TURBOVAC i ターボ分子ポンプ

TURBOVAC i

今までプロセスを改善することは容易なことではありませんでした。

TURBOVAC (T) 350 iおよび450 iは排気時間、圧力とガスフローの最適化に

対してお客様の要求に確実に応えます。

最新のローター設計とドラッグステージにより、ISO 100と160のフランジ

サイズ において最高の排気性能を発揮します。

柔軟性あるローターのみでなく、最

新のドラッグステージのデザインは

お客様にとっての基準となり、幅広

い用途にご使用いただけます。

コントローラ、フランジ形状や幅広

いアクセサリーを選択していただく

ことにより、お客様の要望に完全に

合った製品になります。

独特のメンテナンスとオイルフリー

の独自のハイブリッドベアリングシ

ステムの採用により、生産性を向上

し、メンテナンスコストを削減でき

ます。

効率的な真空システムを構築できま

す。

真空性能の大きな飛躍

02 TURBOVAC i

特長

コストパフォーマンス：

投資に見合う最高の性能

柔軟性： 高レベルの製品柔軟性 － お客様のアプリケー

ションの要求に完全に一致

プラグアンドプレイ： 柔軟な製品設計と一体型電子デバ

イスと幅広い通信インターフェースによる、シンプルかつ

簡単な設置、操作とコントロール

優れた信頼性： 革新的なポンプとベアリングデザインで

卓越したメンテナンス性とオイルフリーのハイブリッド

ベアリングポンプ

分析技術／研究開発

質量分析

電子顕微鏡

表面解析

X線解析

粒子加速器と シンクロトロン 　

研究向けコーティングシステム

MBE

(分子線成長法)

