九州大学学術情報リポジトリ
Kyushu University Institutional Repository
二硫化モリブデン薄膜の新規成長プロセスとキャリ ア輸送特性
許, 時耐
https://doi.org/10.15017/1806980
出版情報：Kyushu University, 2016, 博士（工学）, 課程博士 バージョン：
権利関係：Fulltext available.
（様式５－２）
氏 名 Heo Sinae
論 文 名 A novel growth process and transport properties of MoS2 thin films
（二硫化モリブデン薄膜の新規成長プロセスとキャリア輸送特性）
論文調査委員 主 査 九州大学 教授 若山 裕 副 査 九州大学 教授 君塚 信夫 副 査 九州大学 教授 石原 達己
論 文 審 査 の 結 果 の 要 旨
本研究は、多段階プロセスを用いた新しい MoS2薄膜の成長方法を提案している。詳細な構造解 析と組成分析に基づいて、精密な成長条件の最適化に成功しており、その結果、大面積でかつ膜厚 制御が可能な薄膜成長プロセスを初めて構築している。また薄膜の組成や結晶性とトランジスタ特 性との相関関係を明らかにしている。本研究で得られた知見は、薄膜成長技術の確立だけでなく、
薄膜成長メカニズムの基本的な理解にも有益なものであり、半導体材料科学の発展と次世代半導体 デバイス開発において価値ある業績であると認める。
