二硫化モリブデン薄膜の新規成長プロセスとキャリ ア輸送特性

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九州大学学術情報リポジトリ

Kyushu University Institutional Repository

二硫化モリブデン薄膜の新規成長プロセスとキャリ ア輸送特性

許, 時耐

https://doi.org/10.15017/1806980

出版情報:Kyushu University, 2016, 博士(工学), 課程博士 バージョン:

権利関係:Fulltext available.

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(様式5-2)

氏 名 Heo Sinae

A novel growth process and transport properties of MoS2 thin films

(二硫化モリブデン薄膜の新規成長プロセスとキャリア輸送特性)

論文調査委員 査 九州大学 教授 若山 査 九州大学 教授 君塚 信夫 査 九州大学 教授 石原 達己

論 文 審 査 の 結 果 の 要 旨

本研究は、多段階プロセスを用いた新しい MoS2薄膜の成長方法を提案している。詳細な構造解 析と組成分析に基づいて、精密な成長条件の最適化に成功しており、その結果、大面積でかつ膜厚 制御が可能な薄膜成長プロセスを初めて構築している。また薄膜の組成や結晶性とトランジスタ特 性との相関関係を明らかにしている。本研究で得られた知見は、薄膜成長技術の確立だけでなく、

薄膜成長メカニズムの基本的な理解にも有益なものであり、半導体材料科学の発展と次世代半導体 デバイス開発において価値ある業績であると認める。

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