UHV

システム

ライフサイエンス

プロトンセラピー

ガンマ線滅菌

高品質インプラントの製造

工業およびコーティング

PVD

­

光学コーティング

­ CD/DVD/Blu­Ray ディスク製造

　­ 薄膜技術、太陽電池

ロードロック、移載チャンバー

移送システム

電子ビーム溶接

真空絶縁、リークシステム

一般的なアプリケーション

さらに用途に合った ．．．

性能

業界をリードする排気速度（特に軽量ガス）

（従来製品より60％向上）

ISO100

、ISO160フランジで最高の排気速度を発揮

する最適なローターサイズ

柔軟性

吸気口デザインの柔軟性

•

排気方向を変更できる回転可能な排気口

•

中間吸気口オプション

アプリケーションの要求に完全に適合する可変

ローターとドラッグステージ構成

設置、操作とコントロール

高価なケーブルが不要の24V/48V DC電源一体型コント

ローラ

最も幅広い通信インターフェース：

USB

、RS485、15ピンデジタルI/O（標準オプション）

高効率モーター

ベアリング冷却の最適化とポンプ寿命改善のための　

熱隔離デザイン

低振動シャフト支持機構

メンテナンス不要の磁気軸受け採用

オイルフリーのセラミックベアリングを採用

　　※現場での交換が可能

04 TURBOVAC i

．．．より多くを引き出す

投資に見合った最高の性能

柔軟な性能順応 － お客様の要求に完全に適合

革新的な技術によりあらゆるアプリケーションに

対して卓越した性能を発揮

容易な設置、操作とコントロール

プラグアンドプレイ：一体型電子機器、通信オプ

ションと柔軟なアクセサリー

自在な取り付け方向

低コストで生産性と稼働時間を向上

革新的なポンプとベアリング設計による卓越した信頼性

独自のメンテナンス不要のハイブリッド式メカニカルTMP

－ ベアリングオイルの交換は不要

現場で交換可能なベアリングで、サービス費用と停止期間を

削減

技術仕様

TURBOVAC 350 i TURBOVAC (T) 350 i TURBOVAC (T) 450 i TURBOVAC 450 i 500 500 400 400 200 200 300 300 100 100 0 0 10­6 ₁₀­5 ₁₀­4 ₁₀­3 ₁₀­2 ₁₀­1 ₁₀­6 ₁₀­5 ₁₀­4 ₁₀­3 ₁₀­2 ₁₀­1 高真空圧力 (mbar) 高真空圧力 (mbar) 排気速度 (l/s) 排気速度 (l/s) ヘリウム 窒素 アルゴン 水素 Ø 130 Ø 165 20 25,5 61,5 39 32 107,5 99,2 h 19 105 18,4 20,8 32° 32° 107,5 57,2 55,5 65,4 67,6 47 19,4 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 20 25,5 39 61,5 ₃₂ 99,2 19 105 18,4 20,8 47 19,4 216 Ø 180 Ø 165 100,7 32° 32° 65,4 67,6 55,5 57,2 107,5 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 h ISO-K 232 CF 245 h ISO-K 216 CF 222 Ø 130 Ø 165 20 25,5 61,5 39 32 107,5 99,2 h 19 105 18,4 20,8 32° 32° 107,5 57,2 55,5 65,4 67,6 47 19,4 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 20 25,5 39 61,5 ₃₂ 99,2 19 105 18,4 20,8 47 19,4 216 Ø 180 Ø 165 100,7 32° 32° 65,4 67,6 55,5 57,2 107,5 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 h ISO-K 232 CF 245 h ISO-K 216 CF 222 Ø 130 Ø 165 20 25,5 61,5 39 32 107,5 99,2 h 19 105 18,4 20,8 32° 32° 107,5 57,2 55,5 65,4 67,6 47 19,4 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 20 25,5 39 61,5 ₃₂ 99,2 19 105 18,4 20,8 47 19,4 216 Ø 180 Ø 165 100,7 32° 32° 65,4 67,6 55,5 57,2 107,5 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 h ISO-K 232 CF 245 h ISO-K 216 CF 222 Ø 130 Ø 165 20 25,5 61,5 39 32 107,5 99,2 h 19 105 18,4 20,8 32° 32° 107,5 57,2 55,5 65,4 67,6 47 19,4 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 20 25,5 39 61,5 ₃₂ 99,2 19 105 18,4 20,8 47 19,4 216 Ø 180 Ø 165 100,7 32° 32° 65,4 67,6 55,5 57,2 107,5 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 h ISO-K 232 CF 245 h ISO-K 216 CF 222 Ø 130 Ø 165 20 25,5 61,5 39 32 107,5 99,2 h 19 105 18,4 20,8 32° 32° 107,5 57,2 55,5 65,4 67,6 47 19,4 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 20 25,5 39 61,5 ₃₂ 99,2 19 105 18,4 20,8 47 19,4 216 Ø 180 Ø 165 100,7 32° 32° 65,4 67,6 55,5 57,2 107,5 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 h ISO-K 232 CF 245 h ISO-K 216 CF 222 Ø 130 Ø 165 20 25,5 61,5 39 32 107,5 99,2 h 19 105 18,4 20,8 32° 32° 107,5 57,2 55,5 65,4 67,6 47 19,4 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 20 25,5 39 61,5 ₃₂ 99,2 19 105 18,4 20,8 47 19,4 216 Ø 180 Ø 165 100,7 32° 32° 65,4 67,6 55,5 57,2 107,5 78,1 18,8 G 1/8" PURGE DN 25 KF VENT M6 - 10 h ISO-K 232 CF 245 h ISO-K 216 CF 222

