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(1)論 薄 刃 ダ イ ヤ モ ン ドブ レ ー ドに よ る フ ェ ラ イ トの 溝 加 工(第1報) *‑エ ッジチ ッ ピ ング生 成 に 及 ぼす 砥 石 ボ ン ド材 の影 響‑. 佐. 藤. 彰**黒. 部. 利. 次***広. 崎. 憲‑†. Edge-chipping Yielded by Grooving of Ferrite Using Thin Diamond Blade Akira SATO, Toshiji KUROBE and Kenichi HIROSAKI. Edge-chipping yielded by groovingof ferriteusing thin diamondblade is responsiblefor a deteriorationof an electro-magneticproperty of the magnetic head. Work damage such as chipping may be closely related to the mechanical property of bonding material of thin diamondblade. Edge-chippingyieldedby groovingis examinedusing three types of thin diamondblade whose are made of metal, resinmetal and resin bonded materials. This paper focusses on the relationshipbetween work damageand grinding force. Experiments show that chipping size is influenced by grinding conditions and mechanicalproperty of bonding materials.It is found that the value of maximum normal grinding force per grain is made up of good correlationfor edge-chippingsize. Key words : ferrite, thin diamondblade, edge-chipping,grinding force,grain density. 1.緒. 2,実. 言. 2.1溝. 電 子 ・光 学 材 料 は一 般 に 硬 ぜ い 性 材 料 が 多 く,そ れ を所 定 の. 寸 法 に 加 工 し て 機 能 素 子 とす る に は,薄 刃 ダイ ヤ モ ン ドブ レ ー ドを 使 用 し て溝 加 工 や 切 断 加 工 を 施 さ な け れ ば な らな い.し か. し,砥 石 に は 各 種 の も の が あ り,使 用 す る 砥 石 に よ っ て加 工 特. 性(加 工 損 傷 等)が 変 わ る の が 普 通 で,最 適 な 砥 石 を 選 定 す る こ と は 必 ず し も容 易 で は な い.そ の た め,何 ら か の 合 理 的 尺 度 で砥 石 の 選 定 が 行 え れ ば 都 合 が よ い. 一 般 に ,加 工 に 供 す る硬 ぜ い性 材 料 の 材 種 に よ っ て,薄 刃 ダ. イ ヤ モ ン ドブ レー ドの ボ ン ド材 の 材 種 を 適 宜 変 え て い る.例 え ば,磁 気 ヘ ッ ド用 材 料 の 一 種 で あ る フ ェ ラ イ ト(Mn‑Zn多 に溝 ・切 断 加 工 を施 す 場 合,砥. 結 晶). 石 と して メ タ ル ボ ン ド砥 石(M. 砥 石)や レジ ン ・メ、 タ ル ボ ン ド砥 石(MB砥. 石),レ ジ ン ボ ン ド砥. 石(B砥 石)を 使 用 して い る.し か し,加 工 条 件 と砥 石 の材 種(特 に ボ ン ド材)に よ って,切 断 縁 に 発 生 す る チ ッ ピ ン グ(エッ. ジ. チ ッ ピ ン グ と呼 ばれ る)な ど の 加 工 損 傷 が 変 わ る こ とが 知 られ て い る.こ の 加 工 損 傷 は,磁 気 ヘ ッ ドの 電 磁 気 特 性 を 劣 化 させ る ば か りで な く歩 ど ま りの 低下 も 招 来 す る.