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イ メ ー ジ ング プ レー トを用 い た粗 大 結 晶粒 材 料 の残 留 応 力分 布 測 定 †

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Academic year: 2022

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(1)「材 料. 」(J. Soc.. 論. Mat.. Sci., Japan),. Vol.48,. No.12,. pp.. 1431‑1436,. Dec.. 1999. 文. イ メ ー ジ ング プ レー トを用 い た粗 大 結 晶粒 材 料 の残 留 応 力分 布 測 定 † 佐 々木. Measurement Coarse-Grained. 敏. 彦 * 矢. of Residual. Polycrystalline. Stress. 澤. 和. 路 ** 広. Distribution. Materials. by Means. 瀬. 元 ***. on. of Imaging. Plate. by. Toshihiko SASAKI*, Kazumichi YAZAWA** and Hajime HIROSE*** In. this. material with. paper,. was an. imaging. stresses. over. ution. least. many. diameter. method. almost. methods.. obtain. around. is. actual Key. for. 200ƒÊm. with. present. materials. material. of the. is needed. be. It was. keep. to. residual. stress. state. phy,. 1. the. on. Nondestructive. that. principle,. Residual. through. was. the. the. the. CT. was. also. that. method. the. is. easier. area. more. than. In. the. the. because. for. the. distance. analytic. and. determining. the. the. method. it will. present. oscillation for. materials thus. was. of grains. from and. mean distrib-. analysis. consisted. beam. coarse-grained. method. the. fractal. obtained. parallel. cosa method,. Second,. which. distribution. least. the. present. A method and. a steel. the. of a coarse-grained on. first.. studied. to more the. based. approach.. both. is applicable. surface. method. using. using. measurement. method. IP-cosa. performed. experiment. the. method (CT).. the. accurately. sin2ƒµ. coarse-grained. stress,. 緒. the. irradiated. inspection,. using. experiment. the. on. of the. tomography. measured. stresses. from. stress. a combination. reconstructed. from. a feature In. are. An. found. of residual. was. computerized. mean. obtained has. enough. is. obtain. purpose.. used.. large. words:. this. the area. material to. that. method can. linear. distribution study. and. irradiated. image. the in this. method). surface. which. agreed. The. crystalline. used. (IP-cosa. the. to diffraction. having. the. on. determining. method. different. distance,. applied. for. The. plate. of stress. the. a method. studied.. as be. poly-. long useful. as to. materials. X-ray. stress. Coarse-grained. measurement, material,. 言. Imaging. Fractal. plate,. Computerized. tomogra-. analysis. それ か ら変 換 され る応 力 も誤 差 を含 ん だ もの と な る.. 2次 元 的X線 検 出器 で あ るイメージングプレー ト(IP). そ こで この 問題 の対 策 と して,著 者 らは試 料 平 面 揺動. をX線 応 力 測 定 に使 用 す る と,回 折 環 の 全 周 か ら多 数 の ひ ず み の情 報 が得 られ るた め,応 力 を精 度 よ く得 る こ と. 