁐፹
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࠸ᾮయ࢞ࣛࢫ⁐፹ࢆ⏝࠸ࠊࢫࣆࣥࢥ࣮ࢸࣥࢢ㏿ᗘ 4000 [rpm] ࠾ࡼࡧ↝ᡂ ᗘ 300 [qC]
࡚స〇ࡋࡓࠋẚ㍑ࡋ࡚ࠊ2015ᖺᗘࡢྠ᮲௳࠾ࡅࡿ⤖ᯝࡶేࡏ࡚♧ࡋࡓࠋᅗ୰ࡢᐇ⥺
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170
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ᯝࡣࠊLG ᒙࡢᑕపῶຠᯝࡢ⌧ᛶᙳ㡪ࢆ࠼࡚࠸ࡿ↝ᡂฎ⌮ࡢᇶᯈ㓄⨨࡛ࡣ࡞ࡃࠊ ᾮయ࢞ࣛࢫ⁐፹ሬᕸᚋࡽ↝ᡂฎ⌮㛤ጞࡲ࡛ࡢ㛫࡛࠶ࡿࡇࢆ♧ࡍࠋ
ᅗ6.25 ᚅᶵ㛫ࢆタࡅLGᒙࢆᙧᡂࡋࡓ࢞ࣛࢫᇶᯈࡢᑕ⋡ࢫ࣌ࢡࢺࣝࡢẚ㍑
ᅗ6.26 ᚅᶵ㛫ࢆタࡅࡓሙྜ࠾ࡅࡿ↝ᡂฎ⌮ࡢᇶᯈ㓄⨨
171
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ࡢẚ㍑
Substrate Thickness [nm]
SiO2
ratio
void ratio
Refractive Index
w/o water in 2015 111 0.35 0.23 1.398
↝ᡂሙᡤ㻌 1 124 0.12 0.35 1.353
↝ᡂሙᡤ㻌 2 121 0.12 0.35 1.353
↝ᡂሙᡤ㻌 3 124 0.1 0.34 1.359
↝ᡂሙᡤ㻌 4 116 0.1 0.34 1.359
↝ᡂሙᡤ㻌 5 121 0.11 0.34 1.358
↝ᡂሙᡤ㻌 6 114 0.1 0.36 1.349
6.6.4.2 Ỉῧຍᾮయ࢞ࣛࢫ⁐፹
ᮏ⠇࡛ࡣỈῧຍᾮయ࢞ࣛࢫ⁐፹ࢆ⏝࠸࡚⾜ࡗࡓᐇ㦂ࡘ࠸࡚グ㏙ࡍࡿࠋᅗ6.27LGᒙ
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ࢹࣝࡽ⟬ฟࡋࡓᑕ⋡ࢫ࣌ࢡࢺࣝࡢࢩ࣑࣮ࣗࣞࢩ್ࣙࣥࡋ࡚ࡑࢀࡒࢀ⾲グࡋࡓࠋ␒ྕ
ࡣᾮయ࢞ࣛࢫ⁐፹ࢆሬᕸࡋࡓ㡰␒ࡋࡓࠋࡲࡓࠊ⾲6.8ᑕ⋡ࢫ࣌ࢡࢺࣝගᏛࣔࢹࣝ
ࡢࣇࢵࢸࣥࢢࡼࡾᑟฟࡋࡓ⭷ཌࠊ✵㝽⋡ࠊSiO2 ratio࠾ࡼࡧᒅᢡ⋡ࢆ♧ࡍࠋ
ᅗ6.27ࡼࡾ࡚ࡢヨᩱ࠾࠸࡚ࠊᴟᑠ್ࢆ᭷ࡍࡿᑕ⋡ࢫ࣌ࢡࢺࣝ࡞ࡗࡓࠋ୰࡛ࡶ↝
ᡂ㡰1ࡢヨᩱ࡛ࡣ2015ᖺᗘྠᵝࡢᑕ⋡ࢫ࣌ࢡࢺࣝࢆᚓࡓࠋࡲࡓ↝ᡂ㡰2ࡽ6ࡢヨ
ᩱ࠾࠸࡚ࡣ2015ᖺᗘヨᩱࡼࡾ㧗࠸ᑕ㜵Ṇຠᯝࢆᣢࡘࡇࡀศࡿࠋࡇࢀࡣ⾲6.8ࡼࡾࠊ
↝ᡂ㡰1ࡢヨᩱࡢᒅᢡ⋡ࡀ2015ᖺᗘస〇ࡋࡓヨᩱྠ⛬ᗘ࡛࠶ࡾࠊ↝ᡂ㡰 2ࡽ6ࡢヨ
ᩱ࡛ࡣᒅᢡ⋡ࡀ2015ᖺᗘヨᩱࡼࡾࡶపࡃ࡞ࡗ࡚࠸ࡿࡇࡽゝ࠼ࡿࠋ
ࡇࡢ⤖ᯝࡣᾮయ࢞ࣛࢫ⁐፹ࡢࡳ࡞ࡽࡎࠊỈῧຍᾮయ࢞ࣛࢫ⁐፹࠾࠸࡚ࡶᚅᶵ㛫ࢆタ ࡅࡿࡇ࡛⌧ᛶࡀ㧗ࡲࡿࡇࢆ♧ࡋ࡚࠸ࡿࠋ
172 ᅗ
ᅗ6.27 ᚅᶵ㛫ࢆタࡅLGᒙࢆᙧᡂࡋࡓ࢞ࣛࢫᇶᯈࡢᑕ⋡ࢫ࣌ࢡࢺࣝࡢẚ㍑
⾲6.8 ᚅᶵ㛫ࢆタࡅLGᒙࢆᙧᡂࡋࡓ࢞ࣛࢫᇶᯈࡢ⭷ཌࠊSiO2 ratioࠊ✵Ꮝ⋡ࠊᒅᢡ⋡
ࡢẚ㍑
Substrate Thickness [nm]
SiO2
ratio
void ratio
Refractive Index
w/ water in 2015 132 0.3 0.35 1.345
↝ᡂ㡰㻌 1 131 0.3 0.33 1.355
↝ᡂ㡰㻌 2 115 0.3 0.39 1.327
↝ᡂ㡰㻌 3 123 0.34 0.37 1.334
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↝ᡂ㡰㻌 6 116 0.22 0.38 1.335