フ ェ ラ イ トの 溝 加. 工 や 切 断 加 工 に 伴 っ て 生 じ る加 工 損 傷 に つ い て は,こ れ ま で に も幾 つ か の報 告 胸 が な さ れ て い る.し か し,砥 石 の ボ ン ド材 が. エ ッ ジ チ ッ ピ ン グな ど に ど の よ う な影 響 を及 ぼ す の か ま だ あ ま. 験. 方. 法. 加 工条 件. 溝 加 工 用 薄 刃砥 石 と し て は,M砥. 石,MB砥. 石,B砥. 種 類 の 砥 石 を使 用 した.実 験 は,#1500,#400の 行 っ た.加 工 条 件 を 表1に. 示 す.実 験 に際 して,初 期 条 件 を一. 定 とす る た め,各 実 験 ご と にGCボ イ ン グ を行 っ た.ツ 0.25μmで. 研 削 抵 抗 の 測 定 は,圧 の 値 は,砥. ー ドを 用 い て 砥 石 の ツ ル ー. ル ー イ ン グ 後 の 砥 石 の 外 周 振 れ は0.75±. あ る.溝 加 工 は,慣. を 使 用 し て 行 っ た.研 る.こ. 石 の3. 砥 石 を用 いて. ら し 加 工 を行 っ た 後 に 行 っ た.. 電型 研 削 動 力 計(キ. ス ラ ー 製9251A). 削 動 力 計 の 固 有 振 動 数 は 約28kHzで. 石 の 回 転 速 度(500Hz)に. 比 して 約1け. あ. た高. い 値 で あ る の で,砥 石1回 転 当 た りの 研 削 抵 抗 の 変 動 を 検 出 す る こ と が 可 能 で あ る.一 方,砥 粒1個 が 加 工 物 を 削 る と き の 周 波 数 を 計算 す る と,#1500砥. 100. MHzオ. 石 で1GHzオ. ー ダ ー とな り、,28kHzの. ー ダ ー,#400砥. 石で. 値 に 比 して 格 段 に 高 い.し. た が っ て,砥 粒1個 当 た りの 研 削 抵 抗 を 本 研 削 動 力 計 で 直 接 検 出 す る こ と は で き な い. 2.2舐. 粒 密 度 の 測定. 薄 刃 ダ イ ヤ モ ン ドブ レ ー ドに よ る 溝 ・切 断 加 工 は,砥 石 外 周. 面 に あ る個 々 の 砥 粒 が 切 削 作 用 を 行 う こ と に よ っ て な さ れ る.. エ ッ ジ チ ッ ピ ン グ の 発 生 の 仕 方 は,こ れ らの 砥 粒 の 切 削 作 用 状. 態 に依 存 す る と考 え ら れ る.そ こで,加 エ 損 傷 の 発 生 機 構 を 検. り研 究 は 進 ん で い な い.. 本 報 で は,薄 刃 ダ イ ヤ モ ン ドブ レー ド を使 用 し て フ ェ ラ イ ト. に溝 ・切 断 加 工 を 施 し た 場 合 に つ い て,エ ッ ジ チ ッ ピン グ が ど. の よ う に 発 生 す る の か 実 験 的 視 点 か ら検 討 した.. 討 す る た め,砥. 石 外 周 面 の 砥 粒 数 を 計 測 し た.. 測 定 は,表1の. 行 っ た.図1に. 慣 ら し加 工 後 に 引 っ か き 転 写 法3)を 用 い て. そ の 測 定 法 を示 す.i)砥. 石 の 回 転 を止 め て 固. 定 ・静 止 さ せ,そ の 状 態 の ま ま砥 石 を 観 察 用 試 料(鏡 面加 工 さ れ た フ ェ ラ イ トブ ロ ッ ク)に 押 し付 け る.押 付 け 力 は 圧 電 型 研. *原稿 受付. 平成11年6月3日. **正 会 員(株)ア. ル プ ス電 気(現(株)ユ. 削 動 力 計 で 計 測 す る.ii)砥. ニ オ ンツー ル:長 岡市摂. 田屋 町字 外川2706‑6). ***正 会 員 金沢 大 学工学 部(金 沢 市 小立 野2‑40‑20) † 金沢 大 学大 学院(現 石 川県 エ業 試 験場:金 沢 市戸 水 口‑1). 石 を砥 石 回 転 軸 の 方 向 に 少 し動 か. し,引 っ か き 痕 を 試 料 表 面 に つ け る.iii)引 っ か き痕 の 数 を 顕. 微 鏡 観 察 し て カ ウ ン トす る.iv)砥 接 触 面 積 を 求 め,砥. 石 と フ ェ ラ イ トブ ロ ッ ク の. 粒 密 度 を算 出 す る.. 精 密 工 学 会 誌Vol.65,No.71,1999. 1645.