法 を提 案 した18).試料 平 面揺 動 法 は,X線 照 射 中 に試 験 片 を線 状 も し くは面 状 に移 動 す る方 法 で あ り,こ れ によ り. が で きる.ま た,本 方 法 は単 一 入 射 法 で あ るた あ測 定 時. 回折 に寄 与 す る結 晶 粒 の 個 数 が増 加 す る ため連 続 的 で滑. 間 の 大 幅 な短 縮 が図 られ る と と もに,大 量 の ひ ず み デ ー タ を用 い る ことで,三 軸 応 力 な どの よ うな複 雑 な応 力 状. らか な回 折 環 が得 られ るよ うに な る.試 料 の面 積 が十 分 で あれ ば,本 方 法 に よ り任 意 の結 晶 粒 径 の材 料 につ い て. 態 の 解析 に有 効 で あ る可 能 性 を秘 めて い る.な お,本 法 の 応 力 計 算 プ ロ セ ス は,標 準 法 のsin2Ψ法 と は異 な り,. 応 力測 定 が,原 理 上,可 能 で あ る.た だ し,こ う して得. 回 折 環 の 中 心 角(a)と. あ り,微 小 領 域 の応 力状 態 を知 る こ とはで きない.. す なわ ち,a角. られ る応 力値 は,全X線. その半 径 の関 係 を利 用 して行 う.. 照 射 領 域 内 の平 均 的 な応 力値 で. を基 準 と した応 力 測 定 法 で あ りa角 基 準. そ こで 著 者 らは次 の展 開 と して,試 料 平 面揺 動 法 に よ. 法 と言 うこ とがで き る(従 来 のsin2Ψ法 は Ψ角 基 準 法 と. って測 定 した複 数 の 線 上 の 平 均 応 力 に,コ ン ピュ ー タ ト モ グ ラ フ ィ(CT: Computerized Tomography)19)の 手. な る).cosa法4)はX線. フ ィル ム時 代 に提 案 され たa角. 基 準 法 で あ るが,sin2Ψ 法 と 同様 な優 れ た 特 長 を持 っ て い る.そ の ため,cosa法 はIPを 用 い たX線 応 力 測 定 用 の 応 力 計 算 原 理 と して利 用 され5)〜17),本研 究 で も用 い て い る. さて,IPを. 使 用 したX線 応 力 測 定 で は通 常 ピ ンホ ール. カ メ ラ法 が使 用 され るが,そ の結 果,結. 法 を適 用 して,2次. 元 的残 留 応 力 分布 を推 定 す る方 法 を. 提 案 した20).前報 で は,第 一段 階 と して測 定 が容 易 な微 細 な 結 晶 粒(平 均 粒 径 約10μm)か ら な る材 料 につ い て 基 礎 的 な検 討 を行 っ た.そ こで本 研 究 で は,第 二 段 階 と し て,粗 大 結 晶粒 材 料 上 に均 一 な応 力 分 布 が生 じて い る場. 晶粒 が十 分 細 か. 合 につ いて検 討 を行 っ た.試 験 片 は機 械 構造 用炭 素鋼 材. い材 料 で は問題 な い が,結 晶 粒 径 が比 較 的 大 きな材 料 に. (S55C)で,熱 処 理 に よって 平 均 結 晶 粒 径 を約200μmと す る と と もに,研 磨 に よ りほぼ 均 一 な圧 縮 残 留 応 力 を発. な る とX線 照 射 領 域 内の 結 晶 粒 の個 数 が不 足 し回折 環 が 斑 点 状(ス. ポ ッテ ィ)に な り易 い.ま た,こ の よ うな場. 合 に は,X線. 的 ひず みの 測 定 精 度 が著 し く低 下 す るた め,. †. 原稿 受 理. 平 成10年10月8日. *. 正. 金 沢 大 学 大 学 院 自然 科 学 研 究 科. 会. 員. Received. Oct.. 生 させ た もの を用 い た.な わ,CT解 の 平 均 応 力 を正確 に求 め る際 に,X線. 析 に必 要 な直 線 上 照射距離の設定 を. 8, 1998. 〒920‑1192. 金 沢 市 角 間 町,. Dept.. of Mat.. Sci. & Eng.,. Kanazawa. Univ.,. Kakuma‑machi,. 920‑1192 * *. 学 生 会 員. 金 沢 大 学 大 学 院. * * *. 正. 金 城 短 期 大 学. 会. 員. 〒920‑1192 〒924‑8511. 金 沢 市 角 間 町, 松 任 市 笠 間 町,. Graduate. Kinjo. Junior. Student,. Kanazawa. College,. Kasama‑machi,. Univ.,. Kakuma‑machi, Matto,. 924‑8511. Kanazawa,. 920‑1192. Kanazawa,.