技術仕様

テクニカルデータ

TURBOVAC 350 i 450 i T 350 i T 450 i

高真空接続 DN 100 ISO­K 160 ISO­K 100 ISO­K 160 ISO­K

100 CF 160 CF 100 CF 160 CF 排気口接続 DN 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF I ∙ s­1 290 430 290 430 260 400 260 400 360 440 360 440 排気速度 N₂ Ar He H_{2 350 420 320 400} ガススループット mbar ∙ I ∙ s­1 N₂ 4.5 4.5 11.5 11.5 Ar 2.0 2.0 6.0 6.0 He 8.0 8.0 20.0 20.0 H₂ 8.0 8.0 20.0 20.0 1 ∙ 1011 _{1 ∙ 10}11 _{1 ∙ 10}10 _{1 ∙ 10}10 1 ∙ 1011 _{1 ∙ 10}11 _{1 ∙ 10}11 _{1 ∙ 10}11 1 ∙ 108 _{1 ∙ 10}8 _{1 ∙ 10}6 _{1 ∙ 10}6 圧縮比 N₂ Ar He H₂ 1 ∙ 106 _{1 ∙ 10}6 _{1 ∙ 10}4 _{1 ∙ 10}4 mbar < 10­8_{/< 10}­10 到達圧力 ISO­K/CF 2段式油回転ポンプ使用時 mbar 10 10 0.5 0.5 最高使用排気圧力 N2の場合 回転数 rpm 60 000 冷却方式 Convection 冷却オプション Air or water 質量 ISO­K/CF kg 7.5/11.5 7.7/12.5 7.0/11.0 7.2/12.0 推奨バックポンプ TRIVAC D 4 B D 4 B D 16 B D 16 B SCROLLVAC SC 5 D/15 D SC 5 D/15 D SC 15 D/30 D SC 15 D/30 D DIVAC 3.8 HV3 3.8 HV3 – – 入力電圧 24/48V DC ± 10 % 最大消費電流 10A at 24V DC 最大消費電力 240W インターフェース RS 485・ USB・ 15ピン デジタル I/O

オーダーインフォメーション

TURBOVAC i のご使用には適切なバックポンプ、供給電源と電源ケーブルが必要です。

アプリケーションや運転条件によってはさらにアクセサリーが必要になることがあります。

ポンプ

アクセサリー

TURBOVAC 350 i 450 i T 350 i T 450 i

100 ISO­K 160 ISO­K 100 ISO­K 160 ISO­K

高真空フランジ カタログ番号: 830051V1000 830071V1000 830050V1000 830070V1000 100 CF 160 CF 100 CF 160 CF 高真空フランジ カタログ番号: 830061V1000 830081V1000 830060V1000 830080V1000 電源、ケーブル、アクセサリー 800100V0003 – TURBO.POWER integra

800096V0100 – Cable TURBOVAC i – TURBO.POWER integra, 1m 800096V0300 – Cable TURBOVAC i – TURBO.POWER integra, 3m 800096V0500 – Cable TURBOVAC i – TURBO.POWER integra, 5m 800102V0002 – Mains cable, 3m, Euro plug

800102V0003 – Mains cable, 3m, UK plug

800102V1002 – Mains cable, 3m, US plug 5­15P, 115V 800090V0000 – 24/48 V DC­in plug TURBOVAC i 800110V0021 – Start­stop switch TURBOVAC i 冷却

800136V0005 – Air cooling TURBOVAC 300 i radial 800136V0006 – Air cooling TURBOVAC 300 i axial 800135V0005 – Water cooling TURBOVAC 300/400 i ヒーティング 800137V0005 – Flange heater DN 100 CF, 230V 800137V0006 – Flange heater DN 100 CF, 115V 800137V0007 – Flange heater DN 160 CF, 230V 800137V0008 – Flange heater DN 160 CF, 115V ベント、パージ

800120V0012 – Vent valve TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8“

800120V0013 – Purge gas valve TURBOVAC i, 24V DC, 24 sccm, G 1/8“ 800120V0014 – Purge gas restrictor TURBOVAC i, 24 sccm, G 1/8“ 800120V0022 – Power failure vent valve TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8“ 800110V0022 – Air filter for TMP, G 1/8“

インスタレーション

800132V0021 – Coarse inlet screen DN 100 CF 800132V0022 – Splinter guard DN 100 CF 800132V0031 – Coarse inlet screen DN 160 CF 800132V0032 – Splinter guard DN 160 CF

800133V0021 – Centering ring w. coarse inlet screen DN 100 ISO­K/F 800133V0022 – Centering ring w. splinter guard DN 100 ISO­K/F 800133V0031 – Centering ring w. coarse inlet screen DN 160 ISO­K/F 800133V0032 – Centering ring w. splinter guard DN 160 ISO­K/F 800134V0020 – Mounting kit TURBOVAC DN 100 ISO­K 800134V0021 – Mounting kit TURBOVAC DN 100 CF

800134V0025 – Mounting kit TURBOVAC DN 100 ISO­K to ISO­F 800134V0030 – Mounting kit TURBOVAC DN 160 ISO­K 800134V0031 – Mounting kit TURBOVAC DN 160 CF

800134V0035 – Mounting kit TURBOVAC DN 160 ISO­K to ISO­F

日本エリコンライボルト株式会社

横浜本社

大阪支社

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