(2) 佐 藤 ・黒部 ・広崎:薄 刃ダイヤモ ンドブレー ドによるフェライ トの溝 加工(第1報). Tablel. Experimental. conditions. of grooving. 図2(の に,引. っ か き 痕 の 光 学 顕 微 鏡 写真 を示 す.図2(b)は. そ の 模 式 図 で あ る,砥 石 と フ ェ ラ イ トブ ロ ッ ク の 接 触 面 積 は 次 の よ う に し て 求 め た,図2(b)に 示 す 最 外 周 に あ る 引 っか き 痕 の 一 端 をそれ ぞれ 直線 で結 び ,そ の 直 線 で 囲 ま れ た 領 域 を接 触 面 積 と した. 2.3チ. ッ ピ ン グ サ イ ズ の測 定. 加 工 に 伴 っ て 生 じ る エ ッ ジ チ ッ ピ ン グ の大 き さ(チ ッ ピ ン グ サ イ ズ と呼 ぶ)は,工. 具 顕 微 鏡 を 用 い て 測 定 し た.図3に,エ. ッ. ジ チ ッ ピ ン グ の模 式 図 を 示 す.測 定 は,同 一 条 件 で 加 工 した2 本 の 溝(溝 の 長 さ は15mm)に て エ ッ ジ 部 を20か. 所(1か. つ い て 行 っ た.観 察 は,溝 に 沿 っ 所 あ た り0,8mmの. 範 囲)観. 察 し,. チ ッ ピ ン グ を 測 定 し た.そ して,各 箇 所 の 最 大 チ ッ ピ ン グ サ イ ズ の 平 均 値 で も っ て チ ッ ピ ン グ の 評 価 値 と し た.. 3.実. 3.1砥. 験. 結. 粒密度. 砥 粒 密 度 の 測 定 結 果 を 図4,図5に 砥 粒 粒 度#1500の す.い. 果. そ れ ぞ れ 示 す.図4は,. 砥 石 の 測 定 結 果 を,図5は#400の. 結 果 を表. ず れ の 図 も,縦 軸 は 砥 粒 密 度 を 表 して い る,そ れ は,観. 測 さ れ た 引 っか き痕 の 数 を 砥 石 と フ ェ ラ イ トが 接 触 し た 面 積 で 割 っ た 値 で あ る.一 方,横 軸 は 押 付 け 圧 力 を表 して い る.押 付 け 荷 重 を接 触 面 積 で 割 っ た 値 で あ る. 図4,図5か. ら,押 付 け 圧 力 が 増 す に つ れ て,砥. 粒密 度 が 両. 対 数 グ ラ フ 上 で 直 線 的 に 増 加 す る こ と が わ か る.し か し,砥 粒 径 の 違 い に よ り砥 粒 密 度 の 絶 対 値 が 著 し く違 う.ま た,い ず れ の 砥 粒 径 の 場 合 で も,メ. タ ル ポ ン ド材 の 砥 粒 密 度 が 最 も 小 さ. く,次 に レ ジ ン メ タ ル ボ ン ド材,レ ジ ン ボ ン ド材 の 順 に 大 き な Fig.1. Scratching. method. 値 に な る こ とが わ か る. 3.2観. 削抵 抗. 図6に,フ. (a) Photograph of scratch pattern. (b) Schematic drawing of scratches. Fig.2 Scratch pattern of ferrite. Fig.3. 1646精. Schematic. illustration. 密 工 学 会誌Vol,65,No.19,1999. ェ ラ イ ト に溝 加 工 を 施 し た 場 合 の 研 削 抵 抗(法 線. of chipping. size. FIg.4. Relationship. between. grain density. and contact. pressure. Fig.5. Relationship. between. grain density. and contact. pressure.