(2) 1432. 佐 々 木 敏彦,矢. 澤. 和 路,広. 瀬. 元. どの よ うにす べ きか とい う問題 に も注 目 し,フ ラ ク タル. UはXY座. 解析 法 を適 用 した判 定 方 法 につ いて も検 討 を行 った.. 応 す る も の で あ る.式(4)〜(7)は,フ. そ の 結 果,平 均 結 晶 粒 径 が約200μmの. 試験 片では点. 測 定 に よ る個 々の 測 定 精 度 は著 しく低 下 す る が,本 研 究 の 線 測 定 で 得 た平 均 応 力,お よびCT理 論 を経 て 得 られ た応 力 分 布 は と もに実 用 上 十 分 な精 度 を示 す こ とを確 認. 標 系 に 対 応 す る フ ー リエ 空 間 上 のUV座. るh(X)とp(X,θ)と に,q0(X)/2π. 標 に対. ー リエ逆 変 換 で あ. の 重 畳 積 分q0(X)を. ま ず 求 め,次. の 値 を θに 関 して 積 分 す れ ば,xy平. 面 にお. け る応 力 分 布 σij(x,y)が得 られ る こ と を示 して い る. 本CT測. 定 方 法 に よ れ ば,従. 来 のX線. 入 射 角 ψ0ま た. した.こ の 結 果 は,本 方 法 の 目標 で あ る粗 大 結 晶 粒 か ら. は 回 折 環 中 心 角aに. な る材 料 の表 面 に発 生 した不 均 一 な応 力 分 布 の測 定 の 可. 測 定 値 が 求 め られ な い よ うな 粗 大 結 晶 粒 材 料 で あ っ て も,. 能 性 を示 す もの で あ る と考 え られ る. 2 CT理 論 およびcosa法. 十 分 長 い 直 線 上 の 平 均 的 応 力 が 得 ら れ る 限 り,CT理. 2.1. CT理. 関 す る 揺 動 操 作 に よ っ て は,正. 確 な. 論. に よ っ て 試 料 表 面 上 の 応 力 分 布 が 推 定 可 能 と な る.. 論. 2・2. 試 料 面 上 にFig. 1に 示 す よ うな試 料 座 標系(x,y)を. 設. cosa法. Fig. 2に 示 す よ う に,入. 射X線. ビー ム を試料 の法 線 方. 定 す る.ま た,原 点 を中心 と して反 時計 方 向 に θ回転 した. 向 か ら Ψ0だ け傾 斜 して 入 射 させ,こ. 座 標 系 をXY座. 発 生 す る 回 折 環 を 入 射 ビ ー ム と 垂 直 に 配 置 し たIP上. 標 系 と し,試 料 面 の応 力 分 布 を σij(x,y). と表 す 、 こ こで,Y軸. に平 行 な直 線AB上. のX線. 応力測. 撮 影 す る場 合 に つ い て考 え る.入. 定 につ い て考 える.試 料 平 面 揺 動 法 を適 用 す れ ば,照 射. る場 合(φ0=0°),試. 線AB上 の 平 均 的 応 力 の測 定 が可 能 に な る18),20).以下, この 応 力 を σijIP(X,θ)と表 す.こ こで,コ リメー タの径. 式 に よ り求 め られ る4),12),13).. が小 さ く,応 力 は照 射 点 内 に おい てXに. こ こ で,aは. の 余 角(η=π/2‑θ),s2はX線 /E)を. 式 の よ う にp(X,θ)を. 長 さ を表 す.次. p(X,θ)=∫ABσij(x,y)dY. る.CT理. ドン 変 換(Radon. 表 す.ま. たa1は,Fig.. 2,3),η. はBragg角. 式(8)を. θ方 向 へ の プ ロ ジ ェ ク シ Transform)と. 利 用 す る と,1個. の デ ー タ か らa1対cosa関. (3). 3に 示 す よ う に 回 折 環 の 中. 得 る こ と に よ り,応 3. 呼ばれ CT測. 定 は,前. の 回 折 環 全 体 のX線 係 を 求 め,そ. (9) 的ひずみ. の直 線 の 傾 き を. 力 σxが決 定 で き る こ と に な る.. 最小線上揺動距離の決定 節 に お い て 述 べ た よ う に,線. 上揺動 に. よ び θの 異 な る種 々 の 線 上 の プ ロ ジ ェ ク シ ョ. ンp(X,θ)か. ら応 力 分 布 σij(x,y)が 求 め られ る.. 次 に,本. 研 究 で 用 い た 再 構 成 法(convolution法)に. つ い て 述 べ る.convolution法 タ補 正 を 行 い,そ に よ る と,応. こ こ で,各. の 後,逆. θ. 弾 性 定 数(s2=2(1+v). a1≡1/2[(εa‑ε π+a)+(ε‑a‑ε π‑a)]. 論 に よ る断 層 画 像 の 再 構 成 プ ロセ ス を適 用 す. る と,Xお. 回 折 環 中 心 角(Fig.. 心 角 が そ れ ぞ れa,‑a,π+a,π‑aで あ る よ うな回 折 ビ ー ム か ら得 られ るX線 的 ひ ず み ε a,ε‑a,ε π+a,επ‑aか ら. (2). ら次 式 が 得 られ る.. こ の と きp(X,θ)は,σij(x,y)の. 方 向 の 応 力 σxは次. 次 式 に よ っ て 導 か れ る パ ラ メ ー タ で あ る.. p(X,θ)=σIPij(X,θ)・1(X,θ). ョ ン で あ り,ラ. に次. 定 義 す る.. そ うす る と式(1),(2)か. に. 内にあ. 関 して 一 定 で あ. る と仮 定 す る.そ うす る と σijIP(X,θ)に つ い て次 式 が成. 試 料 上 のABの. 射 ビ ー ム がxz面. 料 座 標 系 のx軸. 立 す る.. こ の と き,l(X,θ)は. れ に よっ て材 料 か ら. は,投. 影 像 に 対 して フ ィル. 投 影 を 行 う手 法 で あ る.本. 法. 力 分 布 σij(x,y)は 次 式 の よ う に 表 さ れ る.. パ ラ メ ー タ は 次 の 通 り で あ る. X=xcosθ+ysinθ. (5). Fig. 2. Definition. Fig. 1. Principle of computerized. tomography.. of coordinate. system and symbols.. Fig. 3. X-ray strains used for stress calculation..

(3) イメ ー ジ ング プ レー トを用 い た粗 大 結 晶 粒 材 料 の残 留 応 力 分 布 測 定. Table. I.. 1433. Grain size number. and mean grain size of. specimen.. Fig. 4. Debye-scherrer microstructures. pattern. obtained. Table. with IP and. II. X-ray diffraction. conditions.. of sample.. よっ て求 め た複 数 の線 上 の平 均 応 力値 か ら応 力 分 布 を再 構 成 す る方 法 で あ る.し た が っ て,線 上 揺 動 長 さが十 分 に得 られ な けれ ば,粗 大 結 晶 粒 材 料 の場 合 に は回 折環 が 不 連 続 また は斑 点 状 に な って しまい,精 度 良 い応 力値 の 算 出 は困 難 とな る.そ の た め,信 頼 で き る応 力値 を得 る た め に最低 限 必要 な揺 動 距 離(最 小 線 上 揺 動 距 離)の 決 定 は,高 精 度 か つ効 率 的 なCT測 な 問題 で あ る.. 定 を行 うた め に は重 要 3・2・1. こ こで は,回 折 環 画 像(回 折 環 の連 続 性)が 応 力測 定 精 度 に どの よ うに影 響 を もた ら して い るか を定 量 評価 す るた め に,フ ラ ク タル 解 析 を用 いて 検 討 を行 い,最 小 線 実験方法. 示 す よ うに回 折 環 ピ ー ク近 傍 の 円周 方 向 の 画 像 を平 面 画. 像 デ ー タに対 して2次 元 高 速 フ ー リエ変 換 を行 い,周 波. 本 実験 で は,市 販 の炭 素 鋼S55CをL55mm×W10mm H5mmの. 法)2D‑FFT法 に よ る解 析 で は,回 折 環 全 周 を128× 128画 素 の画 像 デ ー タに変 換 した.す な わ ち,Fig. 5に 像 に変 換 す る こ とに よ って 対 象 画像 を作 成 し,フ ラク タ ル 解 析 を行 っ た.本 解 析 方 法 は,始 め に上 記 の2次 元 画. 上 揺動 距 離 の判 定方 法 につ い て検 討 した. 3.1. 2次 元 フー リエ変 換 フ ラク タル 法(2D‑FFT. 形 状 寸 法 に加 工 した 後,1573Kで. 焼 鈍 し,. 数 変 換 す る.周 波 数 に 変換 され た画 像 の濃 淡(つ. ま り輝. 平 均 結 晶粒 径 が約200μmの 試験 片 を作 製 して 使 用 した. Fig. 4に そ の組 織 写 真 お よび 無 揺 動 時 の 回折 環 を示 す.. 度 値)は スペ ク トル を表示 して い る.こ の周 波 数 変 換 さ れ た画 像 よ り,中 心(原 点)か らの 周 波 数fと スペ ク ト. 回 折環 は外 側 の リング が試験 片,内 側 の もの が入 射X線. ル をそ れ ぞれ 横 軸,縦 軸 に と り両 対 数 線 図上 に プ ロ ッ ト. 位 置 を決 定 す る ため に二 重 撮 影 したFe粉. 折. し,さ らに最 小 自乗 法 に よ り一 次 関 数 に 近似 す る.こ の. 環 で あ る.結 晶 粒 径 が比 較 的 粗 大 で ある ため,回 折環 が. 近 似 した直 線 の傾 き を β とす る と,次 式 か ら フ ラク タル. 斑 点 状 とな っ て い る こ とが確 認 で き る.ま た,組 織 写 真 よ り線 分 法 を用 い て 結 晶 粒 度 番 号 を求 め た結 果 をTable. 次 元Dが. 末 の211回. Iに 示 す. 実験 は,X線. 照 射 中 に0〜25mmの. 長 さの線 上 揺 動 を. 行 い,そ れ ぞ れの 線 上 揺 動 長 さにお いて 各5回 づ つX線 測 定 を行 っ た.こ の と きの 測 定 条 件 をTable 試験 片 は線 上 揺動 装置 で あ るXZ‑stageのZテ. IIに 示 す. ー ブル 面 に. 貼 り付 け,コ ン ピ ュー タを介 した遠 隔 制 御 に よ り線 上 揺 動 を行 っ た.な お,本 装 置 の最 小 移 動 距 離 は両 軸 と もに 1μmで あ る.ま た,フ ラ クタル 解 析 は,得 られ た全 て の 回 折環 に対 して行 い,そ の フ ラク タル次 元値 と,応 力 測 定値 のバ ラ ツキ との相 関 につ い て考 察 した. 3・2 フラ ク タル解 析 方 法 対象 とす る図形 の フ ラク タル特 性 を客 観 的 に扱 うため, フ ラク タル の持 つ 複 雑 さを定 量 的 に表 した媒 介変 数 が フ ラク タル次 元 で あ る.フ ラ クタル次 元Dの. 解 析 方 法 は各. 種 定 義 され て い るが,同 一 の対 象物 で あっ て も,そ の 定. 算 出 で き る.. 3・2・2. Yardstick法Yardstick法. 示 す よ う に,円 め,対. で あ る.そ. こ で,回. 度 を 算 出 し,そ 行 い,フ. り多角 的 に解 析 を行 い,測 定 対 象 に. 合 致 した解 析 方 法 を選択 す る必 要 が ある. 本研 究 で は,2次 元 フー リエ変 換 フラク タル法21)(2D‑ FFT法)お よ びYardstick法22)の 二 種 類 の 方 法 を用 い て フ ラク タル次 元Dを 算 出 した.以 下 にその 具 体 的 な解 析 方法 につ い て述 べ る.. 6に. を用 いて線 分 で 曲線 の長 さを近 似 す るた. 象 と す る 図 形 の 位 相 次 元 が1の. と き に 有 効 な方 法. 折 環 全 周 につ いて 半 径 方 向 の 積 分 強. の 線 形 デ ー タ(Fig.. 7)を. 用 い て 解析 を. ラ ク タル 次 元 を算 出 し た.. こ こ で,本. 方 法 の 手 順 に つ い て 説 明 す る.ま. す る 曲 線 の 一 端 を 始 点 と し,そ の 円 を描 き,そ で 結 ぶ.そ. ず対象 と. の 点 を 中 心 に し て 半 径r. の 円 で 最 初 に 交 わ っ た 点 と始 点 と を直 線. の 交 点 を 新 た な 始 点 と見 な して,以. 操 作 を繰 り返 し,長. 下 同様 の. さrの 折 れ 線 に よ っ て 曲 線 を 近 似 す. る の に 必 要 な 線 分 の 総 数N(r)を い て,N(r)とr‑Dの. 数 え る.指. 数‑Dに. お. 間 に 比 例 関 係 が あ る とす れ ば 次 式 が. 成 り立 つ. N(r)=c・r‑D. 義 方 法 によ って 次 元 値 が異 な る.そ の た め,幾 つ か の 解 析 方法 を用 いて,よ. は,Fig.. 式 中 のDを N(r)とr‑Dが れ ば 式(12)と. (11). そ の 曲 線 の フ ラ ク タル 次 元 と定 義 す る.個 比 例 関 係 に あ る な ら ば,そ な る の で,logN(r)とlogrの. 対 数 線 図 上 に お い て,‑Dを. 比 例 定 数,cを. 関 係 は,両 切 片 とす る1. 次 式 で 表 され る. logN(r)=‑Dlogr+logc. 数. の 自然 対 数 を と. (12).