(3) 佐 藤 ・黒部 ・広崎:薄 刃ダイヤモ ンドブ レードによるフェライ トの溝加工(第1報). 研 削 抵 抗 の 出 力 信 号 が パ ル ス 波 形 を 示 す の は,砥 石 外 周 面 が 一 様(全 周 に 渡 っ て)に 加 工 物 と干 渉 作 用 を 営 ん で い な い こ と を 表 して い る.い ま,砥 石 を 円 盤 状 の 剛 体 と仮 定 し て,図6に 示 す 条 件 の 下 で,研 削 が 行 わ れ た 場 合 に つ い て,砥 石 が 全 周 に 渡 っ て 加 工 物 と 干 渉 す る た め の 条 件 を 計 算 し て み た.そ 果,砥 石 の 外 周 振 れ 量 を0.036μm以. の結. 下 に押 さ え る こ とが 必 要. な こ と が 明 らか に な っ た.し か し,実 際 に砥 石 の 外 周 振 れ を そ の よ う な 小 さ な 値 に 制 御 す る こ とは 一 般 に 困 難 で あ る.本 実 験 の 場 合,ツ. ル ー イ ン グ後 の 砥 石 外 周 振 れ 量 は05〜1μmと. り,そ の 他 は0.036μmに ら ず,Bボ. 比 べ て1け た 大 き い.そ. な. れに も関わ. ン ド砥 石 の 場 合 に は 幾 つ も の パ ル ス 波 形 が 現 れ,M. ボ ン ド砥 石 やMBボ. ン ド砥 石 の信 号 モ ー ド とか な り 異 な っ た 形. に な っ た.こ れ は,砥 石 外 周 振 れ の 影 響 の 外 に,ボ ン ド材 の 違 い に よ っ て 砥 石 と加 工 物 と の 干 渉 の 仕 方(接 触 状 態)が 変 わ っ Fig.6. Signals. of normal grinding. force. た た め で は な い か と 推 察 さ れ る. こ こ で,波. 形 の ピ ー ク 出 力 の 値 をFnmaxと 記 し,そ. 測 した 結 果 を 図7に 1.8(C)mm/sと3通. 示 す.実 験 は,送. り に変 え て 行 っ た.図7か. き は あ る も の のFnmaxの 値 は,Mボ にMBボ る.一. ン ド砥 石,Bボ 方,#400砥. の 値 を実. り速 度 を0.2(A),0.6(B), ら,若 干 の ば らつ. ン ド砥 石 が 最 も 大 き く,次. ン ド砥 石 の 順 に小 さ くな る こ と が わ か. 石 の 場 合 に 関 し て は,B,Cの. Bボ ン ド砥 石 の 方 がMボ. 条 件 の下 では. ン ド砥 石 よ り もFnmax値 が 大 き く な っ. て い る.こ れ は,前 述 した 砥 石 の 外 周 振 れ の 影 響 が 現 れ た た め と思 わ れ る.テ ー ブ ル の 送 り速 度 が 大 き く な る と,概 してF nmaxの 値 も大 き くな る. 3.3チ. ッ ピ ング サ イ ズ. 研 削 加 工 後 に 溝 縁 に生 成 す る チ ッ ピ ン グ の 大 き さ(チ ッ ピ ン グ サ イ ズ)とFnmaxの た.図8に. 間 に ど の よ う な 関 係 が 成 り立 つ の か 調 べ. 測 定 結 果 を示 す.図8か. ら,チ ッ ピ ン グサ イ ズ とF. nmaxの 間 に は 明 確 な 相 関 関 係 が な い よ う に思 わ れ る. Fig.7. Effect of blade and feed rate on maximum. normal. そ こで,砥 粒1個. grinding force. 当 た りの 最 大 法 線 研 削 抵 抗 に つ い て 考 えて. み る こ と に す る.