(4) 1434. 佐 々木 敏 彦 ,矢 澤. 和 路,広 瀬. 元. 回 折環 形 状 が 改 善 す るにつ れ て,フ. ラク タル次 元値 の収. 束 は確 認 で きるが,平 均 的 な次 元 は一定 値 を示 してお り, 回 折環 形 状 と本 方 法 に よ る フ ラク タル次 元値 との相 関 は 確 認 で きな い.こ の とき,抽 出 した斑 点状 の 回折 環 画 像 と連 続 的 な 回折 環 画 像 とを比 較 す る と,そ の変 化 の領 域 は画 像 の一 部 分 で あ り,画 像 全 体 の ほん の数%に. 過 ぎな. い.そ の た め回 折 環 形 状 の 変 化 を捉 えに く く,フ ラ ク タ ル次 元 に は反 映 され ない と考 え られ る.ま た,解 析 され た 次 元 値 の 変 化 量 が 大 きい こ と も問 題 点 で あ る.次 に, Fig. 5. Whole. ring image sampled. around. diffraction. peak for 2D-FFT fractal analysis.. Yardstick法 によ る結 果 をFig. 10に 示 す.な お,図 中 の 値 は,応 力 解 析 と 同条 件 の ソ フ トウ ェ ア揺 動(前. 後10. 度 ずつ)18)を 行 った 積 分 強 度 デ ー タを用 い て,解 析 した 結 果 で あ る.こ の結 果,全 体 的 に回 折 環形 状 の 変化 と と もに次 元 も変 化 して い る と言 え る.ま た,応 力 値 の結 果 (Fig. 8)と も非 常 に類 似 した傾 向 を示 して い る.し た が っ て,回 折 環 形 状 の変 化 を うま く捉 え られ る フ ラ ク タル 解 析 法 と してYardstick法 が 適 切 で あ る と考 え られ る. また,フ ラ ク タル解 析 に 用 い る線 形 デ ー タ と して は,回 折 環 全 周 の積 分 強 度 が有 効 で ある こ と も確 認 で きた. Yardstick法 に よ る結 果 か ら,線 上 揺 動 距 離 の 増 加 に. Fig. 6.. Illustration. fractal dimension. on concept. of measurement. by the yardstick. of. method.. Fig. 7. Linear data sampled for yardstick fractal analysis.. 伴 い,フ ラ クタル次 元 値 は約D=1.07で 収 束 してい る こ とがわ か る.Dの 値 が1.05を 下 回 っ て い る範 囲 にお い て. Fig.. 8.. Plots. of stress ƒÐx. vs.. scanning. line. length.. 実 際 には,対 象 とす る積 分 強 度 分 布 の形 態 につ いて,半 径rの 尺 度 で 近 似 した 円 の 総 数N(r)を. 測 定 し,両 対 数. 線 図 上 に プ ロ ッ トす る.こ の とき,両 者 の 間 に 直線 関 係 が成 り立 っ て いれ ば,こ の 図形 は フ ラク タル 特 性 を有 し て い る こ と にな る.本 研 究 で は,最 小 自乗 近 似 に よ って 式(12)に 示 され る負 の傾 き(‑D)を ク タル 次 元Dを 算 出 した.. 求 め,こ れ よ りフ ラ. な お,回 折 環 画像 が有 す る一 次 元 フ ラ ク タル 用 デ ー タ と して半 価 幅,半 価 幅 時 の回 折 強 度 な どの パ ラメ ー タ を 使 用 す る こと も可 能 で あ る.し か し本 研 究 で は,予 め行. Fig. 9. Results. of fractal analysis by 2D-FFT method.. っ た予 備 実 験 の 結 果 よ り回 折 環 全 周 の 積 分 強 度 の有 用性 を確 認 した ので 以 下 これ につ い ての み述 べ る. 3・3. 実 験 結 果 および 考 察. Fig. 8に 線 上 揺 動 距 離 と応 力値 のバ ラツ キ との 関係 を 示 す.図 の 横 軸 は線 上 揺 動 距 離,縦 軸 は各5回 測 定 の平 均 応 力値 を示 し,エ ラーバ ー は68.3%の 信 頼 限 界 区 間 を 表 す.こ の 応 力 測 定 結 果 か ら,揺 動 の長 さを十 分 に得 る こ とに よ って応 力値 が収 束 し,信 頼 区 間の 小 さい安 定 し た傾 向 が得 られ るこ とが分 か る. 方,2D‑FFT法 を用 いて フ ラク タル 解析 した結 果 を Fig. 9に 示 す.こ の結 果 か ら,揺 動 距 離 の 増 加 に伴 って. Fig. 10. Results of fractal analysis by yardstick. method..

(5) イ メー ジ ン グプ レー トを用 い た粗 大 結 晶 粒 材 料 の 残 留 応 力 分 布 測 定. は,応 力 値 のバ ラツ キ も大 きい こ とか ら,IP測. 定 に必 要. な 回折 環 の状 態 を フ ラク タル次 元 で表 す場 合,Dは1.05 以 上 と考 え られ る.ま た,こ の よ うなD値. に対 応 す る最. 小 線 上 揺 動 距 離 は,本 試験 片 の 場 合 に は約4.5mmと. 推. 察 で き る. な お,同 様 の検 討 を平 均 結 晶 粒 径 が10,50,100μm の試 験 片 につ い て も行 っ た結 果,上 記 と同様 な結 果 が得. 1435. キ ング を施 した.X線. 発 生 装 置 を始 め ,使 用 した装 置 お よび光 学 系 は,前 節 の線 上 揺 動 実 験 の際 と全 て 同様 で あ る.ま た,本 測 定 に 必要 な任 意 θ方 向 の斜 め移 動 につ い. て は,X軸 お よびZ軸 の両 軸 に設 定 され た2個 の オ プ ト マ イ ク を交 互 に駆 動 す るこ とに よ って可 能 と した. 以 上 の 方 法 で 測 定 を行 い,得. られ た回 折 環 か らcosa. られて お り,本 方 法 が他 の結 晶粒 径 に も有 効 で あ る こ と. 法 を用 いて 各 線 上 の平 均 応 力値 を算 出 した.次 に,求 め た 応 力 値 に線 上 揺 動 距 離l(X,θ)を 乗 じ る こ とに よ り,. を確 認 して い る. 4 粗 大結 晶粒 材 料 の残 留 応 力 分 布 の測 定. 得 られ た プ ロ ジ ェ ク シ ョン か ら,CT理. 4・1. 各 θ方 向の プ ロ ジ ェク シ ョン を求 め た.こ の よ うに して. 測定方法. 応 力 分 布 の再 構 成 を行 った.. 本 測 定 で は8×8mm2の (X線 照射 域)と. 正 方形 領 域 をCT再. 構成領域. して,応 力分 布 の測 定 を行 った.こ の と. き,プ ロジ ェク シ ョンの ライ ン間 隔(ΔX)を1mmと. した. 場 合,そ の ラ イ ン数(Xn)は 次 式 よ り12本 で あ る.な お,式 中のSnは 再 構 成 領 域 の 一 辺 の長 さを表 す.. ま た,こ. の 場 合 の ラ イ ン長 さ(線. は 中 心 位 置 か ら の 距 離Xお 角 が45度. る.し. か ら,約4.5mm以. の1も. し く は2本. 定 に は不 十 分 で あ る こ とが 予 測 動 距 離 が不 足 す る再 構 成 領 域 両 端. の プ ロ ジ ェ ク シ ョ ンデ ー タ に つ い て は ,. そ の 代 用 と し て,測 以 上 の デ ー タ)の. 定 可 能 な デ ー タ(揺. 動 長 さ が5mm. 平 均 値 を用 い てそ の方 向 の プ ロ ジェ ク. シ ョ ン デ ー タ と し た.し. た が っ て,CT再. 来 は ラ イ ン数 を12本. ラ イ ン数 は 全 て8本. 構成 計算過程. と す る 必 要 が あ る が,. と して 測 定 を 行 う こ と と した.ま. 任 意 角 度 θ方 向 数 は,Table 全12方. な. 下 の線 上揺 動 の 測 定 で は精 度 良 い 応. の た め,揺. の 都 合 上,本. 最大. 最 小(0.50mm)と. 節の最小線上揺動距離の実験結果. 力 値 が 得 ら れ ず,CT測 され る.そ. の と き にX=±0.5mmで. 様 にX=±5.5mmで. か し な が ら,前. 上 揺 動 長 さl(X,θ)). よ び θ角 に よ っ て 異 な り,θ. も し く は135度. (10.31mm),同. IIIに示 す よ う に15度. た,. 間隔 で. 200μmの. 実 験 に お け る試 験 片 は 平 均 結 晶 粒 径 が 約 もの(寸. 使 用 し,再. 4・2 測定結果 ここで,θ 方 向 が0,45,90. ,135度 の と きの平 均 応 力 分 布 をFig. 12に 示 す.