法 線 研 削 抵 抗 の 値 が,砥 石1周 期 内 の ピー ク 値(Fnmax)に 達 し た と き の 作 用 砥 粒 数 を 正 確 に 測 定 す る の は 困 難 で あ る の で,こ 利 用 して 求 め た.次. こで は 便 宜 的 に 図4,図5に. 示す 測定結 果 を. 式 で 表 さ れ るnの 値 を 作 用 砥 粒 数 と した. n=ρ・Lc・B(1). .. こ こで,Lcは. 砥 石 と加 工 物 の 接 触 弧 長 さ,Bは. 粒 密 度 で,押. 付 け 圧 力 がFnmax/(Lc・B)の. い ま,Fnmaxをnで. 砥 石 幅,ρ は砥. と き の 値 を 表 す.. 割 つ た 値 をFnmaxと記 し,そ の 値 を砥 粒1個. 当 た りの 最 大 法 線 研 削 抵 抗 の 値 と近 似 す る.(厳. Fig.8 Effect of grinding. 研 削 抵 抗)の. force on chipping. size. 測 定 結 果 の 一 例 を 示 す.図6は,#1500の. 砥石. に 関 す る 結 果 を 表 す.実 験 は,砥 石 の 切 込 み 量 を0・5mm,テ ブ ル の送 り速 度 を0.6mm/sと. し て 行 っ た.図6か. ー. ら,ボ ン ド材. に よ っ て研 削 抵 抗 の 出 力 波 形 が 異 な る こ と が わ か る.Mボ 砥 石,MBボ. 密 に い え ば,. ン ド. ン ド砥 石 の場 合 に は,パ ル ス 状 の 出 力 波 形 が 観 察. さ れ る.そ れ ら の 波 形 は ほ ぼ砥 石 の 回 転 周 期 に 同 期 す る 形 で 現 れ る.一 方,Bボ. ン ド砥 石 の 場 合 に は,砥 石 が1回. 転す る 間 に. 幾つ も の パ ル ス 波 形 が 現 れ る.し か し,そ の パ ル ス の ピー ク 値 (出 力 強 度)は. 前 二 者 に 比 して か な り小 さ い.. Fig.9 Effect of grinding force on chipping. 精 密 工 学 会 誌Vol.65,No.11,1999. size. 1647.

(4) 佐藤 ・黒 部 ・広崎:薄 刃ダ イヤモン ドブ レードによるフ ェラ イトの溝加工(第1報). (a) SD1500-100M blade. (b) SD1500-100B blade. Fig.11. Effect of blade and feed rate on fnmax. 切れ 刃近傍 の応 力状 態 に強 く影響 され るこ とを明 らか に して い る, 薄 刃ダ イヤ モ ン ドブ レー ドを用 いて フ ェラ イ トに溝 加 工 を 行 っ た とき,溝 端 末部 に生 じるエ ッジチ ッ ピン グも,山 川 らが 指摘 す る機構 によ って起 こる ので はな いか と考 え られ る.す な わ ち,砥 石の 切込 み に伴 って研 削 に関与 す る砥粒 の切 れ刃近 傍 で は応 力が 誘起 さ れ る.そ して,砥 石 の 回転 に伴 って砥 粒切 込 み深 さが次第 に増加す る につ れて,誘 起 され る応 力 の値 もます ます大 き くな る.砥 粒 が試 料表 面(溝 縁)に 近づ くと応 力集 中 Fig.10. SEM photographs. of grooved. edge. の影 響 で さ らに切れ 刃近傍 の応 力が 大 き くな り,その応 力値が. Fnmax値の 中 に加 工 物 と砥 石 ボ ン ド材 の 接 触 抵 抗 も 入 っ て い る の. 材 料 の破壊 強度 を越 える とそ の と ころで き裂が 発生 し,欠けが. で,実 際 の 砥 粒1個 当 た り最 大 法 線 研 削 抵 抗 の 値 はfnmax値 よ り. 生 じる こ とになる.fnmaxの値 が大 き い場合,砥 粒 切れ 刃近 傍の. も 小 さ い と 考 え られ る).図9に,チ. 応 力 も大 き くな るか ら,溝縁 か らい くぶん離 れ た位置 に砥 粒が. 関 係 を 示 す.図9か. ら,チ. ッ ピ ン グ サ イ ズ とfnmaxの. ッ ピ ン グ サ イ ズ とFnmaxの 間 に は,両. 図10に. 溝 縁 部 のSEM観. 察 例 を 示 す.図10はM砥. 到 達 した段 階で き裂 が発 生 して,大 き な欠 けが 生 じるよ うにな る.fnmaxの値 とチ ッ ピン グサ イ ズ との間 に明 確 な相 関関係 が成. 対 数 グ ラ フ 上 で 直 線 関 係 が 成 り 立 つ こ と が わ か る. 石(#1500). り立 っ たの は,こ の こ とが 原 因 して い ると考 え られ る,. 者 でエ ッジ. 図11か ら,fnmaxの値が砥 石 の ポ ン ド材 種 に よっ て違 うの は. チ ッ ピ ン グ の 様 態 に大 き な 遠 い が あ る こ とが 認 め られ る.す な. 次 の理 由 によ るもの と考 え られ る.fnmaxの値 は,Fnmax/nで定義 され て い るの で,法 線 研 削 抵抗 の ピー ク値(Fnmax)が 大 き く. とB砥. 石(#1500)と. わ ち,M砥. を 対 比 し て 示 して い る が,両. 石 で は溝縁 に沿 って 比較 的大 きな チ ッ ピングが 連続. 的 に 生 じて い る が,B砥. 石 で は溝 縁 に沿 って離 散 的 にチ ッ ピン. 図11に MB砥. 各 種 砥 石 のfnmaxの 値 を 整 理 し た 結 果 を 示 す.M砥. 石,B砥. 送 り0.6mm/s)と. 石,. 石 の 順 にfnmaxの 値 が 小 さ くな る こ とが 認 め られ. る.例 え ば 図10のM砥. 石(#1500,送. り0.6mm/s)とB砥. 石(N1500,. を 比 較 す る と,後 者 のfnmaxの 値 は 前 者 の1/3程. 度 に な っ て い る.図10で い が み ら れ た の は,こ. な った り,砥 石 外周 面 の砥粒 密 度が 小 さ くなる と,fnmaxの値 が 大 き くな る。図4,図5,図7を. グ が 生 じ て お り,そ の 大 き さ も 小 さ い.. エ ッジチ ッピン グの様 態 に大 きな 違 の こ と が 理 由 と 考 え ら れ る.. 4.考〓. 通 観す る と,M砥. 石 の場 合 は,. 他 の砥石 に比べ てFnmaxの値 が 最 も大 き く,砥 粒 密度 が 最 も小 さ い.逆 に,B砥 石 ではFnmax値が 最 も小 さ く砥粒 密 度が 最 も大 き い.1の. 値 が,M砥. 石,MB砥. 石,B砥 石 の順 に小 さ くな っ. た のは この ことが原 因 して い ると考 え られ る. 図6か ら,砥 石 のボ ン ド材 種 によ って法 線研 削 抵抗 の波 形が 著 しく異 な る様子 がみ られ た.す なわ ち,M砥. 石,MB砥. 石の. 場 合 には,砥 石1回 転 当た りにた だ一 つ のパル ス波 形 が現 れ る の に対 して,B砥 石 の場合 には,砥 石1回 転 当た り幾 つ ものパ. ッ ピ ングサ イ ズ と最 大法 線研 削 抵 抗. ル ス波 形 が現 れた.こ れ らの現 象 は,ツ ル ー イ ング直 後(砥 石 の 外周 振 れ0.75±0.25μm)の 砥 石 の場 合 にも観 測 された.. Fnmaxの 間 に は 明 確 な 関 係 は み られ な い が,砥 粒1個 当 た り の 最. 