図 の 横 軸 は 中心 位 置 か らの 距 離 X,縦 軸 は各 ラ イ ン上 の 平 均 応 力 値 σxIP(X,θ)を表 す . そ の結 果,い ず れ の θ角 度 にお い て も多 少 の バ ラツ キ は あ る もの の,そ の応 力値 は約‑150MPaで あ っ た.さ ら に,こ れ らの平 均 応 力分 布 を基 礎 デ ー タ と して ,揺 動 距 離 を乗 ず る こと によ り求 め た プ ロジ ェ クシ ョンをFig. 13 に示 す.こ れ らの プ ロジ ェ ク シ ョンの傾 向 と して,下 に 凸 の分 布 形 状 を示 してい る こ とが 分 か る.実 際 の応 力 分 布 は,Fig. 12で 示 され る よ う に,応 力 値 が ほ ぼ 等 しい が,各 プ ロ ジ ェク シ ョンは そ の応 力 値 に線 上 揺 動 した長 さを乗 じるため,異 な った分 布 形 状 とな る.つ ま り,θ が 0度 お よ び90度. の 場 合 の ラ イ ン長 さは 全 て 等 しい が. (8mm),そ の他 の θ角 度 に お いて は,X=0mmを 中心 に直 線 的 に減 少 す る.し た が って,今 回 の よ うな ほ ぼ一 様 な 負 の 応 力 分 布 を示 す プ ロ ジ ェ ク シ ョ ンに お い て は, 下 に凸 の 分 布形 状 を示 す こ と とな る. 以 上 の プ ロ ジ ェ ク シ ョ ン を全12方 向 につ い て 求 め, CT理 論 に よ って 応 力 分布 の再 構 成 を行 っ た.そ の 結 果 をFig. 14に 示 す.測. 定 領 域 内 の 応 力値 は約‑150MPa. で一 定 値 を示 した.こ の値 は,あ らか じめ通 常 の 応 力 測. 向 と し た.. な お,本. 論 を用 い て残 留. 法 お よ び 熱 処 理 条 件 は前 節 と 同 様)を. 構 成 領 域 以 外 の部 分 は ビニ ール テ ープ で マ ス. 定 法(sin2Ψ 法)に おい て4×6mmス. リッ トを用 い て測. 定 した値 とほ ぼ 同値 で あ った.ま た,本 実 験 で使 用 した 試 験 片 表 面 は,局 所 的 な機 械 加 工 な どの表 面 処 理 を施 し て い ない た め,残 留 応 力 分 布 は ほぼ 一 定 で ある と推 測 さ れ る.こ れ らの こ とか ら,本 測 定 に よ って得 られ た残 留. Table III.. Conditions. of X-ray computerized. tomography.. 応 力分 布 は概 ね 妥 当 な もの で あ る と言 え る. 以 上 の 結 果,結 晶 粒 径 が200μm程. 度 で均 一 な圧 縮 残. 留 応 力 を有 す る材料 の表 面 に お け る2次 元 的 な残 留 応 力 分 布 が,IPお よびcosa法 に よる複 数 の線 測 定 デ ー タの CT解. 析 を経 て再 構 成 可 能 で あ る こ とが 実 証 され た.よ. っ て前報 の結 果 と併 せ て 考 え ると,粗 大 結 晶 粒 材 料 上 の 不 均 一 な応 力 分 布 の 測 定 が本 法 に よって 可 能 とな る見 通 しが得 られ た. な お,本 方 法 の今 後 の適 用 先 と して,微 細 な結 晶 粒 か らな る材 料 に細 束X線. を使 用 して線 測 定 を行 うこ とに よ. り,微 小 部 の応 力 分 布 測 定 法 と して も利 用 で きる可 能 性 が あ る もの と考 え られ る. 5. 結. 言. 本 研 究 で は,試 料 平 面 揺動 法 を用 いて 測 定 した複 数 の 線 上 の平 均 応 力 か ら,コ ンピ ュー タ トモグ ラ フ ィの理 論 に よ って,粗 大 結 晶 粒 材 料 表 面 の2次 元 的 な残 留 応 力 分 Fig. 11. Irradiated. area of specimen. ray measurement.. and locations. of X-. 布 を求 め る方 法 につ い て検 討 を行 い,以 下 の 結 論 を得 た. (1). 最 小 線 上 揺 動 距 離(精 度 良 い 応 力 値 を得 るた め.