先 に述 べ た よ うに,こ れ らの観察 結果 が得 られた の は,砥 石外. 大 法 線 研 削 抵 抗fnmaxとの 間 に 両 対 数 グ ラ フ 上 で 直 線 関 係(図9). 周 振れ の影 響 の外 にボ ン ド材 が 異な る こ とによ って,砥 石 と加 工 物 との接触 状態 が変 わ っ たため で はな いか と推 察 され る. 一般 に,砥 石 の弾 性係 数 の値 は,M砥 石,MB砥 石,B砥 石. 図8に 示 す よ う に,チ. が 成 り立 つ こ と が わ か っ た.こ れ は 次 の よ う な 理 由 に よ る も の と 考 え られ る, 山 川 ら4)は,GC砥. 石 を 用 い て硬 ぜ い 性 材 料(超 硬 合 金)の 平. の順 に小 さい と言 わ れて い る5),本研究 で使 用 した砥 石 につ い. 面 研 削 加 工 を 行 い,試 料 の 端 末 部 に 生 じ る欠 け(エ ッ ジチ ッ ピ. て もそ の こ とが 当 ては まる とすれ ばB砥. ン グ)の 生 成 機 構 に つ い て,有 限 要 素 法 を 用 い て 理 論 的 解 析 を. 時 に砥 石 が弾 性変 形 して,砥 石 の外周 振 れ の影響 を幾分 緩和 さ せ たの で はな いか と推察 され る.こ の ため,M砥 石 やMB砥 石. 行 っ て い る.そ し て,エ ッ ジチ ッ ピ ン グ は 端 末 部 に お け る砥 粒. 1648精. 密 工 学 会誌Vol.65.No.11,1999. 石の 場合 は,溝 加 工.

(5) 佐藤 ・黒部 ・広崎:薄 刃ダ イヤモ ンドブ レードによるフェライ トの溝加工(第1報). は 逆 に,B砥. 石,MB砥. 石,M砥. 石 の順 に砥粒 密度 が 小 さ くなっ. て い る.こ の 実 験 結 果 か ら考 え て,砥 粒 密 度 の 測 定 結 果(図4) に は,砥 粒 を 支 持 して い る砥 石 の 弾 性 が 強 く影 響 を 及 ぼ し て い る と思 わ れ る.す な わ ち,砥 粒 支 持 系 の 弾 性 変 形 量 が,M砥 MB砥. 石,B砥. 石,. 石 の 順 に大 き い こ とが 測 定 結 果 に 反 映 し た も の. と考 え ら れ る.研 削 加 工 時 に フ ェ ラ イ トブ ロ ック に 接 触 す る砥 粒 の 数 は,砥 石 面 の 砥 粒 数(分 布)を 単 に 幾 何 学 的 に求 め た 値 よ りも 砥 石 の 弾 性 変 形 の 分 だ け 多 く な る もの と 推 量 され る.. 5.結. Fig.12. Distribution. modes. of wheel surface. ruggedness. after pre-grinding. 論. フ ェ ラ イ トに 溝 加 工 を 施 し た 場 合,溝 縁 に エ ッ ジ チ ッ ピ ン グ が どの よ う に発 生 す る の か 実 験 的 検 討 を 行 っ た,そ の 結 果,以 下 の 結 論 が 得 られ た.. に比 べ て,砥 石1回 転 当 た り に加 工 に 関 与 す る 砥 石 外 周 の 長 さ. (1)砥 粒 密 度 や 法 線 研 削 抵 抗 の 値 は,砥 ン ド砥 石 では,砥. 石 の材 種 に よって. が 長 くな り,幾 つ も の パ ル ス 波 形(法 線 研 削 抵 抗)が 現 れ た も. 異 な る.Mボ. の と思 わ れ る.一 方,Fnmaxの 値 が 小 さ く な っ た の は,加 工 に 関. 線 研 削 抵 抗Fnmaxの 値 は 大 き い.一 方,Bボ. ン ド砥 石 で. 与 す る砥 石 外 周 長 さ が 長 く な る こ と に よ っ て,砥 石 外 周 単 位 長. は 砥 粒 密 度 は 大 き くFnmaaの 値 は 小 さ い.ま. た,砥. さ 当 た り の 除 去 量 が 小 さ く な った こ とが 原 因 して い る と考 え ら. 個 当 た り の 最 大 法 線 研 削 抵 抗fnmaxの 値 はMボ. れ る.. 石,MBボ. ン ド砥 石,Bボ. 粒 密 度 は 小 さ く最 大 法. 粒1. ン ド砥. ン ド砥 石 の 順 に 小 さ く な る.. 次 に,砥 粒 密 度 に つ い て 考 え て み る.砥 石 外 周 面 の 砥 粒 密 度. (2)チ ッ ピ ン グ サ イ ズ とfnmaxの 値 の 問 に は 両 対 数 グ ラ フ上. は,砥 粒 の3次 元 的 分 布 形 態 と 砥 粒 を保 持 す る 砥 石 の 弾 性 に大. で リ ニ ヤ な 関 係 が あ り,fnmaxの 値 が 増 す に つ れ て チ ッ. き く 影 響 を 受 け る と 言 わ れ て い る3).そ こ で,砥 石 外 周 面 の砥. ピ ン グ サ イ ズ は 大 き く なる.. 粒 の 分 布 状 態 を 次 の 方 法 で 調 べ て み た.慣 ら し加 工 後(砥 粒 密 度 測 定 前)の 砥 石 外 周 面 に 高 分 子 フィ ル ム(ト リア セ チ ル セ ル. 参. 妻. 文. 献. ロ ー ス)を 押 し 当 て て レ プ リ カ を 採 り,触 針 式 粗 さ 計 でそ の レ プ リ カ フ ィ ル ム の 断 面 曲 線 を測 定 した.図12は,そ. の断 面曲. 線 を も と に砥 石 外 周 面 の 振 幅 分 布 を 求 め た も の で あ る.分 布 密 度 の 一 番 高 い と こ ろ を0レ ベ ル と し て,右. の プラ ス領 域 が凸. 側,左 の マ イ ナ ス 領 域 が 凹 側 を表 して い る.分 布 曲 線 と横 軸 に 囲 ま れ る 面 積 が1に 図12か. ら,M砥. な る よ う に縦 軸 を 目盛 って い る.. ング の創 成,精 密工 学会 誌,62,4(1996)559. 2) 佐 藤 彰,黒 部 利次,滝 澤 俊太郎:フ ェ ライ トの微 小破 壊挙 動 と加 工 損 傷,精 密 工学 会誌,65,2(1999)240, 3) 樋 口誠宏,矢 野章成,田 中行雄:接 触 域 にお け る砥 石弾 性 に関 す る 一考 察,精 密 機械,43,7(1977)801.. 石 の順 に砥石 面 の凹 凸が. 4) 山川 純次,井 川直哉,河 村末 久,奥 山繁樹:研 削端 末 部 の形状変 化. 示 した 砥 粒 密 度 測 定 法 の場 合 に は,. に関 す る研究(第5報),精 密工 学 会誌55,11(1989)2005. 5) 佐 藤 彰,黒 部利次,広 崎憲一:精 密 切 断用 薄 刃ダイ ヤ モ ン ド砥石. 石,MB砥. 大 き くな って い る.図1に. 1) 蓮 田裕 一,貴 志浩 三:フ ェ ライ トの溝 研削 にお け るエ ッジ ・チ ッ ピ. 石,B砥. 砥 石 外 周 面 の 凹 凸 が 小 さ い 砥 石 ほ ど,砥 粒 密 度 の 値 が 大 き く な る と思 わ れ る,し か し,図4に. 示 す 測 定 結 果 を 見 る と,予 測 と. の機 械的 性質,精 密工 学会誌,56,7(1990)1235.. 精 密 工 学 会 誌Vol.65,No.11,1999. 1649.

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