(6) 1436. 佐 々木 敏 彦,矢. 澤. 和 路,広. 瀬. 元. 小 線 上 揺 動 距 離 以 上 の ライ ン長 さが確 保 で き る再 構 成 領 域 を用 いれ ば,本 方 法 に よ って残 留 応 力 分布 測 定 が可 能 で ある と考 え られ る. 最 後 に,本 研 究 に対 して 献 身 的 に協 力 され た金 沢大 学 大 学 院 学 生 ・安 川 昇 一 氏(現 在 を表 す.. 1) Fig.. 12. present. Mean. stresses. method. on. (ƒÆ=0,. the 45,. lines 90,. 135. obtained. by. the. deg). リガク電 機(株))に謝 意. 参 考 文 献 M. Takano, J. Miyahara. M. Sonoda,. and H. Kato,. Radiography, 148, 833 (1983). 2). 雨 宮 慶 幸,神. 3). Y. Amemiya. N. Kamiya and Y. Satow, Nucl. Instr. and. 谷 信 夫,宮. 原 諄 二,応. 用 物 理, 55,. 957. (1986).. Meth., A, 246, 572 (1986). 4) 5). 平. 修 二,田. 中 啓 介,山. 吉 岡 靖 夫,新. 開. 毅,大. 崎 利 春,材 谷 真 一,日. 料,. 27,. 吉 岡 靖 夫,大. 7). 吉 岡 靖 夫,大. 谷 真 一,新. 開. (1978).. 本 材 料 学 会 第26回X線. 材 料 強 度 に 関 す る シ ン ポ ジ ウ ム講 演 論 文 集,p. 6). 251. 毅,非. 122. (1989).. 破 壊 検 査,. 39,. 666. (1990). 谷 真 一,長. 会 第27回X線 p.98 Fig.. 13.. Projection. method. p(X, ƒÆ). (ƒÆ=0,. 45,. 90,. obtained. 135. by. the. present. 8). deg). 開. 毅,大. 谷 真 一,日. 本 材 料学. 本非破 壊検査協 会第. 応 力 ひ ず み 測 定 シ ン ポ ジ ウ ム, p. 95. 吉 岡 靖 夫,大. 谷 真 一,篠. 第28回X線 p. 1. 野 睦 雄,日. (1990).. 吉 岡 靖 夫,新 22回. 9). 谷 川 賢 一,笹. 材 料 強 度 に 関 す る シ ン ポ ジ ウ ム 講 演 論 文 集,. 原 充 裕,門. (1990).. 間 輝 聡,日. 本材 料 学 会. 材 料 強 度 に 関 す る シ ン ポ ジ ウ ム 講 演 論 文 集,. (1992).. 10) Y. Yosioka, S. Ohya, K. Hasegawa. and M. Sasano,. Residual Stress 3, p. 985 (1992). 11). 吉 岡 靖 夫,大. 谷 真 一,古. 川 勝 久,日. 本 材 料 学 会 第29回X線. 12). 佐 々 木 敏 彦,広. 瀬 幸 雄,材. 料,. 13). 佐 々 木 敏 彦,広. 瀬 幸 雄,日. 本 機 械 学 会 論 文 集,. 材 料 強 度 に 関 す る シ ン ポ ジ ウ ム 講 演 論 文 集, 44,. 1138. p. 167. (1993).. (1995). A‑61,. 394. (1995). 14). 佐 々 木 敏 彦,広. 15). 佐 々 木 敏 彦,後. 2741 Fig.. 14.. Distribution. of specimen. of residual obtained. by. the. stress ƒÐx(x, present. y) in surface. 本 機 械 学 会 論 文 集,. 藤 時 政,田. 畑 裕 之,広. A‑62,. (1996). 瀬 幸 雄,材. 料,. method.. 46,. 状 を フラ ク タル 次元 で評 価 した.そ の結 果,Yardstick法. 学 会 論 文 集,. A‑64,. 17). 後 藤 時 政,佐. 々 木 敏 彦,丸. 山 公 一,広. 瀬 幸 雄,材. 瀬 幸 雄,安. 川 昇 一,日. 本 機 械 学 会 論 文 集,. 1770 18). 試 料 を用 い て,CT理 論 に よ る残 留 応 力分 布 の測 定 を行 っ た結 果,本 測 定 方 法 が有 効 で あ る こ とが 確 認 で きた. よ って,更 に糧 大 な結 晶粒 を有 す る材 料 にお い て も,最. 533. A.M.. 佐 々 木 敏 彦,広. 21). 22). Cormack,. 本機械. (1998). 料,. 47,. J. Appl., Phys., 34, 2722 瀬 幸 雄,日. (1963).. 本 機 械 学 会 論 文 集,. A‑63,. (1997).. 黒 瀬 雅 司,津 材 料,. 嶋 晋 一,日. (1997).. 19). 2196. 1120. 瀬 幸 雄,長. (1998).. 20). 算 出 可 能 で あ る. 均 一 な圧 縮 残 留 応 力 を持 った平 均 粒 径200μmの. 々 木 敏 彦,広. 佐 々 木 敏 彦,広 A‑63,. 確 認 で きた.ま た,揺 動 距 離 の 増加 に伴 い,フ ラ ク タル 次 元 値Dが 約1.07で 収 束 して い る こ とか ら,D=1.07 を示 す よ うな 回折 環 の状 態 で あれ ば,精 度 良 い応 力値 が. (1997).. 後 藤 時 政,佐. を用 い る こ とに よ り,回 折 環 形 状 とフ ラ ク タル次 元 との 相 関 関係 お よび 応 力値 のバ ラツ キ との相 関 関係 が 明確 に. 756. 16). に最 低 限 必 要 な揺 動 長 さ)を 決 定 す るた め に,回 折 環 形. (2). 瀬 幸 雄,日. 43,. 津 田 政 明,広 田 中 啓 介,材. 田 政 明,佐 1489. 瀬 幸 雄,黒 料,. 々 木 敏 彦,広. 瀬 幸 雄,吉. 岡 靖 夫,. 瀬 雅 司,松. 岡 三 郎,黒. 部 利 次,. (1994).. 40,. 1066. (1991)